CN101612621A - 一种多晶硅装置的清洗方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种多晶硅装置的清洗方法，该方法包括：(a)用脱脂剂对装置进行脱脂清洗；(b)用无油干燥空气对清洗后的装置进行干燥。所用无油干燥空气露点≤－40℃，油含量≤0.01mg/m3，尘埃粒子≤0.01μm，流量为40～60m3/min。脱脂剂为2～5％重量的氢氧化钠溶液，配制氢氧化钠溶液所用水为纯水，纯水的油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。本发明的多晶硅装置的清洗方法工艺简单，便于施工操作，采用无油干燥空气可以达到更好的除尘效果，并且从根本上解决了系统干燥问题，保证最终投产前的干燥，同时能够满足环保要求。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洗方法，特别是涉及一种多晶硅装置的清洗方法。
背景技术
多晶硅厂是一个纯度要求高、工艺复杂、设备种类众多的化工系统，多晶硅产品中部分还具备冶金系统和半导体电子元器件的特点。由于产品要求纯度较高，相应地输送产品原料的管线和储存提纯原料的设备也就要求有较高、较严格的洁净度。安装前若不进行清洗，设备上的锈渣和油渍等单靠系统物料的冲刷是无法达到洁净要求的；如不干燥，系统内哪怕是一点水就会造成原料水解、设备腐蚀和系统堵塞。而只做简单的清洗，系统内壁附着的污物是不可能完全清除干净，只要有残留，存在系统内的污物就会随时间慢慢衰减，造成系统净化处理阶段的废品率增高，工厂产出价值降低，由此造成在的损失是可想而知的。因此，为了缩短工艺系统调试时净化处理的时间，最大限度地降低调试费用，尽早产出符合纯度要求的高纯硅，必须要做好工艺设备和工艺管道安装前的清洗工作。
目前，多晶硅清洗工艺一般采用四氯化碳进行脱脂，并利用四氯化碳的易挥发性达到干燥的目的，但四氯化碳为有毒物质，不利于环保。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种多晶硅装置的清洗方法，以使操作工艺简单，便于施工操作，能够达到洁净要求，并且利于环保。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种多晶硅装置的清洗方法，该方法包括：
(a)用脱脂剂对装置进行脱脂清洗；
(b)用无油干燥空气对清洗后的装置进行干燥。
上述多晶硅装置的清洗方法，其中，所述无油干燥空气露点≤-40℃，油含量≤0.01mg/m3，尘埃粒子≤0.01μm。
上述多晶硅装置的清洗方法，其中，所述无油干燥空气的流量为40～60m3/min。
上述多晶硅装置的清洗方法，其中，所述脱脂剂为2～5％重量的氢氧化钠溶液，配制氢氧化钠溶液所用水为纯水，所述纯水的油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
上述多晶硅装置的清洗方法，其中，所述脱脂清洗的温度为60～90℃。
上述多晶硅装置的清洗方法，其中，所述脱脂清洗步骤(a)之前还包括用水冲洗步骤(aa)，所述冲洗用水为脱盐水。
上述多晶硅装置的清洗方法，其中，所述脱脂清洗步骤(a)和干燥步骤(b)之间还包括纯水冲洗步骤(a1)，所述纯水的油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
上述多晶硅装置的清洗方法，其中，在所述纯水冲洗步骤(a1)和干燥步骤(b)之间还包括除锈步骤(a2)。
本发明的多晶硅装置清洗方法适用于多种清洗工艺，如喷淋清洗、循环清洗、浸泡清洗和擦拭清洗。
本发明提供的多晶硅装置的清洗方法的有益效果为：
1、相对四氯化碳的有毒有害，该工艺能够达到环保要求；
2、工艺简单，便于施工操作；
3、采用无油干燥空气可以达到更好的除尘效果，解决了用四氯化碳无法除尘难题；
4、采用无油干燥空气干燥技术，从根本上解决了系统干燥问题，保证最终投产前的干燥。
5、清洗后的装置可以达到洁净的清洗要求。
具体实施方式
实施例1喷淋清洗
将待清洗设备完成配管工作后，使用清水进行喷淋，调节流量，以使所有被清洗表面得到喷淋，由此，确定需要进行最小循环的液体体积，根据该体积配制后续的清洗液进行清洗。
喷淋清洗工艺按照以下步骤进行：
水冲洗、试漏→脱脂→纯水冲洗→除锈→干燥
(1)水冲洗、试漏：
冲洗用水为脱盐水。
水冲洗及试漏的目的是除去系统中可能存在的污物，并在模拟清洗状态下对临时接管处泄漏情况进行检查。
冲洗时，调节喷淋液的流量，以便冲洗出系统内的污物，并控制进出水平衡。
水压检漏试验时，检查临时系统中焊缝、法兰、阀门、短管连接处，有泄漏情况应及时处理，以保证清洗过程的正常进行。
每间隔20分钟测定一次浊度，当进出水的浊度差小于5ppm时，冲洗结束。
(2)脱脂
脱脂用水为纯水，纯水的标准：油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
脱脂的目的是利用脱脂液与系统中各类机油、石墨、防锈油等有机物反应，以除去系统内的油污。
排尽积水，将纯水注入，通过阀门来调节进出水的流量，达到循环平衡，停止补水，循环并加热，逐渐加入脱脂剂，根据前面确定的最小循环体积配制脱脂剂。
所需脱脂剂为氢氧化钠溶液，将氢氧化钠加入到系统内，配制成2～5％重量的氢氧化钠溶液，也可以在NaOH溶液中加入微量的渗透剂、促进剂和表面活性剂。
⑤工艺条件：
温度： 60℃
时间： 6～8小时
⑥测试项目：
碱度 1次/30分钟
温度 1次/30分钟
当系统脱脂液碱度稳定，即可结束脱脂步骤。
(3)纯水冲洗
冲洗用水为纯水，纯水的标准是油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
脱脂后的纯水冲洗是冲出系统内的脱脂残液。
脱脂液排净后，用大量热纯水进行冲洗，每间隔二十分钟测定一次浊度和pH值，当进出水的pH值小于8，进回液的浊度差小于5ppm时，即可结束水冲洗。
(4)除锈
用纯水冲洗结束后，对管件或设备进行除锈处理，除锈剂可以采用硝酸，也可以采用市场购得的除锈剂。
(5)干燥
用无油干燥空气对管件或设备进行吹扫干燥，所用无油干燥空气露点≤-40℃，油含量≤0.01mg/m3，尘埃粒子≤0.01μm，流量为40m3/min。
无油干燥空气可以市场购得，也可以自制，用压缩机产生压缩空气，经风冷器、高效油水分离器、微热再生空气干燥器、高效通用保护器和高效除油过滤器得到需要的无油干燥空气。
经过清洗干燥后，管件或设备的内表面采用紫光灯测定没有有机碳，达到国家标准，内表面没有污垢和灰尘，用白绸布擦拭内壁，肉眼看不出脏色，用无油干燥空气吹扫后，吹扫气出口气体的露点低于-5℃，达到洁净要求标准。
实施例2循环清洗
循环清洗工艺按照以下步骤进行：
水冲洗、试漏→脱脂→纯水冲洗→干燥
(1)水冲洗、试漏：
冲洗用水为脱盐水。
水冲洗及试漏的目的是除去系统中污物，并在模拟清洗状态下对临时接管处泄漏情况进行检查。
冲洗时，调节清洗液的流量，以便冲洗出系统内的污物，并控制进出水平衡。
水压检漏试验时，检查临时系统中焊缝、法兰、阀门、短管连接处，有泄漏情况应及时处理，以保证清洗过程的正常进行。
每间隔20分钟测定一次浊度，当进出水的浊度差小于5ppm时，冲洗结束。
(2)脱脂
脱脂用水为纯水，纯水的标准是油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
脱脂的目的是利用脱脂液与系统中各类机油、石墨、防锈油等有机物反应，以除去系统内的油污。
排尽冲洗水，将纯水充满系统，循环并加热。逐渐加入脱脂剂，混合均匀后进行正反向循环。
所需脱脂剂为氢氧化钠溶液，将氢氧化钠加入到系统内，配制成2～5％重量的氢氧化钠溶液，也可以在NaOH溶液中加入微量的渗透剂、促进剂和表面活性剂。
⑤工艺条件：
温度： 80℃
时间： 6～8小时
⑥测试项目：
碱度 1次/30分钟
温度 1次/30分钟
当系统脱脂液碱度稳定，即可结束脱脂步骤。
(3)纯水冲洗
冲洗用水为纯水，纯水的标准是油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
脱脂后的纯水冲洗是冲出系统内的脱脂残液。
脱脂液排净后，用大量热纯水进行冲洗，每间隔二十分钟测定一次浊度和pH值，当进出水的pH值小于8，进回液的浊度差小于5ppm时，即可结束水冲洗。
(4)干燥
用无油干燥空气对管件或设备进行吹扫干燥，所用无油干燥空气露点≤-40℃，油含量≤0.01mg/m3，尘埃粒子≤0.01μm，流量为60m3/min。
无油干燥空气可以市场购得，也可以自制，用压缩机产生压缩空气，经风冷器、高效油水分离器、微热再生空气干燥器、高效通用保护器和高效除油过滤器得到需要的无油干燥空气。
经过清洗干燥后，管件或设备的内表面采用紫光灯测定没有有机碳，达到国家标准，内表面没有污垢和灰尘，用白绸布擦拭内壁，肉眼看不出脏色，用无油干燥空气吹扫后，吹扫气出口气体的露点低于-5℃，达到洁净要求标准。
实施例3浸泡清洗
浸泡清洗采用碱液为主脱脂剂进行清洗，工艺按照以下步骤进行：
水冲洗→浸泡脱脂→纯水冲洗→除锈→干燥
(1)水冲洗
用清水对管件或设备表面进行冲洗。
水冲洗的目的是除去被清洗件表面的污物。
(2)浸泡清洗
将管件或设备置于浸泡池中，所需清洗表面必须完全没于浸泡液面之下，或将浸泡液灌于不能浸泡的设备或部件中。
浸泡清洗的目的是利用清洗液使油脂类物质疏松、乳化或分散，变成可溶性物质，使管件或设备表面清洁无油。
所需药剂为2～5％重量的氢氧化钠溶液，也可以在NaOH溶液中加入微量的渗透剂、促进剂和表面活性剂。配制氢氧化钠溶液所用水为纯水，纯水的油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
④工艺条件
温度 90℃
时间 4～6小时
⑤测试项目
碱浓度 1次/60分钟
当系统脱脂液碱度稳定，即可结束脱脂步骤。
(3)纯水冲洗
浸泡清洗结束后，取出被清洗件，用纯水进行冲洗，去除残留在管件或设备表面上的碱液和洗落的污物。纯水的油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
(4)除锈
用纯水冲洗结束后，对管件或设备进行除锈处理，除锈剂可以采用硝酸，也可以采用市场购得的除锈剂。
(5)干燥
用无油干燥空气对管件或设备进行吹扫干燥，所用无油干燥空气露点≤-40℃，油含量≤0.01mg/m3，尘埃粒子≤0.01μm，流量为50m3/min。
无油干燥空气可以市场购得，也可以自制，用压缩机产生压缩空气，经风冷器、高效油水分离器、微热再生空气干燥器、高效通用保护器和高效除油过滤器得到需要的无油干燥空气。
经过清洗干燥后，管件或设备的内表面采用紫光灯测定没有有机碳，达到国家标准，内表面没有污垢和灰尘，用白绸布擦拭内壁，肉眼看不出脏色，用无油干燥空气吹扫后，吹扫气出口气体的露点低于-5℃，达到洁净要求标准。
实施例4擦拭清洗
擦拭清洗的工艺按照以下步骤进行：
水冲洗→擦拭清洗→纯水冲洗→脱酯→纯水冲洗→干燥
(1)水冲洗
用清水对管件或设备表面进行冲洗。水冲洗的目的是除去被清洗件表面的污物。
(2)擦拭清洗
用酸清洗剂对管件或设备表面进行擦拭，所用酸清洗剂可以为磷酸，可以从市场购得。
(3)纯水冲洗
经擦洗过的管件或设备用水射流冲洗。
(4)脱脂清洗
用脱脂剂对管件和设备进行脱脂清洗，所需药剂为2～5％重量的氢氧化钠溶液，也可以在NaOH溶液中加入微量的渗透剂、促进剂和表面活性剂。
脱脂清洗所用温度为70℃。
每间隔60分钟，测定一次碱浓度，当系统脱脂液碱度稳定，即可结束脱脂步骤。
(5)纯水冲洗
脱脂清洗结束后，用纯水进行冲洗，去除残留在管件或设备表面上的碱液和洗落的污物。
(6)干燥
用无油干燥空气对管件或设备进行吹扫干燥，所用无油干燥空气露点≤-40℃，油含量≤0.01mg/m3，尘埃粒子≤0.01μm，流量为55m3/min。
无油干燥空气可以市场购得，也可以自制，用压缩机产生压缩空气，经风冷器、高效油水分离器、微热再生空气干燥器、高效通用保护器和高效除油过滤器得到需要的无油干燥空气。
经过清洗干燥后，管件或设备的内表面采用紫光灯测定没有有机碳，达到国家标准，内表面没有污垢和灰尘，用白绸布擦拭内壁，肉眼看不出脏色，用无油干燥空气吹扫后，吹扫气出口气体的露点低于-5℃，达到洁净要求标准。
本发明的清洗方法除用于多晶硅装置清洗，同样可以用于其他化工装置的清洗。
Claims (10)
1、一种多晶硅装置的清洗方法，其特征在于，该方法包括：
(a)用脱脂剂对装置进行脱脂清洗；
(b)用无油干燥空气对清洗后的装置进行干燥。
2、如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述无油干燥空气露点≤-40℃，油含量≤0.01mg/m3，尘埃粒子≤0.01μm。
3、如权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，所述无油干燥空气的流量为40～60m3/min。
4、如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述脱脂剂为2～5％重量的氢氧化钠溶液，配制氢氧化钠溶液所用水为纯水，所述纯水的油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
5、如权利要求1或4所述的清洗方法，其特征在于，所述脱脂清洗的温度为60～90℃。
6、如权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，所述脱脂清洗步骤(a)之前还包括用水冲洗步骤(aa)。
7、如权利要求6所述的清洗方法，其特征在于，所述冲洗用水为脱盐水。
8、如权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，所述脱脂清洗步骤(a)和干燥步骤(b)之间还包括纯水冲洗步骤(a1)。
9、如权利要求8所述的清洗方法，其特征在于，所述纯水的油含量为零，电导率≤15us/cm，氯离子≤5mg/L。
10、如权利要求8所述的清洗方法，其特征在于，所述纯水冲洗步骤(a1)和干燥步骤(b)之间还包括除锈步骤(a2)。
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102259100A (zh) * | 2011-05-12 | 2011-11-30 | 陕西建工集团设备安装工程有限公司 | 一种电子级多晶硅生产设备及工艺管道的清洗方法 |
| CN104880489A (zh) * | 2015-06-25 | 2015-09-02 | 合肥美的暖通设备有限公司 | 碱性脱脂剂漂洗性能的测试方法 |
| CN105040054A (zh) * | 2015-09-22 | 2015-11-11 | 太仓市金鹿电镀有限公司 | 一种耐摩擦镍钨合金电镀工艺 |
| CN105040053A (zh) * | 2015-09-22 | 2015-11-11 | 太仓市金鹿电镀有限公司 | 一种铅锡铜合金电镀工艺 |
| CN105063689A (zh) * | 2015-09-22 | 2015-11-18 | 太仓市金鹿电镀有限公司 | 一种铜锰合金电镀工艺 |
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102259100A (zh) * | 2011-05-12 | 2011-11-30 | 陕西建工集团设备安装工程有限公司 | 一种电子级多晶硅生产设备及工艺管道的清洗方法 |
| CN102259100B (zh) * | 2011-05-12 | 2012-10-03 | 陕西建工集团设备安装工程有限公司 | 一种电子级多晶硅生产设备及工艺管道的清洗方法 |
| CN104880489A (zh) * | 2015-06-25 | 2015-09-02 | 合肥美的暖通设备有限公司 | 碱性脱脂剂漂洗性能的测试方法 |
| CN105040054A (zh) * | 2015-09-22 | 2015-11-11 | 太仓市金鹿电镀有限公司 | 一种耐摩擦镍钨合金电镀工艺 |
| CN105040053A (zh) * | 2015-09-22 | 2015-11-11 | 太仓市金鹿电镀有限公司 | 一种铅锡铜合金电镀工艺 |
| CN105063689A (zh) * | 2015-09-22 | 2015-11-18 | 太仓市金鹿电镀有限公司 | 一种铜锰合金电镀工艺 |
| CN105112950A (zh) * | 2015-09-22 | 2015-12-02 | 太仓市金鹿电镀有限公司 | 一种镀铜电镀工艺 |
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