CN101547744B - 双流体狭缝式喷嘴及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种双流体狭缝式喷嘴及其制造方法。该双流体狭缝式喷嘴用于混合液体和气体而沿长度方向喷射均匀且高度微粒化的膜状喷雾。其中，在喷嘴的内部设置用于使双流体成直角地冲击的混合空间，使混合流体从进一步使其均匀化的部件中通过后喷射该混合流体。在细长板状的液体供给板与气体供给板之间夹着混合板，使自空气供给板经由气孔而输送到混合板的另一表面上的空气和自液体供给板经由成直角地贯穿混合板的液体孔输送的液体在混合空间内冲击混合。在气液混合体通过在混合空间的下游端贯穿混合板的初级孔、液体供给板侧的冲击室、在喷射狭缝的上游端贯穿混合板的次级孔以及喷射狭缝的期间，利用冲击、扩张以及压缩使该气液混合体均匀化以及微粒化，并使其加速地自喷射狭缝喷出。

Description

双流体狭缝式喷嘴及其制造方法

技术领域

本发明涉及双流体狭缝式喷嘴及其制造方法，特别是形成用于进行电子零件的精密冲洗、双流体冲洗的气液混合的膜状喷雾的双流体狭缝式喷嘴和制造该双流体狭缝式喷嘴的方法。

背景技术

以往，为了形成膜状喷雾，将多个双流体喷嘴并列设置成一列地使用，但是自相邻的各喷嘴喷出的射流间的干涉部分中的微粒喷雾的分布不均匀，冲洗效果不均匀。另外，自各喷嘴喷出的射流具有喷雾角度，为了与喷雾角度相对应地获得期望的冲洗效果，与被冲洗体的表面相对的喷嘴列的位置、高度或距离受到较大的限制。而且距离喷嘴较近的射流处的喷雾的分布不均匀，也存在没有喷雾的部位，因此无法在相对于被冲洗体的射流速度最高的近距离位置使用该喷嘴列，虽然该喷嘴列的分布是连续性的，但也只好在射流速度下降了的离被冲洗体具有一定距离的位置使用。因此，实际上获得的射流冲力(inpact)和冲洗效果被减弱。

为了形成最佳的膜状喷雾，提出了一种使多个细长板状体互相叠合从而构成狭缝式喷嘴的双流体狭缝式喷嘴(专利文献1)。在此，利用气体供给侧的第1板材和液体供给侧的第2板材夹持中间隔离件，沿着两板材的长度方向的一端面设置狭缝状喷射孔，使设在中间隔离件的一表面上的气体流路和设在另一表面上的液体流路在与狭缝状喷射孔相通的气液冲击混合部内以45°～90°的角度进行合流。即、通过在狭缝式喷嘴的内部进行气体与液体的合流，能够可靠地混合双流体，因此能够将喷 嘴靠近被冲洗体地设置喷嘴，获得较高的射流冲力。但是，该喷嘴中的气液冲击混合部以微小的距离与狭缝状喷射孔相连接，因此作为双流体的混合空间狭小，在该例中无法期待形成高度均匀的射流。

在通过重叠细长板状体而构成的狭缝式的喷嘴基础上，提出了双流体狭缝式喷嘴的另外一种结构，其构造简单，而且能够提高喷嘴的长度方向上的混合喷雾的喷雾分布的均匀性，并能够提高冲洗能力(专利文献2)。在互相叠合的一对细长板状体的相对表面间设置扩展成板状的混合空间，通过板状体而被供给的气体和液体分别借助腔室、供给板的多个喷射孔以相互成90°的关系进行合流，从而被输送到混合空间中，在被混合之后自与混合空间相连通地设在两板状体的长度方向一端面上的狭缝状排出口排出。但是，在该双流体狭缝式喷嘴中，双流体也是自混合空间直接被输送到狭缝状排出口中的，因此与上述情况相同，无法期待实现高度均匀的射流。

专利文献1：日本特开2006-192360号公报

专利文献2：日本特开2007-98310号公报

如上述的将多个双流体喷嘴配置成一列的以往例所述，为了获得强射流冲力下的高冲洗效果，射流速度必须充分高，接近喷嘴的位置的射流喷雾的分布必须均匀。在该意思中，如专利文献1所示，具有效果的是：采用狭缝式喷嘴的结构，在狭缝式喷嘴的内部进行混合，该混合使分别喷出的气体与液体以相互成45°～90°的角度进行冲击。但是，在该专利文献1的例子中，用于使混合后的双流体更均匀的空间不够充分。

另一方面，专利文献2公开了这样一种狭缝式喷嘴：沿流体的流动方向在细长的混合空间的上游区的互相离开的位置、双流体以各流动方向成90°的关系喷出从而进行合流，或在同一 位置双流体以各流动方向成45°的关系喷出从而进行合流，流向下游的狭缝式排出口中，在流向排出口的期间内进行该双流体的混合。在该例子中，虽然在具有一定长度的混合空间内使喷出液体与刚喷出的空气流成直角地直接冲击，但是气液混合体只是在平坦的混合空间中流动，未被充分均匀化地自喷射口喷出。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而做成的，其第一目的在于提供一种狭缝式喷嘴，该狭缝式喷嘴用于混合双流体而获得较佳的膜状喷雾，在狭缝式喷嘴的内部具有用于混合双流体的充分的混合空间，在该混合空间内使喷出液体流大致与喷出空气流成直角地相冲击，并能在输送到喷射狭缝中之前对混合流体进行积极的均匀化。

另外，本发明的第2目的在于提供一种双流体狭缝式喷嘴，该双流体狭缝式喷嘴即使在最接近喷射狭缝的位置，也能够形成利用高度均匀的双流体混合所产生的膜状喷雾，并能达到最高射流速度下的最大射流冲力和最佳冲洗效果。

并且，本发明的第3目的在于提供一种制造方法，该制造方法能够容易地制造上述第1以及第2目的中的双流体狭缝式喷嘴，因而能便宜地制造该双流体狭缝式喷嘴。

为了解决上述问题，本发明提供一种双流体狭缝式喷嘴，其包括分别为细长且被固定螺栓相互紧固的混合板、与混合板的一表面相接触的液体供给板以及与混合板的另一表面相接触的空气供给板；液体供给板包括：液体管连接口，其开口在液体供给板的外表面上；初级液体室，其开口在液体供给板的与混合板相接触的表面上，并与液体管连接口相连通；空气供给 板包括：空气管连接口，其开口在空气供给板的外表面上；初级空气室，其开口在空气供给板的与混合板相接触的表面上，并与空气管连接口相连通；开口在沿着板的长度方向的一端面上的喷射狭缝设在混合板与空气供给板之间，并且该双流体狭缝式喷嘴具有混合室，该混合室位于该喷射狭缝和初级液体室以及初级空气室之间；其特征在于，上述混合室是由与板的长度方向形成直角的多个纵槽形成的，该混合室在其上游端借助气孔与初级空气室相连通，上述气孔分别与各板的长度方向成直角地形成为细槽状，并且该混合室在其上游端近旁借助细孔状的液体孔与初级液体室相连通，上述液体孔与各气孔的方向成直角地贯穿混合板，混合室的各槽的下游端自喷射狭缝的上游端离开而形成为终端；混合室的下游端与喷射狭缝的上游端之间由多个初级孔、多个次级孔以及冲击室连通，上述初级孔在混合室的各槽的下游端贯穿混合板，上述次级孔在喷射狭缝的上游端贯穿混合板，上述冲击室至少由一个凹部形成，该凹部以连通初级孔和次级孔之间的方式形成在液体供给板的与混合板相接触的表面上。

技术方案2提供一种双流体狭缝式喷嘴，该双流体狭缝式喷嘴包括分别为细长且互相被固定螺栓紧固的混合板、与混合板的一表面相接触的液体供给板以及与混合板的另一表面相接触的空气供给板；液体供给板包括：液体管连接口，其开口在液体供给板的外表面上；初级液体室，其沿着板的长度方向开口在液体供给板的与混合板相接触的表面上，并与液体管连接口相连通；空气供给板包括：空气管连接口，其开口在空气供给板的外表面上；初级空气室，其沿着板的长度方向开口在空气供给板的与混合板相接触的表面上，并与空气管连接口相连通；混合板具有混合室，该混合室位于液体供给板的初级液体 室以及空气供给板的初级空气室和开设在沿着各板的长度方向的一端面上的喷射狭缝之间；其特征在于，混合板的混合室是由与板的长度方向成直角地形成在混合板的另一表面上的多个纵槽形成的，该混合室在其上游端借助气孔与初级空气室相连通，上述气孔分别与板的长度方向成直角地在混合板的另一表面上形成为细槽状，且该混合室在其上游端近旁借助细孔状的液体孔与初级液体室相连通，上述液体孔分别与气孔的方向成直角地贯穿混合板，混合室的各槽的下游端自喷射狭缝的上游端离开而形成为终端；混合室的下游端与喷射狭缝的上游端之间由多个初级孔、多个次级孔以及冲击室连通，上述初级孔在混合室的各槽的下游端贯穿混合板，上述次级孔在喷射狭缝的上游端贯穿混合板，上述冲击室由凹部形成，该凹部将各初级孔和各次级孔之间连通地形成在液体供给板的与混合板相接触的表面上。

并且，技术方案3是技术方案1或2所述的一种双流体狭缝式喷嘴，其特征在于，利用横槽将构成混合室的每对相邻的纵槽的下游端连结为U字形，各横槽利用多个初级孔与冲击室相连通，喷射狭缝的上游端借助最终室与次级孔相连通，该最终室连通所有次级孔而形成为沿着各板的长度方向延伸的横槽形状。

技术方案4是技术方案3所述的一种双流体狭缝式喷嘴，其特征在于，冲击室在与初级孔的出口相对的位置具有台阶状深部，与位于比冲击室的台阶状深部靠下游的浅部相面对的次级孔以小于初级孔的直径、且以小于初级孔的间隔设置多个，喷射狭缝由凹面部形成，该凹面部自与空气供给板的接触于混合板的表面上的最终室相面对的位置一直设置到的板的开设喷射狭缝的一端面。

另外，本发明提供一种双流体狭缝式喷嘴的制造方法，准备分别为细长板状的混合板、与混合板的一表面相接触的液体供给板以及与混合板的另一表面相接触的空气供给板；在液体供给板上形成液体管连接口和初级液体室，上述液体管连接口开口在液体供给板的外表面上，上述初级液体室开口在液体供给板的与混合板接合的接合面上且与液体管连接口相连通；在空气供给板上形成空气管连接口和初级空气室，上述空气管连接口开口在空气供给板的外表面上，上述初级空气室开口在空气供给板的与混合板接合的接合面上且与空气管连接口相连通；在混合板的另一表面上形成气孔、混合室和喷射狭缝，上述气孔与空气供给板的初级空气室的开口相连通，上述混合室的上游端与气孔的下游端相连接，上述喷射狭缝开口在沿着混合板的长度方向的一端面上；使液体供给板与混合板的一表面相接合而叠合在一起，使空气供给板与混合板的另一表面相接合而叠合在一起，并利用固定螺栓紧固；其特征在于，在混合板上形成气孔和混合室的工序含有如下工序：利用蚀刻或扩散融合中的一种在混合板的另一表面上形成与板的长度方向成直角的多个细槽作为气孔，利用蚀刻或扩散融合中的一种在混合板的另一表面上形成多个纵槽作为混合室，该纵槽的上游端与各细槽相连接且下游端自喷射狭缝的上游端离开；形成多个液体孔、多个初级孔、多个次级孔和最终室，上述液体孔在各纵槽的上游端与细槽的方向成直角地贯穿混合板而与液体供给板的开口相连通，上述初级孔在各纵槽的下游端贯穿混合板，上述次级孔在喷射狭缝的上游端贯穿混合板且其直径小于初级孔且间隔小于初级孔；上述最终室在混合板的另一表面侧沿着板的长度方向连通所有次级孔；在液体供给板上形成液体管连接口和初级液体室的工序包括在液体供给板的与混合板接合的接 合面上形成用于连通混合板的初级孔和次级孔的作为冲击室的凹部的工序。

并且，技术方案6是技术方案5所述的一种双流体狭缝式喷嘴的制造方法，其特征在于，在混合板上形成气孔和混合室的工序还包括如下工序：在混合板的另一表面上形成横槽和初级孔；上述横槽将构成混合室的每对相邻的纵槽的下游端连结成U字形；上述初级孔在多个位置使各横槽与冲击室相连通。

采用本发明的双流体狭缝式喷嘴，为了混合双流体而获得较佳的膜状喷雾，首先采用狭缝式喷嘴，液体孔的喷出口与气孔的喷出口成直角地配置在设于狭缝式喷嘴内部的混合室的上游端，在此混合双流体。从而，能最有效地利用空气流切断液体流，使液体微粒化，从而能够获得被可靠地混合的气液混合体。双流体的混合在混合体向混合室流下的期间进一步进行。除此之外，混合体在混合室的下游端被小径的初级孔改变方向而被输送到冲击室中，在此受到包括扩张和压缩的搅拌作用而使该混合体均匀化。被均匀化且被压缩的喷雾在更小径且更多个的次级孔处被高速化而进入到最终室中，在此进一步被均匀化，以高速自喷射狭缝喷出。在最终室中，由于喷雾自直径最小且个数最多的次级孔以高速喷出，因此能够可靠地在狭缝式喷嘴的长度方向上获得均匀且高速的膜状喷雾。

另外，采用本发明的双流体狭缝式喷嘴的制造方法，利用槽来形成在构成该狭缝式喷嘴的零件中最需要精密加工的混合板的多个气孔、U字形混合室以及最终室，上述槽开口在混合板的与空气供给板相接合的另一表面上，因此能易于利用蚀刻或扩散融合自该另一表面侧形成上述气孔、混合室和最终室，因而能够便宜地制造双流体狭缝式喷嘴。

附图说明

图1是本发明的双流体狭缝式喷嘴的一个实施例结构的、图2的I-I剖视图。

图2是表示图1的一个实施例结构的细长的混合板的空气供给板接合面的一部分的俯视图。

附图标记说明

1、液体供给板；11、液体管连接口；12、初级液体室；13、冲击室；2、混合板；21、气孔；22、混合室；23、液体孔；24、横槽；25、初级孔；26、次级孔；27、最终室；3、空气供给板；31、空气管连接口；32、初级空气室；33、喷射狭缝；34、35、固定螺栓。

具体实施方式

下面，根据附图说明本发明的实施例。

实施例1

图1以图2的I-I剖视图表示本发明的双流体狭缝式喷嘴的一个实施例中的结构。

在图1中，概略而言，双流体狭缝式喷嘴通过将分别细长且板状的液体供给板1、混合板2和空气供给板3叠合而成。较厚的液体供给板1以其侧面1A与混合板2的一表面2A相接合。液体供给板1包括：液体管连接口11，其开口在液体供给板1的上端面而能连接液体供给管；初级液体室12，其在内部与该液体管连接口11相连通，开口在侧面1A；冲击室13，其处于接近液体供给板1的下端面的位置，由开口在侧面1A的凹部形成。初级液体室12包括：台阶部，其与液体管连接口11相对；凹部，其自该台阶部沿着混合板2的一表面2A进一步加深，因此流入液体受到包括扩张和压缩的搅拌作用。

以侧面3A与混合板2的另一表面2B相接合的较厚的空气供给板3包括：空气管连接口31，其开口在空气供给板的与侧面3A相反侧的侧面上；初级空气室32，其与该空气管连接口31相连通而开口在侧面3A上。另外，在本实施例中，最终喷射膜状喷雾的喷射狭缝33由空气供给板33上的凹面和混合板2的另一表面2B的面对该凹面并延续到混合板2的下端面2C的部分构成，该凹面从空气供给板3的沿着其长度方向的下端面起形成到一定高度的位置，并沿长度方向连续地形成。

夹在上述液体供给板1与空气供给板3之间的混合板2实际上是将初级液体室12和初级空气室32互相分开的结构。在该混合板2上设有用于在输送两室12、32内的液体和空气到喷射狭缝33的上游端的期间内、高效率地使上述液体和空气进行混合而形成均匀且高速的喷雾的部件。

首先，将初级空气室32的空气供给板3下端面侧的底面设定在高于初级液体室12的凹部的底面的位置，从而能进行直角的气液混合喷射。如图1所示，混合板2具有许多个细槽状的气孔21，气孔21自混合板2的另一表面2B的与初级空气室32的底面部分相连通的位置直到高于初级液体室12的凹部底面的位置，且形成为图2的混合板2的另一表面2B侧俯视图所示的图案。并且，混合板2的另一表面2B具有稍粗的许多个纵槽状的混合室22，该混合室22分别与气孔21的下游端相连接，各混合室22的下游端在自喷射狭缝33的上游端稍微离开的位置形成终端。在各混合室22的上游端部分设有液体孔23，该液体孔23与气孔21的方向成直角地贯穿混合板2从而与初级液体室12的凹部底面附近相连通。因而，自液体孔23喷射的液体在各混合室22的上游端内、与自气孔21喷出的空气以直角关系进行冲击，有效地被喷出空气流切断而被微细粒化，并一边与空气流 混合，一边向混合室22内流下。

在混合室22的下游端部分大致垂直贯穿混合板2地设有小径的初级孔25，利用该初级孔25连通混合室22的下游端部和设在液体供给板1的接合面1A上的上述冲击室13的上游端部。在冲击室13的上游端部设有深凹部14，该深凹部14是沿来自初级孔25的混合喷雾的流动方向加深而成的，混合喷雾在此暂时被扩张，之后在下游侧的浅凹部重新被压缩。冲击室13的下游端部配置在与喷射狭缝33的上游端部相对的位置，上述相对的端部由次级孔26连通，该初级孔26贯穿混合板2且直径小于初级孔25。因而，在冲击室13内暂时被扩张、重新被压缩从而可靠地被均匀化而成的混合喷雾在该系统中，被最小径的次级孔26加速而输送到喷射狭缝33。

如图2所示，优选利用横槽24将每对相邻的纵槽状混合室22的下游端部连通成U字形。沿着各板的长度方向以一定间隔设置相连接的每对气孔21和混合室22，从而使横槽24具有一定长度，在该横槽24上设有多个小径的初级孔25。并且，在混合板2的另一表面2B上设有最终室27，该最终室27连通所有以比初级孔更小的间隔形成最多个的最小径的初级孔26，并形成为沿着板的长度方向延伸的横槽，该最终室27与喷射狭缝33的上游端部相连接。在由这样的横槽24、多个小径的初级孔25、冲击室13、最多个最小径的次级孔26以及用于连通所有次级孔的最终室27形成的路径中，反复进行混合体的扩散和压缩。从而，能积极地形成大致完全均匀化了的膜状喷雾，并能够在喷射狭缝33的整个长度上以高速进行喷射。

另外，更优选不将初级孔25和次级孔26配置在垂直的上下位置，而是错开配置。从而，能够进一步促进喷雾的均匀化。

另外，在此将喷射狭缝33制成设在空气供给板3的与混合 板接合的接合面3A上的凹面的情况进行了说明，但是本发明并不限于此，将喷射狭缝33制成在混合板2的另一表面2B上自最终室27设置到混合板2的下端面2C的凹面，也能够获得基本相同的效果。

接下来，说明本发明的双流体狭缝式喷嘴的制造方法。首先，准备分别为细长板状的混合板2、与混合板2的一表面2A相接触的液体供给板1以及与混合板2的另一表面2B相接触的空气供给板3的原材料。

在液体供给板1上形成多个液体管连接口11和初级液体室12；上述多个液体管连接口11在液体供给板1的任意一个外表面开口，在此是在自喷射狭缝33开口的端面的相反侧的上端面开口，多个液体管连接口11之间沿板的长度方向空出适当间隔；上述初级液体室12开口在液体供给板1的与混合板2接合的接合面1A上，并在内部与液体管连接口11相连通。该初级液体室12可以形成为下述任意一种形式：分割成一个一个与各液体管连接口11相对应的适当长度的室，或形成为在液体供给板1的大致全长范围内连续的1个室。

另外，当在液体供给板1上形成液体管连接口11和初级液体室12时，在液体供给板1的与混合板接合的接合面1A上形成具有附台阶凹部的冲击室13，该冲击室13将混合板上的初级孔25与次级孔26之间连通。

在空气供给板3上形成多个空气管连接口31和初级空气室32；上述多个空气管连接口31在空气供给板3的任意一个外表面开口，在此是开口在空气供给板3的同其与混合板接合的接合面3A相反一侧的表面上，多个空气管连接口31之间沿板的长度方向空出适当间隔；上述初级空气室32开口在空气供给板3的与混合板2接合的接合面3A上，并在内部与空气管连接口31 相连通。初级空气室32可以形成为下述任意一种形式：对应于每个空气管连接口31地分割形成初级空气室32，或形成为所有空气管连接口所共用的1个初级空气室32。

关于混合板2，在其另一表面2B上，利用蚀刻或扩散融合在与空气供给板3的初级空气室32的开口相连通的位置形成与混合板的长度方向成直角的多个细槽作为气孔。另外，利用蚀刻或扩散融合形成稍粗的多个纵槽作为混合室22，该纵槽的上游端与各细槽的下游端相连接，该纵槽的下游端自喷射狭缝33的上游端离开。另外，形成开口在沿着混合板的长度方向的一端面上的喷射狭缝。并且，在各纵槽的上游端形成多个液体孔23，该液体孔23与细槽的方向成直角地贯穿混合板2，与液体供给板1的开口相连通。另外，在各纵槽的下游端形成贯穿混合板2的多个小径的初级孔25，在喷射狭缝33的上游端形成贯穿混合板2的、直径小于初级孔且间隔小于初级孔的多个次级孔26。另外，在混合板2的另一表面2B侧形成横槽状的最终室27，该最终室27沿混合板的长度方向连通所有的次级孔26。

另外，开口在沿着板的长度方向的一端面上的喷射狭缝也可以形成在空气供给板3上。

使液体供给板1与遮盖起来的混合板2的一表面2A相接合而叠合在一起，使空气供给板3与混合板2的另一表面2B相接合而叠合在一起，夹着混合板2而将固定螺栓34、35例如自空气供给板3一侧紧固在液体供给板1上，从而制造出双流体狭缝式喷嘴。

产业上的可利用性

本发明的双流体狭缝式喷嘴能用于例如电子零件等的双流体冲洗、精密冲洗。另外，本发明的制造方法能用于制造上述用途的双流体狭缝式喷嘴。

Claims (6)

1.一种双流体狭缝式喷嘴，其包括分别为细长且被固定螺栓相互紧固的混合板、与混合板的一表面相接触的液体供给板以及与混合板的另一表面相接触的空气供给板；

液体供给板包括：液体管连接口，其开口在液体供给板的外表面上；初级液体室，其开口在液体供给板的与混合板相接触的表面上，并与液体管连接口相连通；

空气供给板包括：空气管连接口，其开口在空气供给板的外表面上；初级空气室，其开口在空气供给板的与混合板相接触的表面上，并与空气管连接口相连通；

开口在沿着板的长度方向的一端面上的喷射狭缝设在混合板与空气供给板之间；

并且该双流体狭缝式喷嘴具有混合室，该混合室位于该喷射狭缝和初级液体室以及初级空气室之间；其特征在于，

上述混合室是由与各板的长度方向成直角地设置的多个纵槽形成的，该混合室在其上游端借助气孔与初级空气室相连通，上述气孔分别与各板的长度方向成直角地形成为细槽状，并且该混合室在其上游端近旁借助细孔状的液体孔与初级液体室相连通，上述液体孔与各气孔的方向成直角地贯穿混合板，混合室的各槽的下游端自喷射狭缝的上游端离开而形成为终端；

混合室的下游端与喷射狭缝的上游端之间由多个初级孔、多个次级孔以及冲击室连通，上述初级孔在混合室的各槽的下游端贯穿混合板，上述次级孔在喷射狭缝的上游端贯穿混合板，上述冲击室至少由一个凹部形成，该凹部以连通初级孔和次级孔之间的方式形成在液体供给板的与混合板相接触的表面上。

2.根据权利要求1所述的双流体狭缝式喷嘴，其特征在于，上述初级液体室沿着板的长度方向开口在液体供给板的与混合板相接触的表面上，并与液体管连接口相连通；

上述初级空气室沿着板的长度方向开口在空气供给板的与混合板相接触的表面上，并与空气管连接口相连通；

上述混合室形成在上述混合板上，该混合室位于液体供给板的初级液体室以及空气供给板的初级空气室和开设在沿着各板的长度方向的一端面上的喷射狭缝之间；

上述混合板的上述混合室是由与板的长度方向成直角地形成在混合板的另一表面上的多个纵槽形成的。

3.根据权利要求1或2所述的双流体狭缝式喷嘴，其特征在于，

利用横槽将构成混合室的每对相邻的纵槽的下游端连结为U字形，各横槽利用多个初级孔与冲击室相连通，喷射狭缝的上游端借助最终室与次级孔相连通，该最终室连通所有次级孔而形成为沿着各板的长度方向延伸的横槽形状。

4.根据权利要求3所述的双流体狭缝式喷嘴，其特征在于，

冲击室在其与初级孔的出口相对的位置具有台阶状深部，与位于比冲击室的台阶状深部靠下游位置的浅部相面对的次级孔以直径小于初级孔的直径、且以间隔小于初级孔之间的间隔设置多个，喷射狭缝由凹面部形成，该凹面部自空气供给板的接触于混合板的表面上的与最终室相面对的位置一直设置到板的开设喷射狭缝的一端面。

5.一种双流体狭缝式喷嘴的制造方法，准备分别为细长板状的混合板、液体供给板以及空气供给板；

在液体供给板上形成液体管连接口和初级液体室，上述液体管连接口开口在液体供给板的外表面上，上述初级液体室开口在液体供给板的与混合板接合的接合面上且与液体管连接口相连通；

在空气供给板上形成空气管连接口和初级空气室，上述空气管连接口开口在空气供给板的外表面上，上述初级空气室开口在空气供给板的与混合板接合的接合面上且与空气管连接口相连通；

在混合板的与空气供给板接合的表面上形成气孔、混合室和喷射狭缝，上述气孔与空气供给板的初级空气室的开口相连通，上述混合室的上游端与气孔的下游端相连接，上述喷射狭缝开口在沿着混合板的长度方向的一端面上；

使液体供给板与混合板的一表面相接合而叠合在一起，使空气供给板与混合板的另一表面相接合而叠合在一起，并利用固定螺栓紧固；其特征在于，

在混合板上形成气孔和混合室的工序含有如下工序：

利用蚀刻或扩散融合中的一种在混合板的另一表面上形成与板的长度方向成直角的多个细槽作为气孔，利用蚀刻或扩散融合中的一种在混合板的另一表面上形成多个纵槽作为混合室，该纵槽的上游端与各细槽相连接且下游端自喷射狭缝的上游端离开；

形成多个液体孔、多个初级孔、多个次级孔和最终室，上述液体孔在各纵槽的上游端与细槽的方向成直角地贯穿混合板而与初级液体室的开口相连通，上述初级孔在各纵槽的下游端贯穿混合板，上述次级孔在喷射狭缝的上游端贯穿混合板且其直径小于初级孔的直径且间隔小于初级孔之间的间隔，上述最终室在混合板的另一表面侧沿着板的长度方向连通所有次级孔；

在液体供给板上形成液体管连接口和初级液体室的工序包括在液体供给板的与混合板接合的接合面上形成用于连通混合板的初级孔和次级孔的作为冲击室的凹部的工序。

6.根据权利要求5所述的双流体狭缝式喷嘴的制造方法，其特征在于，

在混合板上形成气孔和混合室的工序还包括如下工序：在混合板上形成横槽和初级孔；上述横槽将构成混合室的每对相邻的纵槽的下游端连结成U字形；上述初级孔在多个位置使各横槽与冲击室相连通。

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