CN101725734A - 流量控制装置 - Google Patents

Abstract

流量控制装置具有导频调节器(20)和电动气动调节器(18)，导频调节器(20)具有膜片并通过供给到该膜片的一侧面的空气施加操作压力来调整与该膜片的另一侧面接触的药液的流量，电动气动调节器(18)通过控制对导频调节器(20)的空气供给及排出来调整操作压力。流量控制装置还具有空气通道(15)和孔(40)。空气通道(15)连接导频调节器(20)和电动气动调节器(18)并使空气流通，孔(40)既使得电动气动调节器(18)能够进行操作压力的调整又使得空气能够从空气通道(15)排出。

Description

流量控制装置

技术领域

本发明涉及控制流体流量的流量控制装置。

背景技术

现有技术中凭借流量控制阀对液体或气体等流体的流量进行控制是为公众所知的。在该流量控制阀中，当阀内存在对阀体进行驱动的机构时，来自于作为控制对象的流体的挥发气体(ガス)成分会透过阀内的膜片，并滞留在驱动机构的周围。此时，有可能由于该挥发气体成分的性质而腐蚀驱动机构的构成部件。因此，存在对阀体的驱动机构被上述挥发气体成分腐蚀进行抑制的流量控制阀(例如，参照专利文件1)。此外，在由电磁致动器驱动的流量控制阀种类中，存在对透过膜片的气体成分对于致动器或线路等的腐蚀加以抑制的流量控制阀(例如，参照专利文件2)。

另一方面，还存在具有如下构成的流量控制阀(例如，参照专利文件3)，其具有膜片，由被供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与另一侧面接触的流体的流量。如图6所示，在该流量控制阀301中，空气通过空气导入端口351流入流出，与膜片311连接的阀体312对应该空气的操作压力被驱动。因此，在阀体312隔着膜片311的相反侧的空间341内未设置活塞或电磁致动器等阀体312的驱动机构，故而不存在驱动机构会被透过膜片311的挥发气体成分腐蚀的问题。

【专利文献1】特开2004-19792号公报

【专利文献2】特开2003-83468号公报

【专利文献3】特开2008-202654号公报

发明内容

在上述专利文献3的流量控制阀中，通过对空气相对于空气导入端口351的供给及排出进行控制来调整操作压力的调节器是必要的，因而包含上述挥发气体成分的空气会通过该调节器。因此，出现了新的顾虑，即，调整操作压力的调节器的构成部件会被透过膜片311的挥发气体成分腐蚀。

本发明是鉴于上述问题提出的，主要目的在于提供一种流量控制装置，能够抑制通过控制流量控制阀的气体供给及排出来调整流量控制阀的操作压力的调节器的腐蚀。

为了解决上述问题，本发明第一方面的流量控制装置的特征在于包括：第一调节器，具有膜片，并通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与该膜片的另一侧面接触的流体的流量；第二调节器，通过控制上述第一调节器的气体供给及排出来调整上述操作压力；气体通道，使上述气体在上述第一调节器与上述第二调节器之间流通；缩窄通道，既使得上述第二调节器能够进行上述操作压力的调整又使得上述气体能够从上述气体通道排出。

此外，本发明第二方面的流量控制装置具有：第一调节器，其具有膜片，并通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与该膜片的另一侧面接触的流体的流量；第二调节器，通过控制上述第一调节器的气体供给及排出来调整上述操作压力；气体通道，使上述气体在上述第一调节器与上述第二调节器之间流通；缩窄通道，与上述气体通道连接且具有预定的微小流路面积。

根据上述第一方面和第二方面，由于包括第一调节器和第二调节器，其中，第一调节器具有膜片并通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与该膜片另一侧面接触的流体流量，第二调节器通过控制上述第一调节器的气体供给及排出来调整上述操作压力，因而能够根据第二调节器所调整的操作压力通过第一调节器来调整流体的流量。

在此，由于作为流量调整对象的流体与第一调节器具有的膜片接触，从而存在来自于该流体的挥发气体成分会透过膜片的情况。于是，该挥发气体成分与气体一起经由使该气体流通以在第一调节器与第二调节器之间调整操作压力的气体通道通过第二调节器，因而所担心的状况是第二调节器的构成部件会被腐蚀。

就该点而言，由于根据本发明的第一方面，具有既使得上述第二调节器能够进行上述操作压力的调整又使得气体能够从上述气体通道排出的缩窄通道，而根据本发明的第二方面，具有与上述气体通道连接且具有预定的微小流路面积的缩窄通道，因此，通过上述构成一边使得第二调节器能够进行操作压力的调整一边使得该挥发气体成分能够从缩窄通道排出，从而能够减少通过第二调节器的挥发气体成分的量。此外，当包含上述挥发气体成分的气体以较高的气压状态存在于上述气体通道内时，即使第二调节器关闭停止，也能够从缩窄通道排出上述气体，从而能够减少与第二调节器接触的挥发气体成分的量。所以，能够抑制对第一调节器的操作压力进行调整的第二调节器所受到的腐蚀。此外，也可以通过对使气体在上述第一调节器与上述第二调节器之间流通的气体通道进行加工来形成缩窄通道，也可以形成从该气体通道分支的分支通道。此外，该气体通道不限于连接第一调节器与第二调节器的配管，也可以包含位于上述调节器内部、使气体流通的内部通道。

此外，当采用流路面积能够变化的可变式缩窄通道作为缩窄通道时，由于缩窄通道被组装后能够进行流路面积的调整，因而可将缩窄通道设定成既使得上述第二调节器能够进行上述操作压力的调整又使得上述气体能够从上述气体通道排出的最佳流路面积。

根据本发明第三方面的流量控制装置，在第一方面或第二方面的基础上，由于在上述气体通道中在上述第二调节器与上述缩窄通道之间具有使气体只能从上述第二调节器向上述第一调节器的方向流通的止回阀，因而，当操作压力上升时能够使气体从第二调节器向第一调节器的方向流通，而当操作压力下降时能够从缩窄通道排出气体。所以，由于只有不包含挥发气体成分的气体通过第二调节器，而包含挥发气体成分的气体不通过第二调节器，因而能够进一步抑制第二调节器的腐蚀。

此外，通过采用对作为流量调整对象的流体或对来自该流体的挥发气体成分具有耐腐蚀性的材料来形成止回阀，对防止包含挥发气体成分的气体向第二调节器的方向流通的止回阀而言，能够抑制其动作因腐蚀而变得不稳定。另外，既可以用耐腐蚀性材料形成止回阀的构成部件，也可以将耐腐蚀性材料涂覆在止回阀的构成部件的表面。

此外，在上述气体通道中，在上述第二调节器与上述缩窄通道之间设有止回阀时，即使通过从缩窄通道排出气体可能使操作压力下降，但操作压力下降时的响应性也有可能降低。

就该点而言，根据本发明第四方面的流量控制装置，在本发明第三方面的基础上，由于上述缩窄通道及上述止回阀设置在与上述第二调节器相比更靠近上述第一调节器的位置，因而能够在操作压力下降时使排出气体的体积变得更小。所以，即使在具有止回阀的情况下，也能够抑制当操作压力下降时响应性的降低。

此外，本发明第五方面的流量控制装置，在本发明第四方面的基础上，由于上述缩窄通道设置在上述第一调节器上，因而能够在操作压力下降时使排出的气体体积变得更加小，而且例如通过将缩窄通道设置在第一调节器的盖或主体上能够使制造变得容易。

附图说明

图1为表示具有一个实施方式中的流量控制装置的药液供给回路的整体构成的回路图。

图2为表示一个实施方式中的导频调节器的构成的纵剖面图。

图3为表示一个实施方式中的电动气动调节器的概略的回路图。

图4为表示其他实施方式中的流量控制装置的构成的回路图。

图5为表示其他实施方式中的导频调节器的构成的纵剖面图。

图6为表示现有技术中的导频调节器的构成的纵剖面图。

具体实施方式

下面参照附图对用于向半导体生产线提供药液的流量控制装置的一个具体实施方式进行说明。图1为表示具有流量控制装置的药液供给回路的整体构成的回路图。

如图1所示，在本回路中设置有用于进行药液的汲取和排放的药液泵11。药液泵11例如由隔膜泵或波纹管泵等构成。存储在药液罐X内的药液通过构成药液汲取通道的汲取配管12被药液泵11汲取。

在药液泵11的排放侧连接有构成药液排放配管的排放配管13。在该排放配管13的下游侧设置有作为第一调节器的导频调节器20。从药液泵11排放的药液被该导频调节器20控制在预定流量并排放至晶片19。另外，排放配管13的下游侧端部成为向晶片19排放药液的排放喷嘴13a。

导频调节器20通过由作为第二调节器的电动气动调节器18所供给的空气施加操作压力，并根据该操作压力控制药液的流量。电动气动调节器18通过控制导频调节器20的空气供给以及排出来调整导频调节器20的操作压力。这些导频调节器20与电动气动调节器18通过空气通道15连接，用于调整操作压力的空气在该空气通道15内流通。另外，空气通道15构成使气体在第一调节器及第二调节器之间流通的气体通道的一部分。

此外，在排放配管13中，在药液泵11和导频调节器20之间具有检测药液流量的流量传感器14。

控制器30是以由CPU和各种存储器等构成的微型计算机作为主体构成的电子控制装置。在控制器30中除了输入来自对本系统进行统筹(統括)及管理的管理计算机的流量指令值外，还逐次输入由流量传感器14检测出的流体流量信息。控制器30根据上述各输入驱动电动气动调节器18，并执行流量反馈控制以使流体流量与流量指令值一致。

控制器30计算出从管理计算机输入的流量指令值与由流量传感器14检测出的流体流量信息的偏差，并根据该偏差进行PID运算等运算处理，对电动气动调节器18输出指令信号。于是，电动气动调节器18根据来自控制器30的指令信号，通过对空气相对于导频调节器20的供给及排出进行控制，来调整用于控制导频调节器20的操作压力。通过反复执行上述处理使流体流量收敛到指令值。

接下来，根据图2对导频调节器20的构成进行说明。图2为表示导频调节器的构成的纵剖面图。

导频调节器20具有第一盖35及第二盖36，在盖35、36之间组装有吸入流体的吸入部21及排出流体的排出部22。此外，与药液接触的吸入部21及排出部22例如由含氟合成树脂形成以使二者不易被腐蚀，而与药液不接触的盖35、36例如由聚丙烯树脂形成。

在导频调节器20的大致中央部按照沿第一盖35与第二盖36的组装方向延伸的方式形成有贯通孔以作为将吸入部21与排出部22连通的阀室23。阀室23在该组装方向的中间处孔径变小。换言之，阀室23的内壁面在中间处向内侧突出，由该突出的部分形成阀座部25。于是，对于阀室23而言，在药液的流动方向上阀座部25的上游侧成为上游侧阀室23a，阀座部25的下游侧成为下游侧阀室23b。另外，在下游侧阀室23b的更下游侧形成有孔径大的圆形通道23c，该圆形通道23c与排出部22连通。

阀室23内容纳有能够沿第一盖35与第二盖36的组装方向往复运动的圆柱形的阀体24。阀体24连接有两个膜片27、29，且阀体24与膜片29一体形成。另外，与药液接触的阀体24及各膜片27、29例如由含氟合成树脂形成以使其不易被腐蚀。

阀体24在其轴线方向的中间处形成有直径比其他部分大的扩径部28。扩径部28与阀座部25相对的端部被形成为比阀座部25的内径更大，从而能够与阀座部25抵接。因此，当阀体24向膜片27的方向移动时，扩径部28的端部与阀座部25抵接，吸入部21与排出部22的连通被切断。另一方面，当阀体24向膜片29的方向移动时，扩径部28的端部从阀座部25离开，吸入部21与排出部22连通。

在第二盖36中形成有弹簧容纳室31，该弹簧容纳室31与阀室23位于膜片29的两侧。在弹簧容纳室31内容纳有压缩弹簧32。利用该压缩弹簧32的弹性势能，阀体24总是被推向膜片27侧。由此，阀体24上形成的扩径部28的端部被保持在与阀座部25抵接的状态。

在阀室23隔着膜片27的相反侧形成有将来自导频调节器20外部的空气导入的压力操作室33。压力操作室33与形成在第一盖35上的空气导入端口34连通。空气导入端口34经由上述空气通道15从电动气动调节器18供给空气(参照图1)。电动气动调节器18通过对导频调节器20的空气供给及排出进行控制来调整操作压力。于是，该操作压力被施加到膜片27靠空气导入端口34侧的一面，即，膜片27的与药液接触面相反的一面。阀体24对应于被调整的操作压力改变其沿轴线方向的位置。另外，在导频调节器20的内部从使空气流通的空气导入端口34至压力操作室33的通道构成使气体在第一调节器与第二调节器之间流通的气体通道的一部分。

在如此构成的导频调节器20中，在操作压力未作用到压力操作室33的初始状态下，通过压缩弹簧32的弹性势能使扩径部28的端部与阀座部25抵接，上游侧阀室23a与下游侧阀室23b的连通被切断。这样，流体从吸入部21向排出部22的流通被阻断。与此相对，当空气被供给到压力操作室33时，阀体24克服压缩弹簧32的弹性势能向膜片29侧移动，上游侧阀室23a与下游侧阀室23b连通。这样，流体就可以从吸入部21向排出部22流通。另外，扩径部28的端部与阀座部25之间的距离根据压力操作室33的操作压力而改变。这样，可以增减从上游侧阀室23a流向下游侧阀室23b的流体流量。

接下来，参照图3说明电动气动调节器18的概略。另外，图3为表示电动气动调节器的概略的回路图。

电动气动调节器18通过空气通道15与导频调节器20连接，通过控制导频调节器20的空气供给及排出，调整用于控制导频调节器20的操作压力。

电动气动调节器18包括空气供给侧的供气侧电磁阀18a和空气排出侧的排气侧电磁阀18b。这些电磁阀18a、18b根据通电进行开闭，从而允许空气流通及阻断空气流通。另外，这些电磁阀18a、18b为在未通电时阻断空气的常态关闭型的电磁阀。

供气侧电磁阀18a与排气侧电磁阀18b经通道连接，该通道与上述空气通道15连接。于是，空气可以提供给空气通道15和从空气通道15排出。另外，在电动气动调节器18的内部，从空气通道15至各电磁阀18a、18b的通道构成使气体在第一调节器与第二调节器之间流通的气体通道的一部分。

此外，在连接供气侧电磁阀18a与排气侧电磁阀18b的通道内设置有压力传感器18c，由该压力传感器18c检测该通道内的空气压力，作为用于控制导频调节器20的操作压力。该检测出的空气压力被输出到反馈控制器18d。

反馈控制器18d是以由CPU和各种存储器等构成的微型计算机作为主体构成的电子控制装置。控制器18d内除了从控制器30输入作为操作压力的指令信号外，还逐次输入由压力传感器18c检测出的空气压力。控制器18d根据上述各输入驱动电磁阀18a、18b，并执行反馈控制以使空气压力与指令信号一致。

具体而言，供气侧电磁阀18a及排气侧电磁阀18b以一个开放、另一个关闭的方式被驱动，标准期间内通过改变电磁阀18a、18b各自的开放比例来控制空气压力。例如，当使空气压力上升时，在标准期间内使供气侧电磁阀18a开放的比例增加，以使通过供气侧电磁阀18a向空气通道15供给的空气量增加。同时，使通过排气侧电磁阀18b从空气通道15排出的空气量减少。另外，当使空气压力下降时，在标准期间内使供气侧电磁阀18a开放的比例减少，以使通过供气侧电磁阀18a向空气通道15供给的空气量减少，同时，使通过排气侧电磁阀18b从空气通道15排出的空气量增加。

在此，当通过排气侧电磁阀18b从空气通道15排出空气时，如上所述，由于在空气内包含透过导频调节器20的膜片27的挥发气体成分，因而排气侧电磁阀18b及压力传感器18c有可能会被该挥发气体成分腐蚀。此外，当包含挥发气体成分的空气以比较高的压力状态存在于空气通道15内时，电动气动调节器18的电磁阀18a、18b也可能被关闭停止。此时，由于包含挥发气体成分的空气与电磁阀18a、18b及压力传感器18c接触，因而供气侧电磁阀18a也有可能被腐蚀。此外，尽管可以考虑利用对来自于药品的挥发气体成分具有耐腐蚀性的材料形成电动气动调节器18的上述构成部件，尤其是排气侧电磁阀18b，但电磁阀中使用的磁性材料通常耐腐蚀性低，如果采用耐腐蚀性高的材料则不可避免价格会非常高。

因此，如图1所示，在本实施方式中具有作为从空气通道15排出空气的缩窄通道的孔40、以及使空气只能从电动气动调节器18向导频调节器20的方向流通的止回阀50。

具体而言，在连接导频调节器20与电动气动调节器18并使空气流通的空气通道15的中间部连接有分支通道41。上述通道的连接可采用常用的联接器进行。分支通道41由比空气通道15细的配管形成，在空气通道15内流通的空气可向分支通道41流通。

在分支通道41上包括作为具有预定的微小流路面积的缩窄通道的孔40，利用该孔40来限制空气的流量。该孔40作为组件与分支通道41连接，并被形成为既使得电动气动调节器18可以进行上述操作压力的调整又使空气可从空气通道15排出。也就是说，尽管微量的空气可从孔40向外部排出，但是孔40的流路面积或流路长度被设计成使电动气动调节器18进行操作压力的调整不会受到该空气排出的妨碍。另外，当来自孔40的空气排出量过剩时，难以使操作压力升高。

此外，空气通道15中，在电动气动调节器18与孔40之间，也就是在空气通道15和分支通道41的连接部42与电动气动调节器18之间设置有使空气只能从电动气动调节器18向导频调节器20的方向流通的止回阀50。该止回阀50为只在电动气动调节器18侧的压力比导频调节器20侧的压力高时才打开流路的逆止阀，由止回球(チエツクボ一ル)和弹簧等构成。并且，该止回阀50由对来自药液的挥发气体成分具有耐腐蚀性的材料形成。另外，可以用耐腐蚀性的材料形成止回阀50的构成部件，也可以用耐腐蚀性的材料涂覆止回阀50的构成部件的表面。

根据以上详细描述的本发明的实施方式的构成，可以获得以下有益效果。

由于具有导频调节器20和电动气动调节器18，其中导频调节器20具有膜片27，并通过供给到该膜片27的一侧面的空气施加操作压力来调整与另一侧面接触的药液的流量，电动气动调节器18通过控制导频调节器20的空气供给及排出来调整操作压力，因而可以根据由电动气动调节器18调整的操作压力利用导频调节器20来调整药液的流量。

此处，由于导频调节器20具有的膜片27与作为流量调整对象的药液接触，因而来自该药液的挥发气体成分有时会透过膜片27。于是，经由连接导频调节器20与电动气动调节器18并使用于调整操作压力的空气流通的空气通道15，该挥发气体成分与该空气一起通过电动气动调节器18，由此所担心的状况是电动气动调节器18的构成部件会被腐蚀。

就这点而言，根据本实施方式，由于具有与空气通道15连接且具有预定的微小流路面积的孔40，即具有既使得电动气动调节器18能够调整操作压力又能够使空气从空气通道15排出的孔40，因而能够一边使电动气动调节器18进行操作压力的调整一边使上述挥发气体成分从孔40排出，以使通过电动气动调节器18的挥发气体成分的量减少。此外，当包含上述挥发气体成分的空气以较高压力的状态存在于空气通道15内时，即使电动气动调节器18的电磁阀18a、18b关闭停止，也可以从孔40排出该空气从而减少与电动气动调节器18的各构成部件接触的挥发气体成分的量。所以，可以抑制对导频调节器20的操作压力进行调整的电动气动调节器18所受到的腐蚀。

由于空气通道15中在电动气动调节器18与孔40之间设置有使空气只能从电动气动调节器18向导频调节器20的方向流通的止回阀50，因而当使操作压力上升时，能够使空气从电动气动调节器18向导频调节器20的方向流通，而当使操作压力下降时，能够使空气从孔40排出。所以，只有不包含挥发气体成分的空气通过电动气动调节器18，而包含挥发气体成分的空气不通过电动气动调节器18，因而可以进一步抑制电动气动调节器18受到腐蚀。

由于止回阀50由对来自药液的挥发气体成分具有耐腐蚀性的材料形成，因而对于防止含有挥发气体成分的空气向电动气动调节器18的方向流通的止回阀50而言，可以抑制其动作因腐蚀而变得不稳定。

本发明不限于上述实施方式，例如还可以如下实施。

(1)在上述实施方式中，以流量控制装置用于半导体生产线的药液提供的场合作为一个例子进行了说明，但也可以用于除此以外的药液提供中，还可以用于药液以外的流体的流量控制。例如，可以用于药品的生产线、用于化学制品的生产线等，此外作为控制流量的对象的流体不限于液体，还可以是气体。

(2)如果采用对来自药液的挥发气体成分具有耐腐蚀性的材料形成孔40，那么由于可以抑制孔40被挥发气体成分腐蚀，因而可以抑制流过孔40的空气流量发生变化。

(3)在上述实施方式中，虽然电动气动调节器18调整操作压力时使用的气体为空气，但可以采用氮气等其他气体。此处，如果采用可使透过膜片27的挥发气体成分的腐蚀性降低的气体，则可以进一步抑制电动气动调节器18所受到的腐蚀。

(4)在上述实施方式中，虽然具有作为有预定的微小流路面积的缩窄通道的孔40，但是，当采用能够使流路面积变化的可变式缩窄通道作为缩窄通道时，由于缩窄通道被组装后能够对流路面积进行调整，因而可将缩窄通道设定成既使得电动气动调节器18能够进行操作压力的调整又使得空气能够从空气通道15排出的最佳流路面积。作为可变式缩窄通道，例如可以采用针阀。

(5)当空气通道15中在电动气动调节器18和孔40之间设置有使空气只能从电动气动调节器18向导频调节器20的方向流通的止回阀50时，即使通过从孔40排出空气可能使操作压力下降，但操作压力下降时的响应性也有可能下降。

就这一点而言，如图4所示，通过将孔40及止回阀50设置在与电动气动调节器18相比更靠近导频调节器20的位置，可以在操作压力下降时使排出空气的体积变得更小。即，在空气通道16内比止回阀50更靠近导频调节器20侧的体积、以及在分支通道44内比孔40更靠连接部45侧的体积成为操作压力下降时排出空气的对象。所以，即使在具有止回阀50的情况下，也可以抑制操作压力下降时响应性降低。

此外，使空气在导频调节器20和电动气动调节器18之间流通的气体通道不限于连接导频调节器20和电动气动调节器18的空气通道15，也可以是在上述调节器18、20的内部使空气流通的内部通道。因此，如图5所示，例如，如果在导频调节器70的第一盖37上形成孔47，并使空气从空气排出端口39排出，那么能够使孔47靠近导频调节器70的膜片27，并能够在操作压力下降时使排出空气的体积变得更小。此外，通过采用上述结构，包括了导频调节器70的制造将变得容易，而且无需用于设置孔47的冗余空间。换言之，由于孔47设置在导频调节器70的膜片27附近，因而可以使操作压力下降时所排出空气的体积变得更小。此外，如果在采用孔47的同时将止回阀也组装到导频调节器70的第一盖37上，即，将止回阀也设置在导频调节器70的膜片27附近，那么可以在使操作压力下降时所排出空气的体积进一步变小。

(6)在上述实施方式中，在空气通道15内具有止回阀50，但也可以省略该止回阀50。即使在此情况下，也可以一边使电动气动调节器18进行操作压力的调整一边使上述挥发气体成分从孔40排出，从而使通过电动气动调节器18的挥发气体成分的量减少。此外，当含有上述挥发气体成分的空气以比较高的气压状态存在于上述空气通道15内时，即使电动气动调节器18关闭停止，也可以使该空气从孔40排出并减少与电动气动调节器18接触的挥发气体成分的量。

(7)在上述实施方式中，在连接导频调节器20与电动气动调节器18并使空气流通的空气通道15的中间部连接有分支通道41，并且在该分支通道41中包括具有预定的微小流路面积的孔40，但也可以采用例如在空气通道15中形成排出微量空气的狭缝或细微孔等的其他构成。此外，如果具有多个缩窄通道，那么即使通过缩窄通道的数量也可以调整从气体通道排出的气体量。

(8)调整流体流量的第一调节器不限于如上述实施方式中记载的导频调节器20那样构成，只要是具有膜片并通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与另一侧面接触的流体流量的构成即可。另外，即使对于将气体供给到与膜片的一侧面不同的部位来施加操作压力的构成，在被供给的气体在该部位与膜片的一侧面之间流通的情况下，也可以适用本发明并取得效果。

此外，对第一调节器进行调整的第二调节器不限于如上述实施方式中记载的电动气动调节器18那样构成，只要是通过控制第一调节器的气体供给及排出来调整第一调节器的操作压力的构成即可。在这样的构成中，由于伴随着第一调节器的气体供给及排出，气体内包含的挥发气体成分通过第二调节器，因而第二调节器的构成部件有可能会被该挥发气体成分腐蚀。

Claims (15)

1.流量控制装置，包括：

第一调节器，具有膜片，通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与该膜片的另一侧面接触的流体的流量；

第二调节器，通过控制所述气体对所述第一调节器的供给及排出来调整所述操作压力；

气体通道，使所述气体在所述第一调节器与所述第二调节器之间流通；以及

缩窄通道，既使得所述第二调节器能够进行所述操作压力的调整又使得所述气体能够从所述气体通道排出。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，在所述气体通道中，在所述第二调节器与所述缩窄通道之间具有使气体只能从所述第二调节器向所述第一调节器的方向流通的止回阀。

3.根据权利要求2所述的流量控制装置，其特征在于，所述缩窄通道及所述止回阀设置在与所述第二调节器相比更靠近所述第一调节器的位置。

4.根据权利要求3所述的流量控制装置，其特征在于，所述缩窄通道设置在所述第一调节器上。

5.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，所述止回阀设置在所述第一调节器上。

6.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，所述缩窄通道的流路面积是可变的，通过改变该流路面积将所述缩窄通道设为预定的微小流路面积。

7.根据权利要求6所述的流量控制装置，其特征在于，在所述气体通道中，在所述第二调节器与所述缩窄通道之间具有使气体只能从所述第二调节器向所述第一调节器的方向流通的止回阀。

8.根据权利要求7的流量控制装置，其特征在于，所述缩窄通道及所述止回阀设置在与所述第二调节器相比更靠近所述第一调节器的位置。

9.根据权利要求8所述的流量控制装置，其特征在于，所述缩窄通道设置在所述第一调节器上。

10.根据权利要求9所述的流量控制装置，其特征在于，所述止回阀设置在所述第一调节器上。

11.流量控制装置，包括：

第一调节器，具有膜片，通过供给到该膜片的一侧面的气体施加操作压力来调整与该膜片的另一侧面接触的流体的流量；

第二调节器，通过控制所述气体相对于所述第一调节器的供给及排出来调整所述操作压力；

气体通道，使所述气体在所述第一调节器与所述第二调节器之间流通；以及

缩窄通道，与所述气体通道连接且具有预定的微小流路面积。

12.根据权利要求11所述的流量控制装置，其特征在于，在所述气体通道中，在所述第二调节器与所述缩窄通道之间具有使气体只能从所述第二调节器向所述第一调节器的方向流通的止回阀。

13.根据权利要求12的流量控制装置，其特征在于，所述缩窄通道及所述止回阀设置在与所述第二调节器相比更靠近所述第一调节器的位置。

14.根据权利要求13所述的流量控制装置，其特征在于，所述缩窄通道设置在所述第一调节器上。

15.根据权利要求14所述的流量控制装置，其特征在于，所述止回阀设置在所述第一调节器上。

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