CN101655427B - 一种锗单晶片位错腐蚀检测方法 - Google Patents
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CN1796968A (zh) * | 2004-12-27 | 2006-07-05 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 大尺寸砷化镓单晶结构的缺陷检测方法 |
Non-Patent Citations (5)
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S. G. ELIJS.Surface Studies on Single‐Crystal Germanium.《Journal of Applied Physics》.1957,第28卷(第11期),1262-1269. * |
S. G. ELLIS.Dislocations in germanium.《Journal of Applied Physics》.1955,第26卷(第9期),1140-1146. * |
余怀之等.锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法.《锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法 GB/T 5252-2006》.2006,1-6. * |
冯德伸等.4英寸低位错锗单晶生长.《稀有金属》.2008,第32卷(第1期),34-37. * |
李楠等.Ge单晶中的位错形态腐蚀.《中国有色金属学报》.2005,第15卷407-410. * |
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