CN101416268A - 具有经切换的焦斑和滤波器的双谱x射线管 - Google Patents

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Abstract

在三维计算机断层摄影或三维旋转X射线成像中，采集不同的谱测量数据要求相继的采集运行。根据本发明的示范性实施例，提供了一种检查装置，其中通过在数据采集期间执行焦斑切换，可在同一采集运行期间立即接连采集不同的谱测量数据。这样可以减少运动伪影。

Description

具有经切换的焦斑和滤波器的双谱X射线管
本发明涉及断层摄影成像领域。具体而言，本发明涉及一种用于对感兴趣对象进行双谱(dual spectrum)检查的检查装置、一种图像处理设备、一种对感兴趣对象进行检查的方法、一种计算机可读介质和一种程序单元。
物质的X射线衰减取决于从X射线管发出的发射谱。用不同的谱对同一对象(例如患者或器官)进行多次测量能够在二维投影成像以及在三维断层扫描成像中得到改进的组织分割或物质标记。
在三维计算机断层摄影(CT)或三维旋转X射线(3DRX)成像中，在相继各采集运行中只能应用不同的谱设置。两次测量间固有的时间延迟可增加患者/器官运动的概率及相关的伪影。
理想的是减少采集时间。
本发明提供了一种检查装置、一种图像处理设备、一种用检查装置对感兴趣对象进行检查的方法、一种计算机可读介质和一种具有根据独立权利要求所述特征的程序单元。
应当注意的是，下列所述本发明的各示范性实施例同样适用于所述对感兴趣对象进行检查的方法、适用于所述计算机可读介质、适用于所述图像处理设备及适用于所述程序单元。
根据本发明的示范性实施例，提供了一种用于对感兴趣对象进行双谱检查的检查装置，所述检查装置包括适于对来自感兴趣对象的辐射束进行滤波的滤波器单元，所述辐射束具有焦斑。此外，所述检查装置包括适于将焦斑从第一焦斑位置切换到第二焦斑位置的快速焦斑切换单元，以及适于根据来自感兴趣对象的辐射束采集测量数据的探测器单元，其中，滤波器单元、第一焦斑位置和第二焦斑位置以这样的方式布置，即当焦斑位于第一位置时，辐射束穿过滤波器单元，从而得到经滤波的第一谱测量数据，而当焦斑位于第二位置时，辐射束不会穿过滤波器单元，从而得到第二谱测量数据。
因此，所述检查装置可适于执行同一对象的两个不同三维图像的两次重建，其中，在机架的相同(一个或多个)旋转期间，采集对应两个不同图像的用于这两次重建的两个数据集。
由于以这样的方式切换辐射束的焦斑，使得出射束对于一个焦斑位置穿过谱滤波器设备，而所述束在被引向另一焦斑位置时不受滤波设备的影响，根据本发明另一示范性实施例，可立即接连进行不同的谱测量。
根据本发明另一示范性实施例，快速焦斑切换单元采用快速电子焦斑切换单元和磁四极切换单元中的一种。在S.Schiller、U.Heisig、S.PanzerJohn Wiley和Sons的“Electron Beam Technology”New York，USA 1982中公开了这样的单元，该文献以引用方式并入本文中。
因此，根据本发明的这一示范性实施例，在同一采集运行期间，以相当大的速度立即接连进行两次(或多次)不同的谱测量。这会导致整个采集时间的大幅降低。
根据本发明的另一示范性实施例，电子焦斑切换单元采用网格交换机和板式交换机中的一种。在S.Schiller、U.Heisig、S.Panzer John Wiley和Sons的“Electron Beam Technology”New York，USA 1982中公开了这样的交换机，该文献以引用方式并入本文中。
根据本发明的另一示范性实施例，滤波器单元包括铜板。然而，应当注意的是，也可使用其他材料。此外，也可使用其他类型的滤波器，例如2、5mm厚的附加铝滤波器或者钛滤波器。
根据本发明另一示范性实施例，所述检查装置还包括作为X射线管采用的辐射源，其中，辐射束是从X射线管发射的X射线束。
因此，辐射源适于采用双谱管的形式，其能够在快速时间量程中执行焦斑切换。
根据本发明的另一示范性实施例，所述检查装置采用三维计算机断层摄影装置和三维旋转X射线装置中的一种。
应当注意的是，在本文中，本发明并不限于计算机断层摄影，而是当不得不通过改变谱设置来采集同一对象的两个不同图像时都可适用。
根据本发明的另一示范性实施例，第一焦斑位置与第二焦斑位置的距离为辐射束的标称焦斑值的量级。
换句话说，两个焦斑位置间的距离为投影点的大小的量级。
根据本发明另一示范性实施例，第一焦斑位置和第二焦斑位置位于垂直于辐射源旋转轴的直线上。
这样，根据本发明的这一示范性实施例，焦斑可以切换成与阳极盘的旋转轴垂直。
根据本发明的另一示范性实施例，第一焦斑位置和第二焦斑位置位于具有与辐射源旋转轴平行的分量的直线上。
因此，切换方向平行于阳极盘的旋转轴。
根据本发明的另一示范性实施例，将检查装置配置成由材料测试装置、医疗应用装置和微型CT系统所组成的组中的一种。本发明的应用领域可以是医学成像，特别是3D旋转X射线成像。
根据本发明的另一示范性实施例，提供了一种用于检查感兴趣对象的图像处理设备，所述图像处理设备包括用于存储感兴趣对象的数据集的存储器，所述数据集包括对应于第一焦斑位置的经滤波的第一谱测量数据和对应于第二焦斑位置的未经滤波的第二谱测量数据，两种数据在同一采集运行期间立即接连进行采集；以及重建单元，其适于确定第一谱测量数据和第二谱测量数据间的差并根据所述差重建感兴趣对象的图像。
然而，应该注意的是，用于确定第一谱测量数据和第二谱测量数据间的差的各函数可包括减影运算或其他运算，例如关于对应图像灰度值(对应于依赖吸收系数的强度或线积分或能量)的非线性运算。
此外，根据本发明的另一示范性实施例，所述图像处理设备能够适合于通过将焦斑从第一焦斑位置切换到第二焦斑位置，在同一采集运行期间立即接连采集经滤波的第一谱测量数据和未经滤波的第二谱测量数据，其中，当焦斑位于第一位置时，辐射束穿过滤波器单元，从而得到经滤波的第一谱测量数据，而其中，当焦斑位于第二位置时，辐射束不会穿过滤波器单元，从而得到第二谱测量数据。
根据本发明的另一示范性实施例，提供了一种用检查装置对感兴趣对象进行检查的方法，所述方法包括如下步骤：探测具有处于第一焦斑位置的焦斑的经滤波的辐射，从而得到经滤波的第一谱测量数据；将焦斑从第一焦斑位置切换到第二焦斑位置；并在同一采集运行期间于探测到经滤波的第一谱测量数据之后，立即探测具有处于第二焦斑位置的焦斑的未经滤波的辐射，从而得到第二谱测量数据。
这为得到减少运动伪影的快速并有效的检查方法做了准备。
根据本发明的另一示范性实施例，所述方法还包括如下步骤：确定第一谱测量数据与第二谱测量数据间的差；并根据所述差重建感兴趣对象的图像。
因此，根据本发明的另一示范性实施例，所述方法可用于重建同一对象的两个不同的三维图像。通过图像的简单减影，可在三维神经血管造影中改善例如血管和颅骨的区别。
此外，也可将用不同谱在同一成像几何结构中采集的投影分解成不同的物理(康普顿/瑞利散射)投影图像，如在R.E.Alvarez和A.Macovski的“Energy-selective reconstructions in x-ray computerized tomography”Phys.Med.Biol.21，第733-744页，1976年；和在R.E.Alvarez和A.Macovski的“X-ray spectral decomposition imaging system”美国专利No.4,029,963，1977中所公开的，所述文献以引用方式并入本文中。
此外，不同的物理投影图像可用于二维或三维分析。
除此以外，根据本发明的另一示范性实施例，提供了计算机可读介质，其中存储有检查感兴趣对象的计算机程序，当由处理器运行所述计算机程序时，其适于执行上述方法步骤。
此外，根据本发明的另一示范性实施例，提供了一种检查感兴趣对象的程序单元，当由处理器运行时，其适于执行上述方法步骤。
由所述计算机程序(即由软件)，或通过使用一个或多个专用电子优化电路(即在硬件中)，或以混合的形式(即借助于软件部分和硬件部分)可实现感兴趣对象的检查。
优选将根据本发明示范性实施例的程序单元加载到数据处理器的工作存储器中。因而可以将数据处理器配备成执行本发明方法的示范性实施例。计算机程序能以任何合适的编程语言(例如C++)进行编写，并存储在诸如CD-ROM的计算机可读介质中。同样，计算机程序可从诸如万维网的网络上获取，从网络上可将计算机程序下载到图像处理单元或处理器，或任何合适的计算机中。
作为本发明示范性实施例的要旨可以看到，以这样的方式切换X射线管的焦斑，使得在一个焦斑位置上执行滤波，而在第二焦斑位置上不执行滤波。这样，通过以快速方式进行切换可立即接连进行两次或多次不同的谱测量。因此，在同一采集运行期间可应用不同的谱设置。
本发明这些和其他方面将从下文所述的实施例中变得显而易见，并参考所述实施例进行阐述。
下面将参照下列附图描述本发明的示范性实施例。
图1示出了根据本发明示范性实施例的检查装置的简化示意图；
图2示出了根据本发明另一示范性实施例的检查装置的简化示意图；
图3示出了根据本发明示范性实施例的具有滤波设备的双焦斑几何结构的示意图；
图4示出了根据本发明另一示范性实施例的具有滤波设备的双焦斑几何结构；
图5示出了表示根据本发明的图像质量改进的体模研究的示意图；
图6示出了根据本发明的示范性方法的流程图；
图7示出了根据本发明的图像处理设备的示范性实施例，用于运行根据本发明方法的示范性实施例。
各幅附图中的图示都是示意性的。在不同的附图中，类似或相同的元件设有相同的附图标记。
图1示出了根据本发明示范性实施例的检查装置的简化示意图。
本发明可应用于三维旋转X射线成像或三维旋转血管造影成像领域中。在这种情形中，用常规X射线系统可进行所述检查。
本发明尤其在必须将造影剂与骨骼分离时使用，其是(例如)在患者的神经放射检查领域中的情形。
由于造影剂仅在相应的脉管中停留相对短暂的时间并且由于所述采集系统正在旋转(例如，移动)中，因此具有快速、能量可分辨的图像采集过程总是(并且尤其对于3D-RX)重要的。
图1所描绘的装置是C型臂X射线检查装置，其包括借助于附件11连接到天花板(未在图1中描绘)的C型臂10。C型臂10持有X射线源12和探测器单元13，它们可旋转地安装在C型臂10上，使得在不同的投影角度下能够采集检查床14上的患者15的多个投影图像。
控制单元16适于控制源12和探测器13的同步移动，这两个都围绕患者15进行旋转。
将由探测器单元13生成的图像数据传送给由计算机控制的图像处理单元17。
此外，可设置ECG单元18用于记录患者心脏的心跳。相应的ECG数据被传送给图像处理单元17。
图像处理单元17适于执行根据本发明的方法步骤。
此外，所述系统可包括适于可视化所采集图像的监视器19。
本发明同样可应用在计算机断层摄影领域。
图2示出了根据本发明的计算机断层摄影系统的示范性实施例。
图2中描绘的计算机断层摄影装置100是锥束CT扫描器。然而，利用扇束几何结构同样可执行本发明。为了生成初级扇束，孔径系统105可配置成狭缝准直器。图2中描绘的CT扫描器包括机架101，其可围绕旋转轴102旋转。机架101由电动机103驱动。附图标记104指代辐射源，例如X射线源，根据本发明的方面，所述辐射源发射多色或单色辐射。
附图标记105指代孔径系统，所述孔径系统形成从辐射源向锥形辐射束106发射的辐射束。锥束106以这样的方式进行指引，即使其穿过布置在机架101中央(即在CT扫描器检查区域内)的感兴趣对象107，并撞击到探测器108上。如可从图2中获得的，探测器108布置在机架101上并与辐射源104相对，使得探测器108的表面被锥束106所覆盖。图2中描绘的探测器108包括多个探测器元件123，其每一个能够探测已经被感兴趣对象107所散射或穿过感兴趣对象107的X射线。
在对感兴趣对象107进行扫描期间，辐射源104、孔径系统105和探测器108在箭头116指示的方向上沿机架101旋转。为了使具有辐射源104、孔径系统105和探测器108的机架101进行旋转，将电动机103连接到电动机控制单元117，所述电动机控制单元117连接到重建单元118(它同样可表示为计算或确定单元)。
在图2中，感兴趣对象107是放置在操作台119上的人类。在对例如人类107的心脏130进行扫描期间，当机架101围绕人类107旋转时，操作台119沿平行于机架101的旋转轴102的方向移位人类107。这时，沿螺旋扫描路径扫描心脏130。操作台119同样可在扫描期间停止，从而测量信号切片(signal slice)。应当注意的是，在所有所述情形中，还有可能执行环形扫描，其中在平行于旋转轴102的方向上没有移位，而只是机架101围绕旋转轴102进行旋转。
而且，可提供心电图设备135，其测量人类107的心脏130的心电图，同时由探测器108探测穿过心脏130衰减的X射线。将有关测得心电图的数据传送给重建单元118。
将探测器108连接控制单元118。重建单元118接收探测结果，即来自探测器108的各探测器元件123的读出，并根据这些读出确定扫描结果。此外，重建单元118与电动机控制单元117进行通信，以便协调具有电动机103和120的机架101与操作台119的移动。
控制单元118适于根据探测器108的读出重建图像。由重建单元108生成的重建图像经接口122可以输出到显示器(图2中未示出)。
重建单元118可由数据处理器来实现以处理来自探测器108的各探测器元件123的读出。
图2所示的计算机断层摄影装置捕获心脏130多个周期的心脏计算机断层摄影数据。换言之，当机架101旋转并当操作台119线性位移时，由X射线源104和探测器108执行有关心脏130的螺旋扫描。在该螺旋扫描期间，心脏130可能跳动多次。在这些跳动期间，采集多个心脏计算机断层摄影数据。同时，心电图单元135可测量心电图。在已经采集这些数据后，所述数据被传送给重建单元118，并回顾地分析测得数据。
测得数据，即心脏计算机断层摄影数据和心电图数据由重建单元118处理，所述重建单元118可经由图形用户界面(GUI)140得到进一步的控制。这一回顾性分析以使用回顾性ECG门控的螺旋心脏锥束重建方案为基础。然而，应当注意的是，本发明并不局限于这一特定的数据采集和重建。
然而，检查装置100包括滤波器单元204和快速焦斑切换单元(未在图2中描绘)，如参照图3和4所描绘。
图3示出了根据本发明示范性实施例的具有滤波设备204的双焦斑几何结构的示意图。所述辐射源包括阳极201，从这里朝感兴趣对象(未在图2中描绘)发射X射线束。所述X射线束聚焦在第一焦斑位置202或第二焦斑位置203处。在箭头206表征的方向上垂直于旋转轴205执行两个焦斑位置202、203间的切换。
X射线管的焦斑以这样的方式进行切换，即使得对于第一焦斑位置202而言射出的X射线束穿过谱滤波器设备204(例如，铜板)，而对于另一焦斑位置203而言，X射线束未受滤波器设备204的影响。在穿过滤波器设备204后，X射线由探测器单元208进行探测。
然而，对于第二焦斑位置203而言，所述束可由第二滤波器(未在图3中描绘)进行滤波或可保持不滤波。第二滤波器可包括与第一滤波器相同的材料但具有不同的滤波器特性(例如，第二滤波器可能比第一滤波器204更厚)，或者第二滤波器可以是不同类型的滤波器。
通过快速电子(网格/板式交换机)或磁四极切换，可立即接连(one afteranother)进行两次(或多次)不同的谱测量。
两个或多个不同的焦斑202、203可对应电子束的不同加速度，从而导致对应测得数据的不同谱特性。
两个(或多个)焦斑位置的距离必须为标称焦斑值(投影斑大小)的量级，其对于典型X射线管大约为1mm。对于垂直于旋转轴的切换，这将对应类似移位Δfx≈1mm。对于平行于旋转轴的切换，对于11度的阳极角，所述移位Δfy≈1mm*1/tan(阳极角)＝5，1mm。
应当注意的是，在阳极201上可产生两个以上的焦斑，例如四个焦斑，它们都对应不同滤波的X射线束。焦斑还可以沿着阳极201上的轨迹移动。沿着所述轨迹，所述束以变化的方式(所述滤波器特性随焦斑位置的改变连续或步进状改变)进行滤波。
图4示出了根据本发明另一示范性实施例的具有滤波设备204的双焦斑几何结构的示意图。在此，如箭头207所表征的，平行于阳极盘201的旋转轴执行焦斑位置的切换方向。
如从图4中所看到的，当焦斑处于位置203时，辐射束208穿过滤波器204。另一方面，当焦斑处于位置202时，对应的辐射束209并不穿过滤波器204从而，在探测器108上得到未经滤波的测量数据。
图5示出了具有人颅骨和用碘造影剂填充软管的体模研究的示意图。图5的左侧部分1示出了具有软管15、30、60、150的体模。管15用浓度为15mg/ml的碘造影剂填充，管30用浓度为30mg/ml的碘造影剂填充，管60用浓度为60mg/ml的碘造影剂填充而管150用浓度为150mg/ml的碘造影剂填充。
图5的第二部分2示出了没用滤波设备所采集的体模重建图像。图5的第三部分3示出了使用9mm厚的铜板作为滤波设备(从而对应图3或图4的焦斑位置202)所采集的体模重建图像。
此外，图5的最右侧部分4示出了根据本发明示范性实施例所采集的重建差图像。在重建差图像的这一体积绘制中(与2和3部分的图像相比)明显改进了具有30mg/ml浓度碘造影剂的管30的可见度。
图6示出了根据本发明的示范性方法的流程图，用于执行感兴趣对象的双谱检查。所述方法从步骤1开始，即发射具有位于第一焦斑位置的焦斑的束(例如X射线束)。然后，在步骤2中对辐射束进行滤波。在步骤3中，探测经滤波的束(其具有位于第一焦斑位置的焦斑)，从而得到经滤波的第一谱测量数据。
在步骤4中将焦斑从第一焦斑位置切换到第二焦斑位置，此后，在步骤5中，探测未经滤波的束(其具有位于第二焦斑位置的焦斑，并且并不穿过滤波器)，从而得到未经滤波的第二谱测量数据。
在同一采集运行期间于第一谱测量数据采集之后，立即采集该第二数据。
在步骤6中，确定第一谱测量数据和第二谱测量间的差。然后，在步骤7中，根据所述差执行感兴趣对象的图像重建。
这会导致整个采集时间的降低，这是因为在一次采集运行期间应用不同的谱设置。
图7描绘了根据本发明的数据处理设备400的示范性实施例，用于运行根据本发明方法的示范性实施例。图7中描绘的数据处理设备400包括中央处理单元(CPU)或图像处理器401，其连接至用于存储描绘感兴趣对象(例如患者或行李物品)的图像的存储器402。数据处理器401可连接到多个输入/输出网络或诊断设备，例如CT设备。数据处理器401可进一步连接到显示设备403，例如计算机监视器，用于显示在数据处理器401中计算或调整的信息或图像。操作者或用户可经由键盘404和/或其他输出设备(其未在图7中描绘)与数据处理器401进行交互。
此外，经由总线系统405，还可能将图像处理和控制处理器401连接到例如运动监视器(其监视感兴趣对象的运动)。在例如对患者肺部进行成像的情况下，所述运动传感器可以是呼气传感器。在对心脏进行成像的情况下，所述运动传感器可以是心电图。
本发明的各示范性实施例可作为CT扫描器操控台、成像工作站或PACS工作站的软件选项进行出售。
应该注意的是，术语“包括”不排除其他元件或步骤，并且“一”或“一个”不排除多个。同样可对参考不同实施例所述的各元件进行结合。
还应当注意的是权利要求中的附图标记不应理解为对权利要求范围的限定。

Claims (17)

1、一种用于对感兴趣对象(107)进行双谱检查的检查装置(100)，所述检查装置(100)包括：
滤波器单元(204)，其适于对来自所述感兴趣对象(107)的辐射束进行滤波，所述辐射束具有焦斑；
快速焦斑切换单元，其适于将所述焦斑从第一焦斑位置切换到第二焦斑位置；
探测器单元(108)，其适于根据来自所述感兴趣对象(107)的所述辐射束，采集测量数据；
其中，所述滤波器单元(204)、所述第一焦斑位置和所述第二焦斑位置以这样的方式布置，即
当所述焦斑位于所述第一位置时，所述辐射束穿过所述滤波器单元(204)，从而得到经滤波的第一谱测量数据，
而当所述焦斑位于所述第二位置时，所述辐射束并不穿过所述滤波器单元(204)，从而得到第二谱测量数据。
2、如权利要求1所述的检查装置(100)，
其中，在同一采集运行期间，立即接连采集所述经滤波的第一谱测量数据和所述未经滤波的第二谱测量数据。
3、如权利要求1所述的检查装置(100)，
其中，所述快速焦斑切换单元采用快速电子焦斑切换单元和磁四极切换单元中的一种。
4、如权利要求3所述的检查装置(100)，
其中，所述电子焦斑切换单元采用网格交换机和板式交换机中的一种。
5、如权利要求1所述的检查装置(100)，
其中，所述滤波器单元(204)包括铜板。
6、如权利要求1所述的检查装置(100)，所述检查装置(100)还包括：
采用X射线管(104)的辐射源；
其中，所述辐射束是从所述X射线管(104)发射的X射线束。
7、如权利要求1所述的检查装置(100)，
其中，所述检查装置(100)采用3D计算机断层摄影装置和3D旋转X射线装置中的一种。
8、如权利要求1所述的检查装置(100)，
其中，所述第一焦斑位置和第二焦斑位置间的距离为所述辐射束的标称焦斑值的量级。
9、如权利要求1所述的检查装置(100)，
其中，所述第一焦斑位置和所述第二焦斑位置位于垂直于所述辐射源旋转轴的直线上。
10、如权利要求1所述的检查装置(100)，
其中，所述第一焦斑位置和所述第二焦斑位置位于具有与所述辐射源旋转轴平行的分量的直线上。
11、如权利要求1所述的检查装置(100)，将其配置成由材料测试装置、医疗应用装置和微型CT系统所组成的组中的一种。
12、一种用于检查感兴趣对象(107)的图像处理设备，所述图像处理设备包括：
存储器，其用于存储所述感兴趣对象(107)的数据集，所述数据集包括对应于第一焦斑位置的经滤波的第一谱测量数据和对应于第二焦斑位置的未经滤波的第二谱测量数据，所述两种数据在同一采集运行期间立即接连进行采集；
重建单元(118)，其适于：
确定所述第一谱测量数据和所述第二谱测量数据间的差；以及
根据所述差重建所述感兴趣对象(107)的图像。
13、如权利要求12所述的图像处理设备，
其中，通过将所述焦斑从所述第一焦斑位置切换到所述第二焦斑位置，在同一采集运行期间立即接连采集所述经滤波的第一谱测量数据和所述未经滤波的第二谱测量数据；
其中，当所述焦斑位于所述第一位置时，所述辐射束穿过滤波器单元(204)，从而得到所述经滤波的第一谱测量数据，
其中，当所述焦斑位于所述第二位置时，所述辐射束并不穿过所述滤波器单元(204)，从而得到未经滤波的第二谱测量数据。
14、一种用检查装置对感兴趣对象(107)进行检查的方法，所述方法包括如下步骤：
探测具有处于第一焦斑位置的焦斑的经滤波的第一辐射，从而得到经滤波的第一谱测量数据；
将所述焦斑从所述第一焦斑位置切换到第二焦斑位置；
在同一采集运行期间于探测到所述经滤波的第一辐射之后立即探测具有处于所述第二焦斑位置的焦斑的第二辐射，从而得到第二谱测量数据。
15、如权利要求14所述的方法，还包括如下步骤：
确定所述第一谱测量数据与所述第二谱测量数据间的差；以及
根据所述差重建所述感兴趣对象(107)的图像。
16、一种计算机可读介质(402)，其中存储有对感兴趣对象进行检查的计算机程序，当由处理器(401)运行所述计算机程序时，其适于执行如下步骤：
探测具有处于第一焦斑位置的焦斑的经滤波的第一辐射，从而得到经滤波的第一谱测量数据；
将所述焦斑从所述第一焦斑位置切换到第二焦斑位置；
在同一采集运行期间于探测到所述经滤波的第一辐射之后立即探测具有处于所述第二焦斑位置的焦斑的第二辐射，从而得到第二谱测量数据。
17、一种检查感兴趣对象的程序单元，当由处理器(401)运行时，其适于执行如下步骤：
探测具有处于第一焦斑位置的焦斑的经滤波的第一辐射，从而得到经滤波的第一谱测量数据；
将所述焦斑从所述第一焦斑位置切换到第二焦斑位置；
在同一采集运行期间于探测到所述经滤波的第一辐射之后立即探测具有处于第二焦斑位置的焦斑的第二辐射，从而得到第二谱测量数据。
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PB01 Publication
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
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WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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