CN101341328A - 高压连接装置及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及具有两个相互贴靠的密封面(8)的高压连接装置及其制造方法,为了改善这种高压连接装置的密封性,密封面(8)中的至少一个设置有一局部的涂层(23,24,26,27)。该局部的涂层通过电镀成型来产生。
Description
技术领域
本发明涉及具有两个相互贴靠的密封面的高压连接装置。本发明还涉及用于制造这种高压连接装置的方法。
背景技术
高压连接装置的密封性可这样来改善,即与密封无关系的区域通过铣削使其下降,以便提高局部的单位面积压力。此外公知了使用由涂层的金属材料制成的O型圈。
发明内容
本发明的目的在于改善高压连接装置的密封性。
该目的在具有两个相互贴靠的密封面的高压连接装置上这样来解决,即至少一个密封面设置有一个局部的涂层。通过该局部的涂层得到适用于高压的针对组成部分特定的密封。在本发明方面“局部”意味着不是整个的密封面被涂以涂层,而仅是密封面的一部分被涂以涂层。由此在密封面上产生出一个密封结构。
该高压连接装置的一个优选实施例的特征在于:局部的涂层包含多种不同的材料。这些不同的材料可彼此重叠地和/或一个在另一个旁地布置。
在用于制造上述具有两个相互贴靠的密封面的高压连接装置的方法中,上述目的这样地解决,即通过电化学的金属沉积来产生局部的涂层。在优选应用电镀成型(Galvanoformen)的情况下仅局部地在密封面的确定区域中进行电化学的金属沉积。待沉积的材料与密封面的密封功能及基本材料相协调。
该方法的一个优选实施例的特征在于:局部的涂层的侧向的尺寸通过借助光掩模的光刻技术来产生。通过光刻技术将确定出在其中通过电镀成型进行电化学的材料沉积的区域。这里在所谓的正性抗蚀剂与所谓的负性抗蚀剂作出区分。在负性抗蚀剂的情况下,在优选用紫外线(UV-Licht)照射的部位上交联出一涂层。由此这些部位上的涂层在接着的显影过程中变得不可脱落。在正性抗蚀剂的情况下,在优选用紫外线照射的位置上的涂层被“破坏”。在接着的显影过程中在该位置上的涂层“被洗掉”。在本发明的框架中优选使用薄片抗蚀剂(Folienresist)形式的负性抗蚀剂。
该方法的另一优选实施例的特征在于:局部的涂层的侧向的尺寸通过激光辐射来确定。激光辐射能以简单的方式方法实现密封面的局部涂层。这里激光辐射可被用来使光致抗蚀剂曝光。但激光辐射也可被用来有目的地去除一掩模材料。
该方法的另一优选实施例的特征在于:光致抗蚀剂被预先批量制作,以形成目标几何结构。在预先批量制作时,通过冲压、剪切或激光加工在光致抗蚀剂中加工出所述目标几何结构。在此情况下使用薄片形式的光致抗蚀剂,正如该光致抗蚀剂例如在印刷电路板制造中被使用那样。该薄片形式的光致抗蚀剂例如为30cm宽及超过100m的长度。在本发明的范围中,预先批量制作的含义是使涂层的尺寸适配于待加工的面。
该方法的另一优选实施例的特征在于:将预先批量制作的光致抗蚀剂施加在密封面上。优选使用具有载体薄片的薄片抗蚀剂。但也可以使用液体抗蚀剂。
该方法的另一优选实施例的特征在于:使施加在密封面上的光致抗蚀剂光刻结构化,以便确定局部涂层的侧向的尺寸。该光刻结构化优选通过掩模及一个曝光器来实现。但光刻结构化也可通过激光辐射的有目的的作用来实现。
该方法的另一优选实施例的特征在于:由局部涂层构成的密封部分的功能通过局部涂层的材料及形状来调节。在此情况下例如可以使用一个相对软的材料来适配密封面的预给定的粗糙度或补偿一个配合面的不平度。可使用一个相对硬的材料来建立一咬边的功能,该咬边压入配合面中。通过用不同材料组合的多层覆方法可几乎任意地扩展所述密封的特性及功能。
附图说明
本发明的其它优点,特征及细节可从以下参照附图对各个实施例的详细描述的说明中得到。附图表示:
图1:一个传统高压连接装置的密封面,及
图2:一个根据本发明的高压连接装置的密封面。
具体实施方式
图1以俯视图表示一个基本上圆柱形的燃料喷射器体1。该燃料喷射器体1包括一个中心低压孔3及一个高压孔5以及另一低压孔6,后两孔被布置在中心低压孔3的径向外部。孔3,5及6都通到一个共同的密封面8中。燃料喷射器体1的密封面8在组装好的状态中与燃料喷射器的另一(未示出的)部件的另一密封面相接触。在组装好的状态中两个密封面被彼此相靠地紧紧地夹紧,以便在孔3,5及6与燃料喷射器的所述另一部件的其它孔之间形成压力密封的连接,这些其它孔对准孔3,5及6地延伸。
图1中通过阴影线的区域10表示在孔3,5及6之间存在的与密封无重大关系的区域被下沉。通过与密封无重大关系的区域10的下沉提高了局部的单位面积压力。该与密封无重大关系的区域10的下沉可通过铣加工来实现。但该铣加工是费事及昂贵的。此外通过铣加工可形成的结构受到铣刀具的限制。
图2中表示一个与图1中类似的燃料喷射器体21。该燃料喷射器体21包括一个中心低压孔3及一个高压孔5以及另一低压孔6。孔3、5及6通到一个密封面8中,该密封面具有一个圆面的构型。
与图1中所示的燃料喷射器体1不同的是,在图2中所示的燃料喷射器体21上与密封关系重大的区域23,24及26,27被升高。与密封关系重大的区域23具有一个圆环盘的构型,该圆环盘包围着高压孔3到密封面8中的出口。与密封关系重大的区域24具有一个圆环盘的构型,该圆环盘与高压孔3及与密封关系重大的区域23同心地布置在密封面8的外圆周边缘的附近。与密封关系重大的区域26及27各具有一个圆环盘的构型,这些区域26及27包围着高压孔5及孔6到密封面8中的出口。
根据本发明的一个构思,这些与密封关系重大的区域23,24及26,27相对密封面8突起地构成。这些与密封关系重大的区域23,24及26,27的升高通过借助电镀成型的局部涂层来实现。根据本发明的电镀成型涉及光刻技术与电化学的金属沉积的组合。待沉积的材料与燃料喷射器体21的密封功能及其基本材料相协调。该材料的范围可从软材料、例如铟一直涵盖到硬材料、例如镍钨合金。
也可用多种不同的材料一个在另一个旁地或彼此重叠地组合。由此在待实现的密封部几何结构方面得到大的自由度。此外光刻工艺可实现非常高的精度。由此所述密封可最佳地适配于待配设该密封的部件。密封的几何结构将在侧向上通过光掩模或由有目的的激光直接结构化(Laserdirektstrukturierung)来确定。密封结构的高度可通过电镀成型自由地确定。在此情况下密封部分的高度可为0.5μm到几百微米。待使用的抗蚀剂高度及电镀高度彼此相协调。通过与高的电流密度相联系的高沉积速度也可很快地制造更厚的层。
根据本发明的一个构思,使用预先批量制作的光致抗蚀剂与接着的光刻结构化(Fotostrukturierung)。在此情况下优选使用薄片抗蚀剂,其中,在预先批量制作中,目标几何结构通过冲压或剪切或激光加工被加工出来。在此情况下涂层保留在其载体薄片上或在所述批量制作后又被施加在该载体薄片上。在本发明的范围中,薄片形式的光致抗蚀剂被证实如这些光致抗蚀剂例如应用在印刷电路板制造中那样是有利的。一个这种光致抗蚀剂优选30cm宽及100多米长。在本发明方面,预先批量制作意味着:使涂层的尺寸适配于待加工的面。预先批量制作的涂层类似于一个带有多个圆形的“粘贴标签”的卷(Rolle)。这些粘贴标签正好与图2中的整个密封面8相匹配。在施加了这些“粘贴标签”后接着进行光刻结构化。
特定的密封结构(图2中23,24,26,27)通过电镀成型直接地产生在部件的密封面上。根据本发明的用于制造所述密封的方法如下地进行。首先预处理密封面(图2中8),尤其是去油脂。接着在该密封面上施加一预先批量制作的、适配于部件几何结构的薄片抗蚀剂。该薄片抗蚀剂的施加在一预定的压力以及确定的温度下来进行。也可施加液体抗蚀剂来替代薄片抗蚀剂。
在另一方法步骤中进行涂层的光刻结构化。该光刻结构化优选通过相应的掩模并借助一个曝光装置来进行。但光刻结构也可直接地借助一个激光装置来进行。接着使未曝光的区域显影,这就是说,涂层将部分地被去除。接着给在上一步骤中露出的区域设置涂层。最后去除其余的涂层。作为密封材料例如使用铟。在通过螺钉拧紧两个组件的情况下密封材料流动,其中,粗糙度及极小的形状偏差被封闭。在此情况下,应遵守到孔及外边缘的一个确定的距离。
Claims (10)
1.具有两个相互贴靠的密封面(8)的高压连接装置,其特征在于:这些密封面(8)中的至少一个设置有一局部的涂层(23,24,26,27)。
2.根据权利要求1的高压连接装置,其特征在于:所述局部的涂层(23,24,26,27)包含多种不同的材料。
3.根据权利要求2的高压连接装置,其特征在于:这些不同的材料彼此重叠地和/或一个在另一个旁地被施加。
4.用于制造根据以上权利要求中一项的、具有两个相互贴靠的密封面(8)的高压连接装置的方法,其特征在于:通过电化学的金属沉积来产生所述局部的涂层(23,24,26,27)。
5.根据权利要求4的方法,其特征在于:所述局部的涂层(23,24,26,27)的侧向的尺寸通过借助一光掩模的光刻技术来产生。
6.根据权利要求4的方法,其特征在于:所述局部的涂层(23,24,26,27)的侧向的尺寸通过激光辐射来确定。
7.根据权利要求4至6中一项的方法,其特征在于:一光致抗蚀剂被预先批量制作,以便形成一目标几何结构。
8.根据权利要求7的方法,其特征在于:所述预先批量制作的光致抗蚀剂被施加在所述密封面上。
9.根据权利要求8的方法,其特征在于:所述施加在所述密封面上的光致抗蚀剂被光刻结构化,以便确定所述局部的涂层(23,24,26,27)的侧向的尺寸。
10.根据权利要求4至9中一项的方法,其特征在于:一由所述局部涂层构成的密封的功能通过该局部涂层的材料及形状来调节。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005060667A DE102005060667A1 (de) | 2005-12-19 | 2005-12-19 | Hochdruckverbindung und Verfahren zum Herstellen einer Hochdruckverbindung |
DE102005060667.9 | 2005-12-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101341328A true CN101341328A (zh) | 2009-01-07 |
Family
ID=37547599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNA2006800480229A Pending CN101341328A (zh) | 2005-12-19 | 2006-10-27 | 高压连接装置及其制造方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080290608A1 (zh) |
EP (1) | EP1966480B1 (zh) |
JP (1) | JP2009520170A (zh) |
KR (1) | KR20080077986A (zh) |
CN (1) | CN101341328A (zh) |
AT (1) | ATE476597T1 (zh) |
BR (1) | BRPI0620099A2 (zh) |
DE (2) | DE102005060667A1 (zh) |
WO (1) | WO2007071481A1 (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105705769A (zh) * | 2013-11-12 | 2016-06-22 | 德尔福国际运营卢森堡有限公司 | 燃料喷射器 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007045566A1 (de) * | 2007-09-24 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Dichtgeometrie für Injektoren |
DE102011008468A1 (de) * | 2011-01-13 | 2012-07-19 | Continental Automotive Gmbh | Kraftstoffinjektor und Verfahren zum Herstellen eines Kraftstoffinjektors |
GB2549094A (en) * | 2016-04-04 | 2017-10-11 | Delphi Int Operations Luxembourg Sarl | Fuel injector |
DE102016012178A1 (de) | 2016-10-11 | 2018-04-12 | HAFF-Dichtungen GmbH | Dichtung, insbesondere Flachdichtung aus Graphit |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE571070A (zh) * | 1957-09-24 | |||
DE10115214A1 (de) * | 2001-03-28 | 2002-10-10 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffhochdrucksystem für Brennkraftmaschinen |
US6789528B2 (en) * | 2002-04-05 | 2004-09-14 | Denso Corporation | High pressure fuel supply device having plating layer and manufacturing method thereof |
WO2005054522A1 (de) * | 2003-12-05 | 2005-06-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum selektiven härten von dichtflächen |
-
2005
- 2005-12-19 DE DE102005060667A patent/DE102005060667A1/de not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-10-27 US US12/096,515 patent/US20080290608A1/en not_active Abandoned
- 2006-10-27 AT AT06807613T patent/ATE476597T1/de active
- 2006-10-27 JP JP2008546299A patent/JP2009520170A/ja not_active Withdrawn
- 2006-10-27 DE DE502006007614T patent/DE502006007614D1/de active Active
- 2006-10-27 EP EP06807613A patent/EP1966480B1/de not_active Not-in-force
- 2006-10-27 BR BRPI0620099-0A patent/BRPI0620099A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2006-10-27 WO PCT/EP2006/067863 patent/WO2007071481A1/de active Application Filing
- 2006-10-27 CN CNA2006800480229A patent/CN101341328A/zh active Pending
- 2006-10-27 KR KR1020087014700A patent/KR20080077986A/ko not_active Application Discontinuation
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CN105705769A (zh) * | 2013-11-12 | 2016-06-22 | 德尔福国际运营卢森堡有限公司 | 燃料喷射器 |
CN105705769B (zh) * | 2013-11-12 | 2018-09-07 | 德尔福国际运营卢森堡有限公司 | 燃料喷射器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE476597T1 (de) | 2010-08-15 |
DE502006007614D1 (de) | 2010-09-16 |
BRPI0620099A2 (pt) | 2011-11-01 |
JP2009520170A (ja) | 2009-05-21 |
KR20080077986A (ko) | 2008-08-26 |
DE102005060667A1 (de) | 2007-06-28 |
US20080290608A1 (en) | 2008-11-27 |
WO2007071481A1 (de) | 2007-06-28 |
EP1966480A1 (de) | 2008-09-10 |
EP1966480B1 (de) | 2010-08-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20090107 |