CN101452209A - 方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及方形基片涂胶领域，具体为一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，应用于方形基片(如光刻掩膜板、平板显示器)涂胶工艺中涂胶腔体自动扣盖和开启功能。该自动扣盖机构设有内盖和外盖两层盖结构，外盖中心开孔，其上表面设有定位销子I；内盖中心通过连接件穿过外盖中心孔连有定位板，定位板通过其上开设的销孔与外盖上的定位销子I相对应；方形基片涂胶单元的承片台上安装旋转盖板，旋转盖板表面设有定位销子II，内盖通过其上开设的销孔与旋转盖板上的销子II相对应。本发明整个扣盖机构由一气缸驱动上下运动，可以完成自动扣盖和开启动作，它解决了方形基片的均匀涂胶等问题。
Description
技术领域：
本发明涉及方形基片涂胶领域，具体为一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，应用于方形基片(如光刻掩膜板、平板显示器)涂胶工艺中涂胶腔体自动扣盖和开启功能。
背景技术：
方形基片涂胶有多种方法，旋转涂胶是目前最常用有效的涂胶方式，在平板显示器制造中广泛采用，能保证获得较高的胶膜均匀性。基本原理是将少量胶液沉积在基片中央，接着以高速旋转，离心力将使胶液散开，最后覆盖整个基片。也可以在滴胶过程中基片先低速旋转(通常200r/min)使光刻胶在基片表面慢慢摊开，然后加速，高速旋转一定时间直到表面覆盖一定厚度的胶膜。其不足之处在于：由于方形基片直接与外界接触，胶液挥发较快，容易变干，达不到方形基片的均匀涂胶的要求。
发明内容：
本发明的目的在于提供一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，解决方形基片的均匀涂胶等问题。
本发明的技术方案是：
一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，该自动扣盖机构设有内盖和外盖两层盖结构，外盖中心开孔，其上表面设有定位销子I；内盖中心通过连接件穿过外盖中心孔连有定位板，定位板通过其上开设的销孔与外盖上的定位销子I相对应；方形基片涂胶单元的承片台上安装旋转盖板，旋转盖板表面设有定位销子II，内盖通过其上开设的销孔与旋转盖板上的销子II相对应。
所述的自动扣盖机构，外盖与气缸相连。
所述的自动扣盖机构，在连接承片台的主轴上装有定位盘。
所述的自动扣盖机构，定位盘上开有缺口，定位气缸设置于定位盘侧面，定位气缸通过其一端安装的轴承与缺口对应。
本发明的有益效果是：
1、本发明在方形基片涂胶工艺中，为了得到除基板边缘2～3mm边框以外均匀的一层胶膜，在旋转涂胶过程中，承片台上扣有内盖，把基片夹在中间然后一起旋转，其作用是可以使胶液挥发延缓，胶液在旋转过程中可充分扩散，完成均匀涂胶。
2、本发明方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构采用了两层盖结构(内盖和外盖)，外盖扣在涂胶腔体上，内盖可通过销子和承片台扣在一起，整个扣盖机构由一气缸驱动上下运动，可以完成自动扣盖和开启动作。
3、本发明在连接承片台的主轴上装有定位盘，可以使承片台在内盖、外盖上升和下降过程中固定不能转动，从而保证整个过程顺利运行。
附图说明：
图1为本发明方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构示意图(初始位置)。
图2为本发明方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构示意图(扣下位置)。
图3为本发明主轴定位结构示意图。
图4为本发明方形基片涂胶工艺示意图。
图中，1 涂胶腔体；2 主轴；3 承片台；4 旋转盖板；5 基片；6 内盖；7 外盖；8 定位盘；9 销子I；10 销子II；11 定位板；12 气缸；13 缺口；14 轴承；15 定位气缸。
具体实施方式：
如图1-2所示，为实现在承片台上自动扣盖和开启功能，本发明方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构采用了两层盖结构(内盖6和外盖7)。外盖7中心开孔，其上表面设有定位销子I9；内盖6中心通过连接件穿过外盖7中心孔连有定位板11，定位板11通过其上开设的销孔与外盖7上的定位销子I9相对应，并配合使用，定位板11可以扣在外盖7上；方形基片涂胶单元的承片台3上安装旋转盖板4，旋转盖板4表面设有定位销子II10；外盖7扣在方形基片涂胶单元的涂胶腔体1上，内盖6通过其上开设的销孔与旋转盖板4上的销子II10相对应，并配合使用，内盖6可以扣在承片台3上安装的旋转盖板4上；气缸12与外盖7相连，整个自动扣盖机构由气缸12驱动上下运动。另外，在连接承片台3的主轴2上可以装有定位盘8。
初始状态时内盖6和外盖7在上位，内盖6的上端和外盖7套在一起，通过3个销子I9固定位置。当内盖6和外盖7扣下时，由于内盖6在下，会先碰到承片台3，旋转盖板4上的销子II10插入内盖6的销孔中，从而使承片台3通过旋转盖板4和内盖6固定在一起；此时，由于外盖7还没有碰到涂胶腔体1上沿，所以在气缸12驱动下继续向下运动，从而使外盖7上的销子I9逐步从与内盖6连接的定位板11销孔中脱出，当外盖7扣在涂胶腔体1上沿而停止运动后，内盖6和外盖7就会分离开。这样，内盖6就可以和承片台3上的旋转盖板4扣在一起旋转完成方形基片5的涂胶工艺了。在开盖时，气缸带动内盖6和外盖7向上运动，外盖7的销子I9重新插入与内盖6连接的定位板11销孔中，将内盖6提起，使内盖6和承片台3分开，从而完成开盖动作。
如图3所示，为了保证整个过程顺利运行，在内盖6、外盖7上升和下降过程中，承片台3要保证固定不能转动；因此，在连接承片台3的主轴2上装有定位盘8，定位盘8上开有缺口13，定位气缸15设置于定位盘8侧面，定位气缸15通过其一端安装的轴承14与缺口13对应，从而可将定位盘8拌住，使主轴2固定不动。
如图4所示，当外盖7扣在方形基片涂胶单元的涂胶腔体1上，内盖6扣在承片台3安装的旋转盖板4上时，可以进行方形基片的涂胶。将少量胶液沉积在基片5中央，主轴2带动承片台3、基片5一起高速旋转(图中箭头A方向)，离心力将使胶液散开，最后覆盖整个基片。图中，两边的箭头B、C代表排气方向。
本发明装置可装在相应的需加盖旋转的设备中使用，如掩膜板及平板显示器制造中的旋转涂胶工艺设备。
Claims (4)
1、一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，其特征在于：该自动扣盖机构设有内盖(6)和外盖(7)两层盖结构，外盖(7)中心开孔，其上表面设有定位销子I(9)；内盖(6)中心通过连接件穿过外盖(7)中心孔连有定位板(11)，定位板(11)通过其上开设的销孔与外盖(7)上的定位销子I(9)相对应；方形基片涂胶单元的承片台(3)上安装旋转盖板(4)，旋转盖板(4)表面设有定位销子II(10)，内盖(6)通过其上开设的销孔与旋转盖板(4)上的销子II(10)相对应。
2、按照权利要求1所述的自动扣盖机构，其特征在于：外盖(7)与气缸(12)相连。
3、按照权利要求1所述的自动扣盖机构，其特征在于：在连接承片台(3)的主轴(2)上装有定位盘(8)。
4、按照权利要求3所述的自动扣盖机构，其特征在于：定位盘(8)上开有缺口(13)，定位气缸(15)设置于定位盘(8)侧面，定位气缸(15)通过其一端安装的轴承(14)与缺口(13)对应。
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