KR20090031036A - 세정장치를 구비한 슬릿코터 - Google Patents

Abstract

평판표시소자용 기판 제조를 위한 슬릿 코팅 작업에 사용되며, 특히 코팅 영역 내에서 슬릿노즐의 노즐 립(lip) 부위에 달라붙은 각종 약액이나 이물질을 제거하면서 간편하게 세정할 수 있는 세정장치를 구비한 슬릿코터를 개시한다.

그러한 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 작업대와, 상기 작업대에서 기판을 일방향으로 이송하기 위한 이송수단과, 토출구가 형성된 노즐 립을 구비하고 상기 이송수단을 따라 이동하는 기판에 약액을 도포할 수 있도록 상기 작업대 상에 설치되는 슬릿노즐과, 상기 슬릿노즐의 노즐 립을 사이에 두고 양측에 위치되어 구동부에 의해 상기 노즐 립의 길이 방향을 따라 왕복 이동하는 두 개의 이동블럭과, 상기 이동블럭에서 상기 슬릿노즐을 향하여 이종의 유체를 분사하고 흡입력을 발생하면서 클린 및 석션, 건조 분위기로 상기 노즐 립을 세정하는 세정수단을 포함한다.

슬릿노즐, 노즐 립(lip) 세정작업, 세정수단, 세정용 유체 및 건조용 유체, 세 개의 세정부, 클린 및 석션과 건조 작업, 두 개의 이동블럭, 세정블럭, 2차 오염 방지, 세정력 증대, 작업성 향상

Description

세정장치를 구비한 슬릿코터{slit coater having apparatus of cleaning nozzle lip}

본 발명은 세정장치를 구비한 슬릿코터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판표시소자용 기판 제조를 위한 슬릿 코팅 작업에 사용되며, 특히 코팅 영역 내에서 슬릿노즐의 노즐 립(lip) 부위에 달라붙은 각종 약액이나 이물질을 제거하면서 간편하게 세정할 수 있는 세정장치를 구비한 슬릿코터에 관한 것이다.

평판표시소자용 기판의 기능성 박막들은 기판 제조시 통상의 포토리소그라피(photolithography) 작업을 거치면서 소정의 패턴을 가지도록 형성된다.

상기 포토리소그라피 작업은, 기판의 박막 위에 일정 두께로 감광액(포토레지스트)을 도포한 다음, 감광층을 노광 및 현상하고 에칭하는 일련의 공정들을 진행하면서 상기 기판의 박막이 소정의 회로 패턴을 가지도록 패터닝하는 것이다.

이러한 포토리소그라피 작업은 특히 도포 공정에서 기판의 박막 위에 일정 두께로 균일하게 감광층을 형성하는 것이 중요하다. 예를들어, 감광층이 두께가 기준치보다 두껍거나 얇으면 식각이 불균일하게 형성될 수 있기 때문이다.

이와 같이 기판측에 감광액을 도포하는 작업은 스핀코터(spin coater)를 이 용한 스핀 코팅방식과, 슬릿코터(slit coater)를 이용한 스핀레스 코팅방식이 알려져 있다.

상기 두 가지의 코팅방식 중에서 상기 스핀 코팅방식은 작업 여건(회전 속도 및 용제 증발)에 따라 표면이 불규칙(예:물결무늬)하게 형성되므로 근래에는 슬릿 코터를 이용한 스핀레스 코팅방식이 주로 이용된다.

상기 스핀레스 코팅방식은, 슬릿코터의 슬릿노즐로 감광액을 도포하면서 기판의 박막 위에 일정 두께로 포토리소그라피용 감광층(또는 포토레지스트층)을 형성하는 것이다.

그리고, 코팅 작업 중에 슬릿노즐의 노즐 립(lip) 부분에는 감광액의 잔액이 쉽게 달라붙게 되는데, 이러한 잔액을 수시로 제거해야만 균일한 도포 품질을 얻을 수 있다.

예를들어, 슬릿노즐의 노즐 립 부분에 감광액 잔액이나 이물질이 달라붙은 상태로 굳으면 감광액이 불규칙하게 토출되면서 도포 품질을 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.

이처럼, 슬릿노즐의 노즐 립 부분을 세정하는 장치로는 2006년 05월02일 자로 특허 출원되어 등록된 특허 제10-0688142호의 노즐 세정장치(방법)가 개시되어 있다.

상기 특허 제10-0688142호의 노즐 세정장치는, 감광액 도포 영역에서 세 개의 세정부가 슬릿노즐을 사이에 두고 양측에 각각 위치되어 슬릿노즐의 슬릿 길이 방향을 따라 이동하면서 노즐 립 부분의 세정이 가능하게 이루어진다.

그러나, 상기 특허 제10-0688142호의 노즐 세정장치는, 제1 내지 제3 세정부의 세정 위치를 조절하기 위한 수단을 구비하고 있지 않으므로 만족할 만한 작업 호환성을 얻기가 어렵다.

즉, 상기 각 세정부들은 단일의 메인블럭 위에 일체로 고정 설치되므로 슬릿노즐 사이즈나 요구되는 세정 여건에 부합하도록 간격이나 위치를 적절하게 조절할 수 없다.

예를들어, 상기 각 세정부로 세정 작업을 진행할 때 슬릿노즐의 노즐 립 부분에 대응하도록 위치나 간격을 적절하게 조절할 수 없다. 그러므로, 노즐 립의 세정시 만족할 만한 세정력을 기대할 수 없다.

또한, 상기 제1 및 제3 세정부는 습식 및 건식 세정시 유체(세정액, 건조공기)를 분사하는 상태로만 세정 작업을 진행하는 것이므로 건조공기의 분사 압력에 의해 세정액이 다른 곳으로 튀면서 2차 오염을 쉽게 유발할 수 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서,

본 발명의 목적은, 슬릿노즐을 세정할 때 2차 오염을 방지할 수 있고, 특히 슬릿노즐의 사이즈나 형태에 부합하도록 유체의 분사 및 흡입 위치를 간편하게 조절할 수 있는 세정장치를 구비한 슬릿코터를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여,

작업대;

상기 작업대에서 기판을 일방향으로 이송하기 위한 이송수단;

토출구가 형성된 노즐 립을 구비하고 상기 이송수단을 따라 이동하는 기판에 약액을 도포할 수 있도록 상기 작업대 상에 설치되는 슬릿노즐;

상기 슬릿노즐의 노즐 립을 사이에 두고 양측에 위치되어 구동부에 의해 상기 노즐 립의 길이 방향을 따라 왕복 이동하는 두 개의 이동블럭;

상기 이동블럭에서 상기 슬릿노즐을 향하여 이종의 유체를 분사하고 흡입력을 발생하면서 클린 및 석션, 건조 분위기로 상기 노즐 립을 세정하는 세정수단;

을 포함하는 세정장치를 구비한 슬릿코터를 제공한다.

이와 같은 본 발명은 세 개의 세정부(세정용 유체 분사, 흡입, 건조용 유체 분사)를 가지는 세정수단을 이동블럭측에 형성하여 이동블럭의 이동 중에 습식 및 건식 세정 작업을 거치면서 2차 오염을 방지할 수 있는 상태로 세정 작업을 간편하게 진행할 수 있다.

더욱이, 상기 세정수단은 조절부의 조작에 의해 슬릿노즐의 사이즈나 형태에 대응하는 최적의 세정 지점에 위치하도록 간격이나 높낮이 위치를 간편하게 조절할 수 있으므로 한층 향상된 세정력과 작업 호환성을 확보할 수 있다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.

따라서, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 작업대를 지칭한다.

상기 작업대(2)는 위쪽에 일정 크기의 작업면(S)을 구비하고, 이 작업면(S)이 대략 직사각형의 면적을 가지도록 도 1을 기준으로 할 때 좌/우로 길게 연장 형성된 금속 프레임 형태로 이루어진다.

그리고, 상기 작업대(2)에는 이송수단(4)이 설치되어 상기 작업면(S)을 따라 도 1에 나타낸 바와 같이 기판(G)을 일방향으로 이동시킬 수 있다.

상기 이송수단(4)은, 기판(G)의 한 군데 이상을 분리 가능하게 흡착하는 복 수 개의 진공척(F1)과, 상기 진공척(F1)에 고정된 기판(G) 저면을 에어 압력으로 지지하는 부상스테이지(F2)를 포함한다.

상기 진공척(F1)은 기판(G)의 양측변을 한 군데 이상 흡착 고정할 수 있도록 배치되며, 도면에는 나타내지 않았지만 "LM 가이드"와 같은 통상의 이송레일에 의해 상기 작업면(S)을 따라 이동하도록 상기 작업대(2) 상에 설치된다.

상기 진공척(F1)은 통상의 진공발생장치(미도시)와 연결되어 진공압을 발생하는 홀들이 형성되어 기판(G)을 진공압으로 분리 가능하게 흡착 고정하는 방식으로 척킹할 수 있다.

그리고, 상기 부상스테이지(F2)는 도 1에 나타낸 바와 같이 상기 작업면(S)에서 기판(G)의 이송 구간을 따라 배치된다.

상기 부상스테이지(F2)는 도면에는 나타나지 않았지만 다수 개의 홀에서 분사되는 에어 압력으로 기판(G)의 저면을 비접촉 상태로 균일하게 지지할 수 있다.

상기한 이송수단(4)은 통상의 에어부상 방식의 이송 구조를 갖는다. 즉, 상기 진공척(F1)들로 기판(G)의 양쪽 테두리 부분을 척킹한 상태로 이동할 때 상기 부상스테이지(F2)에서 발생하는 에어 압력으로 기판(G) 저면을 지지하여 수평하게 부상시킨 상태로 이송할 수 있다.

상기 이송수단(4)은 상기한 구조 이외에도 예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 로울러에 기판(G)이 올려진 상태로 이송되는 통상의 로울러 컨베이어와 같은 이송 구조로 이루어질 수도 있다.

그리고, 상기 작업면(S)의 일측에는 도 1에 나타낸 바와 같이 슬릿노즐(6)이 위치한다.

상기 슬릿노즐(6)은 기판(G)의 박막(G1) 위에 감광액을 도포하여 포토리소그라피용 감광층(G2, 이하 "감광층"이라고 함.)을 형성하기 위한 것이다.

상기 슬릿노즐(6)은 장방형의 토출구(N)를 구비한 통상의 슬릿형(slit type) 노즐의 외관을 가지며, 도 1에 나타낸 바와 같이 상기 작업대(2) 상에 설치한 겐트리(B1, gantry) 내측에 양측단이 고정되어 기판(G)의 진행 방향을 가로지르는 자세로 위치된다.

상기 겐트리(B1)는 통상의 게이트(gate) 타입으로 형성되어 기판(G)이 아래쪽으로 통과할 수 있도록 상기 작업대(2)측에 고정된다.

그리고, 상기 슬릿노즐(6)은 상기 겐트리(B1)에 설치한 가이드레일(L1, 예:LM가이드)을 따라서 위아래 방향으로 위치 변화가 가능하게 고정되며, 통상의 감광액 공급장치(14)와 연결되어 이 장치(14)로부터 감광액을 공급받는다.

즉, 상기 슬릿노즐(6)은 상기 작업대(2)에서 기판(G)에 감광액을 도포할 때는 상기 겐트리(B1)에서 아래쪽으로 이동하고, 대기 상태일 때는 위쪽에 위치된다.

상기한 작업대(2)와 이송수단(4) 그리고, 슬릿노즐(6)은 상기 작업면(S)에서 기판(G)이 이동할 때 이 기판(G)의 박막(G1)에 일정 두께로 감광층(G2)을 형성할 수 있는 통상의 인라인(inline) 타입의 코팅장치 구조로 이루어진다.(도 1참조)

상기 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터는 두 개의 이동블럭(8, 10)을 포함한다.

상기 이동블럭(8, 10)은 구동부(M)로부터 동력을 전달받아서 상기 슬릿노즐(6)의 토출구(N) 외부면 즉, 노즐 립(N1)의 길이 방향을 따라 왕복 이동이 가능하도록 상기 작업대(2)에서 보조 겐트리(B2) 위에 설치된다.

상기 이동블럭(8, 10)은 도 2에 나타낸 바와 같이 상기 슬릿노즐(6)의 노즐립(N1)을 사이에 두고 이동플레이트(12) 위에 배치되며, 이 이동플레이트(12)는 상기 보조 겐트리(B1) 위에서 가이드레일(L2)에 의해 상기 노즐 립(N1)의 길이 방향을 따라 미끄럼 이동이 가능하게 고정된다.

그리고, 상기 보조 겐트리(B2)는 상기 작업대(2) 상에서 가이드레일(L3)을 따라 수평 이동하면서 상기 이동블럭(8, 10)의 위치를 변화시킬 수 있다.

즉, 상기 보조 겐트리(B2)는 도 1을 기준으로 할 때 좌측으로 이동하여 상기 슬릿노즐(6)의 하측에 상기 이동블럭(8, 10)이 위치되도록 하거나(도 2참조), 다시 우측으로 이동하여 상기 슬릿노즐(6)로부터 벗어난 상태가 되도록 작동된다.

그리고, 상기 이동블럭(8, 10)이 상기 슬릿노즐(6) 하측에서 벗어난 상태에서는 상기 겐트리(B1)측에서 상기 슬릿노즐(6)이 상/하로 이동할 수 있다.

상기 구동부(M)는 두 개의 풀리(M1) 사이에 연결한 타이밍 벨트(M2)와, 상기 풀리(M1)와 동력 전달이 가능하게 연결되는 모터(M3)를 포함하며, 상기 타이밍 벨트(M2) 일측은 상기 이동플레이트(12) 일측과 고정된다.

즉, 이와 같은 구조에 의하면, 상기 모터(M3)의 구동에 의해 상기 타이밍 벨트(M2)가 전/후로 이동할 때 상기 가이드레일(L2)을 따라 상기 두 개의 이동블럭(8, 10)을 상기 슬릿노즐(6)의 노즐 립(N1) 길이 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있다.(도 3참조.)

상기 구동부(M)는 풀리(M1)와 타이밍 벨트(M2)로 동력을 전달하는 구조 이외에도 예를들어, 통상의 스프라켓과 체인을 사용할 수도 있다.

이처럼, 상기 작업대(2) 상에서 상기 보조 겐트리(B2)와 상기 구동부(M)에 의해 이동하는 상기 이동블럭(8, 10)은 상기 슬릿노즐(6)의 노즐 립(N1)을 세정하기 위한 일종의 세정용 이송헤드 역할을 한다.

한편, 상기 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이 세정수단(16)을 포함한다.

상기 세정수단(16)은 상기 이동블럭(8, 10)측에 세 개의 세정 구간(클린, 석션, 건조)을 형성하여 상기 이동블럭(8, 10)의 이동 중에 상기 슬릿노즐(6)의 노즐 립(N1)을 세정하기 위한 것이다.

즉, 상기 세정수단(16)은, 세정용 유체(W1)를 분사하는 제1세정부(C1)와, 흡입력을 발생하는 제2 세정부(C2)와, 건조용 유체(W2)를 분사하는 제3 세정부(C3)로 구성되며, 도 6에 나타낸 바와 같이 상기 이동블럭(8, 10)측에 형성된다.

상기 제1 세정부(C1)는 상기 두 개의 이동블럭(8, 10)의 마주하는 면에 형성한 제1 세정홀(H1)을 구비하고, 이 제1 세정홀(H1)을 통해 상기 슬릿노즐(6)의 노즐 립(N1)을 향하여 세정용 유체(W1)를 분사한다.

상기 제1 세정홀(H1)은 통상의 액체공급장치(D1)와 연결되어 이 장치(D1)로부터 세정용 유체(W1)를 공급받아서 분사할 수 있도록 셋팅된다.

상기 세정용 유체(W1)는 상기 노즐 립(N1) 부분에 달라붙은 감광액의 잔액이 나 각종 이물질을 용해시키면서 제거할 수 있는 신너와 같은 솔벤트를 사용할 수 있다.

그리고, 상기 제2 세정부(C2)는 상기 제1 세정홀(H1)과 이격 배치되는 제2 세정홀(H2)을 구비하고, 이 제2 세정홀(H2)들은 진공 펌프(D2)와 통상의 방법으로 연결된다.

상기 진공펌프(D2)의 구동시 상기 제2 세정홀(H)들을 통해 흡입력이 작용한다. 그러므로, 상기 노즐 립(N1)에 달라붙은 세정용 유체(W1)나 각종 이물질을 상기 제2 세정홀(H2)을 통해 석션(suction) 방식으로 흡입 제거할 수 있다.

상기 제3 세정부(C3)는 상기 노즐 립(N1)을 향하여 건조용 유체(W2)를 분사할 수 있도록 상기 이동블럭(8, 10)측에 형성된 제3 세정홀(H3)로 구성된다.

상기 제3 세정홀(H)은 기체공급장치(D3)와 연결되어 이 장치(D3)로부터 건조용 유체(W2)를 공급받아서 일정 압력으로 분사할 수 있도록 셋팅된다. 상기 건조용 유체(W2)는 통상의 CDA(Clean Dry Air)를 사용할 수 있다.

상기 제3 세정부(C2)는 상기 노즐 립(N1)을 향하여 건조용 유체(W2)을 일정 압력으로 분사하면서 잔존 유체나 이물질을 기체 압력으로 불어서 한번 더 제거함과 아울러 상기 노즐 립(N1) 표면을 간편하게 건조할 수 있다.

상기 제1, 제2, 제3 세정부(C1, C2, C3)는 상기 이동블럭(8, 10)이 상기 슬릿노즐(6)의 일측 단부의 대기 지점에 위치한 상태에서 반대편으로 이동할 때 도 4에서와 같은 배열을 가지도록 형성한다.

따라서, 상기 세정수단(16)은 상기 이동블럭(8, 10)의 이동 중에 세정용 유 체(W1)를 분사함과 아울러 흡입력을 발생하고, 다시 건조용 유체(W2)로 건조하는 세 가지의 작업(크린, 석션, 건조)을 진행할 수 있다.

특히, 상기 제1 및 제2 세정부(C1, C2)는 세정용 유체(W1)를 분사한 다음, 다시 흡입 제거하는 방식으로 세정 작업을 진행하는 것이므로, 상기 노즐 립(N1) 표면에 세정용 유체(W1)의 잔액이나 이물질이 남아있지 않도록 세정할 수 있다.

그리고, 상기 제1 및 제2 세정부(C1, C2)에 의해 세정된 노즐 립(N1)을 상기 제3 세정부(C3)의 건조용 유체(W2)로 불어서 한 번 더 제거함과 아울러 간편하게 건조할 수 있다.

상기 이동블럭(8, 10)에는 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이 세정홈(Q)을 더 형성할 수 있다.

상기 세정홈(Q)은 상기 제1, 제2 ,제3 세정홀(H1, H2, H3)의 지름보다 큰 면적을 가지며 상기 각 세정홀(H1, H2, H3)들의 끝단에 대응하여 상기 이동블럭(8, 10)의 안쪽으로 단차지게 파여진 상태로 형성할 수 있다.(도 6참조.)

즉, 상기 세정홈(Q)은 상기 제1 및 제3 세정홀(H1, H3)에서 분사된 세정용 유체(W1)나 건조용 유체(W2)가 상기 슬릿노즐(6)의 노즐 립(N1)과 상기 이동블럭 (8, 10) 사이에서 머물 수 있는 공간을 제공하여 세정력을 높일 수 있다.

그리고, 상기 세정홈(Q)은 상기 제2 세정홀(H2)의 끝단에서 홀 지름보다 큰 흡입 공간을 제공하여 흡입력을 높일 수 있다. 예를들어, 홀의 끝단에서 안쪽으로 진행하면서 통로 크기가 작아지는 구조는 흡입 작용시 유속이 증가하면서 흡입력이 향상되는 것으로 알려져 있다.

상기 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 보조세정수단(C4)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 보조세정수단(C4)은 상기 슬릿노즐(6)의 토출구(N) 끝단과 접촉 가능하게 설치되는 세정패드(18)로 구성된다.

상기 세정패드(18)는 일측에 평면의 세정면(H4)을 가지는 연질의 고무나 실리콘 패드를 사용할 수 있으며, 도 5에 나타낸 바와 같이 상기 두 개의 이동블럭(8, 10) 사이에서 상기 슬릿노즐(6)의 토출구(N) 끝단과 상기 세정면(H4)이 접촉할 수 있도록 고정 설치한다.

상기 세정패드(18)는 상기 세정면(H4)으로 상기 슬릿노즐(6)의 토출구(N)를 막은 상태로 세정 작업을 진행할 수 있도록 함과 아울러 상기 이동블럭(8, 10)의 이동시 상기 세정면(H4)의 접촉력으로 상기 토출구(N) 끝단에 달라붙은 각종 이물질을 제거할 수 있다.

그리고, 상기 세정패드(18)는 상기 두 개의 이동블럭(8, 10) 사이에 위치할 때 접촉면 사이로 배수 통로(T)를 형성하도록 셋팅하고, 아래쪽에는 수거통(20)을 설치한다.

상기 배수통로(T)는 상기 세정수단(16)으로 세정 작업을 진행할 때 상기 슬릿노즐(6)과 접촉한 후 아래로 떨어지는 세정용 유체(W1)나 각종 이물질이 통과하기 위한 통로 역할을 한다.

그러므로, 세정 작업 중에 상기 두 개의 이동블럭(8, 10) 사이로 낙하하는 세정용 유체(W1)나 각종 이물질을 한 곳에 간편하게 수거할 수 있다.

상기 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 제1 조절부(22)를 포함한다.

상기 제1 조절부(22)는 상기 작업대(2) 상에서 상기 두 개의 이동블럭(8, 10) 간격을 조절하기 위한 것이다.

이를 위하여 본 실시예에서는 도 7에 나타낸 바와 같이 상기 이동플레이트(12)에 두 개의 위치조절기(U1, U2)를 설치하여 상기 이동블럭(8, 10)의 간격이 조절되도록 하고 있다.

상기 위치조절기(U1, U2)는 통상의 메뉴얼 스테이지를 사용할 수 있다. 이 메뉴얼 스테이지는 수동 조작에 의해 두 방향(X방향, Y방향) 이상으로 스테이지의 위치 조절이 가능한 통상의 구조로 이루어진다.

그러므로, 상기 위치조절기(U1, U2)를 통상의 방법으로 조작하여 상기 이동블럭(8, 10)의 간격이 좁혀지거나 벌어지도록 위치를 조절할 수 있다.

그리고, 상기 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 제2 조절부(24)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 제2 조절부(24)는 상기 작업대(2) 상에서 상기 이동블럭(8, 10)의 높낮이 위치를 변화시키기 위한 것으로서, 나사 조절 방식으로 간격 조절이 가능하게 이루어질 수 있다.

즉, 상기 제2 조절부(24)는 도 8에 나타낸 바와 같이 상기 각 이동블럭(8, 10) 일측과 나사 결합으로 관통하는 조절나사(U3)와, 상기 이동블럭(8, 10)의 이동 방향을 가이드하기 위한 가이드로드(U4)를 포함한다.

그리고, 상기 가이드로드(U4)에는 상기 이동블럭(8, 10)이 아래쪽을 향하여 탄력적으로 지지되도록 탄성부재(U5)를 설치한다. 이 탄성부재(U5)는 통상의 압축 코일 스프링을 사용할 수 있다.

즉, 상기 제2 조절부(24)는 상기 조절나사(U3)를 어느 한 방향으로 돌리면 상기 조절나사(U3)의 단부가 상기 위치조절기(U1, U2) 일측과 접촉되면서 상기 이동블럭(8, 10)을 위로 들어올리거나 그 반대로 이동시킬 수 있다.

그러므로, 상기와 같이 조절나사(U3)를 돌리는 방식으로 조작하면서 상기 작업대(2) 상에서 상기 이동블럭(8, 10)의 높낮이 위치를 적절하게 조절할 수 있다.

상기 제2 조절부(24)는 상기와 같은 나사 조절 방식에 한정되는 것은 아니다.

예를들어, 도면에는 타나내지 않았지만 수동 또는 자동 조작에 의해 상기 이동블럭(8, 10)의 높낮이 위치를 조절할 수 있는 다양한 조절 방식을 사용할 수 있다.

따라서, 상기 제1 조절부(22)와 제2 조절부(24)는 상기 작업대(2)에서 상기 슬릿노즐(6)의 사이즈나 형태에 대응하도록 상기 이동블럭(8, 10)의 간격 및 높낮이 위치를 적절하게 조절할 수 있다.

그러므로, 상기 세정수단(16)에 의해 습식 및 건식 방식으로 세정 작업을 진행할 때 세정을 위한 유체나 에너지의 손실을 줄일 수 있고, 한층 향상된 세정력을 확보할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터의 요부를 확대하여 나타낸 도면이다.

도 3은 도 2의 이동블럭의 이동 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터의 세정수단의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터의 세정수단의 외부 구조를 나타낸 도면이다.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터의 제1 조절부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 세정장치를 구비한 슬릿코터의 제2 조절부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

2: 작업대 4: 이송수단 6: 슬릿노즐

8, 10: 이동블럭 12: 이동플레이트 14: 감광액 공급장치

G: 기판 G1: 박막 G2: 감광층

N: 토출구 N1: 노즐 립 B1: 겐트리

Claims (14)

1. 작업대;

   상기 작업대에서 기판을 일방향으로 이송하기 위한 이송수단;

   토출구가 형성된 노즐 립을 구비하고 상기 이송수단을 따라 이동하는 기판에 약액을 도포할 수 있도록 상기 작업대 상에 설치되는 슬릿노즐;

   상기 슬릿노즐의 노즐 립을 사이에 두고 양측에 위치되어 구동부에 의해 상기 노즐 립의 길이 방향을 따라 왕복 이동하는 두 개의 이동블럭;

   상기 이동블럭에서 상기 슬릿노즐을 향하여 이종의 유체를 분사하고 흡입력을 발생하면서 클린 및 석션, 건조 분위기로 상기 노즐 립을 세정하는 세정수단;

   을 포함하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 구동부는,

   모터로부터 동력을 전달받아 전/후로 이동하는 타이밍 벨트 또는 체인으로 상기 이동블럭을 이동시키는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 세정수단은,

   세정용 유체를 분사하는 제1 세정부와, 흡입력을 발생하는 제2 세정부와, 건 조용 유체를 분사하는 제3 세정부를 포함하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 제1 세정부는,

   제1 세정홀을 구비하고, 이 제1 세정홀은 액체공급장치로부터 세정용 유체를 공급받아서 상기 슬릿노즐의 노즐 립을 향하여 분사할 수 있도록 상기 이동블럭측에 형성하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
5. 청구항 3에 있어서,

   상기 제2 세정부는,

   제2 세정홀을 구비하고, 이 제2 세정홀은 진공펌프와 연결되어 이 펌프의 구동에 의해 상기 슬릿노즐의 노즐 립을 향하여 흡입력을 발생하도록 상기 이동블럭측에 형성하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
6. 청구항 3에 있어서,

   상기 제3 세정부는,

   제3 세정홀을 구비하고, 이 제3 세정홀은 기체공급장치로부터 건조용 유체를 공급받아서 상기 슬릿노즐의 노즐 립을 향하여 분사할 수 있도록 상기 이동블럭측에 형성하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
7. 청구항 4 내지 청구항 6에 있어서,

   상기 각 세정홀은,

   홀 지름 보다 넓은 면적의 홈부를 가지는 세정홈이 배출측 단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
8. 청구항 3에 있어서,

   상기 세정용 유체는 신너를 사용하고,

   상기 건조용 유체는 CDA(Clean Dry Air)를 사용하는 것을 특징으로 하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
9. 청구항 1에 있어서,

   상기 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 상기 작업대에서 상기 두 개의 이동블럭 간격을 조절하기 위한 제1 조절부를 더 포함하며,

   상기 제1 조절부는,

   두 개의 위치조절기로 상기 두 개의 이동블럭 위치를 변화시키면서 이들의 간격이 좁혀지거나 벌어지도록 조절하는 것을 특징으로 하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
10. 청구항 9에 있어서,

    상기 두 개의 위치조절기는,

    메뉴얼 스테이지를 사용하는 것을 특징으로 하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
11. 청구항 1에 있어서,

    상기 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 보조세정수단을 더 포함하며,

    상기 보조세정수단은,

    상기 두 개의 이동블럭 사이에서 상기 슬릿노즐의 토출구 끝단과 접촉하는 세정면을 가지는 세정패드로 이루어지는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
12. 청구항 11에 있어서,

    상기 세정패드는,

    연질의 고무나 실리콘 패드를 사용하고,

    상기 세정면으로 상기 슬릿노즐의 토출구 통로를 차단하고, 상기 이동블럭의 이동시 접촉력에 의해 잔존 약액이나 이물질을 상기 토출구 끝단에서 제거하는 것을 특징으로 하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
13. 청구항 1에 있어서,

    상기 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 제2 조절부를 더 포함하며,

    상기 제2 조절부는,

    조절나사와, 상기 이동블럭의 업/다운 이동을 가이드하기 위한 가이드로드를 포함하고,

    상기 조절나사를 어느 한 방향 또는 그 반대로 돌릴 때 상기 이동블럭이 상기 조절나사에 의해 들어올려지거나 그 반대로 이동하면서 상기 가이드로드를 따라 업/다운되도록 셋팅하는 세정장치를 구비한 슬릿코터.
14. 청구항 1에 있어서,

    상기 이송수단은,

    기판의 한 군데 이상을 분리 가능하게 흡착하는 복수 개의 진공척과,

    상기 진공척에 고정된 기판 저면을 에어 압력으로 지지하는 부상스테이지를 포함하여 이루어지는 세정장치를 구비한 슬릿코터.

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