CN101653972A - 工作台摆动机构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种工作台摆动机构，它包括驱动电机、切割工作台和底座，所说切割工作台下部与底座铰接，驱动电机的壳体与底座铰接，切割工作台的一侧固定有一摆臂，摆臂与驱动电机的电机轴间设置有螺旋传动装置，且螺旋传动装置中的螺母与摆臂铰接，螺杆与电机的电机轴固定。使用本发明动作灵活、使用方便，摆臂的铰轴由两对轴承支撑，摩擦小，旋转精度高，寿命长；在电机座和螺母座的上端面设计有注油孔，平时用紧定螺钉密封，需要润滑时将螺钉取出，滴入润滑油，方便快捷。同时本机构结构简单紧凑，体积小，工作的可靠性和稳定性高，且成本较低，降低了设备制造和用户的使用成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种工作台摆动机构，特别是一种适用于半导体专用设备的工作台摆动机构。
背景技术
半导体专用设备在切割较硬材料的过程中，需要切割线相对工作台摆动，可以增加材料的去除率，降低线的磨损，提高加工表面的质量。常见的摆动装置是切割线摆动，由电机带动摆动板上的导向滑轮上下摆动，由于摆动板的运动惯量较大，不易控制，常常导致材料被切割表面的质量不稳定。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种使用方便、结构简单、易于操作的工作台摆动机构。
本发明解决上述问题所采用的技术方案如下：
本发明包括驱动电机、切割工作台和底座，其特征是所说切割工作台下部与底座铰接，驱动电机的壳体与底座铰接，切割工作台的一侧固定有一摆臂，摆臂与驱动电机的电机轴间设置有螺旋传动装置，且螺旋传动装置中的螺母与摆臂铰接，螺杆与电机的电机轴固定。
本发明所说切割工作台下部与底座铰接是切割工作台下部设铰轴与一固定座铰接，固定座与底座固定；所说驱动电机的壳体与底座铰接是驱动电机的壳体与一电机座固定，电机座设铰轴与底座铰接。
本发明所说螺杆与电机的电机轴固定是螺杆下端与电机轴间设有联轴器连接。
本发明所说螺母与摆臂铰接是螺母与一螺母座固定，螺母座设铰轴与摆臂端部铰接。
本发明所说螺母座上设有供铰轴润滑的注油孔。
本发明所说电机座上设有供铰轴润滑的注油孔。
本发明的有益效果：使用本发明动作灵活、使用方便，整个机构采用螺旋传动装置和摆杆装置，可用较小功率和较小惯量的驱动电机带动切割工作台摆动，可以切割大尺寸的半导体材料；螺杆轴承和步进电机均安装在电机座内，在加工时可很好的保证同轴度；摆臂的铰轴由两对轴承支撑，摩擦小，旋转精度高，寿命长；在电机座和螺母座的上端面设计有注油孔，平时用紧定螺钉密封，需要润滑时将螺钉取出，滴入润滑油，方便快捷。同时本机构结构简单紧凑，体积小，工作的可靠性和稳定性高，且成本较低，降低了设备制造和用户的使用成本。
附图说明
附图1为本发明一种实施例的主视结构示意图；
附图2为图1的A-A剖面结构示意图；
附图3为本发明的机械原理图。
在附图中：1驱动电机、2电机座、3联轴器、4底座、5铰轴、6螺杆、7螺母座、8铰轴、9摆臂、10铰轴、11固定座、12切割工作台、13螺母、14注油孔、15注油孔。
具体实施方式
下面将结合实施例附图对本发明作进一步详述：
参见附图，驱动电机1通过联轴器3与螺杆6的下轴端联结，驱动电机1通过螺钉安装在电机座2的下阶梯孔内，螺杆6靠轴承支撑在电机座2的上阶梯孔内，电机座2通过两个铰轴5支撑在底座4右端的方孔内，铰轴5通过螺钉固定在底座4右端两侧，螺母座7通过两个铰轴8支撑在摆臂9的前端，铰轴8通过螺钉固定在摆臂9右端两侧，摆臂9通过胀套固定在铰轴10上，铰轴10为阶梯轴，通过轴承支撑在固定座11中，固定座11通过螺钉固定在底座4上，摆臂9的上端面通过螺钉与切割工作台12相连。
电机座2可通过铰轴5绕底座4摆动，螺母座7可通过铰轴8绕摆臂9摆动；电机座2和螺母座7上端面上均分别设有注油孔15、14。
本发明由驱动电机1提供动力，通过摆杆装置和螺旋传动装置带动切割工作台12摆动，以完成对晶片的旋转切割。通过调节驱动电机1的旋转速度和角度，可以调节切割工作台12的摆动角度和频率。本机构的螺旋传动装置既可采用滑动螺旋传动装置，也可采用滚动螺旋传动装置。
Claims (6)
1、一种工作台摆动机构，它包括驱动电机、切割工作台和底座，其特征是所说切割工作台(12)下部与底座(4)铰接，驱动电机(1)的壳体与底座(4)铰接，切割工作台(12)的一侧固定有一摆臂(9)，摆臂(9)与驱动电机(1)的电机轴间设置有螺旋传动装置，且螺旋传动装置中的螺母(13)与摆臂(9)铰接，螺杆(6)与电机(1)的电机轴固定。
2、根据权利要求1所述的工作台摆动机构，其特征是所说切割工作台(12)下部与底座(4)铰接是切割工作台(12)下部设铰轴(10)与一固定座(11)铰接，固定座(11)与底座(4)固定；所说驱动电机(1)的壳体与底座(4)铰接是驱动电机(1)的壳体与一电机座(2)固定，电机座(2)设铰轴(5)与底座(4)铰接。
3、根据权利要求1所述的工作台摆动机构，其特征是所说螺杆(6)与电机(1)的电机轴固定是螺杆(6)下端与电机轴间设有联轴器(3)连接。
4、根据权利要求1所述的工作台摆动机构，其特征是所说螺母(13)与摆臂(9)铰接是螺母(13)与一螺母座(7)固定，螺母座(7)设铰轴(8)与摆臂(9)端部铰接。
5、根据权利要求4所述的工作台摆动机构，其特征是所说螺母座(7)上设有供铰轴(8)润滑的注油孔(14)。
6、根据权利要求2所述的工作台摆动机构，其特征是所说电机座(2)上设有供铰轴(5)润滑的注油孔(15)。
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