CN101364092A

CN101364092A - 瓶身锁定装置以及液体管理系统及其方法

Info

Publication number: CN101364092A
Application number: CNA2007101437858A
Authority: CN
Inventors: 陈彦良; 苏裕翔; 谢寿镛
Original assignee: Powerchip Semiconductor Corp
Current assignee: Lijing Jicheng Electronic Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2007-08-06
Filing date: 2007-08-06
Publication date: 2009-02-11
Anticipated expiration: 2027-08-06
Also published as: CN101364092B

Abstract

本发明公开了一种液体管理系统、一种液体管理方法以及一种瓶身锁定装置。该液体管理系统适于配置在使用液体瓶的工艺设备。此系统包括主机、数据读取工具、系统控制器及瓶身锁定装置。主机中建立有液体数据库。数据读取工具连接至主机，并用来读取液体瓶的数据。系统控制器连接至主机。瓶身锁定装置配置于液体瓶上，且连接至系统控制器。瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件。主机接收数据读取工具传送的液体瓶的数据，并与液体数据库做比对。系统控制器根据主机传送的信号驱动瓶身锁定装置。当瓶身锁定装置处于锁定状态时，卡掣件会固定于液体瓶的扣环。当瓶身锁定装置处于解除状态时，卡掣件释放液体瓶的扣环。

Description

瓶身锁定装置以及液体管理系统及其方法

技术领域

本发明涉及一种工艺设备的管理系统及其方法，且特别是涉及一种液体管理系统及其方法。

背景技术

在半导体工艺中，经常会使用各种不同的液体来进行工艺。以光刻工艺为例，光致抗蚀剂涂布是将液态的光致抗蚀剂旋涂于芯片表面上，而所选用的光致抗蚀剂种类常会因工艺条件的不同而有不同的需求。

当工艺机台中的光致抗蚀剂使用完毕，通常是以手动的方式进行登记比对，并由工作者的判定来控制新光致抗蚀剂的更换补充。更进一步而言，在发现机台中某一光致抗蚀剂使用完毕后，机台会发出信号提醒工作者补充新光致抗蚀剂，使得生产线不致发生中断。接着，工作者会去领取相同的新光致抗蚀剂瓶来取代使用完的光致抗蚀剂瓶。之后，工作者会至电脑端以手动的方式消除使用完的光致抗蚀剂瓶数据，再输入新光致抗蚀剂瓶的数据并进行比对确认。然后，在机台的光致抗蚀剂柜中找出使用完的光致抗蚀剂瓶，并换上新光致抗蚀剂瓶，使机台重新运作。

在上述过程中，将新光致抗蚀剂瓶的数据与电脑中建立的数据库做比对以判断所取用的新光致抗蚀剂瓶是否正确，并不具有强制性的控管。由于光致抗蚀剂的种类繁多，且部分光致抗蚀剂的名称相近，常常容易因人为疏忽造成取用错误的情况。若是工作者未执行比对程序，或是不理会比对错误的信息即擅自更换光致抗蚀剂瓶，极有可能会发生更换错误的问题，进而影响整个产品的成品率及成本。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种液体管理系统，可有效地管理液体瓶的更换及取用。

本发明提供一种液体管理方法，能够提高比对正确性，以避免更换错误的情况发生。

本发明提供一种瓶身锁定装置，用以锁定具有扣环的液体瓶，有助于禁止工作者任意更换液体瓶。

本发明提出一种液体管理系统，适于配置在使用液体瓶的工艺设备中。此系统包括主机、数据读取工具、系统控制器以及瓶身锁定装置。主机中建立有液体数据库。数据读取工具连接至主机。数据读取工具是用来读取液体瓶的数据。系统控制器连接至主机。而瓶身锁定装置连接至系统控制器。瓶身锁定装置配置于液体瓶上，其中瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件。主机会接收数据读取工具传送的液体瓶的数据，并将液体瓶的数据与液体数据库做比对。而系统控制器会根据主机传送的信号驱动瓶身锁定装置。当瓶身锁定装置处于锁定状态时，卡掣件会固定于液体瓶的扣环。当瓶身锁定装置处于解除状态时，卡掣件释放液体瓶的扣环。

在本发明的一实施例中，上述的卡掣件包括凹陷部。

在本发明的一实施例中，当瓶身锁定装置处于锁定状态时，凹陷部会卡合于液体瓶的扣环。

在本发明的一实施例中，还包括液位感应器，连接至主机，用以侦测液体瓶内的液体位置。

在本发明的一实施例中，上述的数据读取工具例如是条码扫描器。

在本发明的一实施例中，上述的系统控制器包括流体供给装置，用以推移卡掣件。

在本发明的一实施例中，上述的流体供给装置例如是气压供给装置。

在本发明的一实施例中，上述的气压供给装置的驱动压力介于1kg/cm²至7kg/cm²。

在本发明的一实施例中，上述的卡掣件的最大出力为6.78kg/cm²。

在本发明的一实施例中，上述的卡掣件的移动速度介于50mm/sec至500mm/sec。

在本发明的一实施例中，上述的工艺设备例如是光致抗蚀剂涂布显影机台。

在本发明的一实施例中，上述的液体瓶例如是光致抗蚀剂瓶。

本发明另提出一种液体管理方法，适用于使用液体瓶的工艺设备，其中液体瓶上配置有处于锁定状态的瓶身锁定装置。首先，当需要更换液体瓶时，取出新液体瓶并读取新液体瓶的数据。接着，比对新液体瓶的数据与液体瓶的数据是否相符。当新液体瓶的数据与液体瓶的数据相符时，则驱动瓶身锁定装置切换至解除状态。然后，换上新液体瓶。

在本发明的一实施例中，读取新液体瓶的数据例如是以条码扫描器读取新液体瓶上的条码。

在本发明的一实施例中，当新液体瓶的数据与液体瓶的数据不相符时，瓶身锁定装置则维持锁定状态。

在本发明的一实施例中，上述的新液体瓶例如是新光致抗蚀剂瓶。

本发明又提出一种瓶身锁定装置，适用于具有扣环的液体瓶。此装置包括本体、固定部、缸体、活塞、驱动杆以及卡掣件。固定部连接于本体的一侧，用以将此装置固定于液体瓶上。缸体嵌设于本体内，且缸体的流体入口突出自本体。活塞配置于缸体中。驱动杆可滑动地配置于缸体中，且驱动杆的一端连接活塞。卡掣件连接于驱动杆的另一端，其中卡掣件具有凹陷部。当活塞经由流体入口受到流体压力时，活塞会驱使驱动杆将卡掣件沿着移动轴线自释放位置移动至卡合位置，以使得凹陷部与扣环相卡合。

在本发明的一实施例中，瓶身锁定装置还包括弹性件，配置于活塞与缸体的内壁之间，用以相对于缸体施加弹力至活塞，以使驱动杆将卡掣件由卡合位置移动至释放位置。

在本发明的一实施例中，上述的弹性件例如是螺旋弹簧，套设于驱动杆上。

在本发明的一实施例中，瓶身锁定装置还包括两个导杆，分别配置于驱动杆的两侧，以让卡掣件承靠并确保卡掣件实质上沿着移动轴线来滑动。

在本发明的一实施例中，上述的本体包括容纳槽。

在本发明的一实施例中，上述的卡掣件可滑动地配置于容纳槽中。

在本发明的一实施例中，瓶身锁定装置还包括流体供给装置，连接至流体入口。

基于上述，本发明的液体管理系统因采用瓶身锁定装置将使用中的液体瓶锁定，使液体瓶无法被任意置换。而系统控制器会根据主机比对数据后的结果，来驱动瓶身锁定装置的状态切换。因此，可以有效地进行液体瓶的比对及管理，并避免工作者擅自更换。

本发明的液体管理方法利用瓶身锁定装置在使用时是处于锁定状态，只有当取用的新液体瓶与原先使用的液体瓶数据比对相符时，瓶身锁定装置才会切换至解除状态，以更换新液体瓶。本发明的液体管理方法因而可以提高取用液体的正确性。

本发明的瓶身锁定装置因配置有可滑动的卡掣件，通过流体供给系统的驱动，可以使卡掣件从释放位置移动至卡合位置，并与液体瓶的扣环相卡合。如此一来，液体瓶就不能任意地被更换。

为让本发明之上述特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图示，作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明一实施例的瓶身锁定装置的立体图。

图2A与图2B是图1的瓶身锁定装置作动时的本体剖面示意图。

图3是依照本发明一实施例的液体管理系统的配置示意图。

图4为依照本发明一实施例的液体管理方法的步骤流程图。

附图标记说明

100：瓶身锁定装置

102：本体

102a：容纳槽

104：固定部

110：缸体

110a：开口

112：流体入口

120：活塞

130：驱动杆

130a、130b：一端

140：导杆

150：卡掣件

150a：凹陷部

160：弹性件

170：移动轴线

180：流体压力

300：液体管理系统

310：主机

320：数据读取工具

330：系统控制器

340：流体供给装置

350：液位感应器

360：液体瓶

362：扣环

370：新液体瓶

374：标签

P1：释放位置

P2：卡合位置

S400～S460：步骤

具体实施方式

图1是依照本发明一实施例的瓶身锁定装置的立体图。图2A与图2B是图1的瓶身锁定装置作动时的本体剖面示意图。

请同时参照图1、图2A，瓶身锁定装置100适用于具有扣环的液体瓶(未绘示)。此装置包括本体102、固定部104、缸体110、活塞120、驱动杆130、导杆140、卡掣件150等构件。本体102例如是中空的壳体，且本体102中具有容纳槽102a。固定部104例如是连接于本体102的一侧。缸体110例如是嵌设于本体102内。活塞120例如是配置于缸体110中。驱动杆130可滑动地配置于缸体110中，并与活塞120相连接。卡掣件150例如是可滑动地配置于容纳槽102a中，且连接于驱动杆130。此外，导杆140例如是分别配置于驱动杆130的两侧，并使卡掣件150可以承靠于导杆140上。

如图1所示，固定部104例如是空心的环状构造。固定部104与本体102之间的连接关系例如是固定式连接。因此，环状的固定部104可以环绕于液体瓶的瓶口部，以将瓶身锁定装置100固定于液体瓶上。当然，在其他实施例中，固定部104可以为任何一种形体构造，且其与本体102之间的连接关系亦可以为可移动式的连接，只要固定部104能够使瓶身锁定装置100稳定地承靠于液体瓶上即可，本发明于此不做特别的限定。

缸体110例如是具有空腔的圆筒状汽缸，使活塞120可以容纳于其内部并沿着移动轴线170往复运动。缸体110的底部例如是配置有贯穿其底面的开口110a。开口110a可以作为活塞120与其它构件，例如是卡掣件150，相互连接的连接孔。

此外，缸体110之上方例如是配置有流体入口112，且流体入口112可以与缸体110的内部相连通。流体入口112例如是突出于本体102。在一实施例中，当流体入口112连接于流体供给装置(未绘示)时，流体供给装置所提供的流体会从流体入口112流至缸体110中。通过施予流体压力于活塞120，可以带动活塞120的移动。

驱动杆130例如是对应于移动轴线170配置于活塞120与卡掣件150之间。驱动杆130具有一端130a与一端130b，且分别连接于活塞120及卡掣件150。在本实施例中，驱动杆130的一端130a连接于活塞120的下方，而驱动杆130的一端130b穿过缸体110底部的开口110a，连接于卡掣件150之上方。

卡掣件150具有凹陷部150a。凹陷部150a例如是以移动轴线170为中心轴，而配置于卡掣件150的底部。凹陷部150a的形状例如是相对于液体瓶的扣环。液体瓶的扣环的上部可以被凹陷部150a所包覆，而让卡掣件150与凸出的液体瓶的扣环刚好相卡合。

此外，导杆140例如是于移动轴线170的两侧呈对称配置。导杆140分别会穿过卡掣件150位于凹陷部150a旁的两侧，使卡掣件150能够沿着导杆140滑动。因此，导杆140确保卡掣件150可以实质上沿着移动轴线170来滑动。

承上述，为了使卡掣件150可以沿着导杆140往复滑动，本发明的瓶身锁定装置100例如可在活塞120与缸体110的内壁之间配置弹性件160。通过弹性件160的回复力，相对于缸体110施加弹力至活塞120，使驱动杆130带动卡掣件150在导杆140上移动。在本实施例中，弹性件160例如是螺旋弹簧，并套设于驱动杆130上。

请同时参照图2A与2B，其说明本发明的瓶身锁定装置100的作动情形。如图2A所示，当活塞120没有自流体入口112受到流体压力时，瓶身锁定装置100会维持解除状态。此时，活塞120不会驱使驱动杆130推移卡掣件150，而使卡掣件150保持在释放位置P1。

接着，如图2B所示，当流体供给装置(未绘示)提供流体由流体入口112流至缸体110中，活塞120会自流体入口112受到流体压力180的作用。活塞120会因流体压力180而朝向弹性件160的方向移动，并压缩弹性件160，亦即活塞120会往缸体110的底部移动。同时，驱动杆130亦会随着活塞120的移动，驱使卡掣件150沿着导杆140对应于移动轴线170从释放位置P1移动至卡合位置P2，而进一步可以使凹陷部150a与液体瓶的扣环相卡合。此时，瓶身锁定装置100会处于锁定状态。

之后，如图2A所示，当流体供给装置停止供应流体，活塞120自流体入口112受到的流体压力180消失，弹性件160会以相对于缸体110底部的方向施加弹力于活塞120的下方。一旦活塞120受到弹性件160的回复力作用，驱动杆130会受到活塞120的牵引而驱使卡掣件150沿着导杆140移动至释放位置P1。

换言之，瓶身锁定装置100是通过缸体110中的活塞120受到流体压力180以及弹性件160的回复力作用而往复运动。活塞120会牵引驱动杆130而驱使卡掣件150移动，来切换瓶身锁定装置100的不同状态。

接下来将说明将上述瓶身锁定装置100配置于液体管理系统的应用。图3是依照本发明一实施例的液体管理系统的配置示意图。在图3中，与图1、图2A与图2B相同的构件则使用相同的标号并省略其说明。

请参照图3，液体管理系统300适于配置在使用液体瓶360的工艺设备中。在本实施例中，是以将本发明的液体管理系统300应用于光致抗蚀剂涂布显影机台为例来进行说明。液体瓶360例如是光致抗蚀剂瓶，新液体瓶370例如是预替换液体瓶360的新光致抗蚀剂瓶，然而其并不限于此。当然，本发明的液体管理系统300除了可使用在半导体工艺外，亦可应用于其他适当的领域中，本发明于此不做特别的限定。

液体管理系统300包括主机310、数据读取工具320、系统控制器330、瓶身锁定装置100以及液位感应器350。数据读取工具320连接至主机310。系统控制器330亦连接至主机310。而瓶身锁定装置100连接至系统控制器330。液位感应器350连接至主机310。

主机310例如是配置于光致抗蚀剂涂布显影机台中。主机310是用来接收液位感应器350与数据读取工具320所传送的信号，并可进一步发出信号调控系统控制器330的运作。主机310中例如是内建有液体数据库，可以用来比对液体瓶360的数据与新液体瓶370的数据。

数据读取工具320是用来读取新液体瓶370上所标示的数据。在本实施例中，数据读取工具320为可以以无线传输的方式进行数据传输的条码扫描器，其例如是个人数字助理(PDA)。使用数据读取工具320来扫描新液体瓶370上的标签374，以通过标签374上的条码取得新液体瓶370的数据。之后，数据读取工具320会将取得新液体瓶370的数据传送至主机310，以进一步将其与主机310中的液体数据库进行比对，确认新液体瓶370的数据是否与液体瓶360的数据一致。

系统控制器330是接收主机310所传送的信号，来驱动瓶身锁定装置100。系统控制器330还包括流体供给装置340。流体供给装置340例如是连接于系统控制器330与瓶身锁定装置100之间。在本实施例中，流体供给装置340例如是气压供给装置，其提供的驱动压力介于1kg/cm²至7kg/cm²。系统控制器330可以根据主机310的信号，来控制流体供给装置340的运作，进而驱动瓶身锁定装置100切换至不同的状态。当流体供给装置340开启时，会施加流体压力于瓶身锁定装置100。另一方面，当流体供给装置340关闭时，没有流体压力会施加于瓶身锁定装置100。

瓶身锁定装置100配置于具有扣环362的液体瓶360上。瓶身锁定装置100包括固定部104以及可滑动的卡掣件150。固定部104例如是环绕于液体瓶360的瓶口部，以将瓶身锁定装置100固定于液体瓶360上。瓶身锁定装置100通过流体供给装置340驱动卡掣件150的位移，而可以切换至不同状态对液体瓶360进行锁定的动作。

承上述，当流体供给装置340施加流体压力用以推移卡掣件150时，卡掣件150的凹陷部(未绘示)会卡合于液体瓶360的扣环362，瓶身锁定装置100此时会处于锁定状态。而当流体供给装置340停止施加用以推移卡掣件150的流体压力时，卡掣件150会释放液体瓶360的扣环362，瓶身锁定装置100此时会处于解除状态。在本实施例中，卡掣件150的最大出力为6.78kg/cm2，且卡掣件150的移动速度介于50mm/sec至500mm/sec。

值得注意的是，在光致抗蚀剂涂布显影机台运转时，瓶身锁定装置100例如是处于锁定状态。因此，卡掣件150可以锁定液体瓶360的扣环362，而使工作者无法轻易地更换液体瓶360。

液位感应器350可用以侦测液体瓶360内的液体使用情况，并将所侦测到的液体位置传送回主机310。主机310可以根据液位感应器350传送的液位信号，判断是否发出信号提醒工作者更换液体瓶360。液位感应器350例如是光学传感器或其他合适的传感器，且其设定有一个感应位置，此感应位置可以依据不同的情况而有不同的设定。而液位感应器350例如是配置于液体瓶360的侧壁上，通过液体瓶360侧壁上设置的透明视窗(未绘示)来侦测液体位置。液位感应器350的配置方式也可以是将液位感应器350配置于液体瓶360内，直接侦测液体瓶360内的液位。除上述所列举的方式外，亦可用其他合适的方法配置液位感应器350。

在上述实施例中，液体管理系统300是以一组瓶身锁定装置100为例以做说明，然本发明并不对瓶身锁定装置100的数量做特别的限定，在此技术领域普通技术人员当可视其需求进行调整。

特别说明的是，本发明的液体管理系统300可以通过数据读取工具320扫描新液体瓶370的标签374上的条码，以取得新液体瓶370的数据。接着，数据读取工具320再将新液体瓶370的数据以无线传输的方式传送至主机310。主机310会将新液体瓶370的数据与内建的液体数据库比对，以确认新液体瓶370与液体瓶360是否相同。当比对正确时，主机310则会传送信号至系统控制器330。系统控制器330会关闭气压供给装置340，使瓶身锁定装置100切换至解除状态，而液体瓶360的扣环362就会被释放。之后，就可以将液体瓶360取出，再以新液体瓶370取代的。

以下将继续说明利用上述液体管理系统300所进行的液体管理方法。图4为依照本发明一实施例的液体管理方法的步骤流程图。

本发明的液体管理方法是适用于工艺设备中所使用的液体瓶360上配置有瓶身锁定装置100，且瓶身锁定装置100平时是处于锁定状态，而使工作者无法直接更换液体瓶360。

请同时参照图3与图4，首先，侦测液体瓶360内的液位(步骤S400)。在步骤S400中，例如是以液位感应器350侦测液体瓶360中的液体位置，并将液体位置的信号传送至主机310。

步骤S410，若液位感应器350侦测出液体瓶360中的液体位置到达或是低于液位感应器350所设定的感应位置时，则代表液体瓶360中的液体即将用磬。因此，与液位感应器350连接的主机310会发出信号。此信号例如是显示于主机310的荧幕上或是由主机310发出警示声、警示灯号，以通知工作者开始进行更换液体瓶360的作业。

步骤S420，在存放液体瓶的位置，领取新液体瓶370。之后，读取新液体瓶370的数据。在本实施例中，是以数据读取工具320扫描新液体瓶370上的标签374的条码，取得新液体瓶370的数据。接着，数据读取工具320例如是以无线传输的方式，将新液体瓶370的数据回传至主机310。

之后，主机310会比对新液体瓶370的数据与液体瓶360的数据，判读两者的数据是否相符(步骤S430)。比对的方法例如是通过软件将新液体瓶370的数据与主机310中建立的液体数据库进行比对，以检查工作者所取的新液体瓶370是否正确。

步骤S440，当新液体瓶370的数据与液体瓶360的数据相符时，主机310会传送信号至系统控制器330。此信号例如是开启瓶身锁定装置100的信号。系统控制器330会根据主机310的信号，关闭流体供给装置340。流体供给装置340停止提供流体压力会驱动瓶身锁定装置100切换至解除状态，使卡掣件150释放液体瓶360的扣环362。

步骤S450，一旦瓶身锁定装置100开启后，液体瓶360即可被工作者取出。之后，再换上新液体瓶370，以达到更换正确液体的目的。

在进行步骤430之后，当新液体瓶370的数据与液体瓶360的数据不相符时，主机310亦会传送信号至系统控制器330。此信号例如是锁定瓶身锁定装置100的信号。系统控制器330会根据主机310的信号，持续使流体供给装置340提供流体压力至瓶身锁定装置100。瓶身锁定装置100则会维持锁定状态(步骤S460)，使液体瓶360无法被取出，以强制禁止工作者自行更换。之后，可以再回到步骤S420中，重新领取另一新液体瓶并进行接续的步骤。如此，重复进行领取另一新液体瓶，再读取此新液体瓶的数据，直到新液体瓶的数据比对正确，后续的步骤细节为此领域普通技术人员当可轻易推知，故于此不再赘述。

综上所述，本发明的液体管理系统及其方法，可于液体不足或是需要更换液体瓶时，使用数据读取工具扫描新液体瓶的条码，再将液体瓶的数据传至主机，由主机进行比对确认的步骤，因此可避免工作者判定错误。此外，瓶身锁定装置是由系统控制器根据主机比对后的结果来驱动的，而可避免工作者擅自更换液体瓶的情况发生。因此，本发明可以防止因人为疏失发生更换错误而导致严重的损失，以达到事前防范的效果。

另一方面，本发明的液体管理系统及其方法通过简单的系统配置及步骤，即可读取所取用的新液体瓶数据，再与使用中的液体瓶作比对来确认两者是否相符，因此可以增加检查的准确性。

再者，本发明的瓶身锁定装置是利用流体压力的方式来控制卡掣件的移动，而非使用电力来控制，因此还可避免电器接触到易燃液体而发生危险。

虽然本发明已以优选实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附的权利要求所界定者为准。

Claims

1.一种液体管理系统，适于配置在使用液体瓶的工艺设备中，包括：

主机，该主机中建立有液体数据库；

数据读取工具，连接至该主机，该数据读取工具是用来读取该液体瓶的数据；

系统控制器，连接至该主机；以及

瓶身锁定装置，连接至该系统控制器，该瓶身锁定装置配置于该液体瓶上，该瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件，其中该主机接收该数据读取工具传送的该液体瓶的数据，并将该液体瓶的数据与该液体数据库做比对，该系统控制器会根据该主机传送的信号驱动该瓶身锁定装置，当该瓶身锁定装置处于锁定状态时，该卡掣件固定于该液体瓶的扣环，当该瓶身锁定装置处于解除状态时，该卡掣件释放该液体瓶的扣环。

2.如权利要求1所述的液体管理系统，其中该卡掣件包括凹陷部。

3.如权利要求2所述的液体管理系统，其中当该瓶身锁定装置处于该锁定状态时，该凹陷部卡合于该液体瓶的扣环。

4.如权利要求1所述的液体管理系统，还包括液位感应器，连接至该主机，用以侦测该液体瓶内的液体位置。

5.如权利要求1所述的液体管理系统，其中该数据读取工具包括条码扫描器。

6.如权利要求1所述的液体管理系统，其中该系统控制器包括流体供给装置，用以推移该卡掣件。

7.如权利要求6所述的液体管理系统，其中该流体供给装置包括气压供给装置。

8.如权利要求7所述的液体管理系统，其中该气压供给装置的驱动压力介于1kg/cm²至7kg/cm²。

9.如权利要求7所述的液体管理系统，其中该卡掣件的最大出力为6.78kg/cm²。

10.如权利要求7所述的液体管理系统，其中该卡掣件的移动速度介于50mm/sec至500mm/sec。

11.如权利要求1所述的液体管理系统，其中该工艺设备包括光致抗蚀剂涂布显影机台。

12.如权利要求11所述的液体管理系统，其中该液体瓶包括光致抗蚀剂瓶。

13.一种液体管理方法，适用于使用液体瓶的工艺设备，该液体瓶上配置有锁定状态的瓶身锁定装置，包括：

当需要更换该液体瓶时，取出新液体瓶，并读取该新液体瓶的数据；

比对该新液体瓶的数据与该液体瓶的数据是否相符；

当该新液体瓶的数据与该液体瓶的数据相符时，驱动该瓶身锁定装置切换至解除状态；以及

换上该新液体瓶。

14.如权利要求13所述的液体管理方法，其中读取该新液体瓶的数据包括以条码扫描器读取该新液体瓶上的条码。

15.如权利要求13所述的液体管理方法，其中当该新液体瓶的数据与该液体瓶的数据不相符时，该瓶身锁定装置维持该锁定状态。

16.如权利要求13所述的液体管理系统，其中该工艺设备包括光致抗蚀剂涂布显影机台。

17.如权利要求16所述的液体管理方法，其中该液体瓶包括光致抗蚀剂瓶。

18.如权利要求17所述的液体管理方法，其中该新液体瓶包括新光致抗蚀剂瓶。

19.一种瓶身锁定装置，适用于具有扣环的液体瓶，包括：

本体；

固定部，连接于该本体的一侧，用以将该装置固定于该液体瓶上；

缸体，嵌设于该本体内，且该缸体的流体入口突出自该本体；

活塞，配置于该缸体中；

驱动杆，可滑动地配置于该缸体中，且该驱动杆的一端连接该活塞；以及

卡掣件，连接于该驱动杆的另一端，该卡掣件具有凹陷部；

其中当该活塞经由该流体入口受到流体压力时，该活塞驱使该驱动杆将该卡掣件沿着移动轴线自释放位置移动至卡合位置，以使得该凹陷部与该扣环相卡合。

20.如权利要求19所述的瓶身锁定装置，还包括弹性件，配置于该活塞与该缸体的内壁之间，用以相对于该缸体施加弹力至该活塞，以使该驱动杆将该卡掣件由该卡合位置移动至该释放位置。

21.如权利要求20所述的瓶身锁定装置，其中该弹性件包括螺旋弹簧，套设于该驱动杆上。

22.如权利要求19所述的瓶身锁定装置，还包括两个导杆，分别配置于该驱动杆的两侧，以让该卡掣件承靠并确保该卡掣件实质上沿着该移动轴线来滑动。

23.如权利要求19所述的瓶身锁定装置，其中该本体包括容纳槽。

24.如权利要求23所述的瓶身锁定装置，其中该卡掣件可滑动地配置于该容纳槽中。

25.如权利要求19所述的瓶身锁定装置，还包括流体供给装置，连接至该流体入口。

26.如权利要求25所述的瓶身锁定装置，其中该流体供给装置包括气压供给装置。