CN206512300U - 电镀设备的阳极分割装置 - Google Patents

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一种电镀设备的阳极分割装置,包括:一阳极杆,其上装设有至少二个的导电板;一阳极板,分解成至少二个的阳极区,其中,第一阳极区设于阳极板的中央部位,其后的阳极区则分别设于其前的阳极区的外缘外围部分,且相邻的阳极区之间不导电,再令各导电板其另一端分别耦接于阳极区;至少二个的分流供应器,其一端分别电性连接一主电流供应器,其另一端则分别耦接于导电板的一端;借此,可视阴极端待电镀的标的物的特性来设定阳极区,且各分流供应器可分别设定不同大小的电流以供应各阳极区,并使其产生相近的电镀速率,以改善电路板电镀层厚度的均匀效果。

Description

电镀设备的阳极分割装置
技术领域
[0001] 本实用新型是有关一种电镀设备,尤指阳极板分解成数个阳极区,可分别供应不 同大小的电流,借以改善电路板电镀均匀性的一种阳极分割装置。
背景技术
[0002]电镀制程主要是对镀件(例如:电路板)表面进行镀铜或镀银等表面处理,其利用 一吊挂于导电板上的挂具(Rack),来吊挂电路板至加工槽进行电镀加工作业。
[0003]图1及图2所示,是现有一种电镀系统80的示意图,其包括一个电镀槽81、整流器 82、 阳极杆83、阳极板S6、阴极杆84与挂具90,电镀槽81内装载有电镀液,用于对电路板P进 行电镀,整流器82的正、负极分别与阳极杆83与阴极杆84电性连接,阳极板86连接于阳极杆 83, 挂具9〇连接于阴极杆84,阳极板86与挂具90均设置在电镀槽81内,整流器82供电后,阳 极板86析出的金属离子在电流作用下沈积镀覆在该电路板P上,此时,该电路板p相当于阴 极。
[0004] 再按,电路板是在基板的表面上,对应配线图案来形成必要的电路布线,如此一 来,就可在电路板上密集地配置集成电路、电容器、电阻等各种电子组件。为了在基板上形 成电路布线,需要反复进行数次的电解电镀。此时,基板上电镀厚度的均匀与否,即代表了 电路板质量的好坏,因此,作业中能否满足电镀的均匀度,实为电镀制程中最重要的考虑。 [0005]但查,在电镀系统80中的阳极板86上会产生一种现象,也就是在阳极板86的周边 部分会形成高电流区,而在周边部分之外会形成低电流区,如此一来,高低电流的差异将产 生不同的电镀速率,将进而导致基板上的电镀厚度不均匀。因此,在电镀系统80的配置上, 仍有进一步的改善空间。 实用新型内容
[0006]本实用新型所要解决的主要技术问题在于,克服现有技术存在的上述缺陷,而提 供一种电镀设备的阳极分割装置,将阳极板分解成数个阳极区,可分别供应不同大小的电 流,借以改善电路板电镀均匀性。
[0007]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0008] —种电镀设备的阳极分割装置,包括:一阳极杆,其上装设有至少二个的夹持部, 而该夹持部为绝缘材料所制;至少二个的导电板,其一端分别固接在该夹持部;一阳极板, 分解成至少二个的阳极区,其中,第一阳极区设于该阳极板的中央部位,其后的阳极区则分 别设于其前的阳极区的外缘外围部分,且相邻的阳极区之间设有一框形的绝缘区,使各阳 极区之间不导电,再令各导电板其另一端分别耦接于该阳极区;以及至少二个的分流供应 器,其一端分别电性连接一主电流供应器,且由其供应一正极的直流电,其另一端则分别连 接该夹持部,并耦接于该导电板的一端;借此,各分流供应器可分别设定不同大小的电流以 供应各阳极区,并使其产生相近的电镀速率,以改善电路板电镀层厚度的均匀效果。
[0009]借助前揭特征,本实用新型将该阳极板分解成数个阳极区,且使各阳极区之间不 导电,再应用该数个分流供应器分别对各阳极区供应不同大小的电流,使各阳极区产生相 近的电镀速率,进而达到厚度均匀的电镀层。
[0010]本实用新型的有益效果是,将阳极板分解成数个阳极区,可分别供应不同大小的 电流,借以改善电路板电锻均匀性。
附图说明
[0011]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0012]图1是现有电镀系统的正面示意图。
[0013]图2是现有电镀系统的侧面剖示图。
[0014]图3是本实用新型阳极板的分解示意图。
[0015]图4是本实用新型阳极板的组立示意图。
[0016]图5是本实用新型阳极分割装置的示意图。
[0017] 图中标号说明:
[0018] 10:阳极板
[0019] 10a:第一阳极区
[0020] 10b:第二阳极区
[0021] 10c:第三阳极区
[0022] 11:绝缘区
[0023] 20:导电板
[0024] 20a:第一导电板
[0025] 20b:第二导电板
[0026] 20c:第三导电板
[0027] 21:阳极杆
[0028] 22:夹持部
[0029] 30:主电流供应器
[0030] 30a:第一分流供应器
[0031] 30b:第二分流供应器
[0032] 30c:第三分流供应器
具体实施方式
[0033]首先,请参阅图3所示,为本实用新型阳极板10的分割结构,其是将阳极板i0分解 成数个的阳极区,本较佳实施例分解成3个阳极区,包括:一第一阳极区10a、一第二阳极区 l〇b、以及一第三阳极区10c;其中,该第一阳极区10a设于该阳极板10的中央部位,该第二阳 极区10b则设于该第一阳极区10a的外缘外围部分,而该第三阳极区l〇c又设于该第二阳极 区l〇b的外缘外围部分;同时,相邻的阳极区如该第一与第二阳极区l〇a/l〇b之间、及该第二 与第三阳极区10b/10c之间设有一框形的绝缘区11,以构成组立的阳极板10其各阳极区 l〇a/10b及10b/l〇C之间不导电。本较佳实施例中,该阳极板10由网板所构成,使其表面具有 无数的流通孔,但不限定于此,平板亦可实施。
[0034] 请进一步参阅图4所示,为本实用新型阳极板10的组立结构,其中,该第一阳极区 10a位卞该m极板1〇的中央部位,该第二阳极区1〇b则设于其外围,且两个阳极区1〇£1/1仙之 间设有一绝缘区11,而该第三阳极区10c又设于其外围,且两个阳极区1〇b/1〇c之间亦设有 一绝缘区11;数个导电板20,本较佳实施例设成3个导电板,包括:一第一导电板2〇a、一第二 导电板20b、以及一第三导电板2〇c;其一端分别固接在一夹持部22,而另一端则分别耦接于 该阳极区,亦即,该第一导电板20a耦接于该第一阳极区10a,该第二导电板2〇b耦接于该第 二阳极区l〇b,该第三导电板20c耦接于该第三阳极区10c。同时,当导电板2〇导入电流后,由 于绝缘区11的设置,将使各阳极区l〇a/l〇b及i〇b/i〇c之间不导电。
[0035] i图5所示,为本实用新型阳极分割装置1〇〇的结构,包括:一阳极杆以,其上装设有3 个夹持部22,而该夹持部22为绝缘材料所制;一阳极板10,分解成3个阳极区,即第一阳极区 1(^」第二阳极区l〇b、以及第三阳极g10c;其中,该第一阳极区10a位于该阳极板1〇的中央 ^位,该第二阳极区10b则设于其外围,且两个阳极区10a/10b之间设有一绝缘区i丨,而该第 三阳极区10c又设于其外围,且两个阳极区10b/10c之间亦设有一绝缘区u ;3个导电板2〇, 即第二导电板20a、第二导电板20b、以及第三导电板2〇c,其一端分别固接在该夹持部22,而 另一端则分别耦接于该阳极区,亦即,该第一导电板2〇a耦接于该第一阳极区丨0a,该第二导 电板20b耦接于该第二阳极区10b,该第三导电板2〇c耦接于该第三阳极区1〇c。
[0036] 3个分流供应器,即第一分流供应器3〇a、第二分流供应器3〇b、以及第三分流供应 器30c,其一端分别电性连接一主电流供应器30,且由其供应一正极的直流电,其另一端则 耦接于各该导电板20a/20b/20c的一端。本实用新型中,各分流供应器30a/30b/30c可分别 设定不同大小的电流以供应各阳极区l〇a/10b/10c,而本较佳实施例中,该第一分流供应器 30a的直流电流经由该第一导电板2〇a送至该第一阳极区10a,该第二分流供应器30b的直流 电流则经由该第二导电板2〇b送至该第二阳极区l〇b,而该第三分流供应器30c的直流电流 又经由该第三导电板2〇c送至该第三阳极区10c。如此配置,将使各阳极区1〇a/l〇b/1〇c产生 相近的电镀速率,进而使被电镀的电路板达到厚度均匀的电镀层。
[0037]本较佳实施例中,该阳极板10分解成3个阳极区l〇a/1〇b/l〇c,而该导电板20与分 流供应器亦对应配置成3个,g卩20a/20b/2〇c与3〇a/3〇b/30c,但不在此限,亦即本实用新型 可视阴极端待电镀的标的物的特性与电镀条件来设定阳极板10的阳极区,将该阳极板10分 解成3个以上的阳极区l〇n,而该导电板2〇与分流供应器亦需对应配置成3个以上,g卩20n与 30n,以满足电镀均匀度的需求。
[0038]由于本实用新型是将该阳极板10分解成3个阳极区l〇a/l〇b/l〇c,且使各阳极区之 间不导电,再应用3个分流供应器30a/30b/30c分别供应不同大小的电流,使各阳极区l〇a/ 10b/10C产生相近的电镀速率,因此本实用新型可以改善电路板电镀厚度的均匀度。
[0039] 以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上 的限制,凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与 修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
[0040] 综上f斤述,本实用新型在结构设计、使用实用性及成本效益上,完全符合产业发展 所需,且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造,具有新颖性、创造性、实用性,符合有 关实用新型专利要件的规定,故依法提起申请。

Claims (2)

1.一种电镀设备的阳极分割装置,其特征在于,包括: 一阳极杆,其上装设有至少二个的夹持部,而该夹持部为绝缘材料所制; 至少二个的导电板,其一端分别固接在该夹持部; ’ 一阳极板,分解成至少二个的阳极区,其中,第一阳极区设于该阳极板的中央部位,其 后的阳极区则分别设于其前的阳极区的外缘外围部分,且相邻的阳极区之间设有一框形的 绝缘区,使各阳极区之间不导电,再令各导电板其另一端分别耦接于该阳极区;以及 至少一•个的分流供应器,其一'端分别电性连接一主电流供应器,且由其供应一正极的 直流电,其另一端则分别连接该夹持部,并耦接于该导电板的一端; 借此,各分流供应器可分别设定不同大小的电流以供应各阳极区,并使其产生相近的 电镀速率,以改善电路板电镀层厚度的均匀效果。
2.根据权利要求1所述的电镀设备的阳极分割装置,其特征在于,所述阳极板由网板或 平板所构成。
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CN110760920A (zh) * 2019-11-28 2020-02-07 上海戴丰科技有限公司 一种分割式阳极装置、电镀设备及提高镀层均匀度的方法
WO2021227853A1 (zh) * 2020-05-09 2021-11-18 京东方科技集团股份有限公司 电极结构、电化学沉积设备及其电化学沉积方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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