CN207930898U

CN207930898U - 一种单晶硅棒快速切片装置

Info

Publication number: CN207930898U
Application number: CN201820274274.3U
Authority: CN
Inventors: 王全文; 杨蛟; 李鹭
Original assignee: CHENGDU QINGYANG ELECTRONIC MATERIALS Co Ltd
Current assignee: CHENGDU QINGYANG ELECTRONIC MATERIALS Co Ltd
Priority date: 2018-02-27
Filing date: 2018-02-27
Publication date: 2018-10-02
Anticipated expiration: 2028-02-27

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅棒快速切片装置，它包括箱体（1）、设置于箱体（1）顶部的油缸（2）、设置于箱体（1）内的放卷机构（3）和收卷机构（4），箱体（1）内旋转安装有前后设置的左辊筒（5）和右辊筒（6），左辊筒（5）与右辊筒（6）之间缠绕有钢丝（7），钢丝（7）首端缠绕于放卷机构（3）上，钢丝（7）的末端固定于收卷机构（4）上，滑块（9）的底部粘接有树脂条（10），树脂条（10）的底部粘接有前后设置的单晶硅棒（11），单晶硅棒（11）的底部设置有沿其轴向布置的胶条（12）。本实用新型的有益效果是：结构紧凑、提高切片效率、能够一次性将单晶硅棒切成数片单晶硅片、操作简单。

Description

一种单晶硅棒快速切片装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒切片的技术领域，特别是一种单晶硅棒快速切片装置。

背景技术

单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。在制造性能良好的硅单晶方法中，直拉法生长硅单晶具有设备和工艺相对简单、容易实现自动控制。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工；后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序后才能制造成半导体器件或用于光伏发电的太阳能电池片。

其中切片工序中，要将柱状的单晶硅棒切割成多片薄硅片，大多厂家采用线切割机进行切片，但是线切割机只能一片一片的切，存在切割不连续的缺陷，极大降低了切片效率。此外每切一片后钢线损耗大，发热量大使用寿命短，进一步增大了线切割机的劳损。因此现有采用线切割机切割硅棒不推广使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种结构紧凑、提高切片效率、能够一次性将单晶硅棒切成数片单晶硅片、操作简单的单晶硅棒快速切片装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种单晶硅棒快速切片装置，它包括箱体、设置于箱体顶部的油缸、设置于箱体内的放卷机构和收卷机构，所述箱体内旋转安装有前后设置的左辊筒和右辊筒，左辊筒与右辊筒之间缠绕有钢丝，钢丝首端缠绕于放卷机构上，钢丝的末端固定于收卷机构上，所述油缸的活塞杆伸入于箱体内且活塞杆的末端固设有导轨，导轨内开设有燕尾形槽，燕尾形槽内滑动安装有滑块，滑块的底部粘接有树脂条，树脂条的底部粘接有前后设置的单晶硅棒，单晶硅棒的底部设置有沿其轴向布置的胶条，胶条位于钢丝的上方，所述箱体内还设置有前后设置的滴管，滴管位于左辊筒和右辊筒之间，且滴管设置于钢丝的上方，滴管的底部且沿其长度方向设置有多个出浆孔。

所述放卷机构和收卷机构均位于右辊筒的右侧。

所述油缸垂向设置。

该切片装置还包括砂浆泵，砂浆泵的出浆口与滴管连接。

所述箱体内设置有隔板，所述隔板设置于放卷机构和右辊筒之间。

本实用新型具有以下优点：本实用新型结构紧凑、提高切片效率、能够一次性将单晶硅棒切成数片单晶硅片、操作简单。

附图说明

图1 为本实用新型的结构示意图；

图2 为图1的A-A剖视图；

图3 为图1的B向视图；

图中，1-箱体，2-油缸，3-放卷机构，4-收卷机构，5-左辊筒，6-右辊筒，7-钢丝，8-导轨，9-滑块，10-树脂条，11-单晶硅棒，12-胶条，13-滴管，14-隔板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述：

如图1~3所示，一种单晶硅棒快速切片装置，它包括箱体1、设置于箱体1顶部的油缸2、设置于箱体1内的放卷机构3和收卷机构4，所述箱体1内旋转安装有前后设置的左辊筒5和右辊筒6，左辊筒5与右辊筒6之间缠绕有钢丝7，钢丝7首端缠绕于放卷机构3上，钢丝7的末端固定于收卷机构4上，所述油缸2垂向设置，油缸2的活塞杆伸入于箱体1内且活塞杆的末端固设有导轨8，导轨8内开设有燕尾形槽，燕尾形槽内滑动安装有滑块9，滑块9的底部粘接有树脂条10，树脂条10的底部粘接有前后设置的单晶硅棒11，单晶硅棒11的底部设置有沿其轴向布置的胶条12，胶条12位于钢丝7的上方，所述箱体1内还设置有前后设置的滴管13，滴管13位于左辊筒5和右辊筒6之间，且滴管13设置于钢丝7的上方，滴管13的底部且沿其长度方向设置有多个出浆孔。

所述放卷机构3和收卷机构4均位于右辊筒6的右侧。该切片装置还包括砂浆泵，砂浆泵的出浆口与滴管13连接。所述箱体1内设置有隔板14，所述隔板14设置于放卷机构3和右辊筒6之间。

本实用新型的工作过程如下：先控制收卷机构4启动，放卷机构3放卷出其上的钢丝，同时收卷机构4逐渐收卷钢丝7，使位于左辊筒5和右辊筒6之间的钢丝7做水平运动；再启动砂浆泵，砂浆泵将砂浆泵入到滴管13中，砂浆从滴管13的出浆孔中滴落，砂浆落于钢丝7上；然后控制油缸2活塞杆向下伸出，单晶硅棒11做向下的进给运动，而滴有砂浆的钢丝7做主运动，滴有砂浆的钢丝7首先切入胶条12，胶条12起到了引线的作用，随后钢丝切入单晶硅棒11中，最后切到树脂条10中，从而实现了单晶硅棒的切片，由于左右辊筒之间缠绕有多根钢丝，因此实现了一次性切割出多片单晶硅片，相比传统的线切割机切片，极大提高了切割效率。此外砂浆不仅起到了降低钢丝表面温度的作用，还起到了切割单晶硅棒的作用，有效防止了钢丝的磨损，延长了钢丝的使用寿命。另外切割成片的单晶硅片依附于树脂条10上而不会掉落，很好的保护了产品。当要取出单晶硅片时，只需将滑块9从导轨8中滑出，然后在箱体1外部取出单晶硅片，方便工作操作。

Claims

1.一种单晶硅棒快速切片装置，其特征在于：它包括箱体（1）、设置于箱体（1）顶部的油缸（2）、设置于箱体（1）内的放卷机构（3）和收卷机构（4），所述箱体（1）内旋转安装有前后设置的左辊筒（5）和右辊筒（6），左辊筒（5）与右辊筒（6）之间缠绕有钢丝（7），钢丝（7）首端缠绕于放卷机构（3）上，钢丝（7）的末端固定于收卷机构（4）上，所述油缸（2）的活塞杆伸入于箱体（1）内且活塞杆的末端固设有导轨（8），导轨（8）内开设有燕尾形槽，燕尾形槽内滑动安装有滑块（9），滑块（9）的底部粘接有树脂条（10），树脂条（10）的底部粘接有前后设置的单晶硅棒（11），单晶硅棒（11）的底部设置有沿其轴向布置的胶条（12），胶条（12）位于钢丝（7）的上方，所述箱体（1）内还设置有前后设置的滴管（13），滴管（13）位于左辊筒（5）和右辊筒（6）之间，且滴管（13）设置于钢丝（7）的上方，滴管（13）的底部且沿其长度方向设置有多个出浆孔。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒快速切片装置，其特征在于：所述放卷机构（3）和收卷机构（4）均位于右辊筒（6）的右侧。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒快速切片装置，其特征在于：所述油缸（2）垂向设置。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒快速切片装置，其特征在于：该切片装置还包括砂浆泵，砂浆泵的出浆口与滴管（13）连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒快速切片装置，其特征在于：所述箱体（1）内设置有隔板（14），所述隔板（14）设置于放卷机构（3）和右辊筒（6）之间。