CN107600687A - 自清洁光罩盒 - Google Patents

Abstract

本发明涉及液晶显示器制造领域，一种可实现自清洁功能的光罩盒，包括盒体和盖体，所述盖体包括一对滑轨和横跨所述滑轨的支架，所述支架上设喷头和与所述喷头配合的导轨，所述喷头连接有气路，用于向所述盒体内的所述光罩喷气，清洁所述光罩上的杂质。所述喷头在所述第一方向和所述第二方向上都可以自由活动，从而覆盖所述光罩的全部范围。清洁人员透过所述盖体上的所述观察窗观察所述光罩，将所述喷头移动到存在杂质的位置吹气，免去了将所述光罩放置于专门的光罩清洁机上，再进行抓取和翻转等一系列动作的过程，节约了清洁准备工作的耗时，简化了清洁流程，还可以省去专用光罩清洁机在生产线上的装备，节省了空间和成本。

Description

自清洁光罩盒

技术领域

本发明涉及液晶显示器制造领域，尤其涉及液晶显示器曝光用光罩的储存和清洁。

背景技术

在液晶显示器制造中需要用光罩曝光，光罩又名掩膜板是印刻有特定图案的特殊透光材料，光线透过光罩将光罩上的图形印刷到玻璃上。曝光是极其精密的过程，要求生产洁净度极高。光罩表面细微的脏污或杂质都将影响光的透过率，从而造成线宽或膜厚的变化形成瑕疵或Mura，影响批量产品品质。

光罩平常储存、搬运中使用的装载容器是光罩盒，通常光罩盒是密封的，可以保护光罩免受撞击损伤或微尘污染。但在长时间存放、搬运或使用过程中，难免微尘颗粒粘附于表面而导致污染，因此每次使用之前，还需要使用专门的光罩清洁机台进行清洁：先用搬送台车将光罩盒搬送至清洁机台上，由机台将光罩从盒中自动取出，光罩由夹持机构翻转至一定角度后，清洁人员持灯检查光罩表面，发现杂质后用高压气枪吹除。

现有的光罩储存和使用方式存在一些不足，一方面光罩储存盒的洁净度不够，采用简单的盖合式方式导致密封性较差，且不锈钢材质的储存盒减震性差，导致搬运过程稍有颠簸微尘即易进入盒内。另一方面，光罩清洁机虽然较好的保证了光罩清洁过程中的安全性，但相对于仅有翻转机构及气枪吹除功能，整个设备的结构过于复杂，造成空间和成本的浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可自清洁的光罩储存盒，提供如下技术方案：

一种自清洁光罩盒，包括盒体和盖体，所述盒体和所述盖体闭合时内部空间密封，光罩水平放置于所述盒体内部；所述盖体顶面设透明观察窗，清洁人员透过所述观察窗观测所述光罩；所述盖体内部包括一对平行的滑轨，以及横架于所述滑轨之间的支架，所述滑轨的长度方向为第一方向，所述支架的长度方向为第二方向，所述第一方向垂直于所述第二方向，所述支架在所述滑轨上滑动；所述支架上设有喷头及与所述喷头配合的导轨，所述喷头在所述导轨上沿所述第二方向滑动；所述盖体内设气路，所述气路包括气管，所述气管连接所述喷头；所述喷头上有喷嘴，所述喷嘴朝向所述光罩，用于向所述光罩喷出气体以清洁所述光罩表面；所述内部空间内设有排气孔，用于平衡所述内部空间气压。

其中，所述喷头靠近所述观察窗一端含导磁材料，将磁铁从外部放置于所述盖体上表面，所述磁铁牵引所述喷头沿所述第一方向或沿所述第二方向滑动。

其中，所述气路还包括气源，所述气源设置在所述盖体内部，所述喷头在所述盖体内的活动不与所述气路干涉。

其中，所述盖体侧壁上设有通气接口，所述通气接口连接所述气管，所述通气接口用于与外部气源连接。

其中，所述支架内部为中空，所述气管穿过所述支架连接所述喷头。

其中，所述支架内部为中空气管，所述中空气管一端连接所述气管，另一端连接所述喷头，所述中空气管形成所述气路的一部分。

其中，所述盒体设固定架，所述固定架用于托起并固定所述光罩，同时架空所述内部空间的底部，所述内部空间的底部不封闭，与所述内部空间其余部分连通，所述排气孔设置于所述盒体低于所述光罩的内壁上。

其中，所述排气孔设置于所述盖体内壁上。

其中，所述盖体内部设置照明单元，用于辅助观测所述光罩。

其中，所述盖体和所述盒体内壁均贴有粘性膜，所述粘性膜用于吸附所述光罩上的杂质。

本发明自清洁光罩盒，通过所述盒体和所述盖体密闭的内部空间保护所述光罩，并在所述盖体上设置所述滑轨和所述支架，同时所述支架上设置于所述喷头配合的导轨，使得所述喷头在所述第一方向和所述第二方向上都可以自由活动，从而使得所述喷头的运动范围覆盖所述光罩的全部范围。清洁人员透过所述观察窗观察所述光罩，将所述喷头移动到存在杂质的位置吹气，免去了将所述光罩放置于专门的光罩清洁机上，再进行抓取和翻转等一系列动作的过程，节约了清洁准备工作的耗时，简化了清洁流程，还可以省去专用光罩清洁机在生产线上的装备，节省了空间和成本。

附图说明

图1是本发明自清洁光罩盒的截面示意图；

图2是本发明自清洁光罩盒的上表面示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1、图2的自清洁光罩盒，包括盒体01和盖体02，所述盒体01和所述盖体02相互配合，在闭合后形成封闭的内部空间03，所述光罩04水平放置于所述盒体02的内部。所述盖体01的顶面设有透明的观察窗21，清洁人员可以透过所述观察窗21观测所述光罩03的表面清洁情况。所述盖体02内部设置一对相互平行的滑轨22，所述滑轨之间设置有支架23，所述支架23一端连接一侧的所述滑轨22，另一端连接另一侧的所述滑轨22，即所述支架23横架于所述滑轨22之间。定义所述滑轨22的长度方向为第一方向001，所述支架23的长度方向为第二方向002，所述第一方向001垂直于所述第二方向002，此时所述支架23可以在所述滑轨22上滑动。所述支架23上设有导轨24和喷头25，所述导轨24用于与所述喷头25配合，使得所述喷头25能够在所述导轨24上沿着所述第二方向002滑动。所述盖体01内还设有气路05，所述气路05包括气管51，所述气管51连接所述喷头25，所述喷头25上有喷嘴251，所述喷嘴251朝向所述光罩04，所述气路03内的气体可以通过所述喷头25喷向所述光罩04，从而清洁所述光罩04的表面。为了平衡所述内部空间03内的气压，所述内部空间03内设置了排气孔31。所述排气孔31可以设置在所述盒体01上，也可以设置在所述盖体02上。

清洁人员在使用本发明自清洁光罩盒时，透过所述观察窗21观察所述光罩04的表面，在发现杂质后将所述喷头25移动到该杂质的位置，利用所述气路05内的气体压力向该杂质喷出气体，从而将杂质从所述光罩表面吹开。当清洁人员透过所述观察窗21观察到所述光罩04的表面无任何杂质时，再将所述光罩04取出使用。这样免去了将所述光罩04用台车移动至光罩清洁机，再进行抓取、倾斜，最后进行清洁的复杂过程，完成清洁后直接将所述光罩04取出就可以使用，方便快捷。

需要强调的是，为了保证所述喷头25能够覆盖到所述光罩04的所有面积，从而实现完全的清洁，所述支架23在所述滑轨22上的行程，以及所述喷头25在所述支架23的所述导轨24上的行程，都需要超过所述光罩04在所述第一方向001和所述第二方向002上的最大尺寸。另一点，通过发明人对所述光罩04的长期使用和观察，所述光罩04的侧面和背面因为面积或表面状态的原因，都极少出现杂质影响曝光的质量，所述光罩04最主要的清洁部位就在于所述光罩04的正面，所以，只要保证所述光罩04正面朝上放置在本发明自清洁光罩盒内，就基本可以实现本发明的清洁目的。当然，清洁人员也可以根据实际需要，在所述光罩04的正面清洁完成后，将所述光罩04取出翻面，再对其背部进行同样的清洁过程，以取得更好的清洁效果。

为了能够更自如的控制所述喷头25，所述喷头靠近所述观察窗21的一端设置为包含导磁材料，或直接用导磁材料制成所述喷头25，清洁人员拿一块磁铁从外部放置于所述盖体02的上表面，隔着所述观察窗21可以吸附所述喷头25，从而带动所述喷头25沿所述第一方向001或沿所述第二方向002滑动。为了不干扰所述喷头25与磁铁之间的磁场，可以设置离所述喷头25比较近的几个组件，如所述支架23、所述气管51、所述盖体02以及所述观察窗21等用非导磁材料制作。

一些实施例中，所述气路05还包括气源52，所述气源52连通所述气管51，为所述喷头25提供吹气的压力气体。所述气源52可以设置在所述盖体02的内部，但需要注意所述气路05的设置位置，尽量保证所述喷头25在所述盖体02内活动时不与所述气路05发生干涉。所述气源52还可以设置遥控气阀，清洁人员在观察过程中可能不会一直使用所述喷头25吹气，气阀可以控制所述喷头的吹气和不吹气两个动作，在不吹气时关闭气阀以节约能源。

另一些实施例中，可以接入外部气路53以节约所述盖体02的内部空间。此时在所述盖体02的侧壁上设有通气接口54，所述通气接口54在朝向所述内部空间03的一端连接所述气管51，所述通气接口54在背离所述内部空间03的一端连接所述外部气路53。所述外部气路53的引入还带来一个好处就是可以在所述外部气路上设普通气阀，同样可以达到控制所述喷头25的吹气和不吹气动作的目的。

一些实施例中，所述支架23内部为中空结构，所述气管51可以穿过所述支架23的内部以连接到所述喷头25，避免了所述气管51不受约束的在本发明自清洗光罩盒内乱窜的问题，特别是在所述喷头25离所述光罩04比较近的情况下，所述气管51的乱窜甚至可能剐蹭到所述光罩04的表面，造成刮痕或脏污。

显然的，还可以直接把所述支架23内部设为中空气管231，所述中空气管231一端连接所述气管51，另一端连接所述喷头25，所述中空气管231就形成了所述气路05的一部分。在所述喷头25在所述导轨24上滑动时，可以从所述中空气管231上引出一段可伸缩的气管来配合所述喷头25的滑动。当然，所述可伸缩气管也属于所述气路05的一部分。

一些实施例中，所述盒体01设固定架11，所述固定架11将所述光罩04托起并固定，同时所述固定架11在所述内部空间03里具备一定高度，从而架空所述内部空间03的底部，且所述内部空间03的底部不封闭，与所述内部空间03的其余部分连通，气体可流通。这样的设置可以将所述排气孔31设置于所述盒体01低于所述光罩04的内壁上。这个低于所述光罩04的内壁，可以是所述盒体01的底面，也可以是所述盒体01的侧壁低于所述光罩04的位置。这样在所述喷头25吹气时，所述内部空间03内的气体流通路径更长，作用与所述光罩04上的有效面也更宽，可以得到更好的清洁效果。

也可以不将所述排气孔31设置于本发明自清洗光罩盒的下部，而将所述排气孔31设置于所述盖体02的内壁上，此处的内壁可以是所述盖体的任意位置，将所述排气孔31设置在所述盖体02上，所述盒体01与普通光罩盒的盒体没有任何特殊设计或区别之处，使得所述盒体01如果采用普通光罩盒的盒体尺寸和结构设计，所述盖体02可以跟普通光罩盒的盖体直接互换使用，即不需要每一个光罩盒都采用本发明的方案设置，用一个本发明方案的盖体02就可以安装在多个光罩盒上，实现多个光罩盒的清洁作用。

需要提出的是，由于所述喷头25吹出的气体压力越大越有利于所述光罩04的清洁效果，使得所述排气孔31也尽可能大才不会造成所述内部空间03内的压力无法及时排出，而所述内部空间03内的压力越大，所述喷头25吹出的气体压力与所述内部空间03内的压力差值就越小，反而影响了清洁效果。为了解决这一问题，可以在所述排气孔31处设置抽气管32，所述抽气管32连接抽气装置，优选的本抽气装置的作用范围为－500～1000pa。

在不进行清洁的时候，所述排气孔31最好用密封塞或密封盖堵住，保持所述内部空间03的密封效果。

为了辅助清洁人员对所述光罩04的观察，特别是针对一些光线不足的环境下加强清洁功能，所述盖体02内部还可以设置照明单元26，用以补充观察时所必需的光照。所述照明单元26应该设置在所述盒体02的内边缘位置，不遮挡所述光罩04。使用的光源可以是普通的LED灯，也可以是光线更充足的氙气灯或卤素灯或其他发光体，本发明不作具体约束。

大多数情况下，所述光罩04上被气体吹掉的杂质会随气体流动而最终排出所述内部空间03，但是也存在杂质随气流离开后落在所述光罩04其余位置上的可能性，这类情况若反复发生会降低清洁效率。为此，可以在所述盖体02和所述盒体01内壁上均贴附粘性膜33，所述粘性膜33可以用任何普通的具有粘性能力的物质做成，当杂质随气体流经所述盒体02或所述盖体02的内壁时，所述粘性膜33可以于吸附这些杂质，使其不再跟随气体流动而避免再次落到所述光罩04上的可能性。

当本发明自清洗光罩盒使用的时间较长以后，所述粘性膜33可能出现吸附杂质太多或者老化而造成吸附能力下降的问题，此时只需更换新的所述粘性膜33就能重新提高清洁效率。

本发明自清洁光罩盒，通过将所述光罩放置于所述盒体和所述盖体密闭的内部空间内而加以保护，并在所述盖体上设置相互垂直的所述支架和所述滑轨，使得所述喷头在所述光罩上可以自由活动，从而让清洁人员透过所述观察窗来移动所述喷头，对所述光罩进行吹气清洁。同时通过对于所述气路、压力平衡、杂质排放设置观测光照辅助，以及本发明自清洁光罩盒的互换性方面的一系列优化，在免去了将所述光罩放置于专门的光罩清洁机上，再进行抓取和翻转等一系列动作的过程，节约了清洁准备工作的耗时，简化了清洁流程的同时，还进一步提高了清洁的效果和环境适用性，省去专用光罩清洁机在生产线上的装备，节省了空间和成本。

以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种自清洁光罩盒，其特征在于：

包括盒体和盖体，所述盒体和所述盖体闭合时内部空间密封，光罩水平放置于所述盒体内部；

所述盖体顶面设透明观察窗，清洁人员透过所述观察窗观测所述光罩；

所述盖体内部包括一对平行的滑轨，以及横架于所述滑轨之间的支架，所述滑轨的长度方向为第一方向，所述支架的长度方向为第二方向，所述第一方向垂直于所述第二方向，所述支架在所述滑轨上滑动；

所述支架上设有喷头及与所述喷头配合的导轨，所述喷头在所述导轨上沿所述第二方向滑动；

所述盖体内设气路，所述气路包括气管，所述气管连接所述喷头；

所述喷头上有喷嘴，所述喷嘴朝向所述光罩，用于向所述光罩喷出气体以清洁所述光罩表面；

所述内部空间内设有排气孔，用于平衡所述内部空间气压。

2.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述喷头靠近所述观察窗一端含导磁材料，将磁铁从外部放置于所述盖体上表面，所述磁铁牵引所述喷头沿所述第一方向或沿所述第二方向滑动。

3.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述气路还包括气源，所述气源设置在所述盖体内部，所述喷头在所述盖体内的活动不与所述气路干涉。

4.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述盖体侧壁上设有通气接口，所述通气接口连接所述气管，所述通气接口用于与外部气源连接。

5.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述支架内部为中空，所述气管穿过所述支架连接所述喷头。

6.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述支架内部为中空气管，所述中空气管一端连接所述气管，另一端连接所述喷头，所述中空气管形成所述气路的一部分。

7.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述盒体设固定架，所述固定架用于托起并固定所述光罩，同时架空所述内部空间的底部，所述内部空间的底部不封闭，与所述内部空间其余部分连通，所述排气孔设置于所述盒体低于所述光罩的内壁上。

8.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述排气孔设置于所述盖体内壁上。

9.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述盖体内部设置照明单元，用于辅助观测所述光罩。

10.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述盖体和所述盒体内壁均贴有粘性膜，所述粘性膜用于吸附所述光罩上的杂质。