CN101196659A - 液晶显示器及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种液晶显示器及其制造方法,该液晶显示器包含:配置在衬底上的栅极线,数据线与该栅极线相交,第一公共线平行于该栅极线,以及第二公共线横越该栅极线。通过本发明的像素结构,其第一公共线与第二公共线所构成的网状结构,降低电阻-电容信号延迟效应。

Description

液晶显示器及其制造方法
技术领域
本发明提供一种液晶显示器,特别是一种具有网状结构公共线(common line)的液晶显示器,以降低电阻、电容所造成的信号延迟效应。
背景技术
一般而言,液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)可以通过分别地提供对应于画面数据的数据信号至液晶盒(Liquid CrystalCell),调整液晶盒的光穿透率以显示画面数据。液晶显示器则包含:具有矩阵排列液晶盒的液晶面板,以及驱动用的集成电路(IntegratedCircuit,IC)。
液晶面板还包括:彩色滤光片衬底、对应于该彩色滤光片衬底的薄膜晶体管阵列衬底、以及夹于该彩色滤光片衬底与该薄膜晶体管阵列衬底间的液晶层。薄膜晶体管阵列衬底包含:用以传输由数据驱动集成电路所提供的数据信号至液晶盒的数据线,以及用以传输由栅极驱动集成电路所提供的扫瞄信号的栅极线,其中液晶盒由彼此交错的数据线与栅极线所定义。栅极驱动集成电路依序地提供扫瞄信号至栅极线,以一个接着一个地依序选择液晶盒。另外,数据驱动集成电路则将数据信号,提供至所选栅极线的液晶盒。
参阅图1,其为已知像素结构的布局示意图,这种像素结构又被称为储存电容在公共线或公共电极上(Cs on Common)的结构,其配置在衬底上,并至少包含:栅极线10、数据线11、以及薄膜晶体管12。像素区域由延栅极线与数据线所定义,栅极线10延第一方向延伸,数据线11则延第二方向延伸,且该第二方向垂直于该第一方向。薄膜晶体管12包括:栅极120、通道层121、源极122与漏极123,栅极120电性连接至栅极线10,源极122电性连接至数据线11,漏极123则通过接触窗口14电性连接像素电极13。
像素的储存电容16包括:下电极15、上电极17、以及夹于该下电极15与该上电极17间的介电层。下电极15是配置在像素区域内的公共线的一部分,其略微平行于栅极线10,且与栅极线10、栅极120相同,都是由第一金属层经曝光、显影、蚀刻等工艺所形成。上电极17通过接触窗口18与像素电极13电性连接,与数据线11、源极122、漏极123相同,都是由第二金属层经曝光、显影、蚀刻等工艺所形成。另外,第一金属层与第二金属层之间配置有栅极绝缘层,而第二金属层与像素电极13之间则配置有钝化保护层。
参阅图2,其为已知像素结构的矩阵布局示意图,在已知的像素矩阵中,公共线沿着第一方向配置,且彼此之间电性连结。因此,在已知像素矩阵中的公共线,其电阻、电容所造成的信号延迟效应相当明显,使得画面质量下降。
综上所述,有必要提出一种液晶显示器及其制造方法,其通过特殊的公共线设计,降低已知技术中电阻-电容信号延迟效应的问题,以提供社会大众具有高度画面质量之液晶显示器。
发明内容
本发明的主要目的,是提供一种液晶显示器及其制造方法,以降低公共线的电阻-电容信号延迟效应。
本发明所提供液晶显示器,包含:栅极线,其配置在衬底上;数据线,其与该栅极线相交;第一公共线,其平行于该栅极线;以及第二公共线,其横越该栅极线。
其优选地包含:栅极绝缘层,其位于该第一公共线之上;以及钝化保护层,其位于该第一公共线与该第二公共线之上;其中,该钝化保护层具有第一通孔与第二通孔。
优选地,该第一通孔对应于该第一公共线,且该第二通孔对应于该第二公共线。
其优选地包含:导电组件,其通过该第一通孔与该第二通孔,电性连接该第一公共线与该第二公共线。
优选地,该导电组件由透明导电材料制成,该透明导电材料选自于由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓所组成的群组。
优选地,该栅极线包含了第一部分与第二部分。该第二公共线横越且位于该第一部分与该第二部分之间。该第二公共线横越且位于该第一通孔与该第二通孔之间。该第一通孔对应于该第一部分,且该第二通孔对应于该第二部分。
其优选地包含:导电组件,其通过该第一通孔与该第二通孔,电性连接该第一部分与该第二部分。
优选地,该导电组件由透明导电材料制成,该透明导电材料选自于由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓所组成的群组。
本发明所提供一种液晶显示器的制造方法,包含下列步骤:形成栅极线,其配置在衬底上;形成数据线,其与该栅极线相交;形成第一公共线,其平行于该栅极线;以及形成第二公共线,其横越该栅极线。
其优选地包含下列步骤:形成栅极绝缘层,其位于该第一公共线之上;形成钝化保护层,其位于该第二公共线之上;以及蚀刻该钝化保护层,形成第一通孔与第二通孔。
其优选地包含下列步骤:形成导电组件,其通过该第一通孔与该第二通孔,电性连接该第一公共线与该第二公共线。
优选地,该导电组件由透明导电材料制成,且该透明导电材料选自于由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓所组成的群组。该栅极线包含了第一部分与第二部分。
其优选地包含下列步骤:形成导电组件,其通过该第一通孔与该第二通孔,电性连接该第一部分与该第二部分。
优选地,该导电组件由透明导电材料制成,且该透明导电材料选自于由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓所组成的群组。
为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举优选实施例,并配合附图,作详细说明如下,以使得本领域技术人员能理解与认知本发明的技术内容与特征。
附图说明
图1为已知像素结构的俯视示意图;
图2为已知像素结构矩阵的俯视示意图;
图3为本发明的一个实施例的像素结构的俯视示意图;
图4为图3剖线I-I’的剖面示意图;
图5为图3的矩阵俯视示意图;
图6为本发明的另一实施例的像素结构的俯视示意图;
图7为图6剖线K-K’的剖面示意图;以及
图8为图6的矩阵俯视示意图。
【主要组件符号说明】
10,30,60          栅极线
11,31,61          数据线
12,34,64          薄膜晶体管
120,340,640       栅极
121,341,641       通道层
122,342,642       源极
123,343,643       漏极
13,35,65          像素电极
14,18,36,66      接触窗口
15                  下电极
16                  储存电容
17                  上电极
32,62              第一公共线
33,63              第二公共线
37,67              导电组件
381,681         第一通孔
382,682         第二通孔
40,70           衬底
42,72           栅极绝缘层
44,74           钝化保护层
601              第一部分
602              第二部分
具体实施方式
图3为本发明的一个实施例的像素结构的布局示意图,图4则为其剖线I-I’的剖面示意示图。
参阅图3,像素电极结构包含:栅极线30、数据线31、第一公共线32、第二公共线33与薄膜晶体管34。栅极线30沿着第一方向配置,而数据线31则沿着第二方向配置,且该第二方向略微与该第一方向垂直。第一公共线32平行于栅极线30,第二公共线33则与该栅极线30相交。薄膜晶体管34包含:栅极340、通道层341、源极342以及漏极343。栅极340与栅极线30电性连接,源极342与数据线31电性连接,漏极343则通过接触孔36与像素电极35电性连接。
栅极线30、第一公共线32与栅极340,都是经过曝光、显影、蚀刻第一金属层而形成,而数据线31、第二公共线33、源极342与漏极343,则经过曝光、显影、蚀刻第二金属层而形成。栅极绝缘层42配置在第一金属层与第二金属层之间。第一公共线32与第二公共线33,通过导电组件37电性连接,该导电组件37由氧化铟锡(IndiumTin Oxide,ITO)、氧化铟锌(Indium Zinc Oxide,IZO)、氧化锌掺杂铝(Aluminum-Doped Zinc Oxide)以及氧化锌掺杂镓(Gallium-DopedZinc Oxide)等透明导电材料制成。钝化保护层44配置在第二公共线之上,且具有第一通孔381与第二通孔382,第一通孔381对应于第一公共线32,而第二通孔382则对应于第二公共线33。因此,导电组件37通过该第一通孔381与该第二通孔382,电性连接第一公共线32与第二公共线33。
图4为图3剖线I-I’的剖面示意图。由此可知,本发明所提供的液晶显示器制造方法,首先提供衬底40,其可为玻璃衬底或是塑料衬底,其次在该衬底340上形成栅极340、栅极线30与第一公共线32,栅极340与栅极线30电性连接,而第一公共线32则略微与栅极线30平行。栅极340、栅极线30与第一公共线32都属于相同的第一金属层,即都由曝光、显影、蚀刻该第一金属层所形成。
接着在衬底40上,再形成栅极绝缘层42,以覆盖栅极340、栅极线30与第一公共线32等第一金属层的结构。其次,在栅极绝缘层42上形成通道层341,而在通道层341的表面上再形成奥姆接触层(图中未示),以提升通道层341与接下来形成的源极342与漏极343之间的电性接触。
紧接着在栅极绝缘层42之上形成数据线31与第二公共线33,且源极342与漏极343恰好位于通道层341的上方。数据线31、第二公共线33、源极342与漏极343则属于相同的第二金属层,即都由曝光、显影、蚀刻该第二金属层所形成,源极342电性连接于数据线31。栅极340、通道层341、源极342与漏极343构成薄膜晶体管34。
在形成数据线31、第二公共线33、源极342与漏极343之后,在衬底40上再形成钝化保护层44,以覆盖上述由第二金属层所蚀刻的结构。接着,再蚀刻该钝化保护层44与该栅极绝缘层42,以形成对应于该第一公共线32的第一通孔381,且蚀刻该钝化保护层44,以形成对应于该第二公共线33之第二通孔382。其次,在该钝化保护层44上,形成由透明导电材料所制的导电组件37,其可通过第一通孔381与第二通孔382,电性连接第一公共线32与第二公共线33。其中,导电组件37由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓等透明导电材料制成。
参阅图5,其为本发明的像素结构的矩阵布局的示意图。第一公共线32与第二公共线33,彼此通过导电组件37电性连接,并共同构成网状结构,以降低公共线的电阻-电容信号延迟效应。
图6为本发明的另一实施例的像素结构的布局示意图,图7则为其剖线K-K’的剖面示意示图。
参阅图6,像素结构包含:栅极线60、数据线61、第一公共线62、第二公共线63与薄膜晶体管64。栅极线60沿着第一方向配置,而数据线61则沿着第二方向配置,且该第二方向略微与该第一方向垂直。第一公共线62平行于栅极线60,第二公共线63则与该栅极线60相交。薄膜晶体管64包含:栅极640、通道层641、源极642以及漏极643。栅极640与栅极线60电性连接,源极642与数据线61电性连接,漏极643则通过接触孔66与像素电极65电性连接。
在本实施例中,栅极线60由第一部分601与第二部分602所构成。第二公共线63横越该栅极线60,亦即横越第一部分601与第二部分602之间,或横越第一部分601与第二部分602之间。第一部分601与第二部分602,通过导电组件67电性连接,其由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓等透明导电材料制成。栅极线60、第一公共线62、第二公共线63与栅极640,是由曝光、显影、蚀刻第一金属层所形成,而数据线61、源极642与漏极643,则由曝光、显影、蚀刻第二金属层所形成。钝化保护层74配置在第二公共线之上,如图7所示,且具有第一通孔681与第二通孔682,分别对应于栅极线60的第一部分601与第二部分602。因此,导电组件67通过第一通孔681与第二通孔682,电性连接第一部分601与第二部分602。
接着在衬底70上,形成栅极绝缘层72,以覆盖栅极640、第一部分601、第二部分602、第一公共线62与第二公共线63等第一金属层的结构。其次,在栅极绝缘层72上形成通道层641,而在通道层641的表面上再形成奥姆接触层(图中未示),以提升通道层641与接下来形成的源极642与漏极643间之电性接触。
紧接着在栅极绝缘层72上形成数据线61,且源极642与漏极643恰好位于通道层641的上方。数据线61、源极642与漏极643则属于相同的第二金属层,即都由曝光、显影、蚀刻该第二金属层所形成,源极642电性连接于数据线61。栅极640、通道层641、源极642与漏极643构成薄膜晶体管64。
在形成数据线61、源极642与漏极643之后,在衬底70上再形成钝化保护层74,以覆盖上述由第二金属层所蚀刻的结构。接着,再蚀刻该钝化保护层74与该栅极绝缘层72,以形成对应于该第一部分601的第一通孔681,与对应于该第二部分602的第二通孔682。其次,在该钝化保护层74上,形成由透明导电材料所制的导电组件67,其可通过第一通孔681与第二通孔682,电性连接第一部分601与第二部分602。其中,导电组件67由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓等透明导电材料制成。
参阅图8,其为本发明的另一像素结构的矩阵布局的示意图。第一公共线62与第二公共线63,彼此通过导电组件67电性连接,并共同构成网状结构,以降低公共线的电阻-电容信号延迟效应。
虽然本发明已经公开了以上优选实施例,然而其并非用以限定本发明,本领域任何技术人员在不脱离本发明的精神和范围的情况下,应该可以进行少许更动与润饰,因此本发明的保护范围应该视附带的权利要求为准。

Claims (20)

1.一种液晶显示器,包含:
栅极线,其配置在衬底上;
数据线,其与所述栅极线相交;
第一公共线,其平行于所述栅极线;以及
第二公共线,其横越所述栅极线。
2.如权利要求1所述的液晶显示器,还包含:
栅极绝缘层,其位于所述第一公共线之上;以及
钝化保护层,其位于所述第一公共线与所述第二公共线之上;
其中,所述钝化保护层具有第一通孔与第二通孔。
3.如权利要求2所述的液晶显示器,其中,所述第一通孔对应于所述第一公共线,且所述第二通孔对应于所述第二公共线。
4.如权利要求3所述的液晶显示器,还包含导电组件,其通过所述第一通孔与所述第二通孔,电性连接所述第一公共线与所述第二公共线。
5.如权利要求4所述的液晶显示器,其中,所述导电组件由透明导电材料制成。
6.如权利要求5所述的液晶显示器,其中,所述透明导电材料选自于由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓所组成的群组。
7.如权利要求2所述的液晶显示器,其中,所述栅极线包含了第一部分与第二部分。
8.如权利要求7所述的液晶显示器,其中,所述第二公共线横越且位于所述第一部分与所述第二部分之间。
9.如权利要求7所述的液晶显示器,其中,所述第二公共线横越且位于所述第一通孔与所述第二通孔之间。
10.如权利要求7所述的液晶显示器,其中,所述第一通孔对应于所述第一部分,且所述第二通孔对应于所述第二部分。
11.如权利要求10所述的液晶显示器,还包含导电组件,其通过所述第一通孔与所述第二通孔,电性连接所述第一部分与所述第二部分。
12.如权利要求11所述的液晶显示器,其中,所述导电组件由透明导电材料制成。
13.如权利要求12所述的液晶显示器,其中,所述透明导电材料选自于由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓所组成的群组。
14.一种液晶显示器制造方法,包含下列步骤:
形成栅极线,其配置于衬底上;
形成数据线,其与所述栅极线相交;
形成第一公共线,其平行于所述栅极线;以及
形成第二公共线,其横越所述栅极线。
15.如权利要求14所述的液晶显示器制造方法,还包含下列步骤:
形成栅极绝缘层,其位于所述第一公共线之上;
形成钝化保护层,其位于所述第二公共线之上;以及
蚀刻所述钝化保护层,形成第一通孔与第二通孔。
16.如权利要求15所述的液晶显示器制造方法,还包含下列步骤:
形成导电组件,其通过所述第一通孔与所述第二通孔,电性连接所述第一公共线与所述第二公共线。
17.如权利要求16所述的液晶显示器制造方法,其中,所述导电组件由透明导电材料所制成,且所述透明导电材料选自于由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓所组成的群组。
18.如权利要求15所述的液晶显示器制造方法,其中,所述栅极线包含了第一部分与第二部分。
19.如权利要求18所述的液晶显示器制造方法,还包含下列步骤:
形成导电组件,其通过所述第一通孔与所述第二通孔,电性连接所述第一部分与所述第二部分。
20.如权利要求19所述的液晶显示器制造方法,其中,所述导电组件由透明导电材料所制成,且所述透明导电材料选自于由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌掺杂铝以及氧化锌掺杂镓所组成的群组。
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