CN202631111U - 平面摆式干涉仪 - Google Patents

平面摆式干涉仪 Download PDF

Info

Publication number
CN202631111U
CN202631111U CN 201220252267 CN201220252267U CN202631111U CN 202631111 U CN202631111 U CN 202631111U CN 201220252267 CN201220252267 CN 201220252267 CN 201220252267 U CN201220252267 U CN 201220252267U CN 202631111 U CN202631111 U CN 202631111U
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
level crossing
beam splitter
mirror
angle mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 201220252267
Other languages
English (en)
Inventor
高学军
龚蓉晔
王百华
刘志国
杨海山
武惠忠
彭海英
王文智
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BEIJING BEIFEN-RUILI ANALYTICAL INSTRUMENT (GROUP) CO LTD
Original Assignee
BEIJING RUILI ANALYSIS INSTRUMENT CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BEIJING RUILI ANALYSIS INSTRUMENT CO LTD filed Critical BEIJING RUILI ANALYSIS INSTRUMENT CO LTD
Priority to CN 201220252267 priority Critical patent/CN202631111U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202631111U publication Critical patent/CN202631111U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

平面摆式干涉仪,包括光源,光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜,以及将平行光分成两束光的分束器,两束光一束为反射光,另一束为透射光,于分束器一侧的反射光的光路上,依次设有将反射光反射到第一角镜的第一平面镜,以及将反射光原路反射回分束器的第一角镜,于分束器另一侧的透射光的光路上,依次设有将透射光反射到第二角镜的第二平面镜,以及将透射光原路反射回分束器的第二角镜,第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承,使第一角镜和第二角镜摆动产生光程差,于分束器另一侧形成干涉光,分束器另一侧设有将干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。本实用新型光学效率相对提高1.33倍,稳定性好。

Description

平面摆式干涉仪
技术领域
本实用新型涉及一种红外光谱测试仪器,它可在实验室及现场环境中使用,用于样品的红外光谱分析。由于其体积小、质量轻、结构紧凑更适合移动到现场。
背景技术
傅立叶变换红外光谱仪是把红外光通过干涉仪调制成干涉光,再把干涉光通过傅立叶变换转化成光谱。仪器的核心是干涉仪,干涉仪性能的优良决定仪器的优劣,国内生产傅立叶变换红外光谱仪的厂家很少,国外生产傅立叶变换红外光谱仪的公司也不是很多。各家公司的干涉仪都各不相同,但都是在迈克尔逊干涉仪的基础上的变形。构成干涉仪的动镜和定镜大都采用平面镜或角镜,通过移动平面镜或角镜改变光程差,而形成干涉图。移动平面镜或者角镜的方式有两种,一种是平行移动,一种是转动。
但现有的干涉仪体积和质量较大,搬动不便,外界因素容易影响仪器的干涉度,稳定性不够。
发明内容
本实用新型提供一种平面摆式干涉仪,以解决背景技术中存在的技术问题。
为此,本实用新型的一种平面摆式干涉仪,包括光源,所述光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜,以及将所述平行光分成两束光的分束器,所述两束光一束为反射光,另一束为透射光,于所述分束器一侧的所述反射光的光路上,依次设有将所述反射光反射到第一角镜的第一平面镜,以及将所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角镜,于所述分束器另一侧的所述透射光的光路上,依次设有将所述透射光反射到第二角镜的第二平面镜,以及将所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角镜,所述第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承,使所述第一角镜和第二角镜摆动产生光程差,于所述分束器另一侧形成干涉光,所述分束器另一侧设有将所述干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。
其中,所述平行光以20°入射角进入所述分束器。
其中,所述扭曲轴承通过电磁驱动音圈带动。
其中,所述第一平面镜、第二平面镜、第一角镜、第二角镜和分束器均固定到一个干涉仪架上。
其中,所述第一平面镜和第二平面镜其中之一为固定式,另一平面镜为能够平行移动。
其中,所述第一平面镜和第二平面镜均能够平行移动。
其中,所述第一平面镜和第二平面镜外形为圆形、长方形或椭圆形。
其中,所述第一平面镜和第二平面镜材质为石英玻璃。
其中,所述第一平面镜和第二平面镜的光学反射镜面镀金。
由于采用了角反射镜,这样就降低了外界因素对仪器干涉度的影响,显著提高了仪器的稳定性。本实用新型采用入射到分束器的光束入射角为20°和传统的迈克尔逊干涉仪45°入射角相比,光学效率相对提高1.33倍(COS20°/COS45°)。本实用新型的分束器、平面镜、角镜都在一个干涉仪架上,使得干涉仪非常紧凑、体积很小。环境适应性增强,稳定性好。本实用新型平面镜外形设计为圆形、长方形或椭圆形,提高材料的使用效率,材质采用石英玻璃表面镀金,提高光学反射效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
附图标记说明
1-光源;2-第一准直镜;3-第一平面镜;4-分束器;5-第二平面镜;6-扭曲轴承;7-第二角镜;8-第二准直镜;9-探测器;10-干涉仪架;11-音圈;12-第一角镜。
具体实施方式
为了使本实用新型的形状、构造以及特点能够更好地被理解,以下将列举较佳实施例并结合附图进行详细说明。
本实用新型包括光源1,光源1发出的光经过第一准直镜2后成为一束平行光,平行光以20°角进入分束器4后分成两束,一束为反射光,另一束为透射光。反射光被经第一平面镜3反射到第一角镜12,然后反射回第一平面镜3,再返回分束器4。透射光经第二平面镜5反射到第二角镜7,然后反射回第二平面镜5,再返回分束器4。
角镜12和7之间设有扭曲轴承6,通过电磁驱动音圈11运动再带动扭曲轴承6转动,而使两个角镜12和7摆动产生光程差,使返回所述分束器4的反射光和透射光形成干涉光。干涉光经过第二准直镜8汇聚到探测器9的焦点上。所述平面镜3、5,角镜7、12,分束器4均固定到一个干涉仪架10上,结构紧凑、体积小、重量轻。
平面镜3和5可以设置为一边平面镜为固定式,另一边平面镜能够调整,通过平行移动调整平面镜的位置,来调整光程差;也可设计成两边都可平行移动来调整的平面镜结构;也可设计成一边平面镜为固定式,另一边调整后然后固定的方式。平面镜3和5外形为圆形、长方形或椭圆形,材质为石英玻璃,光学反射镜面镀金。
由于光以20°角进入到分束器,光学效率是传统的迈克尔逊干涉仪的1.33倍。另外这种干涉仪由于采用了角镜使仪器的抗干扰能力稳定性得到了加强。稳定性得到提升。
以上对本实用新型的描述是说明性的,而非限制性的,本专业技术人员理解,在权利要求限定的精神与范围之内可对其进行许多修改、变化或等效,但是它们都将落入本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种平面摆式干涉仪,其特征在于,包括光源,所述光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜,以及将所述平行光分成两束光的分束器,所述两束光一束为反射光,另一束为透射光,
于所述分束器一侧的所述反射光的光路上,依次设有将所述反射光反射到第一角镜的第一平面镜,以及将所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角镜,
于所述分束器另一侧的所述透射光的光路上,依次设有将所述透射光反射到第二角镜的第二平面镜,以及将所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角镜,
所述第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承,使所述第一角镜和第二角镜摆动产生光程差,反射回所述分束器的反射光与透射光于所述分束器另一侧形成干涉光,所述分束器另一侧设有将所述干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。
2.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪,其特征在于,所述平行光以20°入射角进入所述分束器。
3.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪,其特征在于,所述扭曲轴承通过电磁驱动音圈带动。
4.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪,其特征在于,所述第一平面镜、第二平面镜、第一角镜、第二角镜和分束器均固定到一个干涉仪架上。
5.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪,其特征在于,所述第一平面镜和第二平面镜其中之一为固定式,另一平面镜为能够平行移动。
6.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪,其特征在于,所述第一平面镜和第二平面镜均能够平行移动。
7.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪,其特征在于,所述第一平面镜和第二平面镜外形为圆形、长方形或椭圆形。
8.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪,其特征在于,所述第一平面镜和第二平面镜材质为石英玻璃。
9.如权利要求1所述的平面摆式干涉仪,其特征在于,所述第一平面镜和第二平面镜的光学反射镜面镀金。
CN 201220252267 2012-05-30 2012-05-30 平面摆式干涉仪 Expired - Lifetime CN202631111U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220252267 CN202631111U (zh) 2012-05-30 2012-05-30 平面摆式干涉仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220252267 CN202631111U (zh) 2012-05-30 2012-05-30 平面摆式干涉仪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202631111U true CN202631111U (zh) 2012-12-26

Family

ID=47384302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201220252267 Expired - Lifetime CN202631111U (zh) 2012-05-30 2012-05-30 平面摆式干涉仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202631111U (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104155004A (zh) * 2014-08-05 2014-11-19 中国科学院合肥物质科学研究院 一种折射旋转扫描干涉仪
CN105387935A (zh) * 2015-12-15 2016-03-09 北京雪迪龙科技股份有限公司 一种干涉装置及包括该干涉装置的光谱仪
CN106525241A (zh) * 2016-10-26 2017-03-22 北京雪迪龙科技股份有限公司 一种干涉仪及光谱仪
CN110319934A (zh) * 2019-06-24 2019-10-11 北京雪迪龙科技股份有限公司 干涉调制器及红外光谱仪

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104155004A (zh) * 2014-08-05 2014-11-19 中国科学院合肥物质科学研究院 一种折射旋转扫描干涉仪
CN104155004B (zh) * 2014-08-05 2016-08-24 中国科学院合肥物质科学研究院 一种折射旋转扫描干涉仪
CN105387935A (zh) * 2015-12-15 2016-03-09 北京雪迪龙科技股份有限公司 一种干涉装置及包括该干涉装置的光谱仪
CN106525241A (zh) * 2016-10-26 2017-03-22 北京雪迪龙科技股份有限公司 一种干涉仪及光谱仪
CN110319934A (zh) * 2019-06-24 2019-10-11 北京雪迪龙科技股份有限公司 干涉调制器及红外光谱仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202631111U (zh) 平面摆式干涉仪
CN100491975C (zh) 便携式红外光谱仪
US9557221B1 (en) Interferometer for Fourier transform infrared spectrometry
CN102621558A (zh) 激光雷达能见度仪及其收发同轴光学系统
CN101520342A (zh) 超高光谱分辨率红外傅里叶光谱探测仪
CN104568826A (zh) 一种基于线性渐变滤光片的微型固化近红外光谱仪
CN203572578U (zh) 便携式傅立叶近红外光谱仪
CN103134600A (zh) 一种自相关仪
CN102243106A (zh) 一种用于激光频率测量的拍频装置
CN102359818A (zh) 红外光谱干涉仪和采用该干涉仪的红外光谱仪
CN105203222A (zh) 一种基于菲涅耳透镜和cars光谱对火焰一维扫描测温的装置
CN106209237B (zh) 光通信自动跟踪系统以及光通信自动跟踪方法
CN101329200A (zh) 双路输出双角反射体干涉仪
CN103712691A (zh) 一种傅立叶变换光谱仪
CN105203223A (zh) 一种基于cars光谱测量一维扫描火焰温度的装置
CN203117457U (zh) 一种光纤导出式的干涉仪激光光源系统
CN102706461A (zh) 新型Mach-Zehnder偏振分束干涉仪
CN102073122B (zh) 用于离轴同心光学系统中同心光学元件的同心装配方法
CN204479187U (zh) 基于双五棱镜的准直光束检测装置
CN103197382A (zh) 一种光纤导出式的干涉仪激光光源系统
CN202229843U (zh) 红外光谱干涉仪和采用该干涉仪的红外光谱仪
CN104951725A (zh) 一种激光条码扫描器及其扫描引擎
CN102012554A (zh) 输出光垂直于像面的大口径F-Theta扫描透镜
CN101324521A (zh) 一种干涉仪光路系统
CN101303254A (zh) 新型双猫眼动镜干涉仪

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20210907

Address after: 100094 160 Beiqing Road, Haidian District, Beijing

Patentee after: BEIJING BEIFEN-RUILI ANALYTICAL INSTRUMENT (Group) Co.,Ltd.

Address before: 100016, A5 building, No. 9 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District

Patentee before: BEIJING RAYLEIGH ANALYTICAL INSTRUMENT Co.,Ltd.

CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20121226