CN101260553A - 印制线路板的电镀装置 - Google Patents
印制线路板的电镀装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101260553A CN101260553A CNA2008100275282A CN200810027528A CN101260553A CN 101260553 A CN101260553 A CN 101260553A CN A2008100275282 A CNA2008100275282 A CN A2008100275282A CN 200810027528 A CN200810027528 A CN 200810027528A CN 101260553 A CN101260553 A CN 101260553A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wiring board
- side plate
- circuit board
- printed circuit
- electroplanting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 title abstract description 16
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 23
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Chemical compound data:image/svg+xml;base64,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 data:image/svg+xml;base64,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 [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound data:image/svg+xml;base64,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 data:image/svg+xml;base64,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 [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N cu2+ Chemical compound data:image/svg+xml;base64,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 data:image/svg+xml;base64,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 [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- 241000272168 Laridae Species 0.000 description 1
- 210000003491 Skin Anatomy 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Abstract
本发明公开了一种印制线路板的电镀装置，在电镀槽中设有相对的两个阳极，两个阳极与正电极电性连接，在电镀槽内两个阳极之间设有浮槽，在浮槽上设有与负电极连接的印制线路板；该浮槽包括两个侧板，线路板位于侧板之间，在两个侧板上均设有侧板孔。本发明对电镀槽中的电力线进行重新调整，线路板的电镀更均匀，电镀效果好。
Description
印制线路板的电镀装置
技术领域
本发明涉及一种印制线路板的电镀装置。 背景技术
现在的电子产品已逐渐向轻、薄、小的方向发展，使得电子产品的集成度不断提高，作 为电子产品中连接元器件的印制线路板，其导电图形、导通孔越来越密集，导线密度、间距 及导通孔径越来越小，这给印制线路板的生产带来严峻的挑战。在印制线路板的电镀过程中， 表层导体铜有一定的标准要求，而由于电镀槽中的电力线分布不均匀，特别是在整个电镀窗 口周边的电力线分布较为密集，所以线路板的周边镀铜比线路板中央厚，这一现象在高密度 印制线路板时更为突出，而镀铜厚度不均匀，影响到产品的加工质量，如在后续蚀刻工艺中， 无法准确的控制线宽公差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种电镀更为均匀的印制线路板的电镀装置。 本发明是通过以下技术方案来实现的：
一种印制线路板的电镀装置，在电镀槽中设有相对的两个阳极，两个阳极与正电极电性 连接，在电镀槽内两个阳极之间设有浮槽，在浮槽上设有与负电极连接的线路板；该浮槽包 括两个侧板，线路板位于侧板之间，在两个侧板上均设有侧板孔。在电镀过程中，铜离子从阳极向负极（即线路板）移动，而形成电力线分布，但由于在 电镀槽中电力线的分布不均匀而影响到电镀效果，在浮槽的侧板上设置侧板孔后，使线路板 底部的电力线重新分布，当电力线均匀分布后，电镀效果得到大幅改善，线路板的电镀更均 匀。
各所述侧板上的侧板孔为多个而形成排孔，各所述侧板上的侧板孔中，上部的所述侧板 孔的平均直径大于下部的所述侧板孔的平均直径。侧板孔的数量和直径与侧板的尺寸有关， 当侧板高度较低时，其上的侧板孔的数量相应减少。
所述两个侧板与所述线路板平行。
所述两个侧板与所述线路板之间的距离为75毫米至95毫米（较优值为85毫米）；所述 线路板与所述阳极的距离为d，所述侧板将所述线路板部分摭挡，所述侧板的最高点与所述 线路板的最低点之间的高度差为j，其中，0.34d<j<0.39d。当阴极与阳极的距离越大，浮 槽上侧板的尺寸也越大。
在所述电镀槽内，所述线路板与所述阳极之间设有阳极挡板。阳极挡板也起到电力线的 摭挡作用，使电镀槽中的电力线的分布尽可能达到理想状态。
两个所述阳极挡板分别靠近两个所述阳极，且各所述阳极挡板的最低点低于所述线路板 的最高点。此时，阳极挡板对线路板上部的电力线起到摭挡作用。
该电镀装置还包括有分流板，分流板位于所述线路板的侧边且与所述负电极电性连接； 所述分流板为两个且其尺寸相同，两个分流板分别位于所述线路板的纵向两侧；所述两个阳 极挡板的尺寸相同。在电镀过程中，线路板两侧的电力线较密，设置分流板之后，在两侧强 密度电力线的作用下，同时对两侧的分流板进行电镀，而线路板处电力线相对均匀，该结构可进一步对线路板两侧的电力线进行调整，以使线路板两侧的电力线分布均匀。
附图说明
图l是本发明的结构图； 图2是图1的俯视图；
图3是图1中，线路板与浮槽的连接结构图；
图4是线路板在电镀槽中的分布示意图；
图5是浮槽上侧板的结构图；
图6是阳极挡板结构图；
附图标记说明：
1、电镀槽，2、阳极，3、浮槽，4、线路板，5、侧板，6、侧板孔，7、阳极挡板，8、 分流板，9、挂具，10、飞巴，11、挂耳。
具体实施方式
如图1至图6所示， 一种印制线路板的电镀装置，在电镀槽1中设有相对的两个阳极2， 两个阳极2与正电极电性连接，在电镀槽l内两个阳极2之间设有浮槽3，在浮槽3上设有 与负电极连接的线路板4;该浮槽3包括两个侧板5，线路板4位于两个侧板5之间，在两个 侧板5上均设有侧板孔6。
其中，在电镀槽1上设有飞巴10 (即固定横梁），在飞巴10上设有挂具9,多个线路板 悬挂在挂具9上；两个侧板5与线路板4平行，各侧板5上的侧板孔6为多个而形成排孔，且侧板5上的侧板孔6中，上部的侧板孔6的平均直径大于下部的侧板孔6的平均直径；两 个侧板5与线路板4之间的距离为85毫米；线路板4与阳极2的距离为d，侧板5将线路板 4部分摭挡，侧板5的最高点与线路板4的最低点之间的高度差为j,其中，j=0. 372d。
在电镀槽1内，线路板4与阳极2之间设有阳极挡板7，两个阳极挡板7分别靠近两个 阳极2，且各阳极挡板7的最低点低于线路板4的最高点（阳极挡板7的两侧各设有一个挂 耳11，该阳极挡板7通过两侧的挂耳11挂在电镀槽1上）。
该电镀装置还包括有分流板8,分流板8位于线路板4的侧边且与负电极电性连接；分 流板8为两个且其尺寸相同，两个分流板8分别位于线路板4的纵向两侧，两个分流板8的 尺寸相同。
在电镀过程中，带正电的铜离子从阳极2向负极（即线路板4)移动，而形成电力线分 布，但由于在电镀槽1中电力线的分布不均匀而影响到电镀效果，为使电镀槽l中的电力线 分布均匀，本实施例所述电镀装置作如下主要改进：在浮槽3的侧板5上设置侧板孔6、在 电镀槽1内设置阳极挡板7、在线路板4的两侧设置分流板8,分别对线路板4的下部、上部、 左右两侧的较强密度的电力强进行摭挡或者分流，使电镀槽l中线路板4处的电力线分布更 均匀，电镀效果好。
Claims (10)
1、一种印制线路板的电镀装置，在电镀槽中设有相对的两个阳极，两个阳极与正电极电性连接，在电镀槽内两个阳极之间设有浮槽，在浮槽上设有与负电极连接的线路板；其特征在于，该浮槽包括两个侧板，线路板位于侧板之间，在两个侧板上均设有侧板孔。
2、 如权利要求l所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，各所述侧板上的侧板孔为多个而 形成排孔。
3、 如权利要求l所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，各所述侧板上的侧板孔中，上部 的所述侧板孔的平均直径大于下部的所述侧板孔的平均直径。
4、 如权利要求1所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，所述两个侧板与所述线路板平行。
5、 如权利要求4所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，所述两个侧板与所述线路板之间 的距离为75毫米至95毫米。
6、 如权利要求l所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，所述线路板与所述阳极的距离为 d,所述侧板将所述线路板部分摭挡，所述侧板的最高点与所述线路板的最低点之间的髙 度差为j，其中，0.34d<j<0.39d。
7、 如权利要求1至6中任一项所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，在所述电镀槽内， 所述线路板与所述阳极之间设有阳极挡板。
8、 如权利要求7所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，两个所述阳极挡板分别靠近两个 所述阳极，且各所述阳极挡板的最低点低于所述线路板的最高点。
9、 如权利要求1至6中任一项所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，该电镀装置还包括 有分流板，分流板位于所述线路板的侧边且与所述负电极电性连接。
10、 如权利要求9所述印制线路板的电镀装置，其特征在于，所述分流板为两个且其尺寸相同，两个分流板分别位于所述线路板的纵向两侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2008100275282A CN101260553A (zh) | 2008-04-18 | 2008-04-18 | 印制线路板的电镀装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2008100275282A CN101260553A (zh) | 2008-04-18 | 2008-04-18 | 印制线路板的电镀装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101260553A true CN101260553A (zh) | 2008-09-10 |
Family
ID=39961240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA2008100275282A Pending CN101260553A (zh) | 2008-04-18 | 2008-04-18 | 印制线路板的电镀装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101260553A (zh) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102220624A (zh) * | 2010-04-13 | 2011-10-19 | 竞陆电子(昆山)有限公司 | 印刷电路板电镀用二次挂具的固定结构 |
| CN102534733A (zh) * | 2010-12-24 | 2012-07-04 | 北大方正集团有限公司 | 电镀装置以及电镀方法 |
| CN102560609A (zh) * | 2010-12-24 | 2012-07-11 | 北大方正集团有限公司 | 电镀挂具及其制备方法 |
| CN102677135A (zh) * | 2011-03-17 | 2012-09-19 | 深圳市深联电路有限公司 | 高精密线路板完全包金边的电镀生产装置及方法 |
| CN102747400A (zh) * | 2012-07-06 | 2012-10-24 | 新疆西部宏远电子有限公司 | 均匀电流密度的电极箔化成方法及不均匀型网状绝缘板 |
| CN102828211A (zh) * | 2012-08-30 | 2012-12-19 | 东莞市五株电子科技有限公司 | 电镀方法 |
| CN103820838A (zh) * | 2014-03-12 | 2014-05-28 | 红板（江西）有限公司 | Pcb垂直电镀线薄铜挡板支架 |
| CN106149033A (zh) * | 2016-08-09 | 2016-11-23 | 安徽广德威正光电科技有限公司 | 一种用于增强pcb板电镀均匀性的电镀槽体 |
| CN107090589A (zh) * | 2017-06-07 | 2017-08-25 | 东莞市品升电子有限公司 | Pcb电镀装置及电镀厚度控制方法 |
| CN108374185A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-08-07 | 信丰福昌发电子有限公司 | 一种提高电镀镀铜均匀性的制作工艺 |
-
2008
- 2008-04-18 CN CNA2008100275282A patent/CN101260553A/zh active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102220624A (zh) * | 2010-04-13 | 2011-10-19 | 竞陆电子(昆山)有限公司 | 印刷电路板电镀用二次挂具的固定结构 |
| CN102534733A (zh) * | 2010-12-24 | 2012-07-04 | 北大方正集团有限公司 | 电镀装置以及电镀方法 |
| CN102560609A (zh) * | 2010-12-24 | 2012-07-11 | 北大方正集团有限公司 | 电镀挂具及其制备方法 |
| CN102677135A (zh) * | 2011-03-17 | 2012-09-19 | 深圳市深联电路有限公司 | 高精密线路板完全包金边的电镀生产装置及方法 |
| CN102677135B (zh) * | 2011-03-17 | 2014-09-03 | 深圳市深联电路有限公司 | 高精密线路板完全包金边的电镀生产装置及方法 |
| CN102747400A (zh) * | 2012-07-06 | 2012-10-24 | 新疆西部宏远电子有限公司 | 均匀电流密度的电极箔化成方法及不均匀型网状绝缘板 |
| CN102828211B (zh) * | 2012-08-30 | 2016-05-04 | 东莞市五株电子科技有限公司 | 电镀方法 |
| CN102828211A (zh) * | 2012-08-30 | 2012-12-19 | 东莞市五株电子科技有限公司 | 电镀方法 |
| CN103820838A (zh) * | 2014-03-12 | 2014-05-28 | 红板（江西）有限公司 | Pcb垂直电镀线薄铜挡板支架 |
| CN106149033A (zh) * | 2016-08-09 | 2016-11-23 | 安徽广德威正光电科技有限公司 | 一种用于增强pcb板电镀均匀性的电镀槽体 |
| CN107090589A (zh) * | 2017-06-07 | 2017-08-25 | 东莞市品升电子有限公司 | Pcb电镀装置及电镀厚度控制方法 |
| CN107090589B (zh) * | 2017-06-07 | 2022-03-08 | 陕西克莱铭节能科技有限公司 | Pcb电镀装置及电镀厚度控制方法 |
| CN108374185A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-08-07 | 信丰福昌发电子有限公司 | 一种提高电镀镀铜均匀性的制作工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101260553A (zh) | 印制线路板的电镀装置 | |
| CN201228289Y (zh) | 印制线路板的电镀装置 | |
| CN201525899U (zh) | 一种用于电路板电镀的夹板治具 | |
| CN102605397A (zh) | 电镀系统及电镀方法 | |
| CN102560609A (zh) | 电镀挂具及其制备方法 | |
| CN101914800B (zh) | 一种用于印制线路板的电镀挂架及电镀装置 | |
| CN204608185U (zh) | 一种电解铜箔生箔机 | |
| CN105696043A (zh) | 高纵横比镀铜均匀的方法 | |
| CN202610367U (zh) | 超声波振动电镀装置 | |
| CN201016123Y (zh) | 用于柔性电路板电镀工艺的阴极挡板结构 | |
| CN110760920B (zh) | 一种分割式阳极装置、电镀设备及提高镀层均匀度的方法 | |
| CN202881424U (zh) | 电镀用阳极挡板 | |
| CN101260550A (zh) | 一种电镀铜阴极挡板制造工艺及装置 | |
| CN201924097U (zh) | 电镀装置 | |
| CN107190307A (zh) | 电镀阳极装置 | |
| CN202017059U (zh) | 一种具有挡板的电镀设备 | |
| CN102534733A (zh) | 电镀装置以及电镀方法 | |
| CN206512300U (zh) | 电镀设备的阳极分割装置 | |
| CN105543940B (zh) | 一种提升vcp电镀线电镀均匀性的装置及方法 | |
| CN205669074U (zh) | Pcb板镀铜装置 | |
| CN201967249U (zh) | 一种大电流pcb板 | |
| CN201785520U (zh) | 在电镀槽内均匀喷流电镀液的电镀装置 | |
| CN202626338U (zh) | 一种非溶解性阳极 | |
| CN203683711U (zh) | 一种镀铜整流装置 | |
| CN103628120A (zh) | 电镀辅助板及应用其的电镀设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20080910 |