CN101680985B - 光学滤波器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种光学滤波器(2)，其位于包含排列的多个传感器像素(12a)的图像传感器(12)上，并包含长板状的透光性基板(4)、层叠在透光性基板上的第1光学滤波层(6)、以及层叠在第1光学滤波层上的第2光学滤波层(8)。透光性基板(4)包含，在传感器像素(12a)的排列方向(X)上较长且位于图像传感器(12)上的受光部(4a)，和包围它的框部(4b)。受光部(4a)具有：位于受光部的长度方向上的一侧的透光区域(41a)、在受光部的长度方向上与透光区域(41a)邻接的第1滤波区域(42a)、和在受光部的长度方向上与第1滤波区域(42a)邻接且夹着第1滤波区域(42a)而位于与透光区域(41a)相反的一侧的第2滤波区域(43a)。第1光学滤波层(6)覆盖第1、2滤波区域(42a、43a)以及框部(4b)，第2光学滤波层(8)覆盖第2滤波区域(43a)和框部(4b)。

Description

光学滤波器
技术领域
本发明涉及光学滤波器。
背景技术
光学滤波器具有仅使规定的波长带域的光透过、并遮住其以外的波长带域的光的功能(以下，称为波长透过特性)，例如，在衍射光栅型分光装置中，配置在对光进行检测的图像传感器(光检测器)之上。在这样的分光装置中，从光源输出的某波长带域的光向样品入射，并且入射的光中透过样品的光被衍射光栅分光。该被分光的光中仅有成为检测对象的波长带域的光透过光学滤波器，并通过图像传感器而被受光、检测。另一方面，检测对象之外的波长带域的光，例如波长比检测对象的光短的2次衍射光、3次衍射光等高次衍射光被光学滤波器遮住，从而完全没有被图像传感器所检测出来。
作为上述的光学滤波器的一例，在下述专利文献1的图3中提出了一种光学滤波器，其构成为：将配置在图像传感器正前方的多个光学滤波器的接合面，相对于构成图像传感器的检测元件(传感器像素)的排列方向而在倾斜的方向上形成，使用粘结剂接合邻接的光学滤波器之间。在下述专利文献1中记载了：在使用这样的光学滤波器的分光装置中，由于在取得的光谱数据中没有产生使光谱特性不正确的明确的差别，因此，可以进行正确的定量·定性分析。
专利文献1：日本特开2005-156343号公报
发明内容
作为与上述专利文献1所示的光学滤波器同样地使光学滤波器之间的边界线相对于传感器像素的排列方向倾斜地交叉、但是具有与上述专利文献1所示的光学滤波器不同的构造的光学滤波器，例如，可以举出图7所示的层叠型光学滤波器70。在层叠型光学滤波器70中，在透光性基板72的表面的一部分上，层叠有具有波长透过特性的第1光学滤波层74。进而，在第1光学滤波层74的表面的一部分上，层叠有与第1光学滤波层74不同的第2光学滤波层76。
在该层叠型光学滤波器70中，透光性基板72和第1光学滤波层74之间的边界线78、以及第1光学滤波层74和第2光学滤波层76之间的边界线80分别相对于传感器像素的排列方向倾斜地交叉，第1光学滤波层74的端部74a以及第2光学滤波层76的端部76a分别成为锐角状。该锐角状的端部74a、76a分别位于透光性基板72的端部，因此，存在因外力或随时间的劣化而易于剥离的问题。
本发明是鉴于上述现有技术中存在的问题而完成的，其目的在于提供能够抑制光学滤波层的剥离的光学滤波器。
为了解决上述问题，本发明的光学滤波器是，配置在具有排列的多个传感器像素的图像传感器之上的光学滤波器；该光学滤波器具有长板状的透光性基板、层叠在透光性基板上的第1光学滤波层、和层叠在第1光学滤波层上的第2光学滤波层；透光性基板具有，在多个传感器像素的排列方向上较长且位于图像传感器的正上方的受光部、和包围受光部的框部；受光部具有，位于受光部的长度方向上的一侧的透光区域、在受光部的长度方向上与透光区域邻接的第1滤波区域、在受光部的长度方向上与第1滤波区域邻接且夹着第1滤波区域而位于与透光区域相反的一侧的第2滤波区域；第1光学滤波层以覆盖第1滤波区域、第2滤波区域以及框部的方式进行层叠，第2光学滤波层以覆盖第2滤波区域以及框部的方式进行层叠。
在上述的本发明中，第1光学滤波层和透光性基板不仅在第1滤波区域相互紧贴，而且在框部和第2滤波区域也紧贴，因此，第1光学滤波层和透光性基板紧贴的部分的面积比现有技术的大。进而，在第1光学滤波层上，第2光学滤波层在框部从上开始层叠。其结果，第1光学滤波层相比于现有技术更强固地固定于透光性基板，因此，能够抑制因外力或随时间的劣化第1光学滤波层从透光性基板上剥离的现象。
另外，在上述的本发明中，第2光学滤波层和第1光学滤波层不仅在第2滤波区域相互紧贴，而且在框部也紧贴。其结果，第2光学滤波层相比于现有技术更强固地固定于第1光学滤波层，因此，能够抑制因外力或随时间的劣化第2光学滤波层从第1光学滤波层上剥离的现象。
进而，在上述的本发明中，在包围受光部的框部上也依次层叠第1光学滤波层和第2光学滤波层，因此，与图7所示的层叠型光学滤波器70相对照，露出于受光部内的第1光学滤波层的端部、以及露出于受光部内的第2光学滤波层的端部不会尖锐地成为锐角状。其结果，即使在使透光区域和第1滤波区域之间的边界线、以及第1滤波区域和第2滤波区域之间的边界线分别相对于多个传感器像素的排列方向倾斜地交叉的情况下，相比于图7所示的层叠型光学滤波器70的情况，第1光学滤波层的端部和第2光学滤波层的端部也更难以剥离。
上述光学滤波器也可以是：还具有层叠在第2光学滤波层上的第3光学滤波层，受光部还具有第3滤波区域，该第3滤波区域在受光部的长度方向上与第2滤波区域邻接、且夹着第2滤波区域而位于与第1滤波区域相反的一侧，第1光学滤波层以覆盖第1滤波区域、第2滤波区域、第3滤波区域以及框部的方式进行层叠，第2光学滤波层以覆盖第2滤波区域、第3滤波区域以及框部的方式进行层叠，第3光学滤波层以覆盖第3滤波区域以及框部的方式进行层叠。
光学滤波器通过还具有第3光学滤波层以及第3滤波区域，从而可以遮住在第1光学滤波层以及第2光学滤波层中未被遮掉的波长带域的光。
另外，第3光学滤波层以及第2光学滤波层不仅在第3滤波区域相互紧贴，而且在框部也紧贴。其结果，第3光学滤波层强固地固定于第2光学滤波层，因此，能够抑制因外力或随时间的劣化第3光学滤波层从第2光学滤波层上剥离的现象。
在上述的光学滤波器中，优选透光性基板还具有包围框部的缘部。另外，优选缘部是露出的。
即使在向光学滤波器作用外力的情况下，也能够通过缘部而保护受光部和框部免受外力的影响。另外，在透光性基板中比较容易产生碎屑的缘部上不层叠各光学滤波层，通过使缘部露出，降低在缘部产生的碎屑引起各光学滤波层的剥离的可能性。
在上述的光学滤波器中优选：透光区域和第1滤波区域之间的边界线、以及第1滤波区域和第2滤波区域之间的边界线在图像传感器的正上方相对于多个传感器像素的排列方向倾斜地交叉。另外，优选第2滤波区域和第3滤波区域之间的边界线也在图像传感器的正上方相对于多个传感器像素的排列方向而倾斜地交叉。
如果透光区域和第1滤波区域之间的边界线、第1滤波区域和第2滤波区域之间的边界线、以及第2滤波区域和第3滤波区域之间的边界线分别相对于多个传感器像素的排列方向倾斜地交叉，则各个边界线分别横切2个以上的传感器像素的正上方。其结果，在光学滤波器的各滤波区域的边界，即使在光透过率降低的情况下，相比于各边界线分别横切单一的传感器像素的正上方的情况，也能够缓和每一个传感器像素中的输出的降低。
在上述的光学滤波器中，可以在透光区域露出透光性基板。
根据本发明能够抑制光学滤波器中的光学滤波层的剥离。
附图说明
图1为具有本发明的一个实施方式的光学滤波器的图像传感器的概略分解立体图。
图2为从受光部侧看到的图1所示的光学滤波器的概略图。
图3为图2所示的光学滤波器的沿III-III线的概略剖面图。
图4为从受光部侧看到的本发明的一个实施方式的光学滤波器所具有的透光性基板的概略图。
图5为从受光部侧看到的本发明的其它实施方式的光学滤波器的概略图。
图6为从受光部侧看到的本发明的其它实施方式的光学滤波器所具有的透光性基板的概略图。
图7为不具有框部的层叠型光学滤波器的概略立体图。
符号的说明
2…光学滤波器、4…透光性基板、4a…受光部、4b…框部、4c…缘部、6…第1光学滤波层、8…第2光学滤波层、10…第3光学滤波层、12…图像传感器、12a…传感器像素、41a…透光区域、42a…第1滤波区域、43a…第2滤波区域、44a…第3滤波区域、45…透光区域和第1滤波区域的边界线、46…第1滤波区域和第2滤波区域的边界线、47…第2滤波区域和第3滤波区域的边界线。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选的一个实施方式进行详细说明。但是，本发明不限于以下的实施方式。在此，在对于图的说明中，对同一或相当的要素标记同一符号，省略重复的说明。
如图1～3所示，光学滤波器2具有长板状的透光性基板4、层叠在透光性基板4上的第1光学滤波层6、和层叠在第1光学滤波层6上的第2光学滤波层8。该光学滤波器2配置在图像传感器12之上，图像传感器12具有在透光性基板4的长度方向X上排列的多个传感器像素12a。另外，在图1中，为了说明的方便，光学滤波器2相对于图像传感器12是分离的，但是，实际上，光学滤波器2嵌合在设置于图像传感器12的凹部中。
作为构成透光性基板4的材料通常使用玻璃板。透光性基板4的尺寸通常为：长度方向X上的长度为20～40mm左右、宽度方向上的长度为4～8mm左右、厚度为0.5～3mm左右。
第1光学滤波层6和第2光学滤波层8为具有相互不同的波长透过性的电介质多层膜。作为电介质多层膜的材料，可以根据分别透过第1光学滤波层6和第2光学滤波层8的光的波长带域进行适当选择，但是，通常使用MgF2、SiO2等的低折射率材料、Al2O3等的中折射率材料、以及ZrO2、TiO2等的高折射率材料等。第1光学滤波层6的沿层叠方向Z的层厚度通常为0.1～1μm左右。另外，第2光学滤波层8的沿层叠方向Z的层厚度通常为0.1～1μm左右。
作为图像传感器12，通常使用作为传感器像素12a而具有光电二极管的CMOS传感器等。传感器像素12a的尺寸为例如：节距为50μm以下、像素高度(传感器像素12a的沿长度方向Y的长度)为0.5mm左右，排列的传感器像素12a的数量为128～1024个左右。
如图4所示，透光性基板4具有矩形的受光部4a和包围受光部4a的框部4b。入射光从透光性基板4的受光部4a侧向光学滤波器2入射，入射光中的一部分的波长带域的光被遮住，其它的波长带域的光向图像传感器12侧透过。在此，框部4b的宽度W1通常为1～3mm左右。
透光性基板4优选还具有包围框部4b的缘部4c。另外，优选缘部4c不被光学滤波层覆盖而是露出的。缘部4c的宽度W2通常为0.05～1mm左右。
受光部4a具有透光区域41a、第1滤波区域42a和第2滤波区域43a。透光区域41a位于受光部4a的长度方向的一侧。另外，第1滤波区域42a在受光部4a的长度方向上与透光区域41a邻接。另外，第2滤波区域43a在受光部4a的长度方向上与第1滤波区域42a邻接、且夹着第1滤波区域42a而位于与透光区域41a相反的一侧。该受光部4a在多个传感器像素12a的排列方向X上较长，并且位于图像传感器12的正上方。在此，透光区域41a、第1滤波区域42a和第2滤波区域43a的各个面积相互大致相等。
优选，透光区域41a和第1滤波区域42a的边界线45、以及第1滤波区域42a和第2滤波区域43a的边界线46在图像传感器12的正上方相对于多个传感器像素12a的排列方向X倾斜地交叉。边界线45、46分别与传感器像素12a的排列方向X所成的角度θ1、θ2通常分别为70度左右。另外，边界线45、46通常相互平行。
第1光学滤波层6以覆盖第1滤波区域42a、第2滤波区域43a和框部4b的方式进行层叠。第2光学滤波层8以覆盖第2滤波区域43a和框部4b的方式进行层叠。在此，透光区域41a可以是不被光学滤波层覆盖而露出的形态，或者也可以是被光学滤波层覆盖的形态，但是，在本实施方式中是露出的形态。
上述的光学滤波器2和图像传感器12例如在衍射光栅型分光装置中作为高次光截止滤波器和光检测器使用。
其次，对上述的光学滤波器2的制造方法进行说明。在本实施方式中，通过剥离(lift off)法制造光学滤波器2。
首先，准备图4的透光性基板4。接着，在以覆盖透光性基板4的透光区域41a和缘部4c的方式施以由光刻胶(photoresist)得到的掩模之后，通过真空镀膜、喷溅或者CVD等，以覆盖透光性基板4的受光部4a侧的整个面的方式形成第1光学滤波层6。接着，使用丙酮等的溶剂除去由光刻胶得到的掩模，剥离覆盖由光刻胶得到的掩模的第1光学滤波层6。由此，第1光学滤波层6以仅覆盖第1滤波区域42a、第2滤波区域43a和框部4b的方式层叠在透光性基板4上。
接着，在以覆盖透光区域41a、层叠在第1滤波区域42a上的第1光学滤波层6、和缘部4c的方式施以由光刻胶得到的掩模之后，以覆盖透光性基板4的受光部4a侧的整个面的方式形成第2光学滤波层8。接着，除去由光刻胶得到的掩模，剥离覆盖由光刻胶得到的掩模的第2光学滤波层8。由此，第2光学滤波层8以仅覆盖第2滤波区域43a和框部4b的方式层叠在第1光学滤波层6上。
如以上所述，完成了本实施方所涉及的光学滤波器2。
在上述的实施方式中，第1光学滤波层6和透光性基板4不仅在第1滤波区域42a上相互紧贴，而且在框部4b和第2滤波区域43a上也紧贴，因此，第1光学滤波层6和透光性基板4紧贴的部分的面积比现有技术的大。进而，第1光学滤波层6在框部4b和第2滤波区域43a上被第2光学滤波层8从上覆盖。其结果，第1光学滤波层6相比现有技术更强固地固定于透光性基板4，因此，能够抑制因外力或随时间的劣化第1光学滤波层6从透光性基板4上剥离的现象。
另外，在上述的实施方式中，第2光学滤波层8和第1光学滤波层6不仅在第2滤波区域43a相互紧贴，而且在框部4b也紧贴。其结果，第2光学滤波层8相比现有技术更强固地固定于第1光学滤波层6，因此，能够抑制因外力或随时间的劣化第2光学滤波层8从第1光学滤波层6上剥离的现象。
进而，在本实施方式的光学滤波器2中，在包围受光部4a的框部4b上也依次层叠有第1光学滤波层6和第2光学滤波层8，因此，与图7所示的层叠型光学滤波器70相对照，露出于受光部4a内的第1光学滤波层6的端部、以及露出于受光部4a内的第2光学滤波层8的端部不会分别尖锐地成为锐角状。其结果，即使在使透光区域41a和第1滤波区域42a之间的边界线45、以及第1滤波区域42a和第2滤波区域43a之间的边界线46分别相对于多个传感器像素12a的排列方向X倾斜地交叉的情况下，相比于图7所示的层叠型光学滤波器70的情况，第1光学滤波层6的端部和第2光学滤波层8的端部也更难以剥离。
另外，在上述实施方式中，即使在向光学滤波器2作用外力的情况下，也能够通过缘部4c而保护受光部4a和框部4b免受外力的影响。另外，在透光性基板4中比较容易产生碎屑(chipping)的缘部4c上没有层叠各光学滤波层而使缘部4c露出，从而降低在缘部4c产生的碎屑引起各光学滤波层的剥离的可能性。
另外，在上述实施方式中，透光区域41a和第1滤波区域42a之间的边界线45、以及第1滤波区域42a和第2滤波区域43a之间的边界线46相对于多个传感器像素12a的排列方向X倾斜地交叉，因此，各边界线45、46分别横切2个以上的传感器像素的正上方。其结果，在光学滤波器2的各滤波区域42a、43a的边界线45、46，即使在光的透过率较低的情况下，相比于各边界线45、46分别横切单一的传感器像素12a的正上方的情况，也能够缓和每一个传感器像素中的输出的降低。
另外，在上述实施方式中，在透光区域41a和第1滤波区域42a的边界、以及第1滤波区域42a和第2滤波区域43a的边界不存在粘结剂。其结果，相比于在边界存在粘结剂的情况，透光区域41a和第1滤波区域42a的边界上的光透过率提高，位于透光区域41a和第1滤波区域42a的边界的正下方的传感器像素12a的输出(光的检测强度)也提高。同样地，第1滤波区域42a和第2滤波区域43a的边界上的光的透过率提高，位于第1滤波区域42a和第2滤波区域43a的边界的正下方的传感器像素12a的输出(光的检测强度)也提高。
另外，本实施方式的光学滤波器2具有使透光性基板4、第1光学滤波层6、以及第2光学滤波层8层叠的多段构造，因此，相比于通过在透光性基板上相互邻接地形成多个光学滤波层而形成各个滤波区域的情况，透光区域41a、第1滤波区域42a、以及第2滤波区域43a的边缘变得尖锐。这是由于：通过多段构造，形成第1光学滤波层6和第2光学滤波层8时的各光学滤波层的边缘的塌角的影响变小，另外，根据透光区域41a、第1滤波区域42a、以及第2滤波区域43a的校正(alignment)的精度而难以改变边缘的尖锐度。
以上，对本发明的优选的实施方式进行了详细说明，但是，本发明不限于上述实施方式。
例如，在上述的实施方式中，通过剥离法制造光学滤波器2，但是，也可以通过周知的蚀刻法来依次形成第1光学滤波层6和第2光学滤波层8，从而制造光学滤波器2。
另外，上述的光学滤波器2可以不具有缘部4c。在该情况下，与上述的实施方式大致同样地，也能够抑制各光学滤波层的剥离。
另外，如图5、6所示，上述实施方式的光学滤波器2还可以是：还具有层叠在第2光学滤波层8上的第3光学滤波层10，受光部4a还具有第3滤波区域44a，该第3滤波区域44a在受光部4a的长度方向上与第2滤波区域43a邻接、且夹着第2滤波区域43a而位于与第1滤波区域42a相反的一侧。在该情况下，第1光学滤波层6以覆盖第1滤波区域42a、第2滤波区域43a、第3滤波区域44a、以及框部4b的方式进行层叠。另外，第2光学滤波层8以覆盖第2滤波区域43a、第3滤波区域44a、以及框部4b的方式进行层叠。另外，第3光学滤波层10以覆盖第3滤波区域44a以及框部4b的方式进行层叠。在此，第3光学滤波层10通常为具有与第1光学滤波层6和第2光学滤波层8不同的波长透过特性的电介质多层膜。另外，透光区域41a、第1滤波区域42a、第2滤波区域43a和第3滤波区域44a的各个面积相互大致相等。
光学滤波器2通过还具有上述的第3光学滤波层10和第3滤波区域44a，从而可以遮住未被第1光学滤波层6和第2光学滤波层8遮掉的波长带域的光。
另外，即使在光学滤波器2还具有上述的第3光学滤波层10的情况下，与上述实施方式同样地，也能够抑制第1光学滤波层6和第2光学滤波层8的剥离。进而，第3光学滤波层10和第2光学滤波层8不仅在第3滤波区域44a上相互紧贴，而且在框部4b上也紧贴，因此，第3光学滤波层10强固地固定于第2光学滤波层8上，能够抑制因外力或随时间的劣化第3光学滤波层10从第2光学滤波层8上剥离的现象。
另外，在光学滤波器2中，在包围受光部4a的框部4b上也层叠有第3光学滤波层10，因此，与图7所示的层叠型光学滤波器70相对照，露出于受光部4a内的第3光学滤波层10的端部不会尖锐地成为锐角状。其结果，即使在使第2滤波区域43a和第3滤波区域44a之间的边界线47相对于多个传感器像素12a的排列方向X倾斜地交叉的情况下，相比于图7所示的层叠型光学滤波器70的情况，第3光学滤波层10的端部也更难以剥离。
另外，在第2滤波区域43a和第3滤波区域44a的边界上不存在粘结剂，相比于在边界上存在粘结剂的情况，第2滤波区域43a和第3滤波区域44a的边界上的光透过率提高。因此，位于第2滤波区域43a和第3滤波区域44a的边界的正下方的传感器像素12a的输出也提高。
在此，在光学滤波器2还具有第3光学滤波层10的情况下，优选第2滤波区域43a和第3滤波区域44a的边界线47在图像传感器12的正上方相对于多个传感器像素12a的排列方向X倾斜地交叉。而且，边界线45、46和47通常相互平行。
如果将第2滤波区域43a和第3滤波区域44a之间的边界线47相对于多个传感器像素12a的排列方向X倾斜地交叉，则边界线47横切2个以上的传感器像素12a的正上方。其结果，在光学滤波器2的第2滤波区域43a和第3滤波区域44a之间的边界线47，即使在光透过率降低的情况下，相比于边界线47横切单一的传感器像素12a的正上方的情况，也能够缓和每一个传感器像素中的输出的降低。
上述的光学滤波器2不仅具有第1光学滤波层6、第2光学滤波层8和第3光学滤波层10，还可以具有多个其它的光学滤波层，另外，透光性基板4的受光部4a不仅具有第1滤波区域42a、第2滤波区域43a和第3滤波区域44a，还可以具有多个其它的滤波区域。在该情况下，如果假设在光学滤波器2上依次层叠有n层(n为3以上的整数)的不同的光学滤波层，另外，透光性基板4的受光部4a从位于其长度方向的一侧的透光性区域41a开始向长度方向的相反的一侧具有依次排列的n个滤波区域，那么，能够将光学滤波器2的构造如下所述地一般化。即，在光学滤波器2中，在透光性基板4a上以覆盖第1～第n滤波区域和框部4b的方式层叠第1光学滤波层。另外，在第(i-2)光学滤波层上以覆盖第(i-1)～第n滤波区域和框部4b的方式层叠第(i-1)光学滤波层(i为3以上n以下的任意的整数)。另外，在第(i-1)光学滤波层上以覆盖第i～第n滤波区域和框部4b 的方式层叠第i光学滤波层。即使在这样的情况下，与上述实施方式同样地，也能够抑制各个光学滤波层的剥离。
另外，在上述的实施方式中，在与透光性基板的图像传感器相反的一侧的面上形成光学滤波层，但是，也可以在与透光性基板的图像传感器相同的一侧的面上形成光学滤波层。

Claims (6)

1.一种光学滤波器，其特征在于，
所述光学滤波器配置在具有排列的多个传感器像素的图像传感器之上，
所述光学滤波器具有：
长板状的透光性基板；
层叠在所述透光性基板上的第1光学滤波层；
层叠在所述第1光学滤波层上的第2光学滤波层；和
层叠在所述第2光学滤波层上的第3光学滤波层，
所述透光性基板具有：在所述多个传感器像素的排列方向上较长且位于所述图像传感器的正上方的受光部，和包围所述受光部的框部，
所述受光部具有：
位于所述受光部的长度方向上的一侧的透光区域；
在所述受光部的长度方向上与所述透光区域邻接的第1滤波区域；
在所述受光部的长度方向上与所述第1滤波区域邻接、且夹着所述第1滤波区域而位于与所述透光区域相反的一侧的第2滤波区域；和
在所述受光部的长度方向上与所述第2滤波区域邻接、且夹着所述第2滤波区域而位于与所述第1滤波区域相反的一侧的第3滤波区域，
所述第1光学滤波层以覆盖所述第1滤波区域、所述第2滤波区域、所述第3滤波区域以及所述框部的方式进行层叠，
所述第2光学滤波层以覆盖所述第2滤波区域、所述第3滤波区域以及所述框部的方式进行层叠，
所述第3光学滤波层以覆盖所述第3滤波区域以及所述框部的方式进行层叠。
2.根据权利要求1所述光学滤波器，其特征在于，
所述透光性基板还具有包围所述框部的缘部。
3.根据权利要求1或2所述光学滤波器，其特征在于，
所述透光区域和所述第1滤波区域之间的边界线、以及所述第1滤波区域和所述第2滤波区域之间的边界线在所述图像传感器的正上方相对于所述多个传感器像素的排列方向倾斜地交叉。
4.根据权利要求1或2所述光学滤波器，其特征在于，
所述第2滤波区域和所述第3滤波区域之间的边界线在所述图像传感器的正上方相对于所述多个传感器像素的排列方向倾斜地交叉。
5.根据权利要求1或2所述光学滤波器，其特征在于，
在所述透光区域所述透光性基板是露出的。
6.根据权利要求2所述光学滤波器，其特征在于，
所述缘部是露出的。
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