CN101444934A - 多线锯往返切割方法及其装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种多线锯往返切割方法及其装置，包括采用常规的多线锯切割机，其特征是它主要包括以下步骤：安装含有新切割线的放线轮和收线轮，然后进行第一遍线切割，在完成第一遍线切割后，将放线轮上剩余的最后一层切割线收到收线轮上，然后调整线切割参数、系统参数：放线轮直径D、切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h，修改成收线轮直径D1收线轮上限高度H1收线轮下限高度h1，以及降低切割张力2N/mm2，并重新清零到修改值后反向运行多线锯切割，进行第二遍线切割。本发明将原有只能使用一遍的切割线重复使用第二遍，可增产达到一倍，大大降低了硅片的切割成本，同时，本发明所设计的多线锯往返切割装置，通过可拆卸结构使得放线轮能够方便的安装。

Description

多线锯往返切割方法及其装置
技术领域
本发明涉及一种线切割的技术，特变是一种多线锯往返切割方法及其装置
背景技术
目前多线锯切割一般采用单向切割，每次能切割出1700～2500片硅片，切割线只能用一遍，同时当完成一次后会残留一部分的切割线在放线轮上，造成了切割线的浪费，如此计算，在切割成本中线成本基本达到1.5元/片，生产成本较高。
发明内容
本发明是为了解决上述问题，而提供一种可以使切割线往返使用两次的，降低生产成本的多线锯往返切割方法及其装置。
为了达到上述目的，本发明所设计的多线锯往返切割方法，包括采用常规的多线锯切割机，其特征是它主要包括以下步骤：安装含有新切割线的放线轮和收线轮，然后进行第一遍线切割，在完成第一遍线切割后，将放线轮上剩余的最后一层切割线收到收线轮上，然后调整线切割参数、系统参数：放线轮直径D、切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h，修改成收线轮直径D1收线轮上限高度H1收线轮下限高度h1，以及降低切割张力2N/mm2，并重新清零到修改值后反向运行多线锯切割，进行第二遍线切割。在完成第二遍线切割后，重新取下第二遍线切割的时使用的收线轮，安装上含有新切割线的放线轮，并将放线轮直径D，切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h修改为重新安装上去的的切割线放线轮直径D2，放线轮上限高度H2和放线轮下限高度h2，以及，并重新清零到修改值，改好切割方向和修改切割张力到第一遍切割张力的设定值，就可以继续进行第二循环切割。
为了适应各种不同的切割需要，以及达到更好的切割效果，可以在第一遍切割后将放线轮上剩余的最后一层切割线收到收线轮上后，取下放线轮，安装一个新的收线轮，调整线切割参数和系统参数，进行第二遍线切割。
本发明所设计的多线锯往返切割装置，它主要包括多线锯切割机、两个收线轮和一个放线轮，放线轮通过可拆卸结构安装在多线锯切割机的放线轮位置上，收线轮放置在多线锯切割机的收线轮位置上，一遍切割后，在放线轮从多线锯切割机放线轮位置上拆下，安装上第二收线轮。所述的放线轮和收线轮是通过由轴套，上压套，下支承套组成，并可拆卸安装在多线锯切割机上。
木发明所设计的多线锯往返切割的方法，将原有只能使用一遍的切割线重复使用第二遍，使得原有一根切割线每次能切出1700～2500片硅片的切割线，增加到3400～5000，增产达到一倍，大大降低了硅片的生产成本，使得每次切割能节约1275元成本以上。同时，本发明所设计的多线锯往返切割装置，通过可拆卸结构使得放线轮能够方便的安装放线轮，且加入了第二收线轮，在进行第二遍线切割时，可以将原有的放线轮替换为标准的收线轮，保证了第二遍切割时精确度和质量。
附图说明
图1是本发明第一遍切割开始时放线轮结构示意图；
图2是本发明第一遍切割结束时的结构示意图；
图3是本发明实施例2第二遍切割开始时的结构示意图；
图4是本发明实施例2第二遍切割结束时的结构示意图。
其中：新切割线1、放线轮2、第一收线轮3、切割线4、第二收线轮5、轴套6，上压套7，下支承套8。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。
实施例1：
本实施例锁描述的多线锯往返切割方法，包括采用常规的多线锯切割机，它主要包括以下步骤，如图1所示，安装含有新切割线1的切割线放线轮2和切割线收线轮3，然后进行第一遍线切割。如图2所示，在完成第一遍线切割后，将切割线放线轮2上剩余的最后一层切割线4收到切割线收线轮3上的，然后调整线切割参数，将系统参数：放线轮直径D、切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h修改成收线轮直径D1收线轮上限高度H1收线轮下限高度h1，以及降低切割张力2N/mm2，并重新清零到修改值后反向运行多线锯切割装置，进行第二遍线切割。在完成第二遍线切割后，重新取下第二遍线切割时使用的切割线收线轮2(即第一遍切割时的放线轮)，安装上含有新切割线1的切割线放线轮2，并将系统参数：放线轮直径D、切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h，修改为重新安装上去的的切割线放线轮直径D2，放线轮上限高度H2和放线轮下限高度h2，以及，并重新清零到修改值，改好切割方向和修改切割张力到第一遍切割张力的设定值，回到如图1所示的状态下，就可以继续进行第二循环切割的第一遍线切割。
实施例2：
本实施例所描述的多线锯往返切割的方法，包括采用常规的多线锯切割机，在常规的多线锯切割机中采用一只具有新线的放线轮和两只收线轮，即：放线轮2、第一收线轮3和第二收线轮5，如图1所示，在安装含有新切割线1的放线轮2和第一收线轮3后进行第一遍线切割，在完成第一遍线切割后，将放线轮2上剩余的最后一层切割线4收到第一收线轮3上的，如图2所示，然后取下放线轮2，安装一个新的第二收线轮5，如图3所示，然后将切割线线头缠绕到第二收线轮5上，此时，第一遍切割的第一收线轮3作为放线轮，修改相应的切割参数后，进行第二遍线切割。当完成第二遍切割时，所有的切割线9都缠绕在第二收线轮5上，如图4所示状态，即可拆下第二收线轮5，重新装上装有新线的放线轮2，回到如图1所示状态，开始第二循环的第一遍切割。
实施例3：
如图1、图3所示，本实施例描述的多线锯往返切割装置，它主要包括多线锯切割机、第一收线轮3、第二收线轮5和一个放线轮2，放线轮2通过可拆卸结构安装在多线锯切割机的放线轮位置上，第一收线轮3安装在多线锯切割机的收线轮位置上，经第一遍切割，放线轮2的切割线走空后，从多线锯切割机的放线轮位置上拆下放线轮2后，在该放线轮位置设置第二收线轮5，此时，第一收线轮3作放线轮使用，调整多线锯切割机的放线轮和收线轮参数，所述的放线轮和收线轮是通过由轴套6，上压套7，下支承套8组成，并可拆卸安装在多线锯切割机上的。

Claims (5)

1.一种多线锯往返切割方法，包括采用常规的多线锯切割机，其特征是它主要包括以下步骤：安装含有新线的切割线放线轮线轮和切割线收线轮，然后进行第一遍线切割，在完成第一遍线切割后，将切割线放线轮上剩余的最后一层切割线收到切割线收线轮上的，然后调整线切割参数、系统参数：放线轮直径D、切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h，修改成收线轮直径D1收线轮上限高度H1收线轮下限高度h1，以及降低切割张力2N/mm2，并重新清零到修改值后反向运行多线锯切割，进行第二遍线切割。
2.根据权利要求1所述的多线锯往返切割方法，其特征是在完成第二遍线切割后，重新取下第二遍线切割的时使用的收线轮，安装上含有新切割线的放线轮，并将放线轮直径D，切割线轮上限高度H和切割线轮下限高度h修改为重新安装上去的的切割线放线轮直径D2，放线轮上限高度H2和放线轮下限高度h2，以及，并重新清零到修改值，改好切割方向和修改切割张力到第一遍切割张力的设定值，就可以继续进行第二循环切割。
3.根据权利要求1或2所述的多线锯往返切割方法，其特征是在完成第一遍线切割后，将放线轮上剩余的最后一层切割线收到收线轮上后，取下放线轮，安装一个新的收线轮，再进行调整线切割参数、系统参数，进行第二遍线切割。
4.一种实现如权利要求3所述方法的多线锯往返切割装置，它主要包括多线锯切割机、两个收线轮和一个放线轮，放线轮通过可拆卸结构安装在多线锯切割机的放线轮位置上，收线轮放置在多线锯切割机的收线轮位置上，一遍切割后，在放线轮从多线锯切割机放线轮位置上拆下，安装上第二收线轮。
5.根据权利要求4所述的多线锯往返切割装置，其特征是所述的放线轮和收线轮是通过由轴套，上压套，下支承套组成，并可拆卸安装在多线锯切割机上。
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