CN101225924A - 用于高压输送系统的故障防护的真空促动阀 - Google Patents

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Abstract

提供了具有故障防护真空促动阀的高压存储和输送系统。特别地，通过本发明的真空促动止回阀设计，系统可以适应直至三倍于类似尺寸的气瓶中的产品量。

Description

用于高压输送系统的故障防护的真空促动阀
技术领域
本发明涉及具有故障防护真空促动阀的高压存储和输送系统，以防止流体从例如加压气瓶或罐的容器内的有害排放。更特定地，本发明涉及设计为适应输送系统内的高产品体积和在阀下游侧施加预先确定的真空条件时分配产品的故障防护阀。
背景技术
工业加工和制造应用要求使用高度有毒的流体。半导体材料制造代表了一个这样的应用，其中安全的存储和处理高度地有毒的氢化物的(hydridic)或卤化物的(halidic)气体变得是必需的。这样的气体的例子包括硅烷、锗烷、氨、磷化氢、砷化氢、锑化氢、硫化氢、硒化氢、碲化氢、三氟化磷、五氟化砷和其他卤化物化合物。作为对毒性和安全的考虑的结果，在工业加工设备中必须小心地存储和处理这些气体。半导体工业特别地依赖于气态砷的氢化物(AsH3)和磷的氢化物(PH3)、三氟化硼(BF3)、四氟化硅作为离子植入中的砷(As)、磷(P)、硼(B)和硅(Si)的源。离子植入系统典型地使用在输送容器内存储在高至800psig的压力下AsH3和PH3的稀释混合物，和在输送容器内存储在高至1500psig的压力下的例如BF3和SiF4的纯气体。由于它们的极度毒性和高的蒸气压，它们的使用、运输和存储对于半导体工业增加了显著的安全性问题。
为解决多种安全性问题，开发了多个系统以将这些氢化物的和卤化物的化合物在低于大气压条件下输送到离子植入工具。例如，已知为SDSTM的和由ATMI，Inc销售的化学系统涉及以物理吸附剂材料(珠粒活性碳)填充压缩气体气瓶且可逆地将掺杂剂气体吸附到材料上。解除吸附过程涉及将真空或热施加到吸附剂材料/气瓶。在实践中，来自离子植入器的真空用于将气体从固相吸附剂解除吸附。存在某些与SDS技术相关的限制，限制包括：1)吸附剂材料具有有限的装载量，因此限制了在给定尺寸的气瓶内可获得的产品的量；2)解除吸附过程可以通过将气瓶包装暴露于热而初始，因此导致当气瓶暴露于大于70华氏度的温度时达到大气压和超大气压且在该压力下输送气体，这在许多气瓶库存位置和离子植入工具内是通常的温度；3)因为在吸附剂材料上的其他材料/气体的吸附/解除吸附可能危及从气瓶输送的气体的纯度；4)气瓶百分比利用高度地受到施加到包装的真空程度的影响，即气瓶经常以明显的剩余在包装内的产品返回；和5)吸附剂磨损可能导致在气体输送系统内的微粒污染。
另外地，已开发多个机械系统以用于低于大气压下的掺杂剂气体的输送。一些涉及使用压力调节器，而其他的要求阀设备来在低于大气压下控制和输送产品。这些设备设定为当低于大气压或真空条件施加到气瓶的输送口时输送或打开。这些设备的准确位置可以在口主体内、在颈腔内、在气瓶自身内部或所有三个位置的组合。在每个情况中，压力调节器或阀设备位于气瓶阀座的相对于气体从气瓶内部到输送口流动的上游。
美国专利No 6,089,027和No 6,101,816都涉及包括用于保持希望的压力的容器的流体存储和分配系统。容器包括压力调节器，例如与容器口相关的且设定在预先确定的压力下的单级或多级调节器。例如包括诸如阀的流动控制装置的分配组件布置为与调节器气体/蒸气流动连通，以此阀的打开实现了气体/蒸气从容器的分配。容器内的流体可以由液体形成，该液体在例如环境温度(室温)的主要温度条件下在超过其液化压力的压力下限制在容器内。
美国专利No 6,857,442 B2披露了其中源容器包含从20到2000psig的范围内的压力下的气体的气体分配组件。该设备要求带有大于典型的颈部开口的高压气体气瓶以适应将两个压力调节器串联地沿流体排放路径引入。在入口气体侧的第一调节器将压力从1000psig(或此时容器内的实际压力)降低到100psig，而第二调节器将压力从100psig降低到低于大气压。
美国专利No 5,937,895涉及流体存储和分配容器，容器具有分配阀和流体限制设备以提供实际上故障防护的系统以防止流体从加压气瓶或罐内的有害排放。美国专利No 6,007,609和No 6,405,115披露了沿流体流动路径布置的流限制器，限制器提供了在不太可能的分配阀失效的情况下最小化了从压缩气体气瓶的有毒气体排放的毛细尺寸的开口。此后三个文档的披露提供了用于低于大气压的输送系统，其中波纹管室位于阀座的相对于通过阀的气体流动的下游。
与相关技术的存储和输送系统相关的缺点是它们不能处理高于600psig的气瓶填充压力，或如处理则要求两个串联的设备。例如，当砷化氢和磷化氢气瓶包装作为液化流体填充时，这些流体的内部压力限制为其各自的蒸气压，该蒸气压在70华氏度的温度下典型地在大约205至大约580psig的范围内。然而，例如三氟化硼的流体和四氟化硅流体作为气相产品填充，且要求的气瓶填充压力为600psig或更高。特别地，相关技术的系统不能在大于600psig的压力下工作，因为来自波纹管的推力不足。
在目前的系统中的另一个缺点是它们不能适应更高的流体产品容量，且因此要求频繁地替换气瓶包装。这又导致频繁地换出产品气瓶和对于半导体制造商的增加的停工时间。
进一步地，当前的利用了分配止回阀的系统要求在组装阀前必须进行调节处理波纹管以去除残余应力。特别地，分配阀通过广泛的升高的温度和压力体系以氮气循环。作为结果，不锈钢波纹管在调节过程期间暴露于热极限和压力极限。
为克服相关技术的缺点，本发明的目的是提供用于存储和输送处于气态和/或部分地气态/液化相的流体的系统，其中流体在高于600psig的压力下存储。特别地，分配阀包括充填的波纹管室，且波纹管由提供了合适的轴向推力以克服气瓶/罐内的压力的材料制成。
本发明的另一个目的是增加气瓶/罐的容量而不改变气瓶/罐或包括口主体的气瓶阀头的尺寸。以此方式可以在气瓶/罐内容纳更高的气体量。作为结果，实现了降低客户的过程可变性和生产率的提高。此外，通过具有更少的气瓶/罐换出，以此降低了半导体制造工具的停工时间，获得了经济和安全益处。
本发明的进一步的目的是消除阀的调节，这是费力的过程。
本领域一般技术人员在阅读了说明书、附图和附带的权利要求书后将清楚本发明的其他目的和方面。
发明内容
根据本发明的方面，提供了用于控制加压流体从包含氢化物的或卤化物的化合物的加压罐的出口排出的系统。设备包括用于保持气相或部分气相的加压流体的罐；用于与限定了流体排放路径的加压罐的出口连通的口主体；固定在口主体内或上游的且适合于在阻断了流体通过流体排放路径的流动的密封位置和允许流体沿流体路径的打开位置之间移动的阀元件；布置在阀元件下游的壳体内的波纹管室，其中波纹管室被充填且密封到范围从大约14.7psia至大约50psia的压力，波纹管由从包括如下项的组中选择的材料制成：时效(age)硬化的钢合金、时效硬化的镍基合金和铜铍合金；且其中波纹管室与阀元件下游的流体排放路径的部分连通，以当与排放路径的连通在壳体内产生了真空条件时将阀元件移动到打开位置。
根据本发明的另一个方面，提供了气瓶和阀组件以包含加压流体且控制来自气瓶的加压流体的排放。气瓶和阀组件包括：具有气瓶开口的气瓶；具有适合于与气瓶开口密封接合的口主体的气瓶阀；由口主体限定的且位于气瓶内的流体入口；由口主体限定的且位于气瓶外侧的流体出口；由口主体限定的在流体入口和流体出口之间的流体排放路径；手动或自动操作的用于控制沿流体排放路径的流体流动的切断阀；和真空促动的止回阀，止回阀包括偏置到阻断了流体沿流体排放路径流动的密封位置的阀元件和充填且密封到从大约14.7psia到大约50psia的压力范围的沿流体排放路径位于阀元件下游的波纹管室，波纹管由从包括如下项的组中选择的材料制成：时效硬化的钢合金、时效硬化的镍基合金和铜铍合金；且其中波纹管室具有相对于真空促动止回阀的主体固定的一个部分和当波纹管的内部和外部之间的相对压力使波纹管膨胀且将阀元件偏置在打开位置以允许流体沿流体排放路径流动时可运行地链接到阀元件的另一个部分。
根据本发明的再另一个方面，提供了真空促动止回阀的波纹管组件。止回阀包括布置在真空促动止回阀壳体内的波纹管室，其中波纹管被充填且密封到范围从14.7psia到50psia的压力，且其中波纹管由从包括如下项的组中选择的材料制成：时效硬化的钢合金、时效硬化的镍基合金和铜合金。波纹管室响应于室内在波纹管外部上的真空条件以使波纹管以至少4lbf的推力膨胀。
附图说明
本发明的目的和优点将从如下结合附图对本发明的优选实施例的详细描述中更好地理解，所有附图中类似的数字指示了相同的特征，各图为：
图1图示了用于存储和控制从其分配加压流体的系统的示意性截面视图；
图2描绘了具有布置在其内的真空促动止回阀的阀头组件的放大的示意性截面视图；
图3是根据本发明的典型实施例的波纹管组件/室的示意性视图；
图4描绘了根据典型实施例的内部流动限制器的示意性截面视图；
图5是现有技术的波纹管组件/室的示意性视图；和
图6图示了对于合并了本发明的波纹管室的止回阀的测试结果，其中系统以氮在1230psig下加压。
具体实施方式
本发明提供了低压或低于大气压存储和输送系统作为用于涉及例如离子植入的半导体加工的应用的气体供给源。系统控制了以气相或部分地气相存储的加压流体的排放。为解释目的，本发明进一步在上下文中以输送三氟化硼描述。然而，本领域一般技术人员将理解的是，可以利用任何例如富含三氟化硼(即11BF3)、硅烷、氟或四氟化硅的氢化物的或卤化物的化合物。
如在图1中图示，图中描绘了用于存储和输送加压和有毒流体的系统10。系统10包括包含了气相或部分地气相的三氟化硼的高压气瓶或罐12。压缩气体气瓶可以是常规的500cc的气瓶，例如Department ofTransportation 3AA cylinder所批准的气瓶，但不限制于此。气瓶阀头14可螺纹地接合在气瓶12的顶端处。气瓶阀头14可以是双口316的不锈钢阀，例如由Ceodeux，Inc制造的。双口阀气瓶头14具有抗干扰(tamperresistant)的填充口16，通过它将气瓶12填充以产品。当填充时，使用者可以通过使用者口18将产品从气瓶抽出，该使用者口18是具有从大约0.25至大约0.5英寸的出口开口范围的面密封VCR口。气瓶内部包括具有入口22的内部流动限制器20。三氟化硼流入到入口22内，通过内部流动限制器和真空促动止回阀26，沿在下文中详细描述的流体流动路径到使用者口18，直至耗尽。
真空促动止回阀26包括自动地控制三氟化硼流体从气瓶的排放的波纹管室。当然，止回阀26可以布置在双口阀的口主体内、双口阀上游、气瓶内或沿流体流动路径部分地在双口阀内且部分地在气瓶内。如在图1的典型实施例中示出，通过将止回阀的一个部分固定于沿流体排放路径定位的壳体，真空促动止回阀完全地布置在气瓶1 2内。在双口阀的顶部处的手柄28允许手动控制沿流体排放路径通向使用者口18的流体。此类型的流体存储和分配系统在前述的美国专利No 5,937,895、No 6,007,609和No 6,045,115中描述，但它们参考了单口阀气瓶头，且它们在此通过参考完全地合并。
参考图2，流体流动路径关于内部部件图示。在典型的实施例中，且为解释容易，真空促动的止回阀26设置在单口气瓶阀头14的口主体29内。跟随三氟化硼气体离开头阀14的路径，气体首先通过内部流动限制器管20进入阀入口30。头阀14的口主体包括真空促动止回阀26。进入的气体首先接触具有提升阀32形式的阀元件。弹簧34将提升阀32偏置为靠着阀座36以造成沿气体流动路径的关闭的条件。提升阀32的顶部可以保持弹性垫圈或其他密封元件，以维持跨过阀座36的正向的密封。弹簧34通常将提升阀32压靠在阀座36上，直至波纹管38膨胀以移动接触板40。接触板40作用在控制销42上，控制销42将提升阀32从阀座36推离。三氟化硼气体可以然后流动通过围绕销42的销通道44且进入到容纳了波纹管38的壳体54内。
波纹管室50包括限定了具有围绕波纹管室外部的外套管/壳体54的内部压力室的波纹管导向件48；还包括底部导向板56。在波纹管的上端与波纹管导向件48和在波纹管的下端与接触板40的密封接触将波纹管一般地从真空促动的止回阀26和气体流动路径内的压力隔离。波纹管室50的内部部分(即压力室)典型地在大气压下密封，使得在围绕波纹管室50的壳体内的压力的降低导致波纹管室50内的气体使波纹管膨胀且将接触板40向下推动靠着销42。
波纹管导向件48保持了围绕其外部边缘的外套管54。外套管54以导向板56定位。波纹管导向件48、外套管54和导向板56一起保护地封闭了波纹管室50。销42通过导向板56内的中心孔以维持其与接触板40的对齐。
通到包围了波纹管室50的壳体外的三氟化硼气体通过阀入口58流动且越过密封表面60。带螺纹的衬套62将多层金属隔膜64夹紧到口主体29，因此形成了抵抗通过阀杆66的流体泄漏的正向密封。手柄28与带螺纹的阀杆66协同操作，通过摩擦垫70促使活塞68到膈膜64上，以将主阀柱塞72向下移动而抵抗弹簧74的阻力。柱塞72的向下移动促使由螺母78保持的弹性体密封元件76在表面60处造成密封。离开膈膜64的支持阀杆66允许弹簧74促使阀柱塞72向上，因此将密封表面60分离且允许气体通过口58流动。一旦经过密封表面60，三氟化硼气体从室80通过导管82流动且流到使用者口18。
此止回阀26可以设定为可靠地防止提升阀32的打开直至波纹管壳体内的压力降低到真空条件。此条件通常等于760托或更低。以真空促动止回阀的此设定，在逆时针方向转动手柄28以缩回阀柱塞70将不导致三氟化硼从气瓶的分配。因为典型的最终使用者设备在小于100托的压力下运行，在真空下且特别地在500托或更低的压力下分配三氟化硼具有数个明显的优点。例如，在三氟化硼气体连接的所有连接中存在负压，所以泄漏可能仅泄漏到最终使用者设备中，其中，泄漏被设备自身很快地检测。因此，不必逐接头地检查以确认有任何泄漏。另外，不要求外部调节器以降低罐的压力到最终使用者的质量流控制器可接受的压力。更重要的是，如以上所述在三氟化硼系统中管路连接的意外打开在幅度量级上比高压输送系统连接的意外打开的有害性更小。
然而，已发现，对于包含例如三氟化硼的气态流体(即在超过600psig且直至1500psig的压力下)的气瓶，波纹管的推力不足以将销42移动且又将提升阀32从其阀座移动。
已发现，对密封波纹管室50的内部充填或加压至大于大气压的压力(即大于14.7psia)导致当真空施加到波纹管外部时的更大的压力差异。如在图3中示出，波纹管室以例如氩气的惰性气体充填至范围从大约14.7psia至大约50psia，优选地为大约14.7psia至35psia，且最优选地为大约29.5psia的压力。为以超大气压下的气体对波纹管室50充填且获得移动其中所存储的气体压力超过600psig的系统内的销所必需的推力，已发现，时效硬化的波纹管材料将承受密封的内部波纹管压力且又提供了足够的推力以使提升阀32离座。优选地，波纹管材料从包括如下项的组中选择：时效硬化的钢合金、时效硬化的镍基合金(例如铬镍铁合金)和铜铍合金。虽然前述是优选的材料，但本领域一般技术人员将理解，可以使用具有类似的物理特性的其他材料。
特别地，真空促动止回阀的运行基于波纹管当感测到低于大气压时的可重复的延伸。波纹管在其使用寿命长度内的运行是关键的(即响应于压力条件的延伸/收缩可重复性)。由例如奥氏体不锈钢(在相关技术中使用)的冷加工材料制造的波纹管具有在总长度改变中的不稳定性的潜在性。波纹管长度降低或压缩变形是弹簧元件的特征(即波纹管和螺旋弹簧，其中剩余应力在其形成过程期间施加)。用于制造带有对压缩变形(或长度降低)的高阻力和长期可重复性的波纹管元件的材料的最优类型是时效或沉淀(precipitation)硬化合金，例如以上所述的那些。时效硬化合金是优选的候选材料，因为由此类型材料形成的波纹管室具有高的耐腐蚀性和用于希望的推力的机械特性。通过以时效硬化材料制造波纹管而给出的另外的益处是消除了波纹管调节过程。特别地，在相关技术中波纹管调节过程在将波纹管室组装到系统前建立和实施。作为利用本发明的时效硬化材料的结果，不再要求此劳动强度大的过程。
基于对波纹管材料的修改和对波纹管室的充填，高压气瓶12可以填充到直至比当前用于离子植入的气瓶高三倍的容量而不改变气瓶的尺寸。例如，对于三氟化硼，使用本发明的波纹管室的当前的2.27升气瓶可以填充到1000克(在1235psig下)的容量，对比于335克(在600psig压力下)，和对于当前使用的6.33升的气瓶填充到3180克，对比于1065克。
参考回图1，限流通道20可以沿流动路径放置在真空促动阀26的上游，以在止回阀在打开位置故障或另外的在其内具有止回阀的阀头14被剪切的不可能的情况中限制气体流动。一个这样的具有毛细管形式的限制器提供了作为流动限制器的最大的灵活性和可靠性。无论由单个的或多个小直径孔提供或由紧密地充填的材料提供，此类型的合适的限制器将希望地限制气相流体的运输到非常低的速率。
例如，单孔毛细管可以限制大气的三氟化硼释放到在1200psig的气瓶压力下和68华氏度的温度下低于大约35sccm的三氟化硼，而七孔毛细管可以将流量限制到在类似的条件下大约245sccm。毛细管提供了从气瓶12的仅有的出口且可以是缠绕形成且通常具有小于0.02毫米(0.001英寸)的内径。
可以造成多个合适的毛细管结构。如通过图4中的截面视图更清晰地示出，典型地由不锈钢构成的金属管84保护性地围绕玻璃管86。直径管86的内侧绕中心玻璃杆90保持了6个实心玻璃杆88的六边形布置且其中所有杆具有大约相同的直径。杆88和杆90之间以及杆88和管86的内侧之间的空间92提供了毛细管尺寸的流动区，以计量通过内部流动限制器20的气体。在玻璃杆88和90上的收缩的玻璃管提供了刚性的管和杆的组件。因此，即使内部杆断裂，通过玻璃管86的零件的保持将维持通过玻璃管86的内径的毛细流动。金属管84当选择地绕玻璃杆88和90收缩时增加了进一步的刚度和耐久性以提供加固单元。通过选择的金属管84的强化，玻璃杆或其周围的玻璃管的折断将使得通过毛细结构的受限制的流动路径的功能大体上不改变。
本发明将进一步在如下通过参考如下的例子和比较例来例示，然而它们不解释为限制本发明。
比较例1
进行常规的真空促动止回阀内的波纹管的推力的测量。参考图5，密封波纹管室的内环形空间以氩气填充到14.7psig的压力。波纹管由321不锈钢(即奥氏体不锈钢)构造。假定波纹管平均有效面积(MEA)为0.237in2，则由300托(5.8psia)的促动压力产生的向下的力(以磅为单位)是其内部压力(14.7psia)和促动压力(5.8psia)的差乘以MEA(0.237in2)。因此，2.11lbf的向下的力施加在销/提升阀组件上，从而打开了止回阀，使气瓶内气体流动。以此波纹管设计产生了足够的打开力以克服由预压缩的弹簧和内部气体压力的组合施加在销/提升阀上的关闭力，对于BF3，该内部气体压力直至600psig。然而，在大于600的内部气体压力下，常规的波纹管组件不能产生足够的向下的推力以打开阀。因此，对于BF3(和其他气体)，气瓶容量限制到600psig的气瓶最大压力。
例2
在本发明的真空促动止回阀中，波纹管推力已通过修改波纹管参数而增加，以利用常规的气瓶口开口，又在存储和输送系统内容纳了大体上更高的BF3容量。用于高容量BF3设计的波纹管组件构造在图3中示出。显著的改变是构造的波纹管材料和环形空间填充压力。如前所述，时效或沉淀硬化合金具有用于波纹管、波登(bordon)管、弹簧等的制造和运行的最好的特性组合。它们的弹性特性的获得是热处理的结果，这与奥氏体不锈钢不同。将环形空间内的填充压力增加到29.5psia导致在同样的300托的促动压力下的5.62lbf的向下推力。在本发明中的波纹管构造建立了足够的力以打开阀，从而允许气瓶填充容量大体上高于600psig。
在此，本发明的真空促动止回阀安装在气体存储和输送系统内且进行了流量测试。将氮气提供到系统内，使得真空促动止回阀上的入口压力为1230psig。流量测试在两个半小时的时间期间内进行。当MFC将流量控制到2sccm时，连接在使用者口的下游的压力变换器测量了低于大气压促动压力。如在图6中示出，对于带有1230psig的气瓶填充压力的止回阀，真空促动压力在420和440托之间。因此，这指示了在1230psig的输入压力下的波纹管功能且确认了以上计算且示出的力加和模型，以提供合适的推力来将提升阀从其阀座移动开且允许气体从高压高容量存储真空输送系统移除。
虽然本发明已经参考其特定实施例详细描述，但对本领域一般技术人员将显见的是可以进行多种改变和修改且使用等价物，而不偏离附带的权利要求书的范围。

Claims (20)

1.一种用于控制加压流体从包含氢化物的或卤化物的化合物的加压罐的出口排出的系统，该设备包括：
用于保持气相或部分气相的加压流体的罐；
用于与限定了流体排放路径的加压罐的出口连通的口主体；
固定在口主体内或上游的且适合于在阻断了流体通过流体排放路径的流动的密封位置和允许流体沿流体路径的打开位置之间移动的阀元件；
布置在阀元件下游的壳体内的波纹管室，其中波纹管室被充填且密封到范围从大约14.7psia至大约50psia的压力，波纹管由从包括如下项的组中选择的材料制成：时效硬化的钢合金、时效硬化的镍基合金和铜铍合金；和
所述的波纹管室与阀元件下游的流体排放路径的部分连通，以当与排放路径的连通在壳体内产生了真空条件时将阀元件移动到打开位置。
2.根据权利要求1所述的系统，其中阀元件包括提升阀且波纹管的膨胀导致销将提升阀位移到打开位置。
3.根据权利要求1所述的系统，其中罐在最大容量条件下包含在范围从大约600psig至大约1500psig的压力下的气态流体。
4.根据权利要求1所述的系统，其中波纹管室以大约25psia的压力密封。
5.根据权利要求1所述的系统，其中波纹管是时效硬化的铬镍铁合金材料的。
6.根据权利要求1所述的系统，其中罐进一步包括沿流动路径的至少部分的限制器，其将包含在容器内的气体的流动限制到大气压条件下低于35sccm。
7.根据权利要求6所述的系统，其中限制器是至少一个导管。
8.根据权利要求7所述的系统，其中该至少一个导管是内径不超过0.2mm的毛细管。
9.一种气瓶和阀组件，其用于包含加压流体且控制来自气瓶的加压流体的排放，该气瓶和阀组件包括：
具有气瓶开口的气瓶；
适合于与气瓶开口密封接合的口主体；
由口主体限定的且位于气瓶内的流体入口；
由口主体限定的且位于气瓶外侧的流体出口；
由口主体限定的在流体入口和流体出口之间的流体排放路径；
用于控制沿流体排放路径的流体流动的切断阀；
偏置到阻断了流体沿流体排放路径流动的密封位置的阀元件；
真空促动止回阀，其包括充填且密封到范围从大约14.7psia到大约50psia的压力的沿流体排放路径位于阀元件下游的波纹管室，波纹管由从包括如下项的组中选择的材料制成：时效硬化的钢合金、时效硬化的镍基合金和铜铍合金；和
波纹管室具有相对于真空促动止回阀的主体固定的一个部分和当波纹管的内部和外部之间的相对压力使波纹管膨胀且将阀元件偏置在打开位置以允许流体沿流体排放路径流动时可运行地链接到阀元件的另一个部分。
10.根据权利要求9所述的气瓶和阀组件，其中真空促动止回阀完整地或部分地布置在口主体内。
11.根据权利要求9所述的设备，其中真空促动止回阀布置在气瓶内在口主体的上游。
12.根据权利要求9所述的气瓶和阀组件，其中波纹管适合于响应于真空条件将阀元件移动到打开位置。
13.根据权利要求9所述的气瓶和阀组件，其中真空促动止回阀包括提升阀。
14.根据权利要求9所述的气瓶和阀组件，进一步包括沿流动路径的至少部分的限制器。
15.根据权利要求14所述的气瓶和阀组件，其中限制器将包含在气瓶内的气体的流动限制为在大气压条件下低于35sccm。
16.根据权利要求15所述的气瓶和阀组件，其中限制器包括至少一个内径小于0.2mm的毛细管。
17.根据权利要求9所述的气瓶和阀组件，其中罐包含了在范围从大约600psig到大约1500psig的压力下的气态流体。
18.根据权利要求9所述的气瓶和阀组件，其中波纹管室以大约25psia的压力密封。
19.根据权利要求9所述的气瓶和阀组件，其中波纹管是时效硬化的铬镍铁合金材料的。
20.一种真空促动止回阀的波纹管组件，其包括：
布置在真空促动止回阀壳体内的波纹管室，其中波纹管室被充填且密封到范围从14.7psia到50psia的压力，且其中波纹管由从包括如下项的组中选择的材料制成：时效硬化的钢合金、时效硬化的镍基合金和铜铍；和
所述的波纹管响应于在波纹管室外部上的真空条件，以使波纹管以至少4lbf的推力膨胀。
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