CN101263395A - Tcp处理装置 - Google Patents

Abstract

在TCP处理机(2)中，作为用于显示由第二照相机(6b)摄影的图像的显示装置(9)，使用可对摄影的图像的一部分进行放大显示的显示装置。根据这样的TCP处理机(2)，能够根据显示在显示装置(9)上的放大图像，对TCP的测试焊盘(P)和探针板(8)的探针(81)之间的位置关系进行识别。因此，当在初始设定等中进行对位时，可以容易、正确且迅速地进行对位。

Description

TCP处理装置

技术领域

本发明涉及一种用于对作为IC器件的1种的TCP(Tape CarrierPackage，带载封装)和COF(Chip On Film，覆晶薄膜)(以下，将通过TCP、COF、其他TAB(Tape Automated Bonding，载带自动键合)安装技术制造的器件总称为“TCP”。)进行试验的TCP处理装置(TCP handling device)。

背景技术

在IC器件等电子零件的制造过程中，需要对最终制造的IC器件和处于其中间阶段的器件等的性能和功能进行试验的电子零件试验装置，在TCP的情况下，使用TCP用的试验装置。

TCP用的试验装置一般由测试主体、测试头(test head)、以及TCP处理装置(以下有时称为“TCP处理机(TCP handler)”。)构成。该TCP处理机具有如下功能：搬送在带(tape)(也包含薄膜(film)的概念。以下相同。)上形成有多个TCP的承载带(carrier tape)，向电连接到测试头的探针板(probe card)的探针(probe)按压承载带，使TCP的测试焊盘(test pad)接触到探针，从而将多个TCP依次交付到试验中。

另外，为了使用TCP处理机高效且正确地进行试验，需要使TCP的测试焊盘和探针板的各探针可靠地接触。

因此，在使用TCP处理机的情况下，在使其实际动作来进行试验之前，预先针对TCP处理机进行初始设定，并进行登记该设定的作业，以使TCP的测试焊盘和探针板的各探针能够可靠地接触。

例如如下那样进行TCP处理机的初始设定。首先，在确定搬送到试验位置的TCP和探针板的粗略位置之后，使用照相机对探针板的探针以及TCP的测试焊盘进行摄影，将取得的图像显示在显示装置上。然后，操作者一边对该图像进行识别，一边通过人工操作调整各探针的位置，以使探针板的所有探针能够与TCP的所有测试焊盘接触。将如此设定的位置作为初始设定进行登记，用于实际动作时的对位。

但是，伴随近年来的TCP的多管脚(pin)化以及小型化，TCP的测试焊盘逐渐变小且变为窄间距(pitch)，所以显示在显示装置上的探针以及测试焊盘也变小且变细。因此，初始设定中的焊盘和探针的对位作业变得困难，初始设定所需的作业时间也变长。另外，有时未必能正确地进行TCP和探针的对位，由于这样的原因有时在实际动作中还发生接触不良、接触电阻的不稳定化、以及邻接管脚间的短路等。

发明内容

本发明就是鉴于上述那样的实际状况而提出的，其目的在于：提供一种可正确且容易地进行接触部的接触端子和TCP的外部端子的对位作业的TCP处理装置。

为了达成上述目的，第一，本发明提供如下的TCP处理装置，即在该TCP处理装置中，搬送在带上形成有多个TCP的承载带，向电连接到测试头的接触部按压承载带，使TCP的外部端子接触到上述接触部的接触端子，从而可将多个TCP依次交付到试验中，并且使用摄像装置对TCP的外部端子以及接触部的接触端子进行摄影，可将取得的图像显示在显示装置上，其特征在于：在上述显示装置上显示标准图像和放大图像，使得可以确定TCP的外部端子和接触部的接触端子的位置关系来进行定位，上述标准图像显示使用摄像装置摄影的摄影对象物的全体，放大图像放大显示使用摄像装置摄影的摄影对象物的一部分(发明1)。

根据上述发明(发明1)，可以利用放大图像对作为定位的对象的TCP的外部端子和探针板的接触端子的位置关系进行识别，因此可以正确且容易地进行TCP的外部端子和接触部的接触端子的对位。因此，在使用TCP处理装置时，可以以短时间高效地进行该初始设定。另外，当在TCP处理装置的实际动作中发生接触不良时，还可以利用放大图像对接触不良的状况进行识别。

在上述发明(发明1)中，优选为上述摄像装置是即使在显示出放大图像的情况下也可以确定TCP的外部端子和接触端子的位置关系且能够进行两端子的定位的高分辨率的摄像装置(发明2)。通过使用高分辨率的摄像装置，能够鲜明地显示TCP的外部端子和接触端子，可更正确地进行对位作业。另外，通过使用高分辨率的摄像装置，可以扩大一次摄影的范围来降低所摄影的图像的数量，由此使摄像装置移动的频度变少，可使机械的移动误差和多个图像的重合处理等的误差减少，因此，可对应于具有更微细且窄间距的外部端子的TCP。

优选为上述发明(发明1)的TCP处理装置具有摄像载物台(stage)，该摄像载物台使上述摄像装置移动，使得能够对预定位置的TCP的外部端子以及接触部的接触端子进行摄影(发明3)。

优选为上述发明(发明1)的TCP处理装置具有放大显示操作部件，并根据基于上述放大显示操作部件的操作对上述标准图像进行放大来所为放大图像(发明3)。在如本发明(发明3)那样具有放大显示操作部件时，通过对放大显示操作部件进行操作可简单地显示放大图像，操作性优越。

优选为上述发明(发明1)的TCP处理装置在实际动作中TCP的外部端子和接触部的接触端子之间存在位置偏差或接触不良的情况下，可以将该位置偏差或接触不良的地方作为放大图像自动地显示在上述显示装置上(发明4)。根据上述发明(发明4)，可将位置偏差或接触不良的地方作为放大图像进行识别，所以可准确地把握位置偏差或接触不良的状况。特别在实际动作中通过手动操作来进行TCP的外部端子和接触部的接触端子的对位的情况下，可迅速地把握位置偏差或接触不良的地方来进行对应，所以可使试验的吞吐量(throughput)提高。

第二，本发明提供如下的TCP处理装置，即在该TCP处理装置中，使设在进行试验信号的收发的接触部上的多个接触端子、配设在承载带上的试验对象的TCP所具有的多个外部端子电接触来进行试验，其特征在于具有：摄像装置，对接触端子和与该接触端子对应的TCP的外部端子进行摄像；以及显示装置，根据期望对由上述摄像装置摄影的接触端子以及TCP的外部端子的图像进行处理并显示，其中，上述摄像装置具有影像缩放(zoom)功能，在影像缩放状态下，具有可确定接触端子和与该接触端子对应的TCP的外部端子的位置关系的分辨率(发明6)。

根据上述发明(发明6)，通过使摄像装置成为影像缩放状态，可放大显示作为对位的对象的TCP的外部端子和探针板的接触端子，因此可以正确且容易地进行TCP的外部端子和接触部的接触端子的对位。因此，在使用TCP处理装置时，可以以短时间高效地进行其初始化设定。另外，当在TCP处理装置的实际动作中发生接触不良时，还可以利用放大显示对接触不良的状况进行识别。

在上述发明(发明6)中，优选为根据上述摄像装置摄影的多个接触端子以及与该接触端子对应的TCP的多个外部端子的图像数据，确定上述多个接触端子和与该接触端子对应的多个外部端子的位置偏差量(发明7)。根据上述发明(发明7)，可以确定更正确的位置错开修正量。

在上述发明(发明7)中，优选为使上述摄像载物台移动，以使上述摄像装置能够对TCP具有的多个外部端子中的位于对角线上的至少2个位置、或相互远离的至少2个位置的外部端子进行摄像，根据上述摄像装置摄影而取得的图像数据，确定上述至少2个位置的外部端子和与该外部端子对应的接触端子的位置偏差量，根据上述位置偏差量，使承载带或接触端子组移动，使得得到稳定的接触(发明8)。根据上述发明(发明7)，能够确定更正确的位置偏差修正量，特别还能够修正θ旋转方向的偏差。

在上述发明(发明6)中，也可以根据由上述摄像装置摄影而取得的图像数据，第一，提取出接触端子的形状，从提取出的形状确定该接触端子接触到TCP的外部端子的接触点，第二，根据上述图像数据，提取出TCP的外部端子的形状，从提取出的形状确定该外部端子的中央位置点，将表示上述接触端子的接触点的标记(mark)和表示上述外部端子的中央位置点的位置的标记层叠(overlay)显示在上述显示装置上(发明9)。根据上述发明(发明9)，操作者可在清楚地把握外部端子的中央位置点和接触端子的接触点的偏差状态，所以可准确地进行对位的调整作业。

在上述发明(发明6)中，也可以应用接触检查功能，一边使承载带或接触端子组沿平面方向移动，一边对所有接触端子和与该接触端子对应的TCP的外部端子的电接触状态进行检测，求出在哪个接触端子中都不成为接触不良而可有效地接触的有效移动区域，根据上述有效移动区域，确定承载带以及接触端子组的最佳位置(发明10)。根据上述发明(发明10)，例如即使在接触端子由于按压应力(stress)偏移的情况下，也可以高效地确定承载带以及接触端子组的最佳位置。

在上述发明(发明6)中，也可以应用接触检查功能，对所有接触端子和与该接触端子对应的TCP的外部端子的电接触状态进行检测，在检测到接触不良的情况下，使上述摄像装置向成为该接触不良的接触端子以及与该接触端子对应的外部端子的位置移动，对该接触不良部位进行摄影，将取得的图像显示在显示装置上(发明11)。根据上述发明(发明11)，可利用图像准确地把握接触不良部位的状况。

在上述发明(发明6)中，也可以将上述摄像装置的位置信息、上述摄像装置的影像缩放倍率信息、以及与上述摄像装置进行摄像的TCP相关的信息的至少1种信息显示在显示装置上(发明12)。

在上述发明(发明6)中，也可以根据在非接触状态下对接触端子以及与该接触端子对应的TCP的外部端子进行摄像而取得的非接触状态图像数据，确定上述接触端子和与该接触端子对应的外部端子的位置关系，根据在试验实施的接触状态下对接触端子以及与该接触端子对应的TCP的外部端子进行摄像而取得的接触状态图像数据，确定上述接触端子和与该接触端子对应的外部端子的位置关系，求出上述确定的两个位置关系的变化量，根据该变化量，对接触端子和与该接触端子对应的外部端子的位置偏差进行修正(发明13)。根据上述发明(发明13)，可以包括从非接触状态到接触状态产生的位置偏差量来进行位置偏差修正，可实现更稳定的接触。

在上述发明(发明6)中，也可以对试验执行的结果判断为不良品的TCP，原样维持当前的接触状态，对所有的接触端子以及与该接触端子对应的外部端子进行摄像，根据取得的图像数据确定各位置偏差量，将超过预定的位置偏差量的最大容许偏离的接触端子以及与该接触端子对应的外部端子显示在上述显示装置上(发明14)。根据上述发明(发明14)，可以自动地显示接触不良的可能性高的接触端子以及外部端子，可以利用图像对这些接触状态进行确认。

根据本发明的TCP处理装置，能够正确且容易地进行接触部的接触端子和TCP的外部端子的对位作业。

附图说明

图1是示出使用本发明的一个实施例的TCP处理机的TCP试验装置的正面图。

图2是该实施例的TCP处理机中的推进器单元的侧面图。

图3是该实施例的TCP处理机中的推进器载物台的平面图。

图4是该实施例的TCP处理机中的探针板载物台的平面图。

图5是该实施例的TCP处理机中的探针板载物台的正面图。

图6(a)是示出显示出标准图像的状态的显示装置的一个例子的平面图，图6(b)是示出显示出放大图像的状态的显示装置的一个例子的平面图。

图7是示出本发明的一个实施例的TCP处理机的试验时的动作的流程图。

(标号说明)

1：TCP用的试验装置；2：TCP处理机；3：推进器(pusher)单元；4：推进器载物台(pusher stage)；5：承载带(carrier tape)；6b：第二照相机(摄像装置)；7：探针板载物台(probe card stage)；8：探针板(probe card)；81：探针(probe)(接触端子)；9：显示装置；90：图像处理部件；91：显示面板；92：操作按钮(放大显示操作部件)；93：区域指定按钮；10：测试头(test head)；21：卷出卷轴(reel)；22：卷取卷轴(reel)；P：TCP的测试焊盘(testpad)(外部端子)

具体实施方式

以下，根据附图详细说明本发明的实施例。

图1是示出使用本发明的一个实施例的TCP处理机的TCP试验装置的正面图，图2是该实施例的TCP处理机中的推进器单元的侧面图，图3是该实施例的TCP处理机中的推进器载物台的平面图，图4是该实施例的TCP处理机中的探针板载物台的平面图，图5是该实施例的TCP处理机中的探针板载物台的正面图，图6(a)是示出显示出标准图像的状态的显示装置的一个例子的平面图，图6(b)是示出显示出放大图像的状态的显示装置的一个例子的平面图，图7是示出本发明的一个实施例的TCP处理机的试验时的动作的流程图。

首先，参照图1，对具有本发明的实施例的处理机的TCP用的试验装置的整体结构进行说明。

TCP用的试验装置1由未图示的测试主体、与测试主体电连接的测试头10、设在测试头10的上侧的TCP处理机2构成。

TCP处理机2将形成在承载带5上的多个的各TCP依次交付到试验中，在本实施例中，为了简化说明，假设为将TCP逐个交付到试验中。但是，本发明不限于此，也可以将在承载带5上沿串行方向和/或并行方向排列的多个TCP同时交付到试验中。

TCP处理机2具有卷出卷轴21和卷取卷轴22，在卷出卷轴21上卷取有试验前的承载带5。承载带5从卷出卷轴21卷出，在交付到试验中之后，卷取到卷取卷轴22上。

在卷出卷轴21和卷取卷轴22之间，设有将从承载带5剥离的保护带51从卷出卷轴21过渡到卷取卷轴22的3个间隔卷(spacer roll)23a、23b、23c。各间隔卷23a、23b、23c可以分别上下移动，从而可以调整保护带51的张力。

在卷出卷轴21的下侧，设有带导杆(tape guide)24a、卷出限制辊25a、入侧子带轮(sub sprocket)25b以及入侧导引辊25c，对于从卷出卷轴21卷出的承载带5，由带导杆24a进行导引，同时经由卷出限制辊25a、入侧子带轮25b以及入侧导引辊25c搬送到推进器单元3。

在卷取卷轴22的下侧，设有带导杆24b、卷取限制辊25f、出侧子带轮25e以及出侧导引辊25d，对于交付到试验后的承载带5，经由出侧导引辊25d、出侧子带轮25e以及卷取限制辊25f，由带导杆24b进行导引，同时卷取到卷取卷轴22上。

而且，在入侧导引辊25c和出侧导引辊25d之间，设有推进器单元3。

如图1以及图2所示，在推进器单元3的平台(推进器平台)36上，经由托架(bracket)361安装有可使滚珠丝杠32旋转的伺服电动机31，并且经由2根Z轴方向的线性运动导杆(以下称为“LM导杆”)37安装有滚珠丝杠32所螺合的推进器主体部33。通过使伺服电动机31进行驱动，该推进器主体部33可以一边在线性运动导杆37上被导引，一边沿上下方向(Z轴方向)移动。

在该推进器主体部33的下端部设有吸附平台34，该吸附平台34与负压源(省略图示)连接并可吸附保持承载带5。

在推进器主体部33的前级侧(图1中左侧)，设有张紧带轮(tension sprocket)35a，在推进器主体部33的后级侧(图1中右侧)，设有主带轮(main sprocket)35b，由此以期望的张力保持承载带5。

如图2以及图3所示，在推进器框架(frame)36中的推进器主体部33的背面侧，以载置于基台38上的形式设置有推进器载物台4，作为推进器载物台4的旋转台的顶板(top table)48被固定在推进器框架36上。

在载推进器载物台4的基座40上，设有：伺服电动机41a，使沿X轴方向具有轴的滚珠丝杠42a旋转；伺服电动机41b，使沿Y轴方向具有轴的滚珠丝杠42b旋转；以及伺服电动机41c，使沿Y方向具有轴的滚珠丝杠42c旋转，其中，伺服电动机41b以及伺服电动机41c分别位于基座40上的两端部。

在滚珠丝杠42a上螺合有滑动块44a，该滑动块44a被X轴方向的LM导杆43a、43a导引而可沿X轴方向滑动。在滑动块44a上，经由Y轴方向的LM导杆45a，可沿Y轴方向滑动地安装有滑动板46a。在滑动板46a的上侧，固定有在内部具有辊环(roller ring)的旋转构件47a，旋转构件47a可自由旋转地安装在顶板48上。

在滚珠丝杠42b上螺合有滑动块44b，该滑动块44b被Y轴方向的LM导杆43b、43b导引而可沿Y轴方向滑动。在滑动块44b上，经由X轴方向的LM导杆45b，可沿X轴方向滑动地安装有滑动板46b。在滑动板46b的上侧，固定有在内部具有辊环(roller ring)的旋转构件47b，旋转构件47b可自由旋转地安装在顶板48上。

在滚珠丝杠42c上螺合有滑动块44c，该滑动块44c被Y轴方向的LM导杆43c、43c导引而可沿Y轴方向滑动。在滑动块44c上，经由X轴方向的LM导杆45c，可沿X轴方向滑动地安装有滑动板46c。在滑动板46c的上侧，固定有在内部具有辊环(roller ring)的旋转构件47c，旋转构件47c可自由旋转地安装在顶板48上。

在具有这样的结构的推进器载物台4中，通过对伺服电动机41a进行驱动，使滑动块44a、滑动板46b以及滑动板46c沿X轴方向滑动，从而可使顶板48沿X轴方向移动。另外，通过对伺服电动机41b以及伺服电动机41c进行驱动，使滑动块44b、滑动块44c以及滑动板46a沿Y轴相同方向滑动，从而可使顶板48沿Y轴方向移动。另外，通过对伺服电动机41a进行驱动，使滑动块44a沿X轴方向滑动，同时对伺服电动机41b以及伺服电动机41c进行驱动，使滑动块44b以及滑动块44c相互沿Y轴相反方向滑动，并使各旋转部件47a、45b、45c旋转，从而可使顶板48绕其垂直轴旋转。根据这样的推进器载物台4，可实现使推进器单元3沿X轴-Y轴方向移动、以及使推进器单元3绕垂直轴进行旋转移动。

另外，与探针板载物台7相比，推进器载物台4可以以更短的时间移动。但是，对于推进器载物台4，由于在吸附保持承载带5的状态下使TCP移动，因此虽然X轴-Y轴方向的移动以及旋转移动的移动量微少，但在实用上是可使用的。

另一方面，如图1所示，在推进器单元3的下侧，即测试头10的上部，设置有装载有探针板8的探针板载物台7。此处，对于探针板载物台7，有可以由电动机驱动机构进行移动控制的探针板载物台、和仅具有手动调整功能的探针板载物台，但在本实施例中，假设为具有电动机驱动机构。

如图4以及图5所示，在探针板载物台7的基台71上，设置有使在X轴方向上具有轴的滚珠丝杠712旋转的伺服电动机711、4个X轴方向的LM导杆713。在这些4个LM导杆713上，设置有通过各LM导杆713沿X轴方向可滑动地被导引的矩形的X基座72。在该X基座72的一侧部，形成有滚珠丝杠712进行螺合的螺合部721。

在X基座72上，设置有使在Y轴方向上具有轴的滚珠丝杠723旋转的伺服电动机722、2根Y轴方向的LM导杆724。在这些2根LM导杆724上，设有通过各LM导杆724沿Y轴方向可滑动地被导引的矩形的Y基座73。在该Y基座73的一侧部，形成有滚珠丝杠723进行螺合的螺合部731。

在Y基座73上，设置有使在Y轴方向上具有轴的滚珠丝杠733旋转的伺服电动机732、可自由旋转地支撑护环735的连接环734。在护环735的一部分上，形成有滚珠丝杠733进行螺合的螺合部736。具有多个探针81的探针板8通过4根栓销82可自由装卸地安装在护环735上。

另外，虽然未在图4以及图5中示出，但探针板8的各探针81经由测试头10电连接到测试主体。

在具有这样的结构的探针板载物台7中，通过对伺服电动机711进行驱动，可使X基座72、乃至探针板8沿X轴方向移动，通过对伺服电动机722进行驱动，可使Y基座73、乃至探针板8沿Y轴方向移动。另外，通过对伺服电动机732进行驱动来使滚珠丝杠733旋转而使螺合部736移动，可使护环735以及探针板8绕其垂直轴进行旋转。

另外，如图1所示，在推进器单元3的前级侧(图1中左侧)设置有第一照相机6a，在测试头10的下侧设置有第二照相机(摄像装置)6b，在推进器单元3的后级侧(图1中右侧)设置有第三照相机6c。另外，在测试头10中，形成有第二照相机6b可对探针板8进行摄影的间隙。

在推进器单元3和第三照相机6c之间，设有标记穿孔器(markpunch)26a以及报废穿孔器(reject punch)26b。标记穿孔器26a根据试验的结果，针对对应的TCP在预定的位置开出1个或多个孔，报废穿孔器26b对试验的结果判断为不良品的TCP进行打孔。

各照相机6a、6b、6c在显示装置9上显示出利用这些照相机摄影的图像，以使操作者可进行识别。在这些照相机中，第一照相机6a以及第三照相机6c用于判断在承载带5上有无TCP、由标记穿孔机26a穿孔的孔的位置和数量。另外，第二照相机6b用于取得TCP和探针板8之间的位置偏差信息，使得能够针对视野内的多个对象取得位置偏差信息。

另外，第二照相机6b安装于照相机载物台61上，通过照相机载物台61具有的驱动器(actuator)可以沿平面视纵横方向(X轴-Y轴方向)以及上下方向(Z轴方向)移动。

另外，显示装置9具有：图像处理部件90；显示面板91，显示第二照相机6b摄影的标准图像(未由图像处理部件90放大处理的图像)或由图像处理部件90进行了放大处理的放大图像；操作按钮92(放大显示操作部件)，用于使显示在显示面板91上的图像的放大倍率变化；以及区域指定按钮93(区域指定部件)，指定所显示的区域。另外，虽然未图示，但还可以具有其他操作单元、例如显示画面上的触摸面板、画面滚动(scroll)用的按钮等。图像处理部件90由可对图像数据进行数字处理的计算机构成。

操作按钮92具有附加有“+”记号的放大按钮92a和附加有“-”记号的缩小按钮92b。在按下放大按钮92a时，在图像处理部件90中进行放大显示标准图像的一部分的图像处理，并在显示面板91上显示放大图像。另一方面，在按下缩小按钮92b时，在图像处理部件90中进行缩小显示放大图像的图像处理，并在显示面板91上显示倍率变小的放大图像或标准图像。这样，在显示装置9中，通过按下操作按钮92可使放大倍率连续地变化，能够在放大倍率的下限值(1倍)和上限值(例如5倍)之间，选择任意的放大倍率。

区域指定按钮93由附加有朝向上下左右的箭头的记号的4个按钮构成，通过按下这些按钮，可以使显示在显示面板91上的区域沿上下左右的任意方向移动。在本实施例中，通过区域指定按钮93的操作而产生的信号输入到图像处理部件90，图像处理部件90根据该输入，向显示面板91输出应显示的图像数据。另外，作为使区域移动的方法，除了该方法以外，例如还可以使用使第二照相机6b移动的方法等。

此处，在图6(a)的标准图像中，优选同时显示测试焊盘P和对准标记(alignment mark)55。另外，在显示面板91中，在图6中虽然省略，但优选显示操作者易于操作的信息。例如，优选显示照相机信息(倍率值、照相机的XY移动范围、当前的XY位置信息等)、观测对象的TCP信息(TCP序号、按压方向的距离值、X轴坐标值、Y轴坐标值等)、十字光标(cross cursor)及其交点坐标信息(以对准标记55为基准的相对的XY坐标值)、位于与十字光标的交点接近的位置的测试焊盘P的序号信息、表示每个测试焊盘的位置偏差量的XY偏差值等。另外，在显示面板91中，也可以同时显示标准图像以及放大图像这2个图像，由此通过上述2个图像的显示，定位作业可变得容易。

另外，图6所示的TCP的测试焊盘P的排列例子是排列成直线状一列的单纯的排列例子，但还存在以交错排列或复杂的排列形成测试焊盘P的TCP。

第二照相机6b优选为：在最大放大倍率时图像处理部件90可以以期望的精度求出探针81/测试焊盘P的位置偏差量的高分辨率的照相机；或者操作者可通过手动操作一边观察放大图像一边把握探针81/测试焊盘P的位置偏差的状况，并且能够进行探针81的位置调整的高分辨率的照相机。另外，操作者为了可一边观察显示装置9的画面一边随时进行操作使得如图6(a)、(b)所示那样使图像的放大倍率任意地变化来准确地确认，优选当进行放大显示(数字影像缩放(zoom))的处理时，由图像处理部件90进行平滑(smoothing)处理，以使图像的轮廓不成为锯齿显示。这样，通过利用高分辨率的照相机以鲜明的轮廓来进行显示，可以由操作者正确地进行探针81以及测试焊盘P的对位作业。另外，通过应用高分辨率的照相机，还可以对应于测试焊盘P的间距(pitch)更窄的TCP，可准确地确认多个探针81/测试焊盘P的位置偏差的状况和它们的轮廓。另外，在多个探针81/测试焊盘P的概略的定位处理以及详细的定位处理中，可以利用同一图像数据。另外，通过应用高分辨率的照相机，降低了探针板载物台7的机械的移动误差，所以即使在将来的具有微细且窄间距的测试焊盘P的TCP中，也可以高精度地进行定位。

接着，对TCP处理机2的使用方法以及动作进行说明。

在使用TCP处理机2的情况下，在使TCP处理机2实际动作之前，需要预先进行使探针板8移动的初始设定，以使探针板8的所有探针81定位到对应的测试焊盘P的中央位置。即，在变更了TCP的品种的情况、对不同的生产批量(lot)的TCP进行试验的情况、或变更了探针板8的情况下，需要确定并登记探针板载物台7的X轴位置/Y轴位置/θ旋转角的基准位置(将该位置称为“登记位置”)，以使TCP的测试焊盘P和探针板8的探针81接触。另外，推进器载物台4由于在TCP的试验执行时使用，所以在初始设定中假设为原样为非控制状态。

在探针板8的初始设定中，首先，当将成为基准的TCP搬送到试验位置时，由第二照相机6b对TCP的测试焊盘P以及探针板8的探针81进行摄影，将所摄影的标准图像显示在显示面板91上(参照图6(a))。此处，操作者一边对显示在显示面板91上的图像进行识别，一边通过手动操作使主带轮35b和/或探针板载物台7移动，确定多个位置(例如图6(a)所示的9个位置)的探针81和与其对应的测试焊盘P的粗略位置。另外，对于粗略位置的确定，也可以根据期望通过自动控制的形式进行而并非手动操作。

接着，使用区域指定按钮93使显示区域移动，以使显示在显示面板91上的探针81/测试焊盘P中的期望的探针81/测试焊盘P显示在显示面板91的中央。然后，按下放大按钮92a，在显示面板91上显示放大图像，由此对选择出的探针81/测试焊盘P进行放大显示(参照图6(b))。

在该状态下，操作者通过手动操作一边使探针板载物台7向X轴方向/Y轴方向/θ旋转方向移动一边进行位置调整，以使多个探针81接触到测试焊盘P的尽可能中央的位置。一般针对位于TCP的4角的多个测试焊盘P和与其对应的探针81进行该调整作业。将通过该调整作业针对所有探针81成为最佳状态的探针板载物台7的状态作为基准位置进行登记。

此处，探针81伴随多次按压会产生变形。即，各探针81有可能存在X轴方向/Y轴方向/Z轴方向(按压方向)的位置离散。因此，所有探针81的接触端未必一定成为测试焊盘P的中央位置。因此，需要设置成所有探针81可稳定地接触到测试焊盘P的最佳状态。

通过如上所述那样在显示面板91上显示放大图像，即使在标准图像中探针81以及测试焊盘P变小且变细而难以进行识别的情况下，也易于放大显示探针81以及测试焊盘P来进行识别，所以可容易且正确地进行探针81相对于测试焊盘P的对位作业。

在上述初始设定中，一并登记第二照相机6b的视野内的预定位置的位置坐标。对于位置坐标，优选登记多个位置、特别是针对照相机的视野内的离开的对象，登记3个位置以上。由此，可以以高精度取得位置偏差信息。作为预定的对象，例如可选择承载带5中的对准标记55、位于TCP的对角线上的2个以上的测试焊盘P或具有特征的引导线(lead)、与它们对应的2个以上的探针81前端部等。

接着，参照图7的流程图，对使TCP处理机2实际动作而将几千个TCP依次交付到试验中时的TCP处理机2的主动作进行说明。另外，在本实施例中，对于探针板载物台7，使探针板8向在上述初始设定中登记的登记位置移动而成为固定状态，由微调整用的推进器载物台4进行依次移送的TCP的各试验前进行的位置偏差修正的微调整。但是，也可以代替推进器载物台4而使用使探针板载物台7微动的方法来进行该微调整。另外，假设为第二照相机6b在最初的阶段，通过照相机载物台61向图6(a)所示的摄影位置(对对准标记55和测试焊盘这双方进行摄影的位置)移动后，直到所有TCP的试验完成为止成为不动的状态，因此，仅根据该9点的测试焊盘P和探针81来修正位置偏差。

在TCP处理机2开始主动作时，探针板载物台7移动到在上述初始设定中登记的登记位置(步骤S01)。之后，需要对起因于每个TCP的移送系统和其他原因的微小的位置偏差进行修正。接着，通过使主带轮35b和张紧带轮35a旋转预定角度，从而使承载带5移动，将第一个TCP移送到吸附平台34的下侧的预定位置(步骤S02)。

在TCP被搬送到吸附平台34的下侧时，由推进器单元3的伺服电动机31进行驱动，经由推进器主体部33使吸附平台34沿Z轴下方向移动。此处，张紧带轮35a由于被附加承载带5的行进方向的相反方向的转矩，由此对承载带5施加预定的张力，所以承载带5变为不松弛的状态，承载带5的位置精度提高。吸附平台34吸附承载带5来使TCP成为保持固定状态，之后，下降到摄影位置(步骤S03)。

在该状态下第二照相机6b进行摄影(步骤S04)，向图像处理部件90发送所取得的图像数据。图像处理部件90接受所接收到的图像数据，使标准图像与各种信息(X坐标值、Y坐标值、倍率、推进器的位置信息等)一起显示在显示面板91上(步骤S05)，由此可由操作者进行确认。

然后，图像处理部件90通过运算求出测试焊盘P和探针81的位置偏差信息(位置偏差的方向(X轴方向/Y轴方向)以及位置偏差的量)(步骤S06)。为此，图像处理部件90首先确定对准标记55，根据该对准标记55的图像上的位置和照相机载物台61的载物台位置，求出该对准标记55的位置信息。根据该对准标记55的位置信息，能够求出承载带5自身的X轴方向以及Y方向的偏差。另外，各个测试焊盘P和探针81的位置关系是以对准标记55的位置为基准点的相对的位置关系。

根据作为观测对象的测试焊盘P和探针81前端部的重合状态来求出位置偏差信息，但对于观测对象的个数，优选在处理能力的范围内设定多个。另外，在还希望检测出θ旋转方向的偏差的情况下，优选将在标准图像中位于TCP的对角线上的至少2个位置、或相互远离的至少2个位置的测试焊盘P作为对象。

此处，当在位置偏差信息中存在无法忽视的程度的伴随探针81的变形的变形偏差量的情况下，也可以根据从多个观测对象取得的多个位置偏差信息，求出多个观测对象可稳定地接触的近似直线，从该近似直线取得针对X轴方向以及Y轴方向的最佳的修正量。

另外，通过应用高分辨率的照相机作为第二照相机6b，可清楚地取得多个观测对象的图像数据，其结果易于确定出更正确的修正量。另外，通过应用高分辨率的照相机，能够同时对TCP的宽区域进行摄像，所以可降低如以往那样使照相机载物台61移动来进行摄像的必要性，能够改善伴随移动时间的吞吐量的降低。此处，在应用以往的低分辨率的照相机的情况下，为了确保图像识别性，需要应用视野角窄的照相机，如果视野角窄则需要多个图像的摄影，其结果是产生取得的多个图像的重合处理和镜头失真等的图像修正所伴随的误差因素。此处，通过应用高分辨率的照相机，可取得宽视野角的图像，可降低上述误差要因，其结果是还可以对应于窄间距的TCP。

测试焊盘P和探针81的X轴方向以及Y轴方向的位置偏差量ΔD(Δx，Δy)是探针81和测试焊盘P接触的位置距离测试焊盘P的中心位置的相对的偏差量，图像处理部件90通过运算求出该位置偏差量ΔD(Δx，Δy)。如图6(b)的放大图像所示，作为位置偏差量ΔD，有X轴方向的偏差量Δx和Y轴方向的偏差量Δy。在探针81中存在偏移的情况下，也可以例如分别针对9点的探针81以及与其对应的测试焊盘P，求出X轴方向以及Y轴方向的位置偏差量ΔD(Δx，Δy)，根据所取得的9点的位置偏差量ΔD求出近似直线，根据该近似直线取得最准确的位置偏差量ΔD(Δx，Δy)。通过该近似直线，同时还取得θ旋转方向的位置偏差量。通过根据利用近似直线取得的位置偏差量ΔD来进行位置偏差修正，针对多个点的探针81和测试焊盘P，取得更稳定的接触状态。

接着，在上述中取得的位置偏差量ΔD中，第一，在判断为无需位置偏差修正的情况下(步骤S07-“否”)，跳转到后述的步骤S10。通过该跳转，能够改善试验的吞吐量。第二，在判断为需要位置偏差修正的情况下(步骤S07-“是”)，图像处理部件90在显示面板91上自动地显示引起大的位置偏差的探针81/测试焊盘P的放大图像(步骤S08)。然后，TCP处理机2根据引起上述那样的大的位置偏差的探针81与其他探针81的关系，求出可接触的最佳的移动量之后，对推进器载物台4进行驱动，执行位置偏差修正(步骤S09)。另外，也可以从上述的近似直线确定对X轴方向/Y轴方向的修正量，执行该修正。

在对位置偏差进行修正来进行对位时，使用以下的方法：使推进器载物台4的伺服电动机41a、41b、41c进行驱动来使顶板48、乃至推进器单元3动作，而使由吸附平台34吸附的承载带5沿X轴-Y轴方向移动和/或绕垂直轴进行旋转移动。另外，还可以使用以下的方法：由探针板载物台7的伺服电动机711、722、732进行驱动来使X基座72、Y基座73或护环735动作，由此使探针板8沿X轴-Y轴方向移动和/或绕垂直轴(θ旋转方向)进行旋转移动，但与探针板载物台7相比，推进器载物台4可以以更短的时间进行移动控制，所以使推进器载物台4移动的方法在吞吐量的观点是有利的。

如上所述，通过应用高分辨率的照相机作为第二照相机6b，即使照相机载物台61是固定状态，也可以清楚地对更多的观测对象进行摄像，所以即使是窄间距的TCP，也可以进行高精度的定位。另外，通过在显示面板91上显示引起位置偏差的探针81/测试焊盘P的放大图像，可以准确地把握/确定测试焊盘P与探针81的位置偏差的状况和形状的轮廓，并且可准确地确认位置偏差的修正。另外，在本实施例中，自动地进行位置偏差修正，但也可以通过手动操作来进行。在该情况下，通过放大图像的自动显示，可以迅速地把握位置偏差位置，准确且容易地进行位置偏差修正，所以可以提高试验的吞吐量。

接着，由推进器单元3的伺服电动机31进行驱动，经由推进器主体部33使吸附平台34进而沿Z轴下方向移动。吸附了承载带5的吸附平台34下降到接触位置，将TCP按压到探针板8的探针81(步骤S10)。

在按压后，根据期望，也可以原样保持接触状态，使吸附平台34向前后左右微小地摇动(scribe，划线)，或对吸附平台34施加超声波振动。另外，在该阶段中，根据期望，也可以追加如下的处理：对接触状态下的探针81/测试焊盘P的位置关系进行摄像，对于非接触时的位置偏差修正量，求出接触时的微小的接触偏差量。由于可以与试验执行并行地实施该追加处理，所以不会对吞吐量产生影响。然后，通过将取得的微小的接触偏差量加到下次以后的位置偏差修正量，可实现更稳定的接触。

在TCP的测试焊盘P接触到探针板81时，首先，对各测试焊盘P施加微小的直流电流，测定在TCP的内部电路(例如保护用的二极管)中有无流过电流和电流值，确认(接触检查)所有的测试焊盘是否电接触、以及有无邻接管脚(pin)间的短路(步骤S11)。在该接触检查中发生了接触不良的情况下，原样保持接触状态，并使吸附平台34向前后左右微小地摇动(划线)，或对吸附吸附平台34附加超声波振动，或使推进器主体部33上下移动来再次进行接触动作。在即使如此仍再次成为接触不良的情况下，判断为该TCP是不良品。此处，假设为难以确认接触时的接触电阻值是否大于可正常试验的容许电阻值。

之后，从测试主体通过测试头10对TCP施加测试信号，从TCP读出的应答信号通过测试头10被送到测试主体(步骤S12)。由此，对TCP的性能和功能等进行试验，针对TCP进行良品、不良品、等级(rank)区分等的判定。然后，判定为良品的TCP在被搬送到标记穿孔机26a的位置时，利用标记穿孔机26a附加是良品的标记，判定为不良品的TCP在被搬送到报废穿孔机26b的位置时，利用报废穿孔机26b进行打孔。另外，根据运用形态，有时不使标记穿孔机26a和报废穿孔机26b动作。

对于不良品的判定，有时基于TCP的测试焊盘P和探针81的接触不良，此时，也可以使照相机载物台61向有可能成为接触不良的探针81/测试焊盘P移动之后，在显示面板91上与该TCP的序号、该测试焊盘的序号、按压方向的距离值、X轴坐标值、Y轴坐标值等信息一起，自动地显示其放大图像。由此，可以准确地把握实际上产生接触不良的IC管脚的测试焊盘的状态。

在判断为产生接触不良的情况下(步骤S13-“是”)，第一，操作者可以通过手动操作，一边观察显示面板91的放大图像一边进行探针81的位置调整(步骤S14a)。由于可以一边观察放大图像一边进行该位置调整，所以可容易地进行。

第二，可以自动地再次进行试验(步骤S14b)。在该情况下，从测试主体接受与不良品的判定相关的测试焊盘的序号信息，针对与该信息对应的测试焊盘P及其周边的测试焊盘P，与上述同样地求出位置偏差量，在所求出的位置偏差量从正常的接触区域偏离的情况下，临时设为非接触状态，在使推进器载物台4向修正位置偏差的方向移动之后，设为接触状态，再次执行试验。通过该再次试验，存在TCP被判断为良品的情况。另外，可以根据上述的试验结果和接触检查的结果来抽取有可能成为接触不良的测试焊盘P的提取，。

在如上述那样TCP的试验结束时，由推进器单元3的伺服电动机31进行驱动，经由推进器主体部33使吸附平台34沿Z轴上方向移动，成为初始状态(步骤S15)。在将探针板载物台7应用于位置偏差修正的情况下，使其回到登记位置。然后，吸附平台34停止承载带5的吸附并释放承载带5，同时进而沿Z轴上方向移动(步骤S16)。

之后，TCP处理机2判断进行了试验的TCP是否为最后的器件(步骤S17)，在判断为是最后的器件的情况下(步骤S17-“是”)，结束主动作。另一方面，在判断为不是最后的器件的情况下(步骤S17-“否”)，返回步骤S02。

以上说明的实施例是为了容易地理解本发明而记载的实施例，并不是为了限定本发明而记载的。因此，在上述实施例中公开的各要素还包括属于本发明的技术范围内的所有的设计变更和均等物。

例如，对于图像处理部件90的图像放大处理功能，也可以应用高分辨率的照相机作为第二照相机6b并使该照相机具有该功能，也可以应用具有光学影像缩放(zoom)功能的照相机并根据来自图像处理部件90的指令进行影像缩放动作。

另外，也可以在显示装置9的画面上，对探针81的探针接触点和测试焊盘P的中央位置点进行重叠(overlay)显示。即，图像处理部件90对所接收到的图像数据进行处理，第一，提取出探针81的形状(外形或轮廓)，根据提取出的形状确定该探针81的突出端的位置(接触到测试焊盘P的探针接触点)。此处，假设为预先登记有与探针接触点的探针81的形状对应的位置关系。第二，提取出测试焊盘P的形状(外形或轮廓)，根据提取出的形状确定该测试焊盘P的中央位置点。然后，与所摄像的图像一起，将表示探针接触点的位置的标记和表示测试焊盘P的中央位置点的位置的标记重叠显示到显示面板91上。由此，操作者可清楚地把握测试焊盘P的中央位置点和探针接触点的偏差状态，所以可以准确地进行对位的调整作业。另外，根据期望，也可以将在上述中提取出的探针接触点以及测试焊盘P的中央位置点与对准标记55的位置信息一起保存到存储装置中，由此可利用于探针81的变形的识别和其他统计处理中。

另外，在上述的实施例中，说明了如下的单纯的情况：使照相机载物台61在最初的阶段移动到预定的位置(如图6(a)所示，对对准标记55和测试焊盘P这双方进行摄影的位置、或以对准标记55为基准的已知的位置)之后，直到所有TCP的试验结束为止使照相机载物台61保持不动，但在TCP中存在非常多的测试焊盘P的情况、或在要求更高的精度的定位的情况下，也可以使照相机载物台向多个测试焊盘P的对角线上的至少2个位置、或相互处于远端的至少2个位置的测试焊盘P依次移动，与上述同样地分别求出多个探针81和与其对应的测试焊盘P的位置偏差量ΔD(Δx，Δy)。此处，在对准标记55存在于多个位置的情况下，优选对对准标记55的某个位置进行摄像。而且，也可以根据在上述中求出的所有位置偏差量ΔD，使推进器载物台4或探针板8向取得稳定的接触的方向，沿X轴方向/Y轴方向/θ旋转方向移动。

另外，在上述的实施例中，说明了在首先确定对准标记55的位置之后进行正确的定位处理的例子，但在具有不要求正确的定位的大的测试焊盘等的TCP品种的情况下，也可以为了提高吞吐量，而省略上述的正确的定位处理。即，也可以是如下的试验形式：确定对准标记55的位置并计算出与预先登记的位置的偏差，在根据该位置偏差信息进行定位之后，直接执行试验。

另外，多根探针81有时伴随几千次～几万次的按压应力(stress)产生变形。因此，有时变为与TCP接触的所有探针81从所对应的各测试焊盘的中央位置错开的离散状态。因此，直到在任意的探针81中检测到接触不良为止，使探针板载物台7向X轴方向以及Y轴方向依次移动，确定有效移动区域。据此，确定当前的探针81的最佳位置(XY方向的中心位置和θ旋转量)。而且，也可以根据所确定的最佳位置，确定探针板8的登记位置。

另外，也可以全部自动地进行探针81和与其对应的测试焊盘P的粗略位置的确定以及基准位置(或基准移动量)的初始设定。即，使主带轮35b以及根据期望使探针板载物台7移动，并且使照相机载物台6移动，由第二照相机6b来确定与预定的TCP相关的对准标记55的位置，根据表示TCP和对准标记55的位置关系的已定的信息，确定该对准标记55的附近的多个位置(例如如图6(a)所示的9个位置)的探针81和与其对应的测试焊盘P的粗略位置。之后，也可以根据需要如图6(b)所示那样设为放大图像的状态，如上所述，根据多点的探针81/测试焊盘P求出位置偏差量来设定基准位置。在该情况下，可自动地进行最佳的定位，而无需操作者介入。

另外，也可以应用接触检查功能，预先求出与当前的探针板8对应的有效的移动区域(有效移动区域)。即，一边使探针板8或推进器载物台4沿X-Y平面方向以期望的移动量移动，一边对所有的探针和与其对应的测试焊盘的电接触状态进行检测，求出在哪个探针81中都不成为接触不良的有效移动区域。此处，还可以将期望的移动量设为固定的微小单位移动量，但优选进行二分搜索(binary search，二分法检索)，以少的移动次数来求出有效移动区域。另外，优选预先设定移动范围的限制，以防止探针81冲撞到TCP的凸部而导致它们受到损伤。根据所求出的有效移动区域，确定TCP和探针板8的最佳的粗略位置。另外，从有效移动区域还取得与X轴方向以及Y轴方向对应的裕度，所以可以把握探针板8中的所有探针81的变形状态，因此还可以将有效移动区域利用为该探针板8的维护信息。另外，优选将有效移动区域的信息保存在存储装置中。

另外，本发明的TCP处理装置也可以具有可通过电动机驱动进行移动控制的推进器载物台4，在该情况下，可以通过探针板载物台7的移动控制来进行位置偏差修正。

另外，本发明的TCP处理装置也可以是探针板载物台7不具有可通过电动机驱动进行移动控制的机构的手动调整机构。在该情况下，在初始的登记作业中，操作者一边通过显示装置9观察标准图像或放大图像，一边通过手动作业将探针板载物台7设置到登记位置。以后，可以通过推进器载物台4自动地进行位置偏差修正。

另外，针对试验执行的结果判断为不良品的TCP，也可以在原样维持当前的接触状态下，对探针81/测试焊盘P的位置关系进行摄像，在观察到超过预定的XY方向的最大容许偏离的位置偏差的情况下，在显示面板91上显示与该探针81相关的信息(位置偏差量、对应的测试焊盘P的序号、按压方向的距离值等)。由此，可自动地显示接触不良的可能性高的探针81以及测试焊盘P，可利用图像来确认它们的接触状态。

产业上的可利用性

本发明的TCP处理装置对减轻进行接触部的接触端子和TCP的外部端子的对位作业的操作者的负担是极其有用的。

Claims (14)

1.一种TCP处理装置，能够搬送在带上形成有多个TCP的承载带，向电连接到测试头的接触部按压承载带，使TCP的外部端子接触到上述接触部的接触端子，从而可将多个TCP依次交付到试验中，并且使用摄像装置对TCP的外部端子以及接触部的接触端子进行摄影，将取得的图像显示在显示装置上，其特征在于：

在上述显示装置上显示标准图像和放大图像，使得可以确定TCP的外部端子和接触部的接触端子的位置关系来进行定位，上述标准图像显示由摄像装置摄影的摄影对象物的全体，放大图像放大显示由摄像装置摄影的摄影对象物的一部分。

2.根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于：

上述摄像装置是即使在显示出放大图像的情况下也可以确定TCP的外部端子和接触端子的位置关系且可以进行两端子的定位的高分辨率的摄像装置。

3.根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于：

上述TCP处理装置具有：摄像载物台，该摄像载物台使上述摄像装置移动，使得可以对预定位置的TCP的外部端子以及接触部的接触端子进行摄影。

4.根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于：

上述TCP处理装置具有放大显示操作部件，并根据上述放大显示操作部件的操作对上述标准图像进行放大来作为放大图像。

5.根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于：

上述TCP处理装置在实际动作中在TCP的外部端子和接触部的接触端子之间存在位置偏差或接触不良的情况下，能够将该位置偏差或接触不良的位置作为放大图像自动地显示在上述显示装置上。

6.一种TCP处理装置，使设置在进行试验信号的收发的接触部的多个接触端子、和配设在承载带上的试验对象的TCP所具有的多个外部端子电接触来进行试验，其特征在于包括：

摄像装置，对接触端子和与该接触端子对应的TCP的外部端子进行摄像；

显示装置，根据期望对由上述摄像装置摄影的接触端子以及TCP的外部端子的图像进行处理并显示，其中

上述摄像装置具有影像缩放功能，在影像缩放状态下，具有能够确定接触端子和与该接触端子对应的TCP的外部端子的位置关系的分辨率。

7.根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于：

根据上述摄像装置摄影的多个接触端子以及与该接触端子对应的TCP的多个外部端子的图像数据，确定上述多个接触端子和与该接触端子对应的多个外部端子的位置偏差量。

8.根据权利要求7所述的TCP处理装置，其特征在于：

使上述摄像载物台移动，以使上述摄像装置能够对TCP所具有的多个外部端子中的位于对角线上的位置的至少2个位置、或相互远离的至少2个位置的外部端子进行摄像，

根据上述摄像装置摄影而取得的图像数据，确定上述至少2个位置的外部端子和与该外部端子对应的接触端子的位置偏差量，

根据上述位置偏差量，使承载带或接触端子组移动，使得能够取得稳定的接触。

9.根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于：

根据由上述摄像装置摄影而取得的图像数据，第一，提取出接触端子的形状，根据提取出的形状确定该接触端子与TCP的外部端子接触的接触点，第二，根据上述图像数据，提取出TCP的外部端子的形状，根据提取出的形状确定该外部端子的中央位置点，

将表示上述接触端子的接触点的标记和表示上述外部端子的中央位置点的位置的标记重叠显示在上述显示装置上。

10.根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于：

应用接触检查功能，一边使承载带或接触端子组沿平面方向移动，一边对所有的接触端子和与该接触端子对应的TCP的外部端子的电接触状态进行检测，求出在哪个接触端子都不成为接触不良而能有效地接触的有效移动区域，

根据上述有效移动区域，确定承载带以及接触端子组的最佳位置。

11.根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于：

应用接触检查功能，对所有的接触端子和与该接触端子对应的TCP的外部端子的电接触状态进行检测，

在检测出接触不良的情况下，使上述摄像装置向成为该接触不良的接触端子以及与该接触端子对应的外部端子的位置移动，对该接触不良部位进行摄影，将取得的图像显示在显示装置上。

12.根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于：

将上述摄像装置的位置信息、上述摄像装置的影像缩放倍率信息、以及与上述摄像装置进行摄像的TCP相关的信息的至少1种信息显示在显示装置上。

13.根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于：

根据在非接触状态下对接触端子以及与该接触端子对应的TCP的外部端子进行摄像而取得的非接触状态图像数据，确定上述接触端子和与该接触端子对应的外部端子的位置关系，

根据在试验实施的接触状态下对接触端子以及与该接触端子对应的TCP的外部端子进行摄像而取得的接触状态图像数据，确定上述接触端子和与该接触端子对应的外部端子的位置关系，

求出上述确定的两个位置关系的变化量，根据该变化量，对接触端子和与该接触端子对应的外部端子的位置偏差进行校正。

14.根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于：

对试验执行的结果判断为不良品的TCP，原样维持当前的接触状态，对所有的接触端子以及与该接触端子对应的外部端子进行摄像，根据取得的图像数据确定各位置偏差量，将超过预定的位置偏差量的最大容许偏离的接触端子以及与该接触端子对应的外部端子显示在上述显示装置上。

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