CN101626875A - 脆性材料板的边加工装置和方法 - Google Patents

Abstract

一种用于加工脆性材料板，诸如玻璃板的边的装置(10)，该装置包括用来将研磨颗粒流(26)对准脆性材料板(14)的边(12)的至少一个喷嘴(24)。该装置还包括安装在该装置(10)附近的擦拭设备(54)，该擦拭装置使用由槽(56)发射的压缩空气(58)来阻止边加工过程中产生的微粒沉积在脆性材料板的表面上，该装置还包括收集微粒的屏蔽罩(60)。

Description

脆性材料板的边加工装置和方法

技术领域

本发明涉及一种加工脆性材料板的边的装置和方法。更具体地说，本发明涉及一种将诸如可在平面显示器中使用的玻璃板之类的脆性材料板的边弄圆的装置和方法。

背景技术

液晶显示器(LCDS)是被动的平面显示器，它依靠外部光源来照明。它们制造成分段的显示器或制造成两种基本构造之一，并且在某种基本的意义上包括一种夹在两个基底之间的液晶材料。基底需要(除了透明和能够经受得住在显示器加工过程中所暴露于的化学条件之外)两种类型的根据寻址矩阵的变化。第一种类型是内在矩阵寻址的，取决于液晶材料的临界性能。第二种是外来矩阵或有源矩阵(AM)寻址的，其中一排二极管、金属-绝缘体-金属(MIM)器件或薄膜晶体管(TFT)给每个像素提供电子开关。在这两种情况下，两个玻璃板形成显示器的结构，并且关于表面质量的要求是严格的。两个玻璃板之间的间距是关键间隙尺寸，约在5-10μm。单独的玻璃基底板一般在厚度上小于大约0.7mm。

加工需要高质量的表面精整的玻璃板，就像在平面显示器中使用的那些玻璃板，通常包括把玻璃板切成期望的形状并且然后研磨和/或抛光切割下的玻璃板的边以去除任何尖锐的角。现今研磨和抛光步骤通常在一种称作双修边机或双边加工机器的装置上完成，该机器的研磨/抛光轮具有围绕其周缘的凹槽。这些双边加工机器是已知的并且可在市场上购得。卖主包括如半岛纪子有限公司(Bando Kiko Co.，Ltd.)、三菱重工(Mitsubishi Heavy Industries)、福山有限公司(Fukuyama Co.，)和玻璃机械工程(Glass Machinery Engineering)之类的公司。

在使用双边加工机器研磨和抛光玻璃板各边的过程中，一般必须约束玻璃板以保持玻璃板对于研磨轮施加的摩擦力。通常采用的方法是通过把玻璃板夹紧或夹入在两个氯丁橡胶或橡胶带之间。当通过一般包括多个成形凹槽的磨轮来研磨或抛光玻璃板的各边时，带子接触玻璃板的两个表面并且一起将玻璃板保持在适当的位置。带子还将玻璃板输送通过机器的进料部分、机器的研磨或抛光部分以及机器的末端部分。

这种使用双边加工机器来夹持、加工和传送玻璃板的方法有几个缺点。第一，在边加工(例如研磨)过程中产生的颗粒可能是玻璃板表面上的主要污染源。于是，在精整工艺的结束时玻璃板需要大量的洗涤和烘干以去除产生的颗粒。当然，在精整工艺的结束时额外的洗涤和烘干步骤会影响精整生产线的原始成本并且增加制造成本。第二，捕获的带子和玻璃板之间的颗粒和碎屑会严重损坏玻璃板的各表面。有时，这一损坏在接下来的加工步骤中可能成为破裂原因并且由于能装货运向客户的可挑选的(好玻璃)的数量降低而导致较低的加工产量。

此外，如果要使工艺稳定，使用磨轮研磨或抛光边需要频繁维护。第一，必须频繁地修整磨轮以保持适当的研磨边形状和保持研磨的效率。第二，当工作凹槽磨坏时应将玻璃板与另一凹槽对准。最后，当用完了所有的凹槽时，必须更换磨轮。如人们会理解的，尽管采取了这些预防措施，但由于研磨产生的工艺可变性意味着研磨边的强度会发生变化。此外，与这些维护相关的停机时间会增加生产成本。

为了解决至少这些所关注问题中的一些，可通过塑料膜保护玻璃板的表面来帮助阻止损坏和污染。但是，如果能消除或至少把污染源减到最少，那么就不再需要塑料膜并且这将减少精整工艺的成本和复杂性。

美国专利公报US2005/0090189描述了一种用于研磨和/或抛光玻璃板的边的工艺和装置，在其中通过对置的多孔板分配压缩空气来防止边加工产生的微粒污染玻璃板，因此不再需要塑料覆层。尽管采用了这种改进方式，然而，多孔板经受低空气流，这限制了板防止微粒污染的效果。此外，在低空气流率下，为得到有效的密封，板必须相对宽，因而增加了悬伸于玻璃支承件并且保持在各板之间的玻璃量。对于薄的玻璃板，诸如在LCD显示设备上使用的，由于过度悬伸而产生的振动会导致不可接受地粗糙的加工边。

因此，需要一种装置和方法，它是相对免于维护的，并且可帮助防止在边精整过程产生的颗粒和其它污染物污染或损坏脆性材料板的两个表面，而提供清洁的、无屑的加工边。此外，将产生的颗粒水平减到最少将会减少下游洗涤设备的负担。通过本发明的装置和方法可满足这些和其它需要。

发明内容

熔融下拉法能够生产薄(厚度上小于大约0.7mm的量级)、原始的且对发展中的发光平板显示器工业来说是理想的玻璃板。玻璃板形成操作的下游制造步骤，诸如精整玻璃板的各边，可能会使玻璃板被在边加工过程中产生的玻璃微粒所污染。因此一个需要考虑的问题是消除这样的污染，或通过减少污染物的产生，或通过利用有效的去除污染物的方法。因此，本发明实施例提供了一种在更新和保持脆性材料板，较佳的是玻璃材料板的原始特性的同时加工脆性材料板的边的方法和装置。

本发明实施例的优点包括：消除如原来例如为了矫正常规的研磨轮而必须的设备停机时间；通过使用封闭系统减少污染；减少否则会通过磨轮施加的施加在玻璃板上的力，尤其是对很薄的玻璃板是有益的；并且，随施加在玻璃上的力的减小，需要用来约束玻璃板的力也减小。

简而言之，特别是方法和装置的实施例可如这里描述的那样来实施。尽管描述的装置和方法可应用于多种材料，在下文中以玻璃板应用背景来的不同实施例。

在根据本发明的一个实施例中，公布了一种加工脆性材料板的边的装置，该装置包括用于将夹带在流体中的研磨颗粒流指向朝着边的方向的至少一个喷嘴，和设置成与边相邻的擦拭设备，该擦拭设备从至少一个槽发射压缩空气以基本上阻止研磨颗粒附着在脆性材料板的表面上。

在另一个实施例中，提供了一种加工脆性材料板的边的方法，该方法包括：通过将来自喷嘴的至少一股研磨颗粒流对准所要加工的脆性材料板的边来在脆性材料板的边上形成弧形表面，至少一个研磨颗粒流具有平均磨粒尺寸，将来自至少一个槽的压缩空气流对准脆性材料板的边以基本上阻止研磨颗粒附着到脆性材料板上，并且其中至少一个喷嘴的纵向轴线与包含脆性材料板的表面的平面形成在0和60度之间的角度。

在以下说明性描述的过程中，会更易于理解本发明，并且本发明的其它目的、特征、细节和优点会变得更明显直观，该说明性描述没有以任何方式暗示局限性地参考附图给出。这里的意图是所有这些附加系统、方法特点和优点都包括在本描述中，在本发明的范围之内，并受到随附的权利要求的保护。

附图说明

图1是本发明实施例的侧剖视图，显示与正在加工的玻璃板相关的浆料射流喷嘴。

图2是图1所示的正在加工的玻璃板的特写侧剖视图。

图3是随喷嘴角度变化的研磨表面的曲率半径和玻璃去除的图。

图4是说明测量玻璃去除的方法的玻璃板试样的立体图。

图5是随用来加速浆料的空气压力变化的曲率半径和玻璃去除的图。

图6是显示对于在研磨表面和喷嘴出口孔之间的两个不同间距玻璃去除随空气压力变化的图。

图7是对于在研磨表面和喷嘴出口孔之间的两个不同间距随空气压力变化的研磨表面的曲率半径的图。

图8是对于在研磨表面和喷嘴出口孔之间的两个不同间距随空气压力变化的研磨表面的曲率半径的图。

图9是对于在研磨表面和喷嘴出口之间的两个不同间距随喷头(浆料射流喷嘴)相对于玻璃板的速度变化的玻璃去除的图。

图10是对于在浆料射流喷嘴和玻璃板之间的三个不同角度随喷头速度变化的研磨表面的曲率半径的图。

图11是对于两个不同磨粒尺寸随空气压力变化的研磨表面的曲率半径的图。

图12是对于图11中的两个磨粒尺寸随喷头速度的变化的玻璃去除的图。

图13是由相对地布置在玻璃板相反表面上的两个浆料射流喷嘴来加工的玻璃板的侧剖视图。

图14是由两对浆料射流喷嘴，一对布置在玻璃板左边的浆料射流喷嘴和一对布置在玻璃板右边的浆料射流喷嘴来加工的玻璃板的侧剖视图。

图15A是沿玻璃板的一个边顺序排列且相对于玻璃板的平面定向成相同的角度的多个浆料射流喷嘴的立体图。

图15B是沿玻璃板的一个边顺序排列且相对于玻璃板的平面定向成不同的角度的多个浆料射流喷嘴的立体图。

图16是本发明实施例的侧剖视图，该实施例包括用于从玻璃板上去除颗粒和其它碎片和防止它们的附着的擦拭设备，以及用于包围玻璃板一个边周围的空间的屏蔽罩。

具体实施方式

在下文的详细描述中，出于解释而不是限制的目的，为了提供对本发明的深入了解，阐明了揭示详细细节的范例实施例。然而，对于受益于本发明的本行业的普通技术人员来说显然的是，本发明可以不同于这里公布的详细细节的其它实施例来实施。而且，可能会省略对众所周知的装置、方法和材料的描述，以便使本发明的描述更清楚。最后，在可适用的情况下，相同的附图标记标示相同的元件。

参考图1-2，依照本发明的一个实施例公布了用来加工玻璃板14的至少一边12的装置10。尽管这里将装置10描述为用于从玻璃板的一边去除材料，应该理解的是装置10也可用来加工其它类型的脆性材料，诸如玻璃-陶瓷材料、陶瓷材料或诸如聚碳酸酯的聚合物材料。正如在这里所使用的，脆性材料是一种在断裂前吸收很少能量的材料，并且在断裂之前显示很少或没有塑性变形的迹象。脆性材料通常是受拉破坏而不非剪切破坏的。然而，本发明也可使用于延性材料，诸如金属。因此，不应以局限的方式理解本发明的装置10。为了下面的说明，将描述玻璃板的加工。

玻璃板14包括两个平的、基本上平行的表面，在下文中称为侧面16和18。玻璃板14具有厚度“y”，其定义为平行的侧面之间的距离。尽管平常人们将认为一片玻璃板的边是玻璃板的外围周长，但正如在这里所使用的，边定义为两个表面的相交部的线或线段，例如边表面20和侧面16。边表面20代表在两条边，例如12和22之间的玻璃板的一个表面，并且通常，尽管不必须，与侧面16、18成直角。实际上，边表面20布置在两条边12和22之间，两条边中的每条边自身与玻璃板14的一侧相邻。玻璃板14可具有一个或多个边表面。例如，具有圆形形状的玻璃板仅仅有单个边表面。五角形的玻璃板将具有5个边表面，用于显示器应用的玻璃板在形状上一般是矩形，并且因此具有四个边表面和因而八条边，每个边表面关联有两条边。

装置10包括至少一个中空喷嘴或浆料喷射设备24来将一股研磨颗粒流26对准玻璃板24的一边。研磨颗粒较佳的是包含在或悬浮于流体中，诸如水，因此形成浆料。之后，通过在一股气体流中夹带浆料可以加速浆料，上述气体流诸如为从适当的供给源在压力下供给于浆料的空气(未示出)，并且以研磨颗粒流或射流26把浆料从喷嘴24的出口孔28排出。撞击玻璃板的研磨颗粒研磨玻璃并增加地从玻璃板去除玻璃材料。因此，可使用装置10来在特定的边上从玻璃板14去除玻璃，因此由用连接玻璃板14的侧面16与边表面20的弧形表面30取代尖锐边。

玻璃板14可相对于研磨颗粒流平移，或玻璃板可保持静止不动而研磨颗粒流相对于玻璃板平移，在任一情况下在玻璃板14和玻璃颗粒流(例如浆料)26之间都形成相对运动。随着研磨颗粒流沿着边12平移，研磨颗粒流从边上去除玻璃，形成弧形边表面30。

如图1所示，喷嘴24具有纵向轴线32，并且较佳的是排列成纵向轴线32形成相对于平行于玻璃板的表面16的平面34成角度α。在图1的图示中，平面34平行于并且基本上包含玻璃板14的表面16。可注意到，喷嘴24沿朝着玻璃板的主体方向而不是远离玻璃板的方向对准玻璃板14的边12。喷嘴24可具有圆形出口孔，或喷嘴24可具有更椭圆的或扁平的出口孔。扁平的出口孔(即大的长宽比)可提供较大的边12的覆盖，并且从而减少加工时间。

喷嘴角度α的选择由期望工作条件决定，例如玻璃去除的量，研磨边的曲率半径，等等。例如，已经发现，以相对于平面34大约30度的角度α可得到最大玻璃去除，而以相对于平面34大约60度的角度可形成更弧形的研磨表面。图3所示的是描绘研磨表面30的曲率半径相对于喷嘴24与玻璃板34的角度α及从边12去除材料的量的图。如在这里所使用的，术语“研磨表面”指在把如之前定义的边研磨之后仍保留的弧形表面。玻璃去除通过测量从经加工的边35到未加工的参考面36之间的距离d决定，如图4所示。在图4的示范描述中，参考面36可与边表面20是同义的。通过将#800磨粒尺寸氧化铝浆料对准厚度大约0.7mm的玻璃板的一边来得到数据。喷嘴沿着玻璃板的边以大约100mm/s的速度平移，并且喷嘴24的出口孔28和玻璃板14的边12之间的距离δ大约是10mm。通过喷嘴产生了两条流道，沿着边12的两个相反方向中的每一个方向上有一条流道。对两个空气压力进行评估，0.15MPa由图3中的曲线38(半径)和40(去除)描绘，并且0.2MPa分别由曲线42和44描绘。角度α在大约0度和120度之间变化。如上所示，在角度α在大约30度得到最大材料(玻璃)去除，而在角度α在大约60度得到最大的曲率半径。其它影响材料去除性能的因素包括用来加速浆料的空气压力、喷嘴和研磨表面30之间的距离δ、喷头速度(或喷嘴相对于正在加工的玻璃边的移动速率)以及磨料尺寸(即磨粒尺寸)。

图5说明了空气压力和玻璃去除之间的关系。把具有#800的平均磨粒尺寸的浆料从沿着大约0.7mm厚的玻璃板的边以相对于玻璃板100m/s的速度移动的喷嘴处加速。喷嘴的出口孔28和玻璃板14之间的距离是约10mm并且喷嘴的纵向轴线和平面34之间的角度是0度。由喷嘴产生两条流道，沿着边的两个相反方向中的每一个方向上有一条流道。如拟合曲线45所示，随着推进浆料的空气压力从小于0.05MPa增加到大约0.25MPa，去除速率显著增加。数据还示出研磨表面曲率半径的增加，如曲线46所示，如随着材料去除的增加而会期望到。

图6示出对于喷嘴出口孔和玻璃边之间的两个不同的距离(2mm和10mm)材料去除速率和空气压力之间的关系，并且图7描述了对于相同的两个喷嘴出口孔和边之间的距离研磨表面30的曲率半径随空气压力的变化。氧化铝浆料具有#800的平均磨粒尺寸，并且把它以0度角对准玻璃板的边。喷嘴沿着边以相对于玻璃约100mm/s的速度平移。通过喷嘴产生两条流道，沿着边的两个相反方向中的每一个方向上有一条流道。如上所示，当将喷嘴和玻璃之间的距离从2mm变化到10mm时事实上玻璃去除的量没有变化，如两条重叠的曲线37和39所示。然而，如图7所示，当喷嘴和玻璃之间的距离大约是2mm时，研磨表面30的曲率半径随空气压力非线性增加，如曲线48所示。当喷嘴和玻璃之间的距离增加到10mm时，玻璃边的曲率半径近似线性增加，如曲线50所示。最后，图8示出对于相同的喷嘴到玻璃之间的距离，如上所述大约2mm(曲线51a)和10mm(曲线51b)，但以60度的喷嘴角度，研磨表面30的曲率半径随空气压力的变化。所有其它的条件如上所述。在这种情况下，在得到的曲率半径之间仅仅有很小的区别。

图9阐明对于喷嘴和玻璃边之间的两种不同的距离，2mm(曲线55a)和10mm(曲线55b)，材料去除随喷嘴(喷头)速度的变化。如前，玻璃板近似是0.7mm厚。对于两种不同的喷嘴和玻璃边之间的距离，喷嘴沿着边以大约50mm/s和200mm/s之间的速度平移。浆料具有平均#800的磨粒尺寸，并且用来加速浆料的空气压力是0.15MPa。喷嘴是定向成0度的角度α。如图中所示，去除的材料的量随喷嘴沿着玻璃边的平移速度近似线性变化，很少依赖于喷嘴和边之间的距离。另一方面，图10描述对于三个不同的角度α(0度、60度和120度)在设定的10mm的喷嘴距离处材料去除随喷嘴速度的变化。由喷嘴产生两条流道，沿着边的两个相反方向中的每一个方向上设有一条流道。如图10所示，结果变化相差很大。在120度的喷嘴角度，曲率半径显示出很少或不依赖于喷嘴速度。然而，在60度和0度的喷嘴角度，观察到了类似的依赖，60度角比0度角得到了更大的研磨表面30的曲率半径。

为了评价磨料尺寸(磨粒尺寸)的效果，检查了对于两个不同的磨粒尺寸，#800和#2000，曲率半径随着空气压力的变化。喷嘴是定向成60度的角度α，喷嘴出口孔和玻璃边之间的距离是10mm，并且把喷嘴以大约10mm/s的速度沿着边平移。如图11所示，在给定空气压力下对于#800磨粒研磨(曲线57a)得到的研磨表面30的曲率半径几乎三倍于使用#2000磨粒研磨(曲线57b)得到的曲率半径。

还研究了磨料尺寸对玻璃去除的影响并在图12中描述。检查对于两个不同的磨粒尺寸，#800(曲线59a)和(曲线59b)，研磨尺寸随空气压力的变化。喷嘴定向成0度的角度α，喷嘴出口孔和玻璃边之间的距离是10mm，把喷嘴以大约10mm/s的速度沿着边平移，并且空气压力是0.15MPa。由喷嘴产生两条流道，沿着边的两个相反方向中的每一个方向上有一条流道。如上所述，对于给定的喷嘴相对于玻璃边的平移速度，较大的颗粒尺寸(即#800磨粒)比#2000磨粒导致去除较多玻璃。

在另一个实施例中，可使用多个浆料射流喷嘴24来加工玻璃板的两个或多个边，较佳的是同时加工。如图13所示，可使用一个浆料射流喷嘴24来加工玻璃板14的第一侧面16和边表面20之间的边12，而使用第二浆料射流喷嘴24来加工玻璃板14的第二侧面18和边表面20之间的边22。此外，可使用多个浆料射流喷嘴来加工玻璃的多条边。例如，图14示出布置在玻璃板14与边相邻的相反侧面16、18的一对浆料射流和相对布置的第二对浆料射流。在如图14所示的布置中，可把玻璃板14相对于浆料射流平移，或可以相对于玻璃板平移浆料射流。可设想同时处理多条边。例如，移动玻璃板14，例如所观察到的那样进入或离开图纸地移动，将同时加工在玻璃板14的左手和左手两侧的上和下边。

在图15A描述的另一个实施例中，示出多个喷嘴24，每个喷嘴24布置成得到不同的结果。例如，可彼此相邻地布置多个喷嘴24，并且可依次供给不同磨粒尺寸(例如单调减小的磨粒尺寸)，以便相继地加工一条边。从而，可随着日益细小的磨粒浆料依次在给定的在玻璃板和喷嘴之间的平移过程中去除更少量的材料。适当的磨粒尺寸在大约#400和#4000之间的范围。此外，其它的工艺变量，如上所述，可在不同喷嘴之间变化。例如，每个喷嘴的浆料可用不同压力的气体进行加速，或每个喷嘴可与相邻喷嘴具有不同的到玻璃边的距离。具体的布置和加工条件由边的想得到的特征来决定，并且可容易地由熟练工人来决定而无需过多的试验。多个相邻喷嘴和边12之间的相对运动，如箭头53所描绘的，导致沿着边的长度相继地研磨边。可将多个喷嘴平移，或将玻璃板平移，或将玻璃板和喷嘴两者都平移来提供相对运动。此外，多个喷嘴中的喷嘴可形成相对于正在加工的边的不同的角度(角度α)，如图15B所示。有利的是，变化角度α可使得边形状的(研磨表面30的形状)的一致性得以改进。

装置10还如图16所示地包括至少一个障碍物或擦拭设备54。至少一个擦拭设备能够基本上阻止当加工玻璃板14的边时可能产生的颗粒和其它污染物到达或粘附玻璃板14的一个或两个表面16和18。

在较佳的实施例中，擦拭设备54可包括如像在2005年12月21号提交的美国专利申请第60/752858号公布的气刀结构，，该申请的内容以引用方式纳入本文。擦拭设备54包括至少一个槽56，通过该槽可将高速气体58，诸如空气，对准玻璃表面作为气体幕帘来去除可能积聚在玻璃表面上的微粒。这种微粒可能是来自浆料的研磨颗粒、在加工玻璃板的过程中从玻璃板去除的玻璃屑、灰尘或任何其它的可能会沉积在玻璃板的表面上的外来材料。气体幕帘通常对准玻璃的与槽相反的表面以便气体幕帘以一个角度撞击在玻璃表面。也就是说，希望的是以不是90度(垂直于玻璃板的表面)的角度将气体幕帘对准玻璃板的表面。也可在擦拭设备里包含洗涤射流来帮助从玻璃表面去除微粒。清洁流体61，诸如水，从清洁射流63对准玻璃板的表面。同样，较佳的是以不是90度的角度将清洁流体对准玻璃板的表面。

同样如图16所示，可使用屏蔽罩60来收集用过的浆料和由玻璃去除工艺产生的微粒，以及可由一个或多个可使用的擦拭设备来分配清洁流体。屏蔽罩在玻璃板的边由浆料射流进行加工时有效地包围玻璃板边的至少一部分，并且可与擦拭设备连接，藉此，在屏蔽罩和擦拭设备之间形成基本上地被包围的空间。屏蔽罩设计成允许穿过屏蔽罩平移玻璃板的各条边。于是，屏蔽罩包括玻璃板可横穿的开口。更适宜地，连接屏蔽罩到真空源(未示出)，来帮助从玻璃表面的附近去除微粒(即浆料和玻璃)和清洁流体。从屏蔽罩内部的空气抽吸由箭头62指出。也可设置成一个或多个浆料传输喷嘴穿过屏蔽罩进入到屏蔽罩所包围的内部区域64。在区域64内抽成真空可有利地导致补充的空气流横过玻璃板的各表面，如箭头66所示，因此辅助空气幕帘58的功能。

需要强调的是本发明的上述实施例，尤其是任何“较佳的”实施例，仅仅是可能的实施方式示例，仅仅是为了清楚的理解本发明的原理而阐明的。只要不明显偏离本发明精神和原理，可对上述本发明的实施例做出变化或修改。例如，尽管这里阐明的示范实施例以水平构造示出，但本发明在垂直方向是同样有效的。所有这些修改或变化将包括在本开公文和本发明的范围之内并受到以下权利要求的保护。

Claims (27)

1.一种加工脆性材料板的边的方法，该方法包括：

通过将来自喷嘴(24)的至少一股研磨颗粒流(26)对准所述脆性材料板的边(12)来在所述脆性材料板(14)上形成弧形表面；

将来自至少一个槽(56)的压缩空气流(58)对准所述脆性材料板(14)以基本上阻止所述研磨颗粒附着在所述脆性材料板上；和

其中，所述至少一个喷嘴的纵向轴线(32)与包含所述脆性材料板的表面的平面(34)形成在大约0到60度之间的角度α。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述形成包括将多个研磨颗粒流对准所述边。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述多个研磨颗粒流彼此相邻地布置。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，每股所述多个研磨颗粒流的平均磨粒尺寸不同于相邻研磨颗粒流的平均磨粒尺寸。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括将洗涤流体(61)流对准所述脆性材料板的表面。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括将所述脆性材料板的所述边的至少一部分包围在屏蔽罩(60)内以收集所述研磨颗粒。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括相对于所述研磨颗粒流平移所述边。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述脆性材料板包括至少两条边，并且同时对所述至少两条边进行加工。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述研磨颗粒悬浮于液体中以形成浆料。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述对准至少一股研磨颗粒流包括用压缩空气加速所述浆料。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，该方法包括变化所述压缩空气的压力来控制从所要加工的所述边的玻璃去除。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述脆性材料板是玻璃、玻璃-陶瓷或陶瓷材料。

13.如权利要求6所述的方法，其特征在于，将真空施加于所述屏蔽罩。

14.一种加工脆性材料板(14)的边(12)的装置，该装置包括：

至少一个喷嘴(24)，用来将研磨颗粒流(26)指向朝着所述边的方向；

设置在与所述边相邻处的擦拭设备(54)，所述擦拭设备从至少一个槽发射压缩空气(58)以基本上阻止所述研磨颗粒附着在所述脆性材料板上。

15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，该装置还包括设置在所述边(12)附近以收集所述研磨颗粒的屏蔽罩(60)。

16.如权利要求15所述的装置，其特征在于，将真空施加于所述屏蔽罩。

17.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述至少一个喷嘴包括用于将多个研磨颗粒流指向所述边的多个喷嘴。

18.如权利要求17所述的装置，其特征在于，所述多个颗粒流同时从所述脆性材料板去除材料。

19.如权利要求17所述的装置，其特征在于，每个所述多个颗粒流包括不同的平均研磨颗粒尺寸。

20.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述至少一个喷嘴包括用于将多个颗粒流对准多个边上的多个喷嘴。

21.如权利要求20所述的装置，其特征在于，所述多个边的一部分是不平行的。

22.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述至少一个喷嘴的纵向轴线(32)相对于平行于所述脆性材料板的表面的平面(34)形成在0和60度之间的角度α。

23.如权利要求17所述的装置，其特征在于，所述多个喷嘴中的每个喷嘴与所述多个喷嘴中的另一个喷嘴相邻地布置，并且所述多个喷嘴中的每个喷嘴所指向的研磨颗粒的平均磨粒尺寸不同于相邻的喷嘴。

24.如权利要求23所述的装置，其特征在于，所述多个喷嘴设置成以单调变化的磨粒尺寸顺序将所述多个研磨流对准所述边。

25.如权利要求17所述的装置，其特征在于，所述多个喷嘴中的每个喷嘴的纵向轴线相对于包含所述玻璃板的表面的平面形成角度α，并且α在各喷嘴之间变化。

26.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述至少一个喷嘴包括一对喷嘴，所述成对喷嘴中的每个喷嘴与所述脆性材料板的相反侧相邻地布置。

27.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述脆性材料板是玻璃、玻璃-陶瓷或陶瓷材料。

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