CN206512300U - 电镀设备的阳极分割装置 - Google Patents
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Abstract
一种电镀设备的阳极分割装置，包括：一阳极杆，其上装设有至少二个的导电板；一阳极板，分解成至少二个的阳极区，其中，第一阳极区设于阳极板的中央部位，其后的阳极区则分别设于其前的阳极区的外缘外围部分，且相邻的阳极区之间不导电，再令各导电板其另一端分别耦接于阳极区；至少二个的分流供应器，其一端分别电性连接一主电流供应器，其另一端则分别耦接于导电板的一端；借此，可视阴极端待电镀的标的物的特性来设定阳极区，且各分流供应器可分别设定不同大小的电流以供应各阳极区，并使其产生相近的电镀速率，以改善电路板电镀层厚度的均匀效果。
Description
技术领域
本实用新型是有关一种电镀设备，尤指阳极板分解成数个阳极区，可分别供应不同大小的电流，借以改善电路板电镀均匀性的一种阳极分割装置。
背景技术
电镀制程主要是对镀件(例如：电路板)表面进行镀铜或镀银等表面处理，其利用一吊挂于导电板上的挂具(Rack)，来吊挂电路板至加工槽进行电镀加工作业。
图1及图2所示，是现有一种电镀系统80的示意图，其包括一个电镀槽81、整流器82、阳极杆83、阳极板86、阴极杆84与挂具90，电镀槽81内装载有电镀液，用于对电路板P进行电镀，整流器82的正、负极分别与阳极杆83与阴极杆84电性连接，阳极板86连接于阳极杆83，挂具90连接于阴极杆84，阳极板86与挂具90均设置在电镀槽81内，整流器82供电后，阳极板86析出的金属离子在电流作用下沈积镀覆在该电路板P上，此时，该电路板P相当于阴极。
再按，电路板是在基板的表面上，对应配线图案来形成必要的电路布线，如此一来，就可在电路板上密集地配置集成电路、电容器、电阻等各种电子组件。为了在基板上形成电路布线，需要反复进行数次的电解电镀。此时，基板上电镀厚度的均匀与否，即代表了电路板质量的好坏，因此，作业中能否满足电镀的均匀度，实为电镀制程中最重要的考虑。
但查，在电镀系统80中的阳极板86上会产生一种现象，也就是在阳极板86的周边部分会形成高电流区，而在周边部分之外会形成低电流区，如此一来，高低电流的差异将产生不同的电镀速率，将进而导致基板上的电镀厚度不均匀。因此，在电镀系统80的配置上，仍有进一步的改善空间。
实用新型内容
本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种电镀设备的阳极分割装置，将阳极板分解成数个阳极区，可分别供应不同大小的电流，借以改善电路板电镀均匀性。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种电镀设备的阳极分割装置，包括：一阳极杆，其上装设有至少二个的夹持部，而该夹持部为绝缘材料所制；至少二个的导电板，其一端分别固接在该夹持部；一阳极板，分解成至少二个的阳极区，其中，第一阳极区设于该阳极板的中央部位，其后的阳极区则分别设于其前的阳极区的外缘外围部分，且相邻的阳极区之间设有一框形的绝缘区，使各阳极区之间不导电，再令各导电板其另一端分别耦接于该阳极区；以及至少二个的分流供应器，其一端分别电性连接一主电流供应器，且由其供应一正极的直流电，其另一端则分别连接该夹持部，并耦接于该导电板的一端；借此，各分流供应器可分别设定不同大小的电流以供应各阳极区，并使其产生相近的电镀速率，以改善电路板电镀层厚度的均匀效果。
借助前揭特征，本实用新型将该阳极板分解成数个阳极区，且使各阳极区之间不导电，再应用该数个分流供应器分别对各阳极区供应不同大小的电流，使各阳极区产生相近的电镀速率，进而达到厚度均匀的电镀层。
本实用新型的有益效果是，将阳极板分解成数个阳极区，可分别供应不同大小的电流，借以改善电路板电镀均匀性。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是现有电镀系统的正面示意图。
图2是现有电镀系统的侧面剖示图。
图3是本实用新型阳极板的分解示意图。
图4是本实用新型阳极板的组立示意图。
图5是本实用新型阳极分割装置的示意图。
图中标号说明：
10：阳极板
10a：第一阳极区
10b：第二阳极区
10c：第三阳极区
11：绝缘区
20：导电板
20a：第一导电板
20b：第二导电板
20c：第三导电板
21：阳极杆
22：夹持部
30：主电流供应器
30a：第一分流供应器
30b：第二分流供应器
30c：第三分流供应器
具体实施方式
首先，请参阅图3所示，为本实用新型阳极板10的分割结构，其是将阳极板10分解成数个的阳极区，本较佳实施例分解成3个阳极区，包括：一第一阳极区10a、一第二阳极区10b、以及一第三阳极区10c；其中，该第一阳极区10a设于该阳极板10的中央部位，该第二阳极区10b则设于该第一阳极区10a的外缘外围部分，而该第三阳极区10c又设于该第二阳极区10b的外缘外围部分；同时，相邻的阳极区如该第一与第二阳极区10a/10b之间、及该第二与第三阳极区10b/10c之间设有一框形的绝缘区11，以构成组立的阳极板10其各阳极区10a/10b及10b/10c之间不导电。本较佳实施例中，该阳极板10由网板所构成，使其表面具有无数的流通孔，但不限定于此，平板亦可实施。
请进一步参阅图4所示，为本实用新型阳极板10的组立结构，其中，该第一阳极区10a位于该阳极板10的中央部位，该第二阳极区10b则设于其外围，且两个阳极区10a/10b之间设有一绝缘区11，而该第三阳极区10c又设于其外围，且两个阳极区10b/10c之间亦设有一绝缘区11；数个导电板20，本较佳实施例设成3个导电板，包括：一第一导电板20a、一第二导电板20b、以及一第三导电板20c；其一端分别固接在一夹持部22，而另一端则分别耦接于该阳极区，亦即，该第一导电板20a耦接于该第一阳极区10a，该第二导电板20b耦接于该第二阳极区10b，该第三导电板20c耦接于该第三阳极区10c。同时，当导电板20导入电流后，由于绝缘区11的设置，将使各阳极区10a/10b及10b/10c之间不导电。
图5所示，为本实用新型阳极分割装置100的结构，包括：一阳极杆21，其上装设有3个夹持部22，而该夹持部22为绝缘材料所制；一阳极板10，分解成3个阳极区，即第一阳极区10a、第二阳极区10b、以及第三阳极区10c；其中，该第一阳极区10a位于该阳极板10的中央部位，该第二阳极区10b则设于其外围，且两个阳极区10a/10b之间设有一绝缘区11，而该第三阳极区10c又设于其外围，且两个阳极区10b/10c之间亦设有一绝缘区11；3个导电板20，即第一导电板20a、第二导电板20b、以及第三导电板20c，其一端分别固接在该夹持部22，而另一端则分别耦接于该阳极区，亦即，该第一导电板20a耦接于该第一阳极区10a，该第二导电板20b耦接于该第二阳极区10b，该第三导电板20c耦接于该第三阳极区10c。
3个分流供应器，即第一分流供应器30a、第二分流供应器30b、以及第三分流供应器30c，其一端分别电性连接一主电流供应器30，且由其供应一正极的直流电，其另一端则耦接于各该导电板20a/20b/20c的一端。本实用新型中，各分流供应器30a/30b/30c可分别设定不同大小的电流以供应各阳极区10a/10b/10c，而本较佳实施例中，该第一分流供应器30a的直流电流经由该第一导电板20a送至该第一阳极区10a，该第二分流供应器30b的直流电流则经由该第二导电板20b送至该第二阳极区10b，而该第三分流供应器30c的直流电流又经由该第三导电板20c送至该第三阳极区10c。如此配置，将使各阳极区10a/10b/10c产生相近的电镀速率，进而使被电镀的电路板达到厚度均匀的电镀层。
本较佳实施例中，该阳极板10分解成3个阳极区10a/10b/10c，而该导电板20与分流供应器亦对应配置成3个，即20a/20b/20c与30a/30b/30c，但不在此限，亦即本实用新型可视阴极端待电镀的标的物的特性与电镀条件来设定阳极板10的阳极区，将该阳极板10分解成3个以上的阳极区10n，而该导电板20与分流供应器亦需对应配置成3个以上，即20n与30n，以满足电镀均匀度的需求。
由于本实用新型是将该阳极板10分解成3个阳极区10a/10b/10c，且使各阳极区之间不导电，再应用3个分流供应器30a/30b/30c分别供应不同大小的电流，使各阳极区10a/10b/10c产生相近的电镀速率，因此本实用新型可以改善电路板电镀厚度的均匀度。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
综上所述，本实用新型在结构设计、使用实用性及成本效益上，完全符合产业发展所需，且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造，具有新颖性、创造性、实用性，符合有关实用新型专利要件的规定，故依法提起申请。
Claims (2)
1.一种电镀设备的阳极分割装置，其特征在于，包括：
一阳极杆，其上装设有至少二个的夹持部，而该夹持部为绝缘材料所制；
至少二个的导电板，其一端分别固接在该夹持部；
一阳极板，分解成至少二个的阳极区，其中，第一阳极区设于该阳极板的中央部位，其后的阳极区则分别设于其前的阳极区的外缘外围部分，且相邻的阳极区之间设有一框形的绝缘区，使各阳极区之间不导电，再令各导电板其另一端分别耦接于该阳极区；以及
至少二个的分流供应器，其一端分别电性连接一主电流供应器，且由其供应一正极的直流电，其另一端则分别连接该夹持部，并耦接于该导电板的一端；
借此，各分流供应器可分别设定不同大小的电流以供应各阳极区，并使其产生相近的电镀速率，以改善电路板电镀层厚度的均匀效果。
2.根据权利要求1所述的电镀设备的阳极分割装置，其特征在于，所述阳极板由网板或平板所构成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621180972.4U CN206512300U (zh) | 2016-10-27 | 2016-10-27 | 电镀设备的阳极分割装置 |
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| CN201621180972.4U CN206512300U (zh) | 2016-10-27 | 2016-10-27 | 电镀设备的阳极分割装置 |
Publications (1)
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| CN206512300U true CN206512300U (zh) | 2017-09-22 |
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ID=59861148
Family Applications (1)
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| CN201621180972.4U Active CN206512300U (zh) | 2016-10-27 | 2016-10-27 | 电镀设备的阳极分割装置 |
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|---|---|
| CN (1) | CN206512300U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110760920A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-02-07 | 上海戴丰科技有限公司 | 一种分割式阳极装置、电镀设备及提高镀层均匀度的方法 |
| WO2021227853A1 (zh) * | 2020-05-09 | 2021-11-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 电极结构、电化学沉积设备及其电化学沉积方法 |
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2016
- 2016-10-27 CN CN201621180972.4U patent/CN206512300U/zh active Active
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| CN110760920B (zh) * | 2019-11-28 | 2021-11-23 | 上海戴丰科技有限公司 | 一种分割式阳极装置、电镀设备及提高镀层均匀度的方法 |
| WO2021227853A1 (zh) * | 2020-05-09 | 2021-11-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 电极结构、电化学沉积设备及其电化学沉积方法 |
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