CN101223399B - 通路块的结合装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供将上层通路块安装至下层通路块时、上层通路块的螺栓通孔与下层通路块的螺纹孔的定位容易，可减少螺栓数的通路块的结合装置。包括：隔着开口形成在上层通路块(3)上的螺栓通孔(13)和销通孔(14)；形成在下层通路块(4)上的螺纹孔(15)和非螺纹孔(16)；穿透螺栓通孔(13)并被拧入螺纹孔(15)的螺栓(11)；穿透销通孔(14)且下端部被嵌入非螺纹孔(16)的定位销(12)。在定位销(12)的下端形成有切口部(17)，在非螺纹孔(16)的开口部中形成有与该切口部(17)嵌合的突出部(18)。使螺栓(11)的拧紧力与定位销(12)下端部将非螺纹孔(16)的突出部(18)向上推的力平衡，实现均等拧紧，由此通路块(3)、(4)被结合。

Description

通路块的结合装置
技术领域
本发明涉及通路块的结合装置，这种通路块的结合装置适用于将流体控制装置中所使用的质量流量控制器和与其接触的块状连接部件结合时等场合。
背景技术
半导体制造装置中所使用的流体控制装置通过以下方式构成：多列地配置有各种流体控制仪器，并且相邻列的流体控制仪器的通路之间在规定部位通过仪器连接机构连接，但近年来，这种流体控制装置中，不经由管路而对质量流量控制器及开关阀等进行连接的集成化得到了发展。在这样的流体控制装置中，在质量流量控制器的两侧面设有通路块(上层通路块)，其与块状接头部件(下层通路块)通过来自上方的两根螺栓结合(例如，专利文献1：日本特开平8-326943号公报)。
发明内容
在上述流体控制装置中，将上层通路块安装至下层通路块的工作步骤需要多次，螺栓的拧紧作业的效率化、尤其是上层通路块的螺栓通孔与下层通路块的螺纹孔的定位及螺栓根数的减少成为了重要课题。
本发明的目的在于提供一种通路块的结合装置，将上层通路块安装至下层通路块时，上层通路块的螺栓通孔与下层通路块的螺纹孔的定位容易，而且能够减少螺栓根数。
本发明技术方案1的通路块的结合装置，使具有向下的开口的上层通路块与具有向上的开口的下层通路块各自的开口对合，并通过螺栓将其结合，其特征在于，所述通路块的结合装置包括：螺栓通孔和销通孔，其隔着开口形成在上层通路块上；螺纹孔和非螺纹孔，其与上层通路块的螺栓通孔和销通孔分别对应地形成在下层通路块上；螺栓，其穿透上层通路块的螺栓通孔，并被拧入下层通路块的螺纹孔；定位销，其穿透上层通路块的销通孔，下端部被嵌入下层通路块的非螺纹孔，在所述定位销的下端附近形成有切口部，并且，所述非螺纹孔的直径比所述定位销下端部的直径大，嵌合在所述定位销的所述切口部中的突出部形成在所述非螺纹孔中，所述定位销的切口部与所述非螺纹孔的突出部被首先嵌合，此后螺栓被拧紧，此时，螺栓的拧紧力与定位销下端部将非螺纹孔的突出部向上推的力达到平衡，从而实现均等拧紧，通路块之间被结合。
技术方案2的通路块的结合装置，使具有向下的开口的上层通路块与具有向上的开口的下层通路块各自的开口对合，并通过螺栓将其结合，其特征在于，所述通路块的结合装置包括：螺栓通孔和销通孔，其隔着开口形成在上层通路块上；螺纹孔，其与上层通路块的螺栓通孔对应地形成在下层通路块上；定位销，该定位销在下层通路块的上表面形成为上方突出状，其穿透上层通路块的销通孔，且上端部突出至比该上层通路块的上表面更位于上方的位置；拧紧辅助部件，该拧紧辅助部件重叠在上层通路块的上方，具有嵌合在定位销的上端部的切口部、和与上层通路块的螺栓通孔相对应的螺栓通孔；止脱部，该止脱部设在定位销的上端部，阻止拧紧辅助部件在其切口部卡合在定位销的上端部后的向上方的移动；螺栓，其穿透拧紧辅助部件以及上层通路块的各螺栓通孔，并被拧入下层通路块的螺纹孔，拧紧辅助部件具有凸圆弧形状的底面，该底面在定位销的中心轴与螺栓的中心轴之间的正中央最大程度地向下方突出，螺栓被拧紧后，通过螺栓的拧紧力与止脱部件将拧紧辅助部件向下推的力达到平衡，从而实现均等拧紧，通路块之间被结合。
此外，在本说明书中，由于通路块是在长方体块上设有穿透状通路的通路块，所以该通路块包括作为接头被使用的部件、以及开关阀等与流体控制器一体化了的块状部分或主体部分。
根据本发明技术方案1、2的通路块的结合装置，由于通过一根螺栓便能够结合，能够减少螺栓根数，并且，由于在拧紧螺栓前，上层通路块相对于下层通路块的位置通过定位销而被定位，所以将螺栓拧入螺纹孔的作业变得容易。
附图说明
图1表示技术方案1的通路块的结合装置的实施方式，(a)是立体图；(b)是表示结合过程内的最初过程的正面剖视图。
图2表示技术方案1的通路块的结合装置的实施方式，(a)是立体图；(b)是表示结合过程内的中间过程的正面剖视图。
图3表示技术方案1的通路块的结合装置的实施方式，(a)是立体图；(b)是表示结合完成状态的正面剖视图。
图4表示技术方案2的通路块的结合装置的实施方式，(a)是立体图；(b)是表示结合过程内的最初过程的正面剖视图。
图5表示技术方案2的通路块的结合装置的实施方式，(a)是立体图；(b)是表示结合过程内的中间过程的正面剖视图。
图6表示技术方案2的通路块的结合装置的实施方式，(a)是立体图；(b)是表示结合完成状态的正面剖视图。
图7是将技术方案1、2的通路块的结合装置的拧紧状态与现有技术例进行比较的图表。
具体实施方式
参照附图说明本发明的实施方式。在以下说明中，“左、右”指的是各图b的左、右，并将该图的纸面表侧称为“前”，将其相反侧称为“后”。
图1至图3表示技术方案1的通路块的结合装置的实施方式。
技术方案1的通路块的结合装置1，例如，是使设于质量流量控制器2且具有向下的开口3a的上层通路块3、与具有向上的开口4a的下层通路块4各自的开口3a、4a经由密封部件5对合，并通过螺栓11结合的结构。该通路块的结合装置1包括：隔着开口3a形成在上层通路块3上的螺栓通孔13和销通孔14；与上层通路块3的螺栓通孔13和销通孔14分别对应地形成在下层通路块4上的螺纹孔15和非螺纹孔16；穿透上层通路块3的螺栓通孔13，并被拧入下层通路块4的螺纹孔15的螺栓11；穿透上层通路块3的销通孔14，并被嵌入下层通路块4的非螺纹孔16的定位销12。
在定位销12的下端附近，形成有切口部17，在下层通路块4的非螺纹孔16的开口部，形成有与该切口部17相嵌合的突出部18。
下层通路块4的非螺纹孔16的直径比定位销12的下端部的直径大，由于设有突出部18，故非螺纹孔16的开口部的直径变得比定位销12的直径稍小。突出部18从非螺纹孔16的左面向右伸出，下层通路块4的比非螺纹孔16更左侧的部分4b被切削成与其他部分相比略微凹陷。因此，如图2所示，在上层通路块3相对下层通路块4倾斜的状态下，使定位销12的下端部嵌入非螺纹孔16，能够使定位销12的切口部17与非螺纹孔16的突出部18先嵌合，由此，可实现上层通路块3相对于下层通路块4的定位。接下来，如图3所示，在上层通路块3重叠于下层通路块4的状态下，定位销12的下端部产生将非螺纹孔16的突出部18向上推的力的作用。此后，螺栓11被拧上，此时，螺栓11的拧紧力(螺栓11将下层通路块4向上拉的力)与定位销12下端部将非螺纹孔16的突出部18向上推的力达到平衡，从而实现均等拧紧，通路块3、4之间被结合。
根据技术方案1的通路块的结合装置1，由于通过一根螺栓11便能够结合，可减少螺栓根数，而且，由于在拧紧螺栓前，上层通路块3相对于下层通路块4的位置通过定位销12而被定位，所以将螺栓11拧入螺纹孔15的作业变得容易。
图4至图6表示技术方案2的通路块的结合装置的实施方式。
技术方案2的通路块的结合装置20，例如，是使设于质量流量控制器2且具有向下的开口3a的上层通路块3、与具有向上的开口4a的下层通路块4各自的开口3a、4a经由密封部件5对合，并通过螺栓21进行结合的结构。该通路块的结合装置20包括：隔着开口形成在上层通路块3上的螺栓通孔23和销通孔24；与上层通路块3的螺栓通孔23对应地形成在下层通路块4上的螺纹孔25；定位销22，该定位销22在下层通路块4的上表面形成为上方突出状，其穿透上层通路块3的销通孔24，且上端部突出至比该上层通路块3的上表面更位于上方的位置；拧紧辅助部件30，该拧紧辅助部件30重叠在上层通路块3的上方，具有嵌合在定位销22的上端部的切口部31、和与上层通路块3的螺栓通孔23相对应的螺栓通孔32；止脱部27，该止脱部27设在定位销22的上端部，阻止拧紧辅助部件30在其切口部31卡合在定位销22的上端部后的向上方的移动；螺栓21，该螺栓21穿透拧紧辅助部件30以及上层通路块3的各螺栓通孔32、23，并被拧入下层通路块4的螺纹孔25。
定位销22在下端部具有外螺纹部，该外螺纹部与设于下层通路块4的螺纹孔26螺合。通过将定位销22的上端附近的部分制作出小直径(22a)，从而使其上端部成为止脱部27。
拧紧辅助部件30具有凸圆弧形状的底面33，该底面33在定位销22的中心轴与螺栓21的中心轴之间的正中央最大程度地向下方突出。
技术方案2的通路块的结合装置20，首先，如图4所示，将定位销22固定至下层通路块4之后，使定位销22穿透上层通路块3的销通孔24，使上层通路块3与下层通路块4重合。由此，上层通路块3相对下层通路块4的位置被定位销22定位。接下来，如图5所示，通过使拧紧辅助部件30的切口部31嵌合于定位销22的小直径部22a，从而使拧紧辅助部件重合在上层通路块3之上。然后，使螺栓21穿透拧紧辅助部件30以及上层通路块3的各螺栓通孔32、23，并将该螺栓21拧入下层通路块4的螺纹孔25中。通过拧紧螺栓21，螺栓21的拧紧力(螺栓21将拧紧辅助部件30向下推的力)与止脱部件27将拧紧辅助部件30向下推的力将达到平衡，从而实现了均等拧紧，通路块3、4之间被结合。
根据技术方案2的通路块的结合装置20，由于通过一根螺栓21便能够结合，可减少螺栓根数，而且，由于在拧紧螺栓21之前，上层通路块3相对于下层通路块4的位置被定位销22定位，所以将螺栓21拧入螺纹孔的作业变得容易。
图7是将上述的第一、技术方案2的通路块的结合装置的拧紧状态与现有技术例进行比较的图表。该图表中，表示了螺栓拧紧力矩(N·m)与推力(N)的关系，从该图标的结果可知，发明品(第一及技术方案2的通路块的结合装置)在数据方面与现有品(使用两根螺栓的通路块的结合装置)性能相同，可见，本发明的通路块的结合装置维持同等的拧紧力而将螺栓的拧紧根数减半。
另外，下层通路块4和与质量流量控制器2相邻的流体控制仪器(例如，开关阀、过滤器等)的主体(相当于上层通路块)通过与上述相同的结合装置、或通常的借助两根螺栓的结合装置而结合，由此，质量流量控制器2和流体控制仪器经由下层通路块4连通。虽然上述实施方式中，仅对将设在质量流量控制器2上的上层通路块3、和作为使该上层通路块3与其他的流体控制仪器连通的接头部件的下层通路块4结合的情况进行了说明，但本发明的结合装置并非限于此，本发明能够适用于其他的流体控制仪器之间以及其他的流体控制仪器与接头部件之间的结合。
(工业实用性)
根据本发明的通路块的结合装置，通过将其适用于需要多个工作步骤才能将上层通路块安装至下层通路块的流体控制装置中，能够实现螺栓的拧紧作业的效率化，特别是，能够实现上层通路块的螺栓通孔与下层通路块的螺纹孔的定位、以及螺栓根数的减少，能够提高使用于半导体制造装置等的流体控制装置的组装性。

Claims (2)

1.一种通路块的结合装置，使具有向下的开口的上层通路块与具有向上的开口的下层通路块各自的开口对合，并通过螺栓将其结合，其特征在于，
所述通路块的结合装置包括：螺栓通孔和销通孔，其隔着开口形成在上层通路块上；螺纹孔和非螺纹孔，其与上层通路块的螺栓通孔和销通孔分别对应地形成在下层通路块上；螺栓，其穿透上层通路块的螺栓通孔，并被拧入下层通路块的螺纹孔；定位销，其穿透上层通路块的销通孔，下端部被嵌入下层通路块的非螺纹孔，
在所述定位销的下端附近形成有切口部，并且，所述非螺纹孔的直径比所述定位销下端部的直径大，嵌合在所述定位销的所述切口部中的突出部形成在所述非螺纹孔中，所述定位销的切口部与所述非螺纹孔的突出部被首先嵌合，此后螺栓被拧紧，此时，螺栓的拧紧力与定位销下端部将非螺纹孔的突出部向上推的力达到平衡，从而实现均等拧紧，通路块之间被结合。
2.一种通路块的结合装置，使具有向下的开口的上层通路块与具有向上的开口的下层通路块各自的开口对合，并通过螺栓将其结合，其特征在于，
所述通路块的结合装置包括：螺栓通孔和销通孔，其隔着开口形成在上层通路块上；螺纹孔，其与上层通路块的螺栓通孔对应地形成在下层通路块上；定位销，该定位销在下层通路块的上表面形成为上方突出状，穿透上层通路块的销通孔，且上端部突出至比该上层通路块的上表面更位于上方的位置；拧紧辅助部件，该拧紧辅助部件重叠在上层通路块的上方，具有嵌合在定位销的上端部的切口部、和与上层通路块的螺栓通孔相对应的螺栓通孔；止脱部，该止脱部设在定位销的上端部，阻止拧紧辅助部件在其切口部卡合在定位销的上端部后的向上方的移动；螺栓，其穿透拧紧辅助部件以及上层通路块的各螺栓通孔，并被拧入下层通路块的螺纹孔，
拧紧辅助部件具有凸圆弧形状的底面，该底面在定位销的中心轴与螺栓的中心轴之间的正中央最大程度地向下方突出，
螺栓被拧紧后，通过螺栓的拧紧力与止脱部将拧紧辅助部件向下推的力达到平衡，从而实现均等拧紧，通路块之间被结合。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0745918A2 (en) * 1995-05-31 1996-12-04 Tadahiro Ohmi Fluid control device
CN1373842A (zh) * 1998-05-18 2002-10-09 斯瓦戈洛克公司 积木式表面安装的汇流管组合件

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3554075A (en) * 1968-11-07 1971-01-12 Rex Chainbelt Inc High strength adjustable quarter turn fastener
US3811157A (en) * 1972-10-26 1974-05-21 Dzus Fastener Co Tamper-proof fastener
US3880546A (en) * 1974-03-13 1975-04-29 Segal F Hole saw assembly
US4385577A (en) * 1981-08-03 1983-05-31 The Singer Company Sewing machine control mechanism mounting plate
US4459785A (en) * 1982-11-08 1984-07-17 Buehler Ltd. Chuck for vertically hung specimen holder
US4515037A (en) * 1983-04-01 1985-05-07 Kohler Co. Handle assembly
US4546841A (en) * 1983-09-26 1985-10-15 Michele Sipiano Motor roller-skate
US4773788A (en) * 1987-05-26 1988-09-27 Kadem Tech. Associates, Ltd. Safety strap assembly for molds and die cast dies
US5255827A (en) * 1987-06-03 1993-10-26 Loctite Corporation Sealless modular positive displacement dispenser
EP0431786A1 (en) * 1989-12-04 1991-06-12 Camloc (U.K.) Limited Quick release structural fastener
US6094797A (en) * 1992-03-16 2000-08-01 Aircraft Parts Corporation Apparatus and method for installing a starter-generator on an aircraft engine
EP0674056A1 (de) * 1994-03-22 1995-09-27 Poly-Bauelemente AG Vorrichtung zum Verriegeln einer Rinnenabdeckung auf einer Entwässerungsrinne
US5593265A (en) * 1995-08-16 1997-01-14 Chrysler Corporation Quick-connect stored energy torsional fastener
US5688093A (en) * 1996-01-29 1997-11-18 Bowers; Ned C. Ejecting quick-connect fastener
JP3248841B2 (ja) * 1996-02-29 2002-01-21 三菱電機株式会社 アンテナマウント
US5819949A (en) * 1996-11-22 1998-10-13 Insul-Magnetics Apparatus for separating magnetic material and method
US6416248B1 (en) * 1998-01-22 2002-07-09 Flexco Quick release delineator apparatus
US6217248B1 (en) * 1998-04-20 2001-04-17 Globe Products Inc. Quick-change winding form assembly
CA2332550C (en) * 1998-05-18 2008-01-08 The Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
FR2787550B1 (fr) * 1998-12-22 2001-01-19 Serac Group Dispositif de fixation a montage-demontage rapide d'une piece mecanique en appui sur une embase de support
US6616369B2 (en) * 1999-01-20 2003-09-09 Flexco Quick release delineator apparatus
US6267543B1 (en) * 1999-10-13 2001-07-31 Avaya Technology Corp. Latch with spring
US6213631B1 (en) * 1999-12-30 2001-04-10 Barbara J. Miranda Adapter for sealant tube
US6338649B1 (en) * 2000-03-10 2002-01-15 Michael W. Smith Battery cable disconnector
SE516342C2 (sv) * 2000-04-27 2001-12-17 Jokab Safety Ab Insticksmutter till ett skruv-mutter-förband
JP4156184B2 (ja) * 2000-08-01 2008-09-24 株式会社キッツエスシーティー 集積化ガス制御装置
US6536644B2 (en) * 2001-03-14 2003-03-25 Illinois Tool Works Inc. Tool-less feedroll for wire feeder
US6634844B2 (en) * 2001-06-22 2003-10-21 Bryan J. Huber Panel fastener assembly
US6641323B2 (en) * 2002-01-22 2003-11-04 Stephen E. Ronsheim Spherical locking device
US6773215B2 (en) * 2002-09-11 2004-08-10 United Technologies Corporation Fastener assembly for use with composite articles
EP1431012A3 (fr) * 2002-12-18 2005-03-09 Bobst S.A. Organe d'assemblage d'outils plans

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0745918A2 (en) * 1995-05-31 1996-12-04 Tadahiro Ohmi Fluid control device
CN1373842A (zh) * 1998-05-18 2002-10-09 斯瓦戈洛克公司 积木式表面安装的汇流管组合件

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Publication number Publication date
US20090038698A1 (en) 2009-02-12
IL187936A0 (en) 2008-03-20
KR20080027285A (ko) 2008-03-26
CN101223399A (zh) 2008-07-16
WO2006131989A1 (ja) 2006-12-14
CA2610879A1 (en) 2006-12-14
IL187936A (en) 2010-12-30
EP1890075A1 (en) 2008-02-20
KR101109921B1 (ko) 2012-03-14
US7942600B2 (en) 2011-05-17
US20100170586A1 (en) 2010-07-08
US8167511B2 (en) 2012-05-01

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