CN101425473B - 真空保持设备及具有真空保持设备的晶片切割机 - Google Patents
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Abstract
一种真空保持设备及一种具有真空保持设备的晶片切割机，真空保持设备包含有一进气端口、一输出端口、一真空产生器、一第一、第二电磁阀，一切换开关。进气端口接受气体来源，输出端口提供真空输出或气体输出，真空产生器具有气体入口、出口与真空出口。第一电磁阀的一端连接至进气端口，另一端连接至真空产生器的气体入口。第二电磁阀的一端以并联方式连接至进气端口与真空产生器的真空出口，另一端连接至输出端口。切换开关的一端连接至进气端口，另一端连接至真空产生器，正常操作时，切换开关为关闭，当突发的无电力状况发生时，切换开关为开启，使气体来源由此通路传输至真空产生器，以产生持续真空供晶片吸附。
Description
技术领域
本发明是关于一种真空装置，尤其是一种用于晶片切割制程的真空保持设备。
背景技术
先前技术的晶片切割机主要包含一晶片切割平台及一具有真空吸头的晶片取放装置，并由真空吸头所产生的真空吸附力，将晶片吸附于真空吸头上，再通过晶片取放装置将晶片移送至晶片切割平台定位进行切割。
然而晶片在切割时需要精准定位，稍有定位误差即造成切割线偏移，导致晶片报废。但传统晶片切割机常因突发的无电力状况，例如断电或生产线临时停机等状况，原本在电力供应状态下制造真空吸附的能力会立刻丧失，导致晶片取放装置在尚未将晶片运送定位时，真空吸头的真空状态便已破除，致使晶片在运送至定位前便已脱离真空吸附而掉落到机台上，造成切割偏位，因而影响晶片切割机进行正常切割作业，严重甚至导致晶片报废，生产线停止，影响产能及晶片切割好坏的问题。
因此，如何让机台在晶片切割制程当中，发生非预期的瞬间断电时，仍能确保运送过程中的晶片，维 持真空吸附力所吸着，实为业者亟欲解决的课题。
发明内容
因此，本发明的主要目的是提供一种真空保持设备，于无电力状况发生时仍可持续保持真空状态。
本发明的另一目的是提供一种真空保持设备，于无电力状况发生时，由持续保持的真空状态，使操作人员得以进行紧急处置。
本发明的另一目的，是提供一种晶片切割机，其中所使用的真空保持设备于无电力状况发生时仍可持续保持真空状态。
本发明的另一目的，是提供一种晶片切割机，其中所使用的真空保持设备于无电力状况发生时，由持续保持的真空状态，使操作人员得以进行紧急处置。
为解决上述问题，本发明是提供一种真空保持设备，包含有：
一进气端口，用以接受一气体来源；
一输出端口，用以提供一真空输出或气体输出；
一真空产生器，具有气体入口、气体出口与真空出口；
一第一电磁阀，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器的气体入口，当电力作动时，气体可流经该第一电磁阀而进入该真空产生器的气体入口，以产生真空；以及
一第二电磁阀，一端以并联方式连接至该进气端口与该真空产生器的真空出口，一端连接至该输出端口，可操作地使该输出端口为气体输出或真空输出；以及
其特征在于，
一切换开关，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器入口，当电力作动时，该切换开关为关闭，当无电力状况发生时，该切换开关为开启，气体来源可由此传输至该真空产生器的气体入口，以产生持续的真空。
其中该切换开关为手动操作。
其中该切换开关为电力驱动，通电时为常闭，断电时为常开，允许气体流通。
其中该真空产生器的真空出口进一步连接一逆止阀，防止气体由该真空出口进入。
本发明提供一种具有真空保持设备的晶片切割机，主要包含有一晶片切割平台、一具有真空吸头的晶片取放装置，其特征在于，
一真空保持设备连接至该真空吸头，包含有：
一进气端口，用以接受一气体来源；
一输出端口，用以提供一真空输出或气体输出；
一真空产生器，具有气体入口、气体出口与真空出口；
一第一电磁阀，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器的气体入口，当电力作动时，气体可流经该第一电磁阀而进入该真空产生器的气体入口，以产生真空；
一第二电磁阀，一端以并联方式连接至该进气端口与该真空产生器的真空出口，一端连接至该输出端口，可操作地使该输出端口为气体输出或真空输出；以及
一切换开关，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器的气体入口，当电力作动时，该切换开关为关闭，当无电力状况发生时，该切换开关为开启，气体来源可由此传输至该真空产生器的气体入口，以产生持续的真空。
其中该切换开关为手动操作。
其中该切换开关为电力驱动，通电时为常闭，断电时为常开，允许气体流通。
其中该真空产生器的真空出口进一步连接一逆止阀，防止气体由该真空出口进入。
附图说明
为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举本发明的较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下，其中：
图1为本发明提出的第一实施例，为一种真空保持设备示意图。
图2为本发明提出的第二实施例，为一种具有真空保持设备的晶片切割机示意图。
具体实施方式
本发明是揭露一种真空保持设备及一种具有真空保持设备的晶片切割机。其中，真空产生原理与晶片切割机的基本结构，均已为熟知此领域技术的人所明了，故在下列说明中，并不作完整描述。而且实施例所对照的附图，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意，并未亦不需要依据实际尺寸完整绘制，事先说明。
第一实施例(真空保持设备)
请参照图1，是为本发明提出的第一实施例，为一种真空保持设备示意图。真空保持设备1包含有一用以接收高压气体来源A的进气端口11、一用以提供真空输出或气体输出的输出端口12、一真空产生器13、一第一电磁阀14、一第二电磁阀15以及一切换开关16。真空产生器13设有一气体入口131、一气体出口132，及一真空出口133，当高压气体自气体入口131流入，而自气体出口132流出时，真空出口133的位置基于伯努利定律作用，形成低压、近似真空的状态。第一电磁阀14的一端141与进气端口11连接，另一端142连接至真空产生器13的气体入口131，而当电力作动时，气体可流经第一电磁阀14而进入真空产生器13的气体入口131，由此于真空出口133形成真空状态。
第二电磁阀的一端151以并联方式连接至进气端口11与真空产生器13的真空出口133，而另一端152连接至输出端口12。如此可由操作电磁阀15的阀位切换，而使输出端口12为气体输出或为真空输出。
切换开关16的一端161连接至进气端口11，而另一端162连接至真空产生器13的气体入口131。在真空保持设备1于通电的正常运作状态时，切换开关16为关闭状态，气体不经由此处管路流通，而是循第一电磁阀14流通至真空产生器13。而一旦发生无电力状况，例如突发的断电，第一电磁阀14会因为断电关闭而使气体无法导通，此时，真空产生器13为避免真空状态消失，会将切换开关16切换成开启(导通状态)，如此进气端口11的气体可循此处管路传输至真空产生器13的气体入口131，而使真空产生器13持续作动，使真空出口133保持在真空状态。
切换开关16于无电力状况发生时，由关闭至开启的操作方式，可由操作员手动进行切换，或者选用常时开启式(Normally opened)磁簧开关来作为切换开关16。在正常电力作动时，切换开关16由电力操作使成为关闭状态，气体无法流通，一旦发生瞬间突发的无电力状况，切换开关16能随即由弹簧恢复力自动切换至开启状态，允许气体流通。
此外，真空产生器13的真空出口133亦可连接一只允许气体单向流通的逆止阀17，防止气体由真空出口133反向进入真空产生器13破坏真空状态。因而当突发的无电力状况发生时，设置逆止阀17亦得以延长真空保持的时间，使操作员得以有时间做紧急处置。
第二实施例(具有真空保持设备的晶片切割机)
请参照图2，为本发明提出的第二实施例，一种具有真空保持设备的晶片切割机的示意图。晶片切割机2主要包含有一晶片切割平台23、以及将晶片移送至晶片切割平台23的晶片取放装置，在晶片取放装置所用以吸附晶片的真空吸头22，连接有一真空保持设备1。
真空保持设备1包含有一进气端口11、一输出端口12、一真空产生器13、一第一电磁阀14、一第二电磁阀15以及一切换开关16，且其特征主要如前述的第一实施例所述。其中，输出端口12是连接至晶片取放装置上用以吸附晶片的真空吸头22，当输出端口12输出真空时，真空吸头22得以吸附晶片而进行晶片的移送，尤其是移送至晶片切割平台23，而当输出端12输出气体时，真空吸头22得以离开晶片以进行其它动作。
由于此真空保持设备1，当真空吸头22吸附晶片而移送至晶片切割平台23时，若发生突发的无电力状况，藉由操作切换开关16，真空吸头22可保持持续的真空吸附力，避免晶片在移送途中掉落或晶片尚未就妥切割定位便已脱离真空吸头22，而造成晶片切割偏位，使晶片切割作业得以正常维持运作。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用以限定本发明的权利范围；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在本发明的权利要求范围中。
Claims (8)
1.一种真空保持设备，包含有：
一进气端口，用以接受一气体来源；
一输出端口，用以提供一真空输出或气体输出；
一真空产生器，具有气体入口、气体出口与真空出口；
一第一电磁阀，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器的气体入口，当电力作动时，气体流经该第一电磁阀而进入该真空产生器的气体入口，以产生真空；以及
一第二电磁阀，一端以并联方式连接至该进气端口与该真空产生器的真空出口，一端连接至该输出端口，可操作地使该输出端口为气体输出或真空输出；以及
其特征在于，
一切换开关，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器入口，当电力作动时，该切换开关为关闭，当无电力状况发生时，该切换开关为开启，气体来源由此传输至该真空产生器的气体入口，以产生持续的真空。
2.依据权利要求1所述的真空保持设备，其特征在于，其中该切换开关为手动操作。
3.依据权利要求1所述的真空保持设备，其特征在于，其中该切换开关为电力驱动，通电时为常闭，断电时为常开，允许气体流通。
4.依据权利要求1所述的真空保持设备，其特征在于，其中该真空产生器的真空出口进一步连接一逆止阀，防止气体由该真空出口进入。
5.一种具有真空保持设备的晶片切割机，主要包含有一晶片切割平台、一具有真空吸头的晶片取放装置，其特征在于，
一真空保持设备连接至该真空吸头，包含有：
一进气端口，用以接受一气体来源；
一输出端口，用以提供一真空输出或气体输出；
一真空产生器，具有气体入口、气体出口与真空出口；
一第一电磁阀，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器的气体入口，当电力作动时，气体流经该第一电磁阀而进入该真空产生器的气体入口，以产生真空；
一第二电磁阀，一端以并联方式连接至该进气端口与该真空产生器的真空出口，一端连接至该输出端口，可操作地使该输出端口为气体输出或真空输出；以及
一切换开关，一端连接至该进气端口，另一端连接至该真空产生器的气体入口，当电力作动时，该切换开关为关闭，当无电力状况发生时，该切换开关为开启，气体来源由此传输至该真空产生器的气体入口，以产生持续的真空。
6.依据权利要求5所述的具有真空保持设备的晶片切割机，其特征在于，其中该切换开关为手动操作。
7.依据权利要求5所述的具有真空保持设备的晶片切割机，其特征在于，其中该切换开关为电力驱动，通电时为常闭，断电时为常开，允许气体流通。
8.依据权利要求5所述的具有真空保持设备的晶片切割机，其特征在于，其中该真空产生器的真空出口进一步连接一逆止阀，防止气体由该真空出口进入。
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