CN101281376B - 龙门式光罩清洁装置 - Google Patents

Abstract

本发明系揭露一种龙门式光罩清洁装置，其系提供二支撑装置，并将其分开置放，而后将一风刀装置装设于两支撑装置之间，并利用一控制装置控制所有组件作动。当要进行清洁之时，把光罩承载装置移至风刀装置下方，这样一来，就可以利用风刀所吹出来的气体对光罩进行清洁了。本发明不但可以避免人员多次近距离接触，更可以缩短清洁光罩的时间提高生产的速度。

Description

龙门式光罩清洁装置

技术领域

本发明属清洁装置技术领域，是对现在的改进，具体涉及一种龙门式清洁光罩之装置。

背景技术

随着半导体产业的蓬勃发展，晶圆代工已经成为全球无法取代的技术之一，再加上电子组件的尺寸愈来愈小，只要在制程上有一点小瑕疵，就会影响电路效能，因此在制程中对于环境的清洁度要求高，若不严格把关，将来产品的质量问题，势必受到威胁。

在半导体制程中，有一道曝光制程，是先将一具有图案之光罩置于晶圆的上方，再利用一曝光光源透过光罩射于一晶圆上，之后将此晶圆浸入一显影液中，就可以在晶圆上看到光罩的图案了。所以在制程中必须注意到光罩表面是否清洁，一般光罩表面都存在很多肉眼看不见的粒子，如果在尚未清洁掉这些粒子就进行曝光，那么就可能显出与光罩图案不一样的图案了。现有技术是先利用曝光机检测出光罩表面是否有粒子存在，接着就用人工方式进行清洁，如第一图所示，包含使用氮气枪喷于置于光罩承载装置10上的光罩12表面；但是因为人为近距离接触或多次清洁光罩的关系，造成光罩容易损坏并提高其汰旧换新的速度，这样会增加成本。

从台湾公开号200702265专利技术。一种基板用的搬运除尘装置，虽然与本发明都有清洁的作用，不过此专利的除尘单元并没有如本发明有一风刀装置，它所喷出来的洗涤空气较无力道，而且该除尘单元亦无法自由移动，所以在清洁时，对于基板表面上的粒子较无法均匀地清洁，在实施当中效果有限。

还有台湾公开号I287472专利是一种尘埃清净器，虽然也与本发明相关，但是它亦没有风刀装置，只有藉由空气喷出室和空气吸入室将将尘埃带走，而且洗涤空气只能藉一喷出隙缝喷出，换句话说，喷出方向只有单一方向，如此在清洁之时效果亦受限。

发明内容

本发明的目的是避免上述现有技术中的不是之处而提供的一种龙门式光罩清洁装置，该装置可以将光罩上的粒子或杂质清除干净，避免人为多次接触光罩，增加制程上产出的速度。

本发明的目的可通过下列的措施来实现：

本发明包含至少二支撑装置，其系设置于一地面上；一风刀装置，其系装设在该支撑装置间；以及一控制装置，其系控制该支撑装置与该风刀装置之整体架构，控制所有组件动作。

上述所述支撑装置下端为固定式，更包含一支撑架，固定于该地面之上，并连结该二支撑装置。

上述所述固定式支撑装置，包含至少二固定座，以固定该支撑装置于该地面上。

上述所述支撑装置为下端可动式，使其方便移动搬移。

上述所述可动式支撑装置之下端为轮轴式，使其方便滑动搬移。

上述所述可动式支撑装置之下端为机械式，可由该控制装置控制该龙门式光罩清洁装置移动。

上述所述支撑装置之内侧设置一光罩承载固定装置，用来固定该光罩承载装置。

上述所述光罩承载固定装置为至少二导轮，用来固定该光罩承载装置。

上述所述风刀装置更包含：至少一风刀，位于该支撑装置间；至少一吹气管路，一端接续该风刀出风口，另一端接续一进气装置；至少一吸气管路，一端接续一吸气口，另一端接续一出气装置。

上述所述风刀装置为可移动式，使该风刀装置可上下、左右移动及该风刀角度偏转，让清洁光罩时更为干净。

上述所述风刀装置更包含至少二调节器，其系位于该支撑装置与该风刀之间。

上述所述调节器可为手动旋钮式调整器。

上述所述调节器可为机械式自动调整器，可由该控制装置控制。

上述所述风刀可为条状式或片状式。

上述所述吹气管路可架设于该支撑装置内，沿该支撑装置内接续该进气装置。

上述所述吹气管路可架设于该支撑装置外，沿该支撑装置外接续该进气装置。

上述所述吸气管路之该吸气口端装设于该支撑装置上，避免吹出气流于支撑架与风刀间造成扰流而将异物扩散造成再次污染。

上述所述吸气管路之吸气口端装设于风刀上及风刀侧边，避免吹出气流于该支撑架与该风刀间造成扰流而将异物扩散造成再次污染。

上述所述控制装置可固定于该支撑装置上。

上述所述控制装置可固定于该风刀装置上。

上述所述还包含一讯号线，连接该支撑装置以及该控制装置。

上述所述还包含一讯号线，连接该风刀装置以及该控制装置。

上述所述控制装置可为一无线传输系统，装设于该支撑装置上，利用无线传输控制该无线传输系统作动。

上述所述控制装置可为一无线传输系统，装设于该风刀装置上，利用无线传输控制该无线传输系统作动。

本发明相比现有技术具有如下优点：一是可避免工作人员近距离接触与多次接触；二是清洁光罩的速度更快；三是洁净均匀度更高，本发明是半导体制程中重要工具，具有较大的市场潜力。

附图说明

图1为现有技术光罩承载装置之示意图。

图2为本发明之装置结构示意图。

图3为本发明于清洗光罩之示意图。

图4为本发明之条状式风刀的局部放大图。

图5为本发明之片状式风刀的局部放大图。

图6为本发明之另一实施例之结构示意图。

图7为本发明之再一实施例之结构示意图。

【主要组件符号说明】

10光罩承载装置            12光罩        14光罩支撑平台

16手把                    18滚轮        20车身

22龙门式光罩清洁装置       24固定座      26导轮

28控制装置                30支撑装置    32调节器

34风刀装置                35支撑架      36风刀

38吹气管路                40吸气管路    42滚轮

44条状式风刀              46片状式风刀  48进气装置

50出气装置                52机械装置

具体实施方式

本发明系为一种龙门式光罩清洁装置，其针对清洁光罩上的粒子或杂质而设计，可以取代一般习知的人工清洁方式，使得光罩不易受到伤害，而且让半导体制程在产出上可以达到更高的效率。

参照附图1，现有技术之一实施例。就习知技术而言，有一光罩承载装置10，其中包含了一光罩支撑平台14，其系可提供光罩12放置处；此支撑平台14面积愈大，对于尺寸较大的光罩12也可以提供较大的容置位置。

参照附图2，其系为本发明之一较佳实施例。本发明之龙门式光罩清洁装置22系包括有二支撑装置30分开置于一地面上，并有一支撑架35固定于该地面之上，并连结该二支撑装置30。支撑装置30二外侧分别设置一固定座24，以固定支撑装置30稳固于地面上，使其在清洁之时不容易移动；再有一风刀装置34装设在此二支撑装置30中间，让整个光罩清洁装置的形状成为一龙门形状。此风刀装置34系包含有风刀36、吹气管路38和吸气管路40，风刀36位于在二支撑装置30中间，且风刀36可为条状式或片状式。另外请同时参照第三图与第二图，吹气管路38可架设于该支撑装置30内，沿该支撑装置30内接续一进气装置48，或者架设于支撑装置30外，沿该支撑装置30外接续一进气装置48亦可，另一端则接续该风刀36出风口；另外吸气管路40则一端接续一吸气口，另一端接续一出气装置50。该吸气管路40之该吸气口端可装设于该支撑装置30上或该风刀36上及该风刀36侧边，避免吹出气流于该支撑架34与该风36间造成扰流而将异物扩散造成再次污染；另外，由于光罩承载装置10之尺寸并无固定规格，故可在风刀36与支撑装置30之间分别设置一调节器32，此调节器32可以是手动旋钮式调节器或者是机械式自动调节器并由其控制装置28控制皆可。藉由它可使风刀装置34上下或左右移动及该风刀36角度偏转，这样一来就可以适应光罩承载装置10的高度，而且在清洁光罩12上的粒子时，不仅可以不需用人工方式处理，也可以变得更有效率。

在支撑装置30二内侧可分别设置一光罩承载固定装置，二导轮26，用来固定光罩承载装置10；最后，一控制装置28可设置在支撑装置30或风刀装置34上，藉由它可以控制上述所有组件的自动作动。而除此之外，控制装置28也可以藉由讯号线连接至支撑装置30或风刀装置34上。如果要用无线控制，则此控制装置28可为一无线传输系统，且设置在支撑装置30或风刀装置34上，利用无线传输控制即可使该无线传输系统作动。

在本发明中，上述的条状式风刀44结构与片状式风刀46结构系以局部放大图展现于说明书中，参照附图4，其中此条状式风刀44还可以在一支撑架35上前后移动；而如第五图所示，片状式风刀46可设置在支撑架35上，在整个支撑架35上将氮气吹出来。

参照附图3，当使用此龙门式光罩清洁装置22来对光罩12作清洁之时，可以利用车身20的手把16与滚轮18将光罩承载装置10全部推入龙门式光罩清洁装置22之中，使该光罩支撑装置10位于风刀装置34之下方。而后将氮气从一进气装置48导入其吹气管路38里，就可以从风刀36之出风口喷于光罩12上，将光罩12上的异物吹起及吹散，此时将异物吹起时在风刀36与支撑装置30间会造成一区域范围的扰流使异物飘散，即并同时用吸气管路40藉由一吸气口与出气装置50将区域范围内飘散的异物与杂质全部导出于龙门式光罩清洁装置22外面。

上述实施例系以固定座24将支撑装置30固定于地面上，除了此固定方式之外，还有一替代方式，其系为轮轴式，参照附图6，也就是用滚轮42来代替固定座24，其系在支撑装置30底部分别设有滚轮42，以方便于地面上移动整个龙门式光罩清洁装置22。而此一实施例系包括有二支撑装置30分开置于一地面上，并有一支撑架35固定于该地面之上，并连结该二支撑装置30。有一风刀装置34装设在此二支撑装置30中间，让整个光罩清洁装置的形状成为一龙门形状。此风刀装置34系包含有风刀36、吹气管路38和吸气管路40，风36位于在二支撑装置30中间，且风刀36可为条状式或片状式。另外吹气管路38可架设于该支撑装置30内，沿该支撑装置30内接续一进气装置48，或者架设于支撑装置30外，沿该支撑装置30外接续一进气装置48亦可，另一端则接续该风刀36出风口；另外吸气管路40则一端接续一吸气口，另一端接续一出气装置50。该吸气管路40之该吸气口端可装设于该支撑装置30上或该风刀36上及该风刀36侧边，避免吹出气流于该支撑架34与该风刀36间造成扰流而将异物扩散造成再次污染；另外，由于光罩承载装置10之尺寸并无固定规格，故可在风刀36与支撑装置30之间分别设置一调节器32，此调节器32可以是手动旋钮式调节器或者是机械式自动调节器并由其控制装置28控制皆可。藉由它可使风刀装置34上下或左右移动及该风36角度偏转，这样一来就可以适应光罩承载装置10的高度，而且在清洁光罩12上的粒子时，不仅可以不需用人工方式处理，也可以变得更有效率。

在支撑装置30二内侧可分别设置一光罩承载固定装置，二导轮26，用来固定光罩承载装置10；最后，一控制装置28可设置在支撑装置30或风刀装置34上，藉由它可以控制上述所有组件的自动作动。而除此之外，控制装置28也可以藉由讯号线连接至支撑装置30或风刀装置34上。如果要用无线控制，则此控制装置28可为一无线传输系统，且设置在支撑装置30或风刀装置34上，利用无线传输控制即可使该无线传输系统作动。

除了固定式与轮轴式之外，还有一种实施方式为机械式，参照附图7，在该支撑装置下端设有一机械装置52，其系由控制装置28控制，并使龙门式光罩清洁装置22移动。此一实施例系包括有二支撑装置30分开置于一地面上，并有一支撑架35固定于该地面之上，并连结该二支撑装置30。有一风刀装置装34设在此二支撑装置30中间，让整个光罩清洁装置的形状成为一龙门形状。此风刀装置34系包含有风刀36、吹气管路38和吸气管路40，风刀36位于在二支撑装置30中间，且风刀36可为条状式或片状式。另外吹气管路38可架设于该支撑装置30内，沿该支撑装置30内接续一进气装置48，或者架设于支撑装置30外，沿该支撑装置30外接续一进气装置48亦可，另一端则接续该风刀36出风口；另外吸气管路40则一端接续一吸气口，另一端接续一出气装置50。该吸气管路40之该吸气口端可装设于该支撑装置30上或该风刀36上及该风刀36侧边，避免吹出气流于该支撑架34与该风刀36间造成扰流而将异物扩散造成再次污染；另外，由于光罩承载装置10之尺寸并无固定规格，故可在风刀36与支撑装置30之间分别设置一调节器32，此调节器32可以是手动旋钮式调节器或者是机械式自动调节器并由其控制装置28控制皆可。藉由它可使风刀装置34上下或左右移动及该风刀36角度偏转，这样一来就可以适应光罩承载装置10的高度，而且在清洁光罩12上的粒子时，不仅可以不需用人工方式处理，也可以变得更有效率。

在支撑装置30二内侧可分别设置一光罩承载固定装置，二导轮26，用来固定光罩承载装置10；最后，一控制装置28可设置在支撑装置30或风刀装置34上，藉由它可以控制上述所有组件的自动作动。而除此之外，控制装置28也可以藉由讯号线连接至支撑装置30或风刀装置34上。如果要用无线控制，则此控制装置28可为一无线传输系统，且设置在支撑装置30或风刀装置34上，利用无线传输控制即可使该无线传输系统作动。

如此一来，藉由上述实施例可以得知如果无法移动光罩承载装置10，也可以移动龙门式光罩清洁装置22来达到清洁光罩12的效果。

以上所述者，仅为本发明一较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施之范围，故举凡依本发明申请专利范围所述之形状、构造、特征及精神所为之均等变化与修饰，均应包括于本发明之申请专利范围内。

Claims (23)

1.一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于包含：

二支撑装置，其系设置于一地面上；

一风刀装置，其系装设在该支撑装置间；以及

一控制装置，其系控制该支撑装置与该风刀装置之整体架构，控制所有组件作动；

该风刀装置更包含：

至少一风刀，其系位于该支撑装置间；

至少一吹气管路，一端接续该风刀出风口，另一端接续一进气装置；

至少一吸气管路，一端接续一吸气口，另一端接续一出气装置。

2.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该二支撑装置下端为固定式者，更包含一支撑架，其系固定于该地面之上，并连结该二支撑装置。

3.根据权利要求1或2所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该支撑装置，更包含至少二固定座，以固定该支撑装置于该地面上。

4.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该支撑装置为下端可动式者，使其方便移动搬移。

5.根据权利要求1或4所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该支撑装置之下端为轮轴式者，使其方便滑动搬移。

6.根据权利要求1或4所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该支撑装置之下端为机械式者，由该控制装置控制该龙门式光罩清洁装置移动。

7.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该支撑装置之内侧设置一光罩承载固定装置，用来固定光罩承载装置。

8.根据权利要求7所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该光罩承载固定装置为至少二导轮，用来固定该光罩承载装置。

9.根据权利要求8所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该风刀装置为可移动式，使该风刀装置可上下、左右移动及该风刀角度偏转，让清洁光罩时更为干净。

10.根据权利要求8所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该风刀装置更包含至少二调节器，其系位于该支撑装置与该风刀之间。

11.根据权利要求10所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该调节器为手动旋钮式调整器。

12.根据权利要求10所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该调节器为机械式自动调整器，由该控制装置控制。

13.根据权利要求8所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该风刀为条状式或片状式。

14.根据权利要求8所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该吹气管路架设于该支撑装置内，沿该支撑装置内接续该进气装置。

15.根据权利要求8所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该吹气管路架设于该支撑装置外，沿该支撑装置外接续该进气装置。

16.根据权利要求8所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该吸气管路之该吸气口端装设于该支撑装置上，避免吹出气流于支撑架与风刀间造成扰流而将异物扩散造成再次污染。

17.根据权利要求8所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该吸气管路之吸气口端装设于风刀上及风刀侧边，避免吹出气流于该支撑架与该风刀间造成扰流而将异物扩散造成再次污染。

18.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该控制装置固定于该支撑装置上。

19.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该控制装置固定于该风刀装置上。

20.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于包含一讯号线，其系连接该支撑装置以及该控制装置。

21.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于包含一讯号线，其系连接该风刀装置以及该控制装置。

22.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该控制装置为一无线传输系统，其系装设于该支撑装置上，利用无线传输控制该无线传输系统作动。

23.根据权利要求1所述的一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于该控制装置为一无线传输系统，其系装设于该风刀装置上，利用无线传输控制该无线传输系统作动。

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