CN101520342B - 超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪 - Google Patents

超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪 Download PDF

Info

Publication number
CN101520342B
CN101520342B CN 200910048168 CN200910048168A CN101520342B CN 101520342 B CN101520342 B CN 101520342B CN 200910048168 CN200910048168 CN 200910048168 CN 200910048168 A CN200910048168 A CN 200910048168A CN 101520342 B CN101520342 B CN 101520342B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mirror
infrared
index glass
light path
plane mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN 200910048168
Other languages
English (en)
Other versions
CN101520342A (zh
Inventor
华建文
王战虎
代作晓
李宁刚
亓洪兴
王培纲
樊庆
袁亚飞
段娟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Original Assignee
Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Institute of Technical Physics of CAS filed Critical Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Priority to CN 200910048168 priority Critical patent/CN101520342B/zh
Publication of CN101520342A publication Critical patent/CN101520342A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101520342B publication Critical patent/CN101520342B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

本发明公开了一种超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪,由一对背靠背角镜、一对平面反射镜、一对斜置反射镜、一片分束器和一片补偿器组成红外光路;由直线电机和线性轴承组成角镜驱动系统;角镜在电机的驱动下进行直线往复运动,产生光程差。参考光光路与红外光路共光路,参考光光路位于中央部分,红外光路位于周围部分。参考光源采用稳频激光器。前置光学为平进平出的反射式望远镜,后置光学将红外干涉光信号聚焦到红外探测器上。探测器将干涉光信号转换为电信号,经放大器放大后由AD转换为数字信号,并由数据采集系统按动镜位置信号记录干涉信号,即干涉图。干涉图经傅里叶变换后得到红外光谱信号。

Description

超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪
技术领域
本发明涉及空间光电仪器技术,具体指一种超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪,它应用于卫星遥感大气成份探测。
背景技术
对于卫星遥感大气成份探测,很多场合需要探测化学成份的红外精细光谱。例如O3,H2O,CH4,N2O,and HNO3等。目前国际上在这一领域的仪器有三台。一台是德国的Michaelson Interferometer for Passive Atmospheric Sounding(MIPAS)(http://www.leos.le.ac.uk/mipas/),另一台是加拿大的AtmosphericChemistry Experiment-Fourier Transform Spectrometer(ACE)(http://www.ace.uwaterloo.ca/),还有一台是美国的Tropospheric EmissionSpectrometer(TES)。超高光谱分辩率红外光谱仪的核心系统是大光程差干涉系统。产生大光程差的光学系统主要就是高倍程干涉光学结构。本仪器设计的高倍程干涉光学结构与上述三个仪器不尽相同,因而具有不同的特点。MIPAS设计的倍程干涉结构见附图3。它的动镜是两个并排放置的角镜,两个角镜的运动方向相反,轨迹不在一条直线上。在一定时间内,一个动镜运动距离z,另一个动镜在相反方向也运动了z,角镜是反射式的,所以当动镜运动z时,两干涉光束的光程差为4z。说明它是一个四倍程干涉结构。TES设计的倍程干涉结构见附图4。它的动镜是两个背靠背放置的角镜,两个角镜的运动方向一致,运动轨迹在同一条直线上。在一定时间内,一个动镜运动距离z,另一个动镜在相同方向也运动了z,所以当动镜运动z时,两束干涉光的光程差为4z。说明它也是一个四倍程干涉结构。ACE设计的倍程干涉结构见附图5。它的动镜是置于摇臂架上的一对角镜,摇臂架围绕一点摆动,角镜作圆弧往复运动。在一定时间内,一个动镜运动距离z,另一个动镜在相同方向也运动了z。由于光线两次经过角镜,所以当动镜运动z时,两束干涉光的光程差为8z。说明它是一个八倍程干涉结构。
因为ACE结构具有较大的角镜摆动转架,因此运动质量较大(见附图6);ACE动镜的运动为圆弧运动,对光程差速率的匀速控制不利;在ACE中,动镜运动还会引起从角镜射向反射镜的光线产生横向剪切运动,对干涉没有好处。另外,如要进一步增大光程差提高光谱分辩率,或是加长摇臂长度,或是增加摇动角度,前者将造成运动件尺寸和质量的增加,后者将要求增大角镜尺寸和运动的非线性。
发明内容
本发明的目的是提供一种平动式的八倍程干涉结构,解决摆动式八倍程干涉结构存在的技术不足。
本发明的技术方案如下:
干涉仪方案如附图1所示:干涉仪的红外光路和参考光路共光路,参考光路位于中央部分,红外光路位于周围部分,干涉仪两臂以分束器为对称布置,分束器6、补偿器7的法线与入射光束成30°夹角,第一折反镜(4)和第二折反镜(5)的法线与入射光成15°夹角,动镜1的两个反射角镜以背靠背方式联结在一起,光线垂直入射第一平面反射镜(2)和第二平面反射镜(3),动镜的运动方向与入射光线方向一致,望远镜次镜17上有一小孔,参考光路的激光束穿过此小孔、滤光片9和平面反射镜15的中心孔。
两个反射角镜背靠背构成的动镜1安装在运动架上(见附图2),运动架由4个线性轴承支撑于导轨上。导轨为两根平行布置的光滑圆杆,每根导轨上布置两个轴承,动镜布置在两轴承之间,导轨布置在动镜两旁,导轨方向就是动镜的运动方向,直线电机布置在两导轨的外侧,直线电机的动子与运动架联结,直线电机的定子与基板相连。
在本发明中光线从分束器6和补偿器7分成两束,经过第一折反镜(4)和第二折反镜(5)达到背靠背放置的两个反射角镜构成的动镜1,经角镜发射后光线射向第一平面反射镜(2)和第二平面反射镜(3),反射镜的放置让光线垂直反射,这样光线又反射回角镜,再次通过角镜,由于光线在干涉仪中两次通过角镜,因而本干涉仪光学结构是一个八倍程干涉结构。
本发明的优点在于:
本发明设计采用角镜背靠背结构,运动质量比ACE的运动质量小,因为ACE结构具有较大的角镜摆动转架,见附图6;本发明设计的动镜运动方式为直线运动,采用直线电机(见图2),这对光程差速率的匀速控制有利,而ACE动镜的运动为圆弧运动,对光程差速率的匀速控制不利;在本发明设计中,动镜运动时不引起反射光线横向剪切运动,而在ACE中,动镜运动会引起从角镜射向反射镜的光线产生横向剪切运动,对干涉没有好处。在本发明结构中,若要进一步增大光程差提高光谱分辩率,只要增大动镜的运动距离,不必增大角镜的尺寸。而在ACE中,如要进一步增大光程差提高光谱分辩率,或是加长摇臂长度,或是增加摇动角度,前者将造成运动件尺寸和质量的增加,后者将要求增大角镜尺寸和运动的非线性。
本发明中,动镜机构采用两根圆杆导轨和四个线性轴承来支撑,采用音圈电机作为动镜驱动,这种结构与ACE比较,动镜运动的直线性好,运动件惯性质量小,与TES和MIPAS比运动质量小。
附图说明
图1:超高光谱分辨率红外光谱探测仪技术方案;
图中:
1-动镜(由背靠背的两个角镜组合而成);
2-第一平面反射镜;
3-第二平面反射镜;
4-第一折反镜;
5-第二折反镜;
6-分束器;
7-补偿器;
8-稳频激光器;
9-滤光片;
10-汇聚反射镜;
11-第一波段探测器组件;
12-分色片;
13-第二波段探测器组件;
14-激光反射镜;
15-红外反射镜;
16-参考信号探测器;
17-望远镜次镜;
18-视场光栏;
19-望远镜主镜;
20-扫描镜。
图2:动镜驱动技术方案图;
图中:
1-动镜(由背靠背的两个角镜组合而成);
21-线性轴承;
22-导轨;
23-直线电机。
图3:MIPAS倍程干涉结构技术方案。
图4:TES倍程干涉结构技术方案图。
图5:ACE倍程干涉结构技术方案。
图6:ACE角镜摆动转架照片。
图7:超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪样机。
具体实施方式
本发明的结构实例见图7。主要参数为:仪器波段范围2.5-13μm,光谱分辩率0.02cm-1,频率稳定度0.1ppm。角镜通光口径62.5mm,动镜运动距离72mm,分束器口径50mm,干涉仪通光口径30mm(没有全部利用),视场6.25mrad,望远镜孔径100mm,望远镜视场1.25mrad。

Claims (2)

1.一种超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪,它由红外光路和参考光路组成,其中红外光路由动镜(1)、第一平面反射镜(2)、第二平面反射镜(3)、第一折反镜(4)、第二折反镜(5)、一片分束器(6)和一片补偿器(7)组成;参考光路由稳频激光器(8)、平面反射镜(14)、分束器(6)、补偿器(7)、第一折反镜(4)、第二折反镜(5)、第一平面反射镜(2)、第二平面反射镜(3)以及动镜(1)组成;其特征在于:
所述的动镜(1)、第一平面反射镜(2)和第二平面反射镜(3)组成一个平动式八倍程干涉结构;红外光线和参考光线都从分束器处进入,并分成两束,其后经第一折反镜(4)和第二折反镜(5)达到背靠背放置的两个反射角镜构成的动镜(1),经角镜反射后光线射向第一平面反射镜(2)和第二平面反射镜(3),反射镜的放置让光线垂直反射,然后都原路返回;其中,干涉仪的两个光路,即上述所提的红外光路和参考光路,它们在一段路径上是共光路的,即光束的中央部分为参考光,外围部分为红外光,动镜(1)、第一平面反射镜(2)、第二平面反射镜(3)、第一折反镜(4)、第二折反镜(5)、分束器(6)和补偿器(7)为这两个光路公用器件。
2.根据权利要求1所述的一种超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪,其特征在于:所述的动镜(1)是由两个以背靠背方式联结在一起反射角镜构成,整个动镜(1)安装在由直线电机(23)驱动的运动架上沿由4个线性轴承(21)支撑的导轨(22)作直线往复运动。
CN 200910048168 2009-03-25 2009-03-25 超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪 Active CN101520342B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910048168 CN101520342B (zh) 2009-03-25 2009-03-25 超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910048168 CN101520342B (zh) 2009-03-25 2009-03-25 超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101520342A CN101520342A (zh) 2009-09-02
CN101520342B true CN101520342B (zh) 2010-11-17

Family

ID=41081054

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200910048168 Active CN101520342B (zh) 2009-03-25 2009-03-25 超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101520342B (zh)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102879098B (zh) * 2012-09-19 2014-05-14 南京理工大学 窄带高光谱的快速干涉成像方法及装置
CN103091283B (zh) * 2013-02-26 2015-09-09 浙江大学 一种超高光谱分辨率气体中波红外光谱测量系统
CN103852248B (zh) * 2014-01-17 2016-08-17 中国科学院上海技术物理研究所 平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法
CN104614072B (zh) * 2015-02-10 2016-09-21 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于全反射镜的二维光谱测量装置及测量方法
CN106018344A (zh) * 2016-05-16 2016-10-12 中国电子科技集团公司第四十研究所 一种基于直线往复丝杠的小型化傅里叶光谱仪
CN107328476A (zh) * 2017-05-27 2017-11-07 中国科学院上海技术物理研究所 一种基于红外焦平面探测器的干涉图数据采集读出系统
CN107894406B (zh) * 2017-10-23 2019-08-20 深圳市太赫兹系统设备有限公司 傅里叶变换红外光谱分析仪的控制方法、装置、存储介质和计算机设备
CN109405973A (zh) * 2018-12-27 2019-03-01 荧飒光学科技(上海)有限公司 傅里叶变换光谱仪用干涉仪
CN110780279A (zh) * 2019-10-30 2020-02-11 上海禾赛光电科技有限公司 扫描镜组件和包括其的激光雷达
CN111562009B (zh) * 2020-04-27 2021-06-22 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种共光路角镜干涉仪及干涉方法
CN112284542B (zh) * 2020-09-15 2022-08-02 中国科学院上海技术物理研究所 一种多分辨率宽波段傅里叶红外光谱仪动镜电机控制方法
WO2023024018A1 (zh) * 2021-08-26 2023-03-02 江苏旭海光电科技有限公司 一种分段扫描傅里叶变换光谱仪
CN114563084A (zh) * 2022-02-07 2022-05-31 中电科思仪科技股份有限公司 一种实时傅立叶红外光谱辐射测量系统及测量方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1150647A (zh) * 1996-02-06 1997-05-28 中国科学院上海技术物理研究所 碲镉汞材料组分分布显示方法和装置
CN1074832C (zh) * 1998-11-20 2001-11-14 清华大学 一种在线近红外多成分的测量方法及仪器
CN101178351A (zh) * 2006-11-08 2008-05-14 汤知 光纤传感式ch4气体测量仪

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1150647A (zh) * 1996-02-06 1997-05-28 中国科学院上海技术物理研究所 碲镉汞材料组分分布显示方法和装置
CN1074832C (zh) * 1998-11-20 2001-11-14 清华大学 一种在线近红外多成分的测量方法及仪器
CN101178351A (zh) * 2006-11-08 2008-05-14 汤知 光纤传感式ch4气体测量仪

Also Published As

Publication number Publication date
CN101520342A (zh) 2009-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101520342B (zh) 超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪
US11835656B2 (en) Methods for scanning a LiDAR system in two dimensions
US4383762A (en) Two-beam interferometer for Fourier spectroscopy with rigid pendulum
US5491550A (en) Interference methods and interference microscopes for measuring energy path length differences, path length between two locaitons or for determiing refractive index
CN103293530A (zh) 距离测量装置
CN102436061B (zh) 高速三维荧光成像显微镜
CN101419330A (zh) 一种快速控制反射镜
CN109633858B (zh) 一种光镊中对射光束焦点对准的装置及方法
CN100491975C (zh) 便携式红外光谱仪
US20110235049A1 (en) Wavefront Sensing Method and Apparatus
CN103076090B (zh) 一种激光干涉仪光程差定位方法及系统
CN101520320A (zh) 基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置
CN103018733A (zh) 一种天文望远镜焦点定位装置
Ishikawa et al. Integrated micro-displacement sensor that measures tilting angle and linear movement of an external mirror
JPS62182628A (ja) 干渉計
CN203069274U (zh) 一种激光干涉仪光程差定位系统
CN101833167A (zh) 光束照射装置以及位置检测装置
US4776684A (en) Very large optical telescope
Solf et al. Miniaturized LIGA Fourier transformation spectrometer
CN202631111U (zh) 平面摆式干涉仪
CN101329200A (zh) 双路输出双角反射体干涉仪
CN108226937B (zh) 用于检测物体的激光雷达传感器
CN104155003B (zh) 高稳定性转镜干涉仪
JP2008299144A (ja) ビーム照射装置およびレーザレーダ
CN104155004A (zh) 一种折射旋转扫描干涉仪

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant