CN101184942B - 阀门总成 - Google Patents

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Abstract

一种阀门总成，该阀门总成包括外壳(12)，该外壳(12)具有延伸至出口(20)的流动通道(14)和位于流动通道中的出口周围的阀座(24)，滑板(26)位于所述外壳中，可以在闭合位置和开启位置之间沿着所述流动通道的纵轴横向移动，在所述闭合位置，所述滑板与所述阀座接触，并阻止通过所述流动通道流动，在所述开启位置，所述滑板允许通过所述流动通道流动，其中，所述滑板和所述阀座中的至少一个包括至少一个通道(76)，所述通道(76)用于在所述滑板和所述阀座之间提供预定的导通量。

Description

阀门总成
技术领域
本发明主要涉及一种阀门总成，更具体的说，涉及一种新的、改进的阀门总成，所述阀门总成包括滑板，所述滑板具有通道，所述通道提供了减压功能和改善的抽空性能。 
背景技术
滑阀总成或闸阀总成通常包括外壳，所述外壳限定了在入口和出口之间延伸的流动通道。例如，将滑阀总成连接在操作室和真空泵之间，形成高纯气体运载系统的一部分，诸如那些用于在非常低的压力(高真空)(例如大约一托或更小的压力)下进行的半导体制造或其它薄膜涂布操作的高纯气体运载系统的一部分。在这种情况下，将阀门总成的入口法兰固定到操作室，而阀门总成的出口法兰固定到真空泵。 
滑阀总成包括滑板，所述滑板沿着阀门总成流动通道的轴线在开启和闭合位置之间横向移动。在摆动型滑阀总成中，滑板通过枢臂连接到可转动轴上。在完全开启位置，滑板从外壳的流动通道移开，从而流体可以自由地进出流动通道，而在闭合位置，滑板移动至与阀门总成出口周围的阀座或环状表面密闭接触，从而限制了流动通道的导通性。滑板的移动通常需要在完全开启位置(即第一开启位置)和中间位置(即第二开启位置)之间转动(即枢轴或横向)移动，然后至少进行一些从中间位置到闭合位置的纵向(例如平移、线性或轴向)移动，在所述闭合位置，滑板与出口的阀座密闭接触。 
Olmsted的美国专利6,089,537公开了一种摆动型阀门总成，该阀门总成运用简单的转动凸轮机构精确地控制了滑板在完全开启位置和完全闭合位置之间的转动移动和纵向移动，该专利被转让给本发明的受让人，并通过参考在此合并。所述凸轮机构还包括弹簧，所述弹簧的作用是偏压所述滑板，使其远离出口的阀座。 
一些现有的摆动型阀门还包括密封圈，当该密封圈独立地作用于滑板时提供了完全的密封(隔离)。例如，Brida的美国专利5,577,707公开了一种摆动型滑阀，该滑阀包括密封圈，当滑板枢转到密闭位置时，所述密封圈可以朝滑板移动或远离滑板移动。当滑板处于闭合位置时，使用弹簧或压缩空气使密封圈朝滑板偏压，使滑板紧密地密闭所述阀座，以在滑板与密封圈之间形成密封。 
密封圈通常为阀门总成提供了隔离功能，而不用于控制导通。通常所述密封圈为固定安装，移动所述滑板来控制导通。然而，在2003年9月29日提交的、系列号为10/673,989的共同待决美国专利申请公开了一种摆动型阀门总成，该阀门总成包括密封圈，该密封圈用于改进在阀门的初始开启过程中的导通性控制，该专利申请被转让给本发明的受让人，并通过参考在此合并。 
该阀门总成在操作室与真空泵之间的操作通常包括三个阶段：隔离、抽空和节流。在隔离阶段，所述密封圈提供隔离功能，阀门总成的入口和出口之间的压力差很大。在抽空阶段，将所述密封圈从所述滑板移开，所述滑板与出口的阀座之间的导通性逐渐增加，阀门总成的入口和出口之间的压力差减小。在节流阶段，所述滑板与出口的阀座之间的导通性保持为恒定的预定水平，阀门总成的入口和出口之间的压力差相对较低，但是保持恒定。在半导体装置的操作过程中，节流步骤用于在连接的操作室内保持所需的低压(即操作压力)。 
一些现有的闸阀或摆动型阀门的一个缺点在于，当阀门的操作室侧与泵侧之间存在高压力差时，初始移动所述滑板和开启阀门时需要很大的力。如此大的力需要庞大的驱动装置，这增加了阀门总成的大小和成本。可选地，可以在所述摆动型阀门的操作室侧连接独立的旁通阀，在开启所述摆动型阀门之前，先操作所述旁通阀来降低摆动型阀门的操作室侧中的压力，从而无需较大的驱动装置来初始移动所述滑板。然而，独立的旁通阀也增加了所述摆动型阀门总成的大小和成本。 
如果不使用庞大的驱动装置或独立的旁通阀，则所述抽空步骤可能需要较长的时间来实现滑板与出口的阀座之间的导通，以及使压力差降低到所需的水平。然而，在半导体装置的操作过程中不希望出现较长的抽空时间，这是因为这样长的抽空时间会降低半导体装置的产量。 
所需要的是新的、改进的阀门总成。优选情况下，将所述新的、改进的阀门总成调整为在开启所述滑板之前，自动降低阀门总成的操作室侧(即阀门总成的入口)与泵侧(即出口)之间的高压力差，从而在抽空过程中无需较大的驱动装置或独立的旁通阀便可初始移动所述滑板和开启阀门。此外，自动降低所述高压力差优选将在半导体装置的操作过程中减少抽空时间。 
发明内容
本发明提供了一种新的、改进的阀门总成，该阀门总成配置为在开启所述阀门总成的滑板之前，自动在所述阀门总成的入口与出口之间降低压力。从而，无需较大的力便可初始移动所述滑板和开启阀门。由于无需较大的驱动力，因此无需庞大的驱动机构，而所述庞大的驱动机构会增加所述阀门总成的大小和成本。而且，所述 高压力差的自动降低也不是通过使用独立的旁通阀来实现，而独立的旁通阀会增加阀门总成的大小和成本。此外，所述新的、改进的阀门总成在不使用庞大的驱动机构或独立的旁通阀的情况下，便可相对快速地实现抽空过程。 
根据一种示例性实施方式，所述阀门总成包括外壳，该外壳具有流动通道和阀座，所述流动通道延伸至出口，所述阀座位于所述流动通道中的所述出口周围。滑板位于所述外壳中，可以在闭合位置与开启位置之间沿着所述流动通道的纵轴横向移动，在所述闭合位置，所述滑板与所述阀座接触，阻止通过所述流动通道流动，在所述开启位置，所述滑板允许通过所述流动通道流动。所述滑板和所述阀座中的至少一个包括至少一个通道，该通道用于当所述滑板处于闭合位置时，在所述滑板与所述阀座之间提供预定的导通量。所述通道允许在抽空过程中，在将所述滑板移动至开启位置之前，在所述阀门总成的入口和出口之间降低压力。 
根据另一种示例性实施方式，所述阀门总成的流动通道从入口延伸至出口，在所述流动通道中的所述入口周围界定了阀座，所述阀门总成还包括密封圈，所述密封圈同轴放置在所述入口的阀组与所述滑板之间的流动通道内。所述密封圈可以在所述流动通道中朝所述滑板轴向移动，以在所述滑板与所述入口的阀座之间提供密封。 
根据另一种示例性实施方式，所述滑板和密封圈中的至少一个包括至少一个通道，所述通道用于在所述密封圈的移动过程中增加所述滑板与所述密封圈之间的导通性。 
通过以下的详细说明，本领域的技术人员将更清楚地了解本发明的其他方面和优势，其中，将通过实施本发明的最佳模式的简单示例来说明本阀门的示例性实施方式。可以意识到，本发明可以具 有其他不同的实施方式，在不偏离本发明的情况下，该实施方式的具体细节可以在各个方面进行修改。相应地，应该认为其中的附图和说明为示例性，而非限制性。 
附图说明
将参考附图，其中具有相同的附图标记的元件一直代表相似的元件，其中： 
图1是根据本发明构造的阀门总成的一种实施方式的一部分的底部透视图，示出了该阀门总成的滑板和密封圈； 
图2是图1所示的阀门总成的一部分的局部放大顶部截面透视图，示出了该阀门总成的滑板处于部分开启位置，与该阀门总成的出口的阀座相间隔，所述密封圈被偏压远离所述滑板； 
图3是图1所示的摆动型阀门总成的滑板的底部透视图； 
图4是图3中圆“4”中包括的滑板部分的局部放大的底部透视图； 
图5是根据本发明构造的用于图1所示的摆动型阀门总成的滑板的另一种实施方式的底部透视图； 
图6是图5中圆“6”中包括的滑板部分的局部放大的底部透视图； 
图7是根据本发明构造的用于图1所示的摆动型阀门总成的滑板的另外的实施方式的底部透视图； 
图8是图7中圆“8”中包括的滑板部分的局部放大的底部透视图； 
图9是图7中圆“8”中包括的滑板部分的局部放大剖视图，其中所述滑板的门处于开启和闭合位置。 
具体实施方式
参见图1和2，根据本发明构造的摆动型阀门总成10的一种实施方式通常包括外壳12，所述外壳12界定了在入口18与出口20之间延伸的流动通道14。阀座22、24配置在入口和出口18、20的边缘周围的外壳12的流动通道14中。如图所示，所述阀门总成包括摆动型阀门16，所述摆动型阀门16可操作地安装在所述外壳内，并具有滑板26，所述滑板26可以在第一开启位置和第二开启位置之间枢轴移动，如图2所示，处于所述第一开启位置时，所述滑板26完全在所述流动通道14之外，处于所述第二开启位置时，所述滑板位于所述流动通道14内。所述滑板26位于所述流动通道14中的第二开启位置中时可以减少流过所述出口20的流体。所述滑板26还可以相对出口20的阀座24从流动通道14内的所述第二开启位置轴向移动到最小可控制导通位置，充分地防止流体流过出口20(即充分闭合位置)。在该充分闭合位置，所述板26可以与出口20的阀座24物理接触或不接触，它们之间可以存在小的间隙。 
虽然未示出，但是例如，摆动型阀门总成10的入口18可以与操作室连接，出口20可以与真空泵连接，以形成高纯气体的运载系统的一部分，诸如那些用于在非常低的压力(高真空)(例如大约一托或更小的压力)下进行的半导体制造或其它薄膜涂布操作的高纯气体运载系统的一部分。通常，将工件(例如半导体晶片)置于操作室中，将操作气体导入该操作室，以预定的方式与所述工件进行化学反应。 
如图2所示，所述摆动型阀门总成10通过控制所述滑板26在所述第一开启位置(完全位于流动通道14之外)、第二开启位置(位 于流动通道14内)和相对出口20的阀座24的充分闭合位置之间的位置，来协助控制操作室与真空泵之间的导通性。从而所述摆动型阀门总成10可以用于通过控制所述导通性来控制所述操作室内的压力。应该注意到，所述操作室与真空泵之间的距离优选为尽量小，从而将所述摆动型阀门总成10的入口18与出口20之间配置最小的尺寸(即“法兰对法兰尺寸”)。 
仍然参见图1和2，所述阀门总成10还包括密封圈30，所述密封圈30同轴围绕所述流动通道14，位于外壳12的入口18内并位于滑板26与入口18的阀座22之间。最好参见图2，所述密封圈30具有第一表面38和第二表面40，所述第一表面38朝向入口18，所述第二表面40朝向出口20和滑板26，连接管32从所述第一表面38延伸至所述入口18中。在所述入口18的内表面19与所述入口18的阀座22之间配置凸肩21，用于容纳所述连接管32。在该实施方式中，所述密封圈30支撑两个O形环34、36，所述两个O形环34、36由弹性材料制成，并分别位于所述密封圈30中形成的槽中。一个O形环34位于所述第二表面的槽中，位于所述密封圈30与所述滑板26之间，而另一个O形环36位于连接管32的槽中，位于连接管32与入口18的凸肩之间。 
虽然图中未示出，但是所述密封圈30的远离所述滑板26的第一表面38具有多个连续的、环状分布的钻孔。所述钻孔分别与阀座22中形成的孔对准。阀座22中的所述孔延伸至环状的腔室52，所述腔室52同轴围绕流动通道14。多个固定件(图中未示出)延伸通过所述阀座22的孔，并固定在所述密封圈30的相对应的钻孔中。配置有O形环的环状活塞54位于所述腔室52中，并固定到所述固定件上。所述腔室52包括相对所述活塞54布置的入口管道，从而从中流过的流体(例如压缩空气)仅作用在活塞54的固定到 所述固定件上的第一侧。还配置了多个弹簧58，所述弹簧58作用在所述环状活塞54的另一侧，即远离所述固定件的一侧(可选地，可以将两个入口管道的开口配置到所述环状腔室52内，从而流体压力将作用在所述环状活塞54的相反的两侧，从而免除弹簧)。在于2003年2月20日申请的、申请序列号为10/369,952、现在的美国专利公布号为US 2004/0164264A1、题为“Seal Ring for PendulumValve Assembly(摆动型阀门总成的密封圈)”的美国专利中更详细地说明了此布置的示例，该专利转让给本发明的受让人，并通过参考在此合并。 
如图2所示，当所述滑板26枢转至流动通道14中，但仍保持在开启位置中时，所述密封圈30仍然位于紧靠入口18的阀座22的位置。在密封圈30的此位置中，压力介质流入环状腔室52中，从而所述环状活塞54抵抗弹簧58的偏压力，与密封圈30一起被移置。当所述滑板26位于紧靠(或者非常接近)所述阀座24的最小可控制导通性(或“软”闭合)位置时，所述密封圈30仍然紧靠所述阀座22。然而，要完全密封所述闭合的滑板26，所述压力流体从环状腔室52中排出，从而弹簧58可以推动所述环状活塞54和所连接的固定件60以及所述密封圈30，使密封圈紧靠所述滑板26，所述滑板26用力紧靠所述阀座24，从而提供了“硬”闭合位置。所述闭合的滑板26被所述密封圈30完全密封，以提供隔离作用，其中阀门总成的入口18与出口20之间的压力差最大。 
所述滑板26的开启可以相反的过程进行。将压力流体提供至环状腔室52中，从而环状活塞54与固定件一起向远离所述滑板26的方向移动，密封圈30向远离所述滑板26的方向移动。然后，在抽空过程中，所述滑板26与出口20的阀座24之间的导通性逐渐增加，阀门总成的入口18与出口20之间的压力差降低。在节流 阶段，所述滑板26与出口20的阀座24之间的导通性保持为恒定的预定水平，阀门总成的进口和出口之间的压力差相对较低，但是保持恒定。在半导体装置的操作过程中，所述节流步骤用于在连接的操作室内保持所需的压力(即操作压力)。 
如图1所示，所述阀门总成10可以包括转动凸轮机构62，所述转动凸轮机构62精确地控制了滑板26在完全开启位置和完全闭合位置之间的转动移动和纵向移动。美国专利No.6,089,537中说明了适于的转动凸轮机构的示例，该专利被转让给本发明的受让人，并通过参考在此合并。所述转动凸轮机构62有利地在所述滑板26的闭合位置附近提供了精细的导通控制。所述转动凸轮机构62包括至少一个弹簧64，所述弹簧64通常将所述滑板26朝远离所述出口20的阀座24的方向偏压。在抽空过程中，随着入口侧压力的降低，所述弹簧64提供的力最终克服入口侧压力，使所述滑板26从所述出口20的阀座24移开。 
现在请参见图2至4，所述滑板26具有第一表面70和第二表面72以及径向地朝向外侧的侧壁74，所述第一表面70朝着背离所述出口20的方向，所述第二表面72朝向所述出口，所述径向地朝向外侧的侧壁74通常与所述流动通道14平行地延伸。所述滑板26和所述出口20的阀座24中的至少一个包括至少一个通道76，该通道76用于当所述滑板26处于闭合位置时，在所述滑板26与所述阀座24之间提供预定的导通量。 
在图2至4中所示的实施方式中，所述滑板26中配置了单个通道76。然而，可选地，也可以在所述出口20的阀座24中配置通道，或者在所述出口20的阀座24和所述滑板26中都配置通道。 
在所述密封圈30已从所述滑板26移开之后，且在所述滑板26被所述转动凸轮机构62的弹簧64的力推离出口20的所述阀座 24之前，所述通道76在所述阀门总成10的入口18与出口20之间提供了自动的压力降低。从而无需很大的力便可将所述滑板26从所述出口20移开。由于无需很大的驱动力，因此也无需庞大的驱动机构，而所述庞大的驱动机构会增加阀门总成10的大小和成本。而且，所述高压力差的自动降低也不是通过使用独立的旁通阀来实现的，而独立的旁通阀会增加阀门总成10的大小和成本。此外，所述新的、改进的阀门总成10在不使用庞大的驱动机构或独立的旁通阀的情况下，便可相对快速地实现抽空过程。 
在图2至4所示的实施方式中，所述单个通道包括在所述第二表面72中形成的槽76，所述槽76延伸至所述滑板26的侧壁74中。所述槽76相对较小，用于较小(例如小于100升)的操作室。 
图5和6示出了根据本发明构造的用于图1所示的摆动型阀门总成10的滑板126的另一种实施方式。所述滑板126与图1至4中的滑板26类似，从而类似的元件采用相同的附图标记加上前缀“1”。图5和6中所述滑板126包括多个通道176。在图中所示的实施方式中，每个所述通道包括在所述第二表面172中形成的槽176，所述槽176延伸至所述滑板126的侧壁174中。所述槽176相对较大，用于较大(例如大于500升)的操作室，并减少了抽空过程的时间。例如，对1700升操作室使用图5和6中的实施方式的抽空过程持续约10分钟，对1700升操作室使用图1至4中的实施方式的抽空过程持续约200分钟。 
图7至9示出了根据本发明构造的用于图1所示的摆动型阀门总成10的滑板226的另一种实施方式。所述滑板226与图1至4中的滑板26类似，从而类似的元件采用相同的附图标记加上前缀“2”。图7至9中所述滑板226包括单个通道276。所述通道包括钻孔276，所述钻孔276从所述第二表面272延伸至所述滑板226 的侧壁274，所述钻孔276的入口278界定在所述侧壁274中，而所述钻孔276的出口280界定在所述第二表面272中。最好参见图9，可移动门282位于所述钻孔276的出口280上，将所述可移动门282设置为当所述滑板226的相对的两侧之间的压力差足够大时开启。在图中所述的实施方式中，所述可移动门包括具有弹性柔性的弹簧板282，该弹簧板282通常被偏压闭合。所述弹簧板282在所述钻孔276的出口280上延伸，并固定到(例如用螺钉固定)所述滑板226上。螺钉孔284如图8所示。 
图7至9中的滑板226结合了图1至4中的滑板26的优势和图5和6中的滑板126的优势。也就是说，图7至9中的滑板226与图1至4中的实施方式26一样，在正常操作模式中对闭合导通性影响小，与图5和6中的实施方式126一样，在抽空过程中提供了高导通性。 
虽然图中未示出，但是根据本发明构造的新的、改进的摆动型阀门总成10可以还在所述滑板26的第一表面70和所述密封圈30中的一个中包括至少一个通道，用于在所述密封圈的移动过程中增加所述滑板与所述密封圈之间的导通性。在与2003年9月29日提交的、序列号为10/673,989的美国专利申请中公开了这样的通道的实施方式，该通道使得密封圈30在密封圈30的移动过程中提供了更好的导通性控制，该专利申请已转让给本发明的受让人，并通过参考在此合并。 
从而，说明了根据本发明构造的新的、改进的摆动型阀门总成10。本说明书中说明的示例性实施方式是作为示例，而不是作为限定，对于本领域的技术人员来说，在不偏离本发明的广义范围或精神或不偏离权利要求的范围的前提下，显然可以实施各种修改、组合和替换。例如，本发明并不限于摆动型滑阀，还可以应用于可线 性移置型滑阀或闸阀。 
此处公开的本发明的阀门总成10及其所有元件都包括在至少一项权利要求的范围内。这意味着不放弃本发明公布的阀门总成的任何元件。 

Claims (20)

1.一种阀门总成，该阀门总成包括：
外壳，该外壳具有流动通道，所述流动通道延伸至出口，并在所述流动通道中的所述出口周围界定了阀座；
滑板，该滑板位于所述外壳中，可以在闭合位置与开启位置之间沿着所述流动通道的纵轴横向移动，在所述闭合位置，所述滑板与所述阀座接触，阻止通过所述流动通道流动，在所述开启位置，所述滑板允许通过所述流动通道流动；
其中，所述滑板和所述阀座中的至少一个包括至少一个通道，该通道用于当所述滑板处于闭合位置时，在所述滑板与所述阀座之间提供预定的导通量；
其中，所述滑板可以枢轴移动至所述流动通道中，并且
所述滑板可以在第一开启位置和第二开启位置之间枢轴移动，在所述第一开启位置，所述滑板在所述流动通道之外，在所述第二开启位置，所述滑板枢转入滑道，但是与所述出口的阀座轴向间隔，然后所述滑板可以在所述流动通道中轴向移动至充分闭合位置，在所述充分闭合位置，所述滑板与所述出口的阀座接触。
2.根据权利要求1所述的阀门总成，其特征在于，用于在所述滑板与所述阀座之间提供预定的导通量的所述通道界定在所述滑板中。
3.根据权利要求2所述的阀门总成，其特征在于，所述滑板包括第一表面和第二表面以及径向地朝向外侧的侧壁，所述第一表面朝着背离所述出口的方向，所述第二表面朝向所述出口，所述径向地朝向外侧的侧壁通常与所述流动通道平行地延伸，其中，用于在所述滑板与所述阀座之间提供预定的导通量的所述通道界定在所述滑板的所述第二表面和所述侧壁中。
4.根据权利要求3所述的阀门总成，其特征在于，所述通道包括在所述第二表面中形成的槽，所述槽延伸至所述滑板的侧壁中。
5.根据权利要求3所述的阀门总成，其特征在于，所述通道包括在所述第二表面中形成的多个槽，所述多个槽延伸至所述滑板的侧壁中。
6.根据权利要求3所述的阀门总成，其特征在于，所述通道包括钻孔，所述钻孔从所述第二表面延伸至所述滑板的侧壁，其中，所述钻孔的入口界定在所述侧壁中，所述钻孔的出口界定在所述第二表面中。
7.根据权利要求6所述的阀门总成，其特征在于，该阀门总成还包括可移动门，所述可移动门位于所述钻孔的出口上方。
8.根据权利要求7所述的阀门总成，其特征在于，所述可移动门被偏压闭合。
9.根据权利要求8所述的阀门总成，其特征在于，所述可移动门包括具有弹性柔性的弹簧板，该弹簧板用于被偏压闭合。
10.根据权利要求1所述的阀门总成，其特征在于，该阀门总成还包括轴，所述轴通过从该轴侧向延伸的臂连接到所述滑板，所述轴至少部分安装在所述外壳内，以围绕所述轴的纵轴线转动，从而使所述滑板转动至所述流动通道中处于所述第二开启位置，还大体平行于所述流动通道的轴线滑动，以使所述滑板在所述流动通道中轴向移动至所述充分闭合位置，与所述出口的阀座接触。
11.根据权利要求10所述的阀门总成，其特征在于，该阀门总成还包括连接在所述轴和外壳之间的凸轮机构，以提供所述轴的转动移动和滑动移动的组合。
12.根据权利要求11所述的阀门总成，其特征在于，所述凸轮机构包括：
由所述外壳界定的凸轮表面；和
凸轮从动件，所述凸轮从动件固定在所述轴上，并与所述外壳的凸轮表面啮合。
13.根据权利要求11所述的阀门总成，其特征在于，所述凸轮机构包括弹簧，该弹簧用于提供所述轴的滑动移动，以及用于偏压所述滑板，使其远离所述出口的阀座。
14.根据权利要求1所述的阀门总成，其特征在于，所述流动通道从入口延伸至出口，并在所述流动通道中的所述入口周围界定了阀座，所述阀门总成还包括密封圈，所述密封圈同轴放置在所述入口的阀组与所述滑板之间的流动通道内，其中，所述密封圈可以在所述流动通道中朝所述滑板轴向移动，以在所述滑板与所述入口的阀座之间提供密封。
15.根据权利要求14所述的阀门总成，其特征在于，所述滑板和所述密封圈中的至少一个具有至少一个通道，所述通道用于增加所述滑板与所述密封圈之间的导通性。
16.根据权利要求15所述的阀门总成，其特征在于，用于增加所述滑板与所述密封圈之间的导通性的所述至少一个通道形成于所述密封圈中。
17.根据权利要求1所述的阀门总成，其特征在于，所述阀门总成还包括弹簧，该弹簧用于偏压所述滑板，使其远离所述出口的阀座。
18.一种高纯气体运载系统，该运载系统包括根据权利要求1所述的阀门总成，该运载系统还包括操作室，该操作室通过所述阀门总成连接到真空泵。
19.根据权利要求1所述的阀门总成，其特征在于，用于在所述滑板与所述阀座之间提供预定的导通量的所述通道界定在所述阀座中。
20.根据权利要求1所述的阀门总成，其特征在于，用于在所述滑板与所述阀座之间提供预定的导通量的所述通道界定在所述滑板和所述阀座中。
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