CN101311301A - 一种用于溅镀式镀膜机台的承载台 - Google Patents

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林孟东
张庆州
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Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd
Hon Hai Precision Industry Co Ltd
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Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd
Hon Hai Precision Industry Co Ltd
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Abstract

本发明涉及一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：一第一载具及一中空的第二载具。该第一载具包括一承载部及与其相对的底部，该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部。该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。镀膜时，待镀膜的元件上的热量会通过第一载具传导至该第二载具从而防止待镀膜的元件上的温度过高进而对其造成损伤。

Description

一种用于溅镀式镀膜机台的承载台
技术领域
本发明涉及一种用于溅镀式镀膜机台的承载台。
背景技术
镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。镀膜技术是利用物理、化学手段在固体表面涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁或绝缘等许多优越性能，从而达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。溅镀是镀膜技术中的一种，其利用辉光放电产生的离子去撞击靶材，将靶材内的原子撞出而沉积在基材上。由于溅镀具有极佳的沉积效率、大尺寸的沉积厚度控制、精确的成份控制及较低的制造成本等优点，因此在工业上的应用非常广泛。
现在为了防止手机相机光学模块中的镜筒、镜座等组件受到手机中其他元件的电磁干扰，通常需要在光学模块中的镜筒、镜座等组件上镀一层抗EMI(Flectro MagneticInterference)膜。在业界，常用连续式溅镀机(in-line sputtering)对镜筒、镜座等组件进行镀膜，这种连续式溅镀机具有速度快、产量高且镀膜品质好等优点。然而，这种连续式溅镀机所包括的用于承载待镀组件的载台的散热性能不佳，导致载台上的组件温度过高进而造成扭曲变形等损伤。
发明内容
有鉴于此，提供一种散热性能良好的用于溅镀式镀膜机台的承载台实为必要。
本发明提供了一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：一第一载具及一中空的第二载具。该第一载具包括一承载部及与其相对的底部。该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部。该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。
相较于现有技术，所述用于溅镀式镀膜机台的承载台具有用于承载待镀膜元件的第一载具结构，该第一载具具有至少一突起，该突起的形状与待镀膜元件的形状相配合，在对待镀膜的元件进行镀膜时，待镀膜的元件套设于该突起上，由于该第一载具及突起均由导热性能良好的金属制成，且待镀元件套设于该突起之上，使待镀元件与该突起及第一载具的接触面积最大，可使待镀元件的散热面积达到最大，故待镀元件的热量可以通过第一载具传导至该第二载具从而防止待镀膜的元件上的温度过高进而对其造成损伤。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种用于溅镀式镀膜机台的承载台的立体示意图。
图2是图1中沿II-II的截面示意图。
图3是利用图1中承载台对待镀膜的元件进行镀膜的一状态示意图。
图4是图3中沿IV-IV的截面示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。
请参阅图1及图2，本发明实施例提供的一种用于溅镀式镀膜机台的承载台100包括一第一载具10及一中空的第二载具20。
该第一载具10为长方形平板状结构，其包括一承载部11及与其相对的底部12，该承载部11延伸出至少一个突起13，所述突起13具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部12。
该待镀元件将套设在该至少一个突起13上。该至少一个突起13为多个，其均匀排布于该第一载具10上。该突起具有的形状与该待镀元件是相互配合的。例如：此处待镀膜的元件为一种镜筒，该镜筒是一种中空圆柱体结构，那么突起13的结构可以设置成圆柱体，该圆柱体突起的大小刚好跟镜筒内部的空间大小相同，这样设置的目的是，使该待镀元件，即镜筒的内壁，跟该突起完全接触，而达到接触面积最大，以利于热量的传递。
可以理解的是，该突起13也可以为其他结构，例如长方体、圆锥体或其他不规则形状，只要能够承载待镀膜的元件并使待镀膜的元件与该突起13及承载部11紧密接触即可。
可以理解的是，该第一载具10的结构也可以是其他结构，例如圆形板状结构，扇形或其他形状等，其可以根据具体需要而设计。
该第一载具10的材料应选自导热性能良好的金属材料，例如：铜、铝、铁、镍、钛、钢、碳钢、不锈钢，及铜、铝、铁、镍、钛之中至少两种金属的合金等。在本实施例中，该第一载具10所用材料为铜。
该第二载具20为中空结构的长方形或其他形状结构，该第二载具20与该第一载具10的底部12紧密结合，用于吸收该第一载具10的底部12传递的热量。
在本实施例中，该第一载具10和中空的第二载具20均为平板形结构。可以理解的是，其具体形状和结构可以根据实际需要而设计，并不局限于此结构。
该中空的第二载具20内收容有冷却流体21，该冷却流体21可为纯水、氨水、甲醇、丙酮、庚烷或其混合液体，在该冷却流体21中也可加入导热粒子进一步提高导热效率，如碳纳米管、碳纳米球、铜纳米粉或以上至少两种成分组合的粒子。
该第二载具20上具有进液口22和出液口23，该进液口22和出液口23分设在该第二载具20上。在本实施例中，该进液口22和出液口23分设在该长方形结构第二载具20的纵向方向的两端，该冷却流体21从该进液口22流入并从出液口23流出。可以理解的是，该进液口22和出液口23的数量及设置位置可以根据实际需要进行设计。
可以理解的是，该第二载具20可以为其它形状结构，例如正方形，椭圆形等等，其也可以是非一体结构，由至少两个热管构成，同时其内部具有冷却流体21，并且也具有相应的进液口22和出液口23用于流入或流出所述冷却流体21。
请参见图3及图4，本实施例中以待镀膜的元件是镜头模组的镜筒为例加以说明，溅镀源101设置在该第一载具10的正上方，即与该至少一个突起13相对。该至少一个镜筒102被分别套设于该至少一个突起13之上，并且镜筒102的内壁与突起13紧密接触，该镜筒102与该第一载具10的承载部11密切结合。当该至少一个镜筒102被进行镀膜时，冷却流体21从该进液口22流入并从出液口23流出。由于该第一载具10及其突起13由导热性能良好的金属制成，该镜筒102上的热量会经由该第一载具10的承载部11传导至其底部12，该热量再经由与该第一载具11的底部12紧密接触的第二载具20传给该冷却流体21，最终该镜筒102上的热量会经由从进液口22进入并从出液口23流出的冷却流体21带走，从而防止镜筒102上的温度过高进而损伤该镜筒102。
另外，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思做出其他各种相应的变化，而所有这些变化都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (9)

1.一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：
一第一载具，该第一载具包括一承载部及与其相对的底部，该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部；
一中空的第二载具，该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。
2.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第一载具所用材料选自：铜、铝、铁、镍、钛、钢、碳钢、不锈钢，或铜、铝、铁、镍、钛之中至少两种金属的合金。
3.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第一载具和第二载具均为平板形结构。
4.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第一载具的至少一个突起，为圆柱形结构。
5.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第一载具的至少一个突起为多个，其均匀排布于该第一载具上。
6.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该中空的第二载具内收容有冷却流体，该冷却流体为纯水、氨水、甲醇、丙酮、庚烷或其混合液体。
7.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该中空的第二载具内收容有冷却流体，该冷却流体中具有导热粒子，其成份为碳纳米管、碳纳米球、铜纳米粉或以上至少两种成分组合的粒子。
8.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第二载具设有冷却流体入口和冷却流体出口。
9.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第二载具的结构为非一体结构，由至少两个热管构成。
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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