CN101550542A

CN101550542A - 多功能磁控溅射连续镀膜机

Info

Publication number: CN101550542A
Application number: CNA2009100313772A
Authority: CN
Inventors: 郭廷玮; 夏建业
Original assignee: CHANGZHOU BOSHI SOLAR ENERGY TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: Jiangsu Xia PhD environment Polytron Technologies Inc
Priority date: 2009-04-30
Filing date: 2009-04-30
Publication date: 2009-10-07
Anticipated expiration: 2029-04-30
Also published as: CN101550542B

Abstract

本发明所公开的是一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体，工件承载车，工件承载车供电装置，溅射靶，抽真空和通气装置，电气控制装置和总控制器，以其箱体具有依次相互连接贯通的在前过渡真空处理室，第一镀膜室，第二镀膜室和在后过渡真空处理室；工件承载车设在所述箱体内且由PLC控制器控制，而可前后往复运动；溅射靶是至少2组每组2个溅射靶，且同样布置在第一镀膜室和第二镀膜室内为主要特征。具有结构合理，生产工效高，能够镀布一层、二层和二层以上的多层复合镀层的特点，是一种特别适合生产槽式太阳能热发电系统集热管内管的一种镀膜设备。

Description

多功能磁控溅射连续镀膜机

技术领域

本发明涉及一种多功能磁控溅射连续镀膜机，具体涉及一种主要用于类似太阳能热发电系统的集热管金属内管表面镀膜的镀膜机，属于磁控溅射镀装设备技术。

背景技术

诸如由本申请人申请的申请号为200910030111.6槽式太阳能热发电系统集热管的金属内管表面，镀布有掺钼三氧化二铝镀层(业内称之为金属陶瓷层)。所述金属陶瓷镀层，是由若干层纳米级厚度的钼膜层，和三氧化二铝膜层相互交错镀布复合所构成。通过相邻钼膜层和三氧化二铝膜层界面的相互渗透，构成所述掺钼三氧化二铝金属陶瓷镀层，用以有效提高太阳能吸收率和降低红外光发射率，实现存在于金属内管内的工质导热油温度达到≥350℃的目的。

已有的磁控溅射镀膜机，由于结构性不足，而不能支持类似于上述金属内管表面镀层的连续镀膜生产。因此，提供一种能够支持类似于上述金属内管表面镀层的连续镀膜设备，便成为业内的期盼。

发明内容

本发明旨在提供一种结构合理，生产效率高，能够镀布一层、二层和二层以上不同物质镀膜的多层复合镀层的多功能磁控溅射连续镀膜机，以满足业内生产集热管尤其是生产太阳能热发电系统所用集热管的装备需求。

本发明实现其目的的技术构想主要有以下四个方面：一是提供一种多室、多靶的箱体结构，为满足一层、二层和若干层不同物质膜层的镀膜提供支持；二是提供一种可在箱体内前后往复运动的工件金属管承载车的结构，以满足至少各有一层不同物质膜层复合镀布的要求；同时对需要由若干层不同物质膜层相互交错镀布构成多层复合镀层，提供支持；三是在相邻镀膜室、处理室之间，提供一种能够适时开闭的密封门结构，为不同作用的镀膜室和处理室所保持的工艺条件，提供支持；四是提供一种电气控制装置，为连续高效生产提供支持。通过由以上所述四个主要结构组合的本发明，既能镀布一层镀膜的镀层；又能镀布二种不同物质的镀膜的复合镀层；也能镀布二种以上不同物质的镀膜且相互交错的多层复合结构的镀层，从而实现本发明的目的。

基于上述技术构想，本发明实现其目的的技术方案是：

一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体，工件承载车，工件承载车的供电装置，溅射靶，抽真空和通气装置，电气控制装置和总控制器，其创新点在于：

a、所述箱体，由在前过渡真空处理室，第一镀膜室，第二镀膜室和在后过渡真空处理室依次串联组成一整体，且所述各室依次相互贯通；在前过渡真空处理室的入口处和在后过渡真空处理室的出口处，及其所述各室相邻接处，均设有由开闭启动机构驱动开闭的密闭门；

b、所述工件承载车，可在所述箱体内前后往复运动，它包括车架，设在车架底部由包括第一电机在内的传动装置传动的具有4个行走轮和2根行走轮轴的行走机构，分别与车架左、右两侧连接的工件安放架，与工件安放架连接的且沿工件安放架上下布置的若干个由工件承插构件和工件定位构件对称布置组成且可分别与工件两端装接的工件装接副，和由第二电机通过工件承插构件的传动件驱动工件装接副旋转的传动装置；

c、所述工件承载车的供电装置，包括与总控制器电连接，且与箱体底部连接的第一导轨和第二导轨；所述第一导轨和第二导轨，分别与工件承载车的行走机构两侧的行走轮相对应布置；所述行走机构的4个行走轮，分别通过绝缘轴套，与与车架固定连接的行走轮轴转动连接，处于车架两侧的2个行走轮中的1个行走轮，分别与2个电刷构件电连接，电刷构件分别通过倒顺控制开关和控制开关，与第一电机和第二电机电连接；

d、所述溅射靶，是至少2组每组2个溅射靶；所述至少2组每组2个溅射靶，同样设在第一镀膜室和第二镀膜室内；每1组的2个溅射靶，分别对称布置在第一导轨和第二导轨的外侧部位，且分开布置并与箱体底壁连接；溅射靶的工作用电，由总控制器提供；也即是溅射靶与总控制器电连接；

e、所述抽真空和通气装置的第一真空泵，与在前过渡真空处理室管路连接，第二真空泵与第一镀膜室管路连接；第三真空泵与第二镀膜室管路连接，第四真空泵与在后过渡真空处理室管路连接；第一通气管与第一镀膜室管路连接，第二通气管与第二镀膜室管路连接，第三通气管与在后过渡真空处理室管路连接，第四通气管与在前过渡真空处理室管路连接；

j、所述电气控制装置，包括设在工件承载车上的工件承载车运动电控装置，和密闭门开闭启动电控装置；所述工件承载车运动电控装置所包括的PLC可编程序控制器，分别控制第一电机的倒顺控制开关和第二电机的控制开关；所述密闭门开闭启动电控装置所包括的2个用来开门的第一传感器，分别设在所述在前过渡真空处理室，第一镀膜室、第二镀膜室和在后过渡真空处理室两端的顶部，并与所述密封门保持一定距离，且分别与固设在工件承载车前后两端的启动件相对应布置；用来关门的第二传感器，设在用来固装开闭启动机构的机架上，且与设在所述密闭门顶部的启动件相对应布置；所述第一传感器和第二传感器，分别通过总控制器，控制与其对应的密闭门开闭启动机构的驱动开关。

由以上所给出的技术方案，结合本发明技术构想所描述的内容可以明了，本发明实现了其所要实现的目的。

考虑到第一镀膜室和第二镀膜室，两者的工作环境和工艺条件都有显著的不同，为了避免可能发生的相互干涉，本发明主张，还包括中间过渡室；所述中间过渡室，设在第一镀膜室与第二镀膜室之间，且与第一镀膜室和第二镀膜室相连接贯通；所述供电装置的第一导轨和第二导轨从中间过渡室内穿过；中间过渡室的一端通过所述密闭门与第一镀膜室连接，中间过渡室的另一端，通过具有开闭启动机构的密闭门，与第二镀膜室连接；第五真空泵与中间过渡室管路连接。由于中间过渡室的存在，通过对中间过渡室工艺条件的适时调处，可以有效避免所述第一镀膜室与第二镀膜两者工作的相互干涉。

为了能够有效提高工件金属管在工件承载车上的装夹效率，以进一步提高生产工效，本发明主张，所述工件承载车的工件装接副的工件承插构件，包括第一圆锥台，和一端与第一圆锥台静连接且与工件安放架动连接的第一转轴，而所述传动件与第一转轴的另一端固定连接；所述工件定位构件，包括第二圆锥台，和一端与第二圆锥台动连接且与工件安放架螺纹连接的丝杆，丝杆的另一端，固装有手轮。所述这一技术方案，所给出的是工件卧式快速装夹的结构形式。当然并不局限于此。例如采用类似于日光灯管与其两端管座，所采用的弹性装夹结构，同样也是可以的。

本发明主张，所述工件承载车的驱动工件装接副旋转的传动装置是链传动装置，其所包括的第二电机，安装在工件承载车上，在第二电机的输出轴端设有主动链轮；所述与工件承载车的工件承插构件固装的所述传动件是从动链轮，环状链条与主动链轮和从动链轮相啮合装接。这是本发明优选的一种驱动工件装接副旋转的传动装置。但不局限于此。例如采用齿轮传动结构，或采用传动带传动结构等等，都是可以的。

本发明主张，所述工件承载车的行走机构的传动装置是伞齿轮传动装置；其所包括的第一电机，安装在工件承载车上，在第一电机输出轴端固装的主动伞齿轮，与固装在2根行走轮轴中1根行走轮轴上的从动伞齿轮相啮合。但不局限于此。例如采用传动带传动或链条传动等等，都是可以的。

本发明主张，所述密闭门的开闭启动机构，是气动上下开闭机构，所述气动上下开闭机构，包括与箱体顶面连接的气动组件，所述密闭门是密闭闸门；气动组件的活塞杆，与所述密闭闸门连接，所述密闭闸门设在箱体两侧沿高度方向所设的滑槽内，且呈密封滑动配合；气动组件通过所述电磁阀驱动开关与气源管路连接。但不局限于此。例如采用螺杆螺母副电传动，或者采用液压传动等等，都是可以的。

为了避免由于多靶在同一镀膜室内共存，而有可能产生不同溅射的相互干涉，本发明主张，还包括溅射靶封闭装置，所述封闭装置包括可抱合的左封闭罩和右封闭罩，与溅射靶安装座连接的直立杆，和与箱体连接的左、右气动组件；所述左封闭罩和右封闭罩与直立杆相铰接，左、右气缸组件的活塞杆分别与左封闭罩和右封闭罩活动连接；与所述左、右气动组件管路连接的电磁阀，接受总控制器控制。这一技术方案是本发明优选的气动溅射靶封闭装置。但并不局限于此。例如采用杠杆式电驱动装置等等，也是可以的。

出于工作安全的考虑，本发明主张，所述工件承载车的供电装置的工作电流，是低压直流电；所述第一电机和第二电机，均是低压直流减速电机。当然并不局限于此。例如在具有绝对绝缘和防泄漏措施的条件下，采用通常工业电压的交流电，也不是不可以的。

本发明主张，所述用来开门的第一传感器，和用来关门的第二传感器，均为行程开关或者是接近开关。这是本发明从实际工作需要出发，为了方便保养和降低制备成本所优选的。当然采用其它传感器例如磁感应霍尔元件和红外光电开关等等，也是很好的。若采用霍尔元件或红外光电开关；则最好将其对应布置在第一导轨或第二导轨与行走轮之间。

上述技术方案得以实施后，本发明所具有的结构合理，连续生产工效高，能够镀布一层镀层：二层不同物质镀膜的复合镀层和二层以上不同物质镀膜的多层复合镀层等特点，是显而易见的。

附图说明

图1是本发明一种具体实施方式的主视示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是图2的A-A剖视图；

图4是图1的B向去掉箱体1局部顶板后的示意图；图中所示10为工件金属管；

图5是如同图2所示第一镀膜室1-2的C-C剖视图，同时也是第二镀膜室1-3的D-D剖视图；

图6是如同图1所示第一镀膜室1-2和第二镀膜室1-3局部去除箱体1顶板后的俯视示意图；

图7是图5的E部放大图；图中所示8为密封件，1-15是与箱体1连接的滑槽座；由图7可见箱体1的用来与密闭闸门配装的滑槽1-11的顶部是密封的；

图8是图5的F部放大图；图中所示8为密封件，1-15是与箱体1连接的滑槽座；由图8可见所述密闭闸门的底部是密封的；

图9是图5的G-G剖视图；图中所示8为密封件，1-15是与箱体1连接的滑槽座；由图9可见，所述滑槽1-11的两侧是密封的；

图10是如同图1所示工件承载车2的主视图；图中所示10为工件金属管；

图11是如同图10所示工件装接副2-4的结构示意图；

图12是图10的左视图；

图13是图10的右视图；

图14是密闭门关闭状态参考图；

图15是图14的H部放大图；图中所示9为设在第一导轨3-1和第二导轨3-2底部的绝缘件；8为与密闭闸门连接的密封件；

图16是密闭门开启状态参考图；

图17是如同图13所示工件承载车2的行走机构2-2的传动装置及其供电装置3的示意图；

图18是如同图6所示溅射靶封闭装置6的结构示意图(开启状态)；

图19是图18的I-I剖视图(关闭状态)；

图20是电气控制关系示意图。

具体实施方式

以下对照附图，通过具体实施方式的描述，对本发明作进一步说明。

具体实施方式之一，请参读附图1～20。

一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体1，工件承载车2，工件承载车的供电装置3，溅射靶4，抽真空和通气装置5，电气控制装置6和总控制器7；而其所包括的：

所述箱体1，由在前过渡真空处理室1-1，第一镀膜室1-2，第二镀膜室1-3和在后过渡真空处理室1-4依次串联组成一整体，且所述各室依次相互贯通；在前过渡真空处理室1-1的入口处和在后过渡真空处理室1-4的出口处，及其所述各室相邻接处，均设有由开闭启动机构1-10驱动开闭的且能够避免漏气的密闭门1-5、1-6、1-7、1-8、1-9(请见附图1、2)；

所述工件承载车2，可在所述箱体1内前后往复运动，它包括车架2-1，设在车架2-1底部由包括第一电机2-2-2在内的传动装置传动的具有4个行走轮2-2-1和2根行走轮轴2-2-4的行走机构2-2，分别与车架左、右两侧连接的工件安放架2-3，与工件安放架2-3连接的且沿工件安放架2-3上下布置的若干个由工件承插构件2-4-1和工件定位构件2-4-2对称布置组成且可分别与工件两端装接的工件装接副2-4，和由第二电机2-5-1通过工件承插构件2-4-1的传动件2-4-1-3驱动工件装接副2-4旋转的传动装置2-5(如附图10～13所示)；

所述工件承载车的供电装置3，包括与总控制器6电连接，且与箱体1底部绝缘连接的第一导轨3-1和第二导轨3-2(在具有隔离变压器的条件下，箱体1底部与所述导轨3-1，3-2之间，可不设绝缘件)；所述第一导轨3-1和第二导轨3-2，分别与工件承载车2的行走机构2-2两侧的行走轮2-2-1相对应布置；所述行走机构2-2的4个行走轮2-2-1，分别通过绝缘轴套2-6，与与车架2-1固定连接的行走轮轴2-2-4转动连接，处于车架2-1两侧的2个行走轮2-2-1中的1个行走轮2-2-1′，分别与2个电刷构件3-3电连接，电刷构件3-3分别通过倒顺控制开关J₁，J₂和控制开关J₃，与第一电机2-2-2和第二电机2-5-1电连接(如附图2、4、17和20所示)；

所述溅射靶4，是2组每组2个溅射靶；所述2组每组2个溅射靶4，同样设在第一镀膜室1-2和第二镀膜室1-3内；每1组的2个溅射靶4，分别对称布置在第一导轨3-1和第二导轨3-2的外侧接近箱体1内壁的部位，且分开布置并与箱体1底壁绝缘连接(在具有隔离变压器的条件下，箱体1底壁与所述溅靶4之间，可不设绝缘件)；与溅射靶4连接的供电导线，通过密封绝缘穿过箱体1的箱壁，与总控制器6电连接(如附图6和19所示)；

所述抽真空和通气装置7的第一真空泵7-1，与在前过渡真空处理室1-1管路连接，第二真空泵7-2与第一镀膜室1-2管路连接；第三真空泵7-3与第二镀膜室1-3管路连接，第四真空泵7-4与在后过渡真空处理室1-4管路连接；第一通气管7-6与第一镀膜室1-2管路连接，第二通气管7-7与第二镀膜室1-3管路连接，第三通气管7-8与在后过渡真空处理室1-4管路连接，第四通气管7-9与在前过渡真空处理室1-1管路连接；所述第一真空泵7-1、第二真空泵7-2、第三真空泵7-3和第四真空泵7-4，均由总控制器6供电(如附图1、2所示)，也就是说，所述4个真空泵分别与总控制器6电连接；

所述电气控制装置5，包括设在工件承载车2上的工件承载车运动电控装置5-1，和密闭门开闭启动电控装置5-2；所述工件承载车运动电控装置5-1所包括的PLC可编程序控制器5-1-1，分别控制第一电机2-2-2的倒顺控制开关J₁、J₂和第二电机2-5-1的控制开关J₃；所述密闭门开闭启动电控装置5-2所包括的具有继电器互锁装置的2个用来开门的第一传感器5-2-1，分别设在所述在前过渡真空处理室1-1，第一镀膜室1-2、第二镀膜室1-3和在后过渡真空处理室1-4两端的顶部，并与所述密闭门1-5、1-6、1-7、1-8、1-9保持一定距离，且分别与错位固设在工件承载车2前后两端的启动件5-2-2相对应布置；用来关门的第二传感器5-2-1′，设在用来固装开闭启动机构1-10的机架上，且与设在所述密闭门顶部的启动件5-2-2′相对应布置；所述第一传感器5-2-1和第二传感器5-2-1′，分别通过总控制器6，控制与其对应的密闭门开闭启动机构1-10的驱动开关1-10-3。

所述工件承载车2的工件装接副2-4的工件承插构件2-4-1，包括第一橡塑弹性圆锥台2-4-1-1，和一端与第一弹性圆锥台2-4-1-1静连接且与工件安放架2-3动连接的第一转轴2-4-1-2，而所述传动件2-4-1-3与第一转轴2-4-1-2的另一端固定连接；所述工件定位构件2-4-2，包括第二橡塑弹性圆锥台2-4-2-1，和一端与第二圆锥台2-4-2-1动连接且与工件安放架2-3螺纹连接的丝杆2-4-2-2，丝杆2-4-2-2的另一端，固装有手轮2-4-2-3(如附图11所示)。

所述工件承载车2的驱动工件装接副2-4旋转的传动装置2-5是链传动装置，其所包括的第二电机2-5-1，安装在工件承载车2上，在第二电机2-5-1的输出轴端设有主动链轮2-5-2；所述与工件承载车2的工件承插构件2-4-1固装的所述传动件2-4-1-3是从动链轮，环状链条2-5-3与主动链轮2-5-2和从动链轮2-4-1-3相啮合装接(如附图13所示)。

所述工件承载车2的行走机构2-2的传动装置是伞齿轮传动装置，其所包括的第一电机2-2-2，安装在工件承载车2上，在第一电机2-2-2输出轴端固装的主动伞齿轮2-2-3两侧，与固装在2根行走轮轴2-2-4中1根行走轮轴2-2-4′上的从动伞齿轮2-2-5相啮合(如附图17所示)。

所述密闭门1-5、1-6、1-7、1-8、1-9的开闭启动机构1-10是气动上下开闭机构，所述气动上下开闭机构1-10，包括与箱体1顶面连接的2个气动组件1-10-1，所述密闭门1-5、1-6、1-7、1-8、1-9、1-13是密闭闸门；2个气动组件1-10-1的活塞杆1-10-1-1，分别与所述密闭闸门两侧连接，所述密闭闸门设在箱体1两侧沿高度方向所设的滑槽1-11内，且呈密封滑动配合；气动组件1-10-1通过电磁阀驱动开关1-10-3与气源管路连接(如附图3所示)。

还包括溅射靶封闭装置9，所述封闭装置9包括可抱合的左封闭罩9-1和右封闭罩9-2，与溅射靶安装座9-3连接的直立杆9-4，和与箱体1连接的左、右气动组件9-5、9-6；所述左封闭罩9-1和右封闭罩9-2与直立杆9-4相铰接，左、右气缸组件9-5、9-6的活塞杆分别与左封闭罩9-1和右封闭罩9-2分别所设的耳攀9-1-1，9-2-1的弧形槽活动连接；与所述左、右气动组件9-5、9-6管路连接的电磁阀控制导线，通过绝缘密封穿过箱体1的箱壁，与总控制器6电连接(如附图18、19所示)。

所述工件承载车的供电装置3的工作电流，是电压48V的直流电；所述第一电机2-2-2和第二电机2-5-1，均是低压直流减速电机。所述用来开门的第一传感器5-2-1，和用来关门的第二传感器5-2-1′，均为行程开关或者是接近开关。

具体实施方式之二，如附图1～20所示。

一种多功能磁控溅射连续镀膜机，除了还包括中间过渡室1-12；所述中间过渡室1-12，设在第一镀膜室1-2与第二镀膜室1-3之间，且与第一镀膜室1-2和第二镀膜室1-3相连接贯通；所述供电装置3的第一导轨3-1和第二导轨3-2从中间过渡室1-12内穿过；中间过渡室1-12的一端通过所述密闭门1-7与第一镀膜室1-2连接，中间过渡室1-12的另一端，通过具有开闭启动机构1-10的密闭门1-13，与第二镀膜室1-3连接；与总控制器6电连接的第五真空泵7-5与中间过渡室1-12管路连接之外，其它均如同具体实施方式之

本发明的工作过程简要描述是：在工件承载车1两侧通过工件装接副2-4，安装好工件金属管10后，将工件承载车2推置在第一导轨3-1和第二导轨3-2上，并且布置在在前过渡真空处理室1-1内；通过总控器6给所述导轨供36V低压直流电，给溅射靶4供高压直流电；然后通过密闭门开闭启动电控制装置5-2，关闭密闭门1-5、1-6、1-7、1-8，1-9，再根据工艺条件步骤，通过总控制器6，分别启动第一真空泵7-1，第二真空泵7-2，第三真空泵7-3和第四真空泵7-4，并分别给第一镀膜室1-2、第二镀膜室1-3和在后过渡真空处理室1-4通入所需气体；使所述各室真空度达到工艺要求。与此同时，工件承载车2通过其电控装置5-1，由工件传动装置2-5的第二电机2-5-1，驱动工件旋转，而工件承载车2，在其PLC可编程序控制器5-1-1控制的第一电机2-2-2的驱动下，缓慢向前运动；当设在工件承载车2上的启动件5-2-2，与第一传感器行程开关5-2-1相抵时，所述行程开关5-2-2驱动驱动开关三通电磁阀1-10-3，气动开闭机构1-10的气动组件1-10-1工作，密闭门1-6上行开启，工件承载车2进入第一镀膜1-2内。而设在箱体1顶上的行程开关5-2-2′。驱动驱动开关三通电磁阀1-10-3，密闭门1-6下行关闭，工件在第一镀膜室1-2内，接受第一种溅射靶4的溅射而沉积在工件金属管表面构成第一种镀膜。此时，工件承载车2仍在PLC控制器5-1-1的控制下，继续向前运动，并完成第一层镀膜的镀布；然后如在前所说的那样，密闭门1-7开启，工件承载车2进入第二镀膜室1-3内后，密闭门1-7关闭，在第二镀膜室1-3内的工件，接受第二种溅射靶的溅射而沉积在金属管表面所存在的第一种镀膜的表面构成第二层镀膜。然后，工件承载小车2的第一电机2-2-2，在PLC控制器5-1-1的控制下倒转，通过以上所述密闭门1-7的开启返回到第一镀膜1-2内，密闭门1-7关闭，工件再接受第一种溅射靶4的溅射而沉积在第二种镀膜上，如此反复通过若干层第一种镀膜和第二种镀膜的交错镀布构成多层复合镀层。当位于第二镀膜室1-3内的工件承载车2，在完成最终镀层后，通过如以上所述过程开闭密闭门1-8，工件承载车2在PLC控制器5-1-1的控制下，进入在后过度真空处理室1-4，待工件通过真空处理后，再通过如以上所述过程，开闭密封门1-9，工件承载车2则从在后过渡真空处理室1-4内行出箱体1，即完成了工件表面多层镀膜交错复合镀层的镀布过程。

当在本发明具有中间过度室1-12条件下，其工作过程，仅是工件承载车2，在第一镀膜室1-2和第二镀膜室1-3之间的往返过程中，在其PLC控制器5-1-1的控制下，通过中间过渡室1-12而已。其它过程如同在前描述的那样。

本发明的应用范围，不受本说明书描述的限制。例如在略加更改工件承载车2的结构形式后，可用于平板式集热板的镀膜等等。

本发明初样实施槽式太阳能热发电系统集热管的内管镀膜的试用效果是非常好的。

Claims

1、一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体(1)，工件承载车(2)，工件承载车的供电装置(3)，溅射靶(4)，抽真空和通气装置(7)，电气控制装置(5)和总控制器(6)，其特征在于：

a、所述箱体(1)，由在前过渡真空处理室(1-1)，第一镀膜室(1-2)，第二镀膜室(1-3)和在后过渡真空处理室(1-4)依次串联组成一整体，且所述各室依次相互贯通；在前过渡真空处理室(1-1)的入口处和在后过渡真空处理室(1-4)的出口处，及其所述各室相邻接处，均设有由开闭启动机构(1-10)驱动开闭的密闭门(1-5、1-6、1-7、1-8、1-9)；

b、所述工件承载车(2)，可在所述箱体(1)内前后往复运动，它包括车架(2-1)，设在车架(2-1)底部由包括第一电机(2-2-2)在内的传动装置传动的具有4个行走轮(2-2-1)和2根行走轮轴(2-2-4)的行走机构(2-2)，分别与车架左、右两侧连接的工件安放架(2-3)，与工件安放架(2-3)连接的且沿工件安放架(2-3)上下布置的若干个由工件承插构件(2-4-1)和工件定位构件(2-4-2)对称布置组成且可分别与工件两端装接的工件装接副(2-4)，和由第二电机(2-5-1)通过工件承插构件(2-4-1)的传动件(2-4-1-3)驱动工件装接副(2-4)旋转的传动装置(2-5)；

c、所述工件承载车的供电装置(3)，包括与总控制器(6)电连接，且与箱体(1)底部连接的第一导轨(3-1)和第二导轨(3-2)；所述第一导轨(3-1)和第二导轨(3-2)，分别与工件承载车(2)的行走机构(2-2)两侧的行走轮(2-2-1)相对应布置；所述行走机构(2-2)的4个行走轮(2-2-1)，分别通过绝缘轴套(2-6)，与与车架(2-1)固定连接的行走轮轴(2-2-4)转动连接，处于车架(2-1)两侧的2个行走轮(2-2-1)中的1个行走轮(2-2-1′)，分别与2个电刷构件(3-3)电连接，电刷构件(3-3)分别通过倒顺控制开关(J₁，J₂)和控制开关(J₃)，与第一电机(2-2-2)和第二电机(2-5-1)电连接；

d、所述溅射靶(4)，是至少2组每组2个溅射靶；所述至少2组每组2个溅射靶(4)，同样设在第一镀膜室(1-2)和第二镀膜室(1-3)内；每1组的2个溅射靶(4)，分别对称布置在第一导轨(3-1)和第二导轨(3-2)的外侧部位，且分开布置并与箱体(1)底壁连接；溅射靶(4)的工作用电，由总控制器(6)提供；

e、所述抽真空和通气装置(7)的第一真空泵(7-1)，与在前过渡真空处理室(1-1)管路连接，第二真空泵(7-2)与第一镀膜室(1-2)管路连接；第三真空泵(7-3)与第二镀膜室(1-3)管路连接，第四真空泵(7-4)与在后过渡真空处理室(1-4)管路连接；第一通气管(7-6)与第一镀膜室(1-2)管路连接，第二通气管(7-7)与第二镀膜室(1-3)管路连接，第三通气管(7-8)与在后过渡真空处理室(1-4)管路连接，第四通气管(7-9)与在前过渡真空处理室(1-1)管路连接；

j、所述电气控制装置(5)，包括设在工件承载车(2)上的工件承载车运动电控装置(5-1)，和密闭门开闭启动电控装置(5-2)；所述工件承载车运动电控装置(5-1)所包括的PLC可编程序控制器(5-1-1)，分别控制第一电机(2-2-2)的倒顺控制开关(J₁、J₂)和第二电机(2-5-1)的控制开关(J₃)；所述密闭门开闭启动电控装置(5-2)所包括的2个用来开门的第一传感器(5-2-1)，分别设在所述前过渡真空处理室(1-1)、第一镀膜室(1-2)、第二镀膜室(1-3)和在后过渡真气处理室(1-4)两端的顶部，并与所述密闭门(1-5、1-6、1-7、1-8、1-9)保持一定距离，且分别与固设在工件承载车(2)前后两端的启动件(5-2-2)相对应布置；用来关门的第二传感器(5-2-1′)，设在用来固装开闭启动机构(1-10)的机架上，且与设在所述密闭门顶部的启动件(5-2-2′)相对应布置；所述第一传感器(5-2-1)和第二传感器(5-2-1′)，分别通过总控制器(6)，控制与其对应的密闭门开闭启动机构(1-10)的驱动开关(1-10-3)。

2、根据权利要求1所述的多功能磁控溅射连续镀膜机，其特征在于，还包括中间过渡室(1-12)；所述中间过渡室(1-12)，设在第一镀膜室(1-2)与第二镀膜室(1-3)之间，且与第一镀膜室(1-2)和第二镀膜室(1-3)相连接贯通；所述供电装置(3)的第一导轨(3-1)和第二导轨(3-2)从中间过渡室(1-12)内穿过；中间过渡室(1-12)的一端通过所述密闭门(1-7)与第一镀膜室(1-2)连接，中间过渡室(1-12)的另一端，通过具有开闭启动机构(1-10)的密闭门(1-13)，与第二镀膜室(1-3)连接；第五真空泵(7-5)与中间过渡室(1-12)管路连接。

3、根据权利要求1所述的多功能磁控溅射连续镀膜机，其特征在于，所述工件承载车(2)的工件装接副(2-4)的工件承插构件(2-4-1)，包括第一圆锥台(2-4-1-1)，和一端与第一圆锥台(2-4-1-1)静连接且与工件安放架(2-3)动连接的第一转轴(2-4-1-2)，而所述传动件(2-4-1-3)与第一转轴(2-4-1-2)的另一端固定连接；所述工件定位构件(2-4-2)，包括第二圆锥台(2-4-2-1)，和一端与第二圆锥台(2-4-2-1)动连接且与工件安放架(2-3)螺纹连接的丝杆(2-4-2-2)，丝杆(2-4-2-2)的另一端，固装有手轮(2-4-2-3)。

4、根据权利要求3所述的多功能磁控溅射连续镀膜机，其特征在于，所述工件承载车(2)的驱动工件装接副(2-4)旋转的传动装置(2-5)是链传动装置，其所包括的第二电机(2-5-1)，安装在工件承载车(2)上，在第二电机(2-5-1)的输出轴端设有主动链轮(2-5-2)；所述与工件承载车(2)的工件承插构件(2-4-1)固装的所述传动件(2-4-1-3)是从动链轮，环状链条(2-5-3)与主动链轮(2-5-2)和从动链轮(2-4-1-3)相啮合装接。

5、根据权利要求1所述的多功能磁控溅射连续镀膜机，其特征在于，所述工件承载车(2)的行走机构(2-2)的传动装置是伞齿轮传动装置；其所包括的第一电机(2-2-2)，安装在工件承载车(2)上，在第一电机(2-2-2)输出轴端固装的主动伞齿轮(2-2-3)，与固装在2根行走轮轴(2-2-4)中1根行走轮轴(2-2-4′)上的从动伞齿轮(2-2-5)相啮合。

6、根据权利要求1或2所述的多功能磁控溅射连续镀膜机，其特征在于，所述密闭门(1-5、1-6、1-7、1-8、1-9、1-13)的开闭启动机构(1-10)，是气动上下开闭机构，所述气动上下开闭机构(1-10)，包括与箱体(1)顶面连接的气动组件(1-10-1)，所述密闭门(1-5、1-6、1-7、1-8、1-9、1-13)是密闭闸门；气动组件(1-10-1)的活塞杆(1-10-1-1)，与所述密闭闸门连接，所述密闭闸门设在箱体(1)两侧沿高度方向所设的滑槽(1-11)内，且呈密封滑动配合；气动组件(1-10-1)通过电磁阀驱动开关(1-10-3)与气源管路连接。

7、根据权利要求1所述的多功能磁控溅射连续镀膜机，其特征在于，还包括溅射靶封闭装置(9)，所述封闭装置(9)包括可抱合的左封闭罩(9-1)和右封闭罩(9-2)，与溅射靶安装座(9-3)连接的直立杆(9-4)，和与箱体(1)连接的左、右气动组件(9-5、9-6)；所述左封闭罩(9-1)和右封闭罩(9-2)与直立杆(9-4)相铰接，左、右气缸组件(9-5、9-6)的活塞杆分别与左封闭罩(9-1)和右封闭罩(9-2)活动连接；与所述左、右气动组件(9-5、9-6)管路连接的电磁阀接受总控制器(6)控制。

8、根据权利要求1所述的多功能磁控溅射连续镀膜机，其特征在于，所述工件承载车的供电装置(3)的工作电流，是低压直流电；所述第一电机(2-2-2)和第二电机(2-5-1)，均是低压直流减速电机。

9、根据权利要求1所述的多功能磁控溅射连续镀膜机，其特征在于，所述用来开门的第一传感器(5-2-1)，和用来关门的第二传感器(5-2-1′)，均为行程开关或者是接近开关。