CN101182128A - 具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃及其制备方法是一种可用于汽车、火车、轮船、建筑和照明灯具等领域镀膜玻璃，它的特点是：在玻璃的两个面分别实现自洁净功能和低辐射或反射红外线功能。它的膜层结构是：二氧化钛自洁净膜/玻璃基片/低辐射膜或反射红外线膜；可见光透射率在55～80％，辐射率在0.2～0.05，红外线反射的起始波长在900～2500nm。二氧化钛自洁净膜层厚100～500nm，低辐射膜或反射红外线膜层总厚80～500nm。本镀膜玻璃的二氧化钛自洁净膜面用二氧化钛溶胶－凝胶单面喷涂法或浸渍提拉法制备；另一面的低辐射膜或反射红外线膜用溅射法制备。
Description
技术领域
本发明具体涉及一种在玻璃基板上一面或双面镀制二氧化钛自洁净膜、然后在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制低辐射膜或反射红外线膜，使玻璃的两表面分别具有自洁净和低辐射或反射红外线双功能镀膜玻璃，属于镀膜玻璃制造的技术领域。
背景技术
透过普通玻璃的太阳光除可见光外，还有红外线。红外线携带热量，会使建筑物内部升温。因此，红外线的透过率应该根据不同地区和不同气候条件进行调控。在夏热冬暖地区，太阳辐射是导致室内炎热的最主要原因。因此，遮蔽进入室内的太阳辐射是减少空调能源消耗的最有效途径。在寒冷及严寒地区，主要是要减少冬天制热的能耗。太阳辐射主要是在2μm以下，而室内50℃以下的热辐射主要在3μm以上。因此在寒冷及严寒地区则要求玻璃能尽量透过太阳辐射，同时能将室内的热辐射反射回室内；在夏热冬冷地区则有必要调节玻璃的红外反射的其始波长，使它能在夏天阻止太阳辐射进入室内，而在冬天能尽量透过太阳辐射。在玻璃上镀制低辐射膜或反射红外线膜的目的就是要达到减少冬季制热或夏季制冷的能耗。
大气或室内空气的有机污染物会黏附在玻璃表面，造成玻璃需要经常清洗，并且清洗高层建筑的费用很高，清洗剂还会污染地面。二氧化钛是目前最稳定的光催化剂，它可以降解黏附在玻璃上的有机污染物和与它接触的有机污染气体，达到清晰玻璃和清新空气的目的。
目前，在玻璃单面上制备单一自洁功能的镀膜玻璃的主要专利有：
1)二氧化钛光催化空气净化薄膜及其制备方法，申请号：01134335.4；
2)二氧化钛光催化剂构件及其制造方法，申请号：95191471.5；
3)制备高活性二氧化钛薄膜自洁净玻璃材料的方法，ZL01128305.X；
4)提高二氧化钛薄膜自洁净玻璃光催化活性的方法，ZL01128306.8
5)溶胶镀膜一步热处理法制备二氧化钛薄膜钢化自洁净玻璃，ZL200510018520.6
在玻璃单面上制备低辐射膜或反射红外线的镀膜玻璃的专利有很多，例如：隔热、除霜镀膜玻璃的制备方法，申请号：98100128.9等。
在玻璃单面上制备与本申请专利相关的双功能膜的专利有：
1)截止紫外线/反射红外线双重功能镀膜玻璃及其制备方法，ZL200410061018.9
2)氮化钛基低辐射/自洁净复合功能型镀膜玻璃，ZL200410012951.7
因此，从上述资料可见，目前所制备的功能性镀膜玻璃只在玻璃的一个面镀膜。本申请专利是在一块(片)玻璃的两个表面分别实现自洁净和低辐射或反射红外线双功能，可以更好地满足需要。例如：用银基多层膜实现低辐射或反射红外线时，玻璃就需要作成中空玻璃使用，膜层就需要放在中空玻璃的内表面，为了同时使这片玻璃具有自洁净功能，自洁净膜就需要镀制在这一片玻璃的另一面。
本发明的特点是在一块(片)玻璃的两个表面分别实现自洁净和低辐射或反射红外线双功能。该双功能镀膜玻璃可用于汽车、火车、轮船、建筑和照明灯具等使用玻璃领域，以及冰箱或冰柜的透视(观察)窗(门)等。属于功能集成创新，
发明内容
技术问题：本发明的目的在于提供一种具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃及其制备方法，在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制低辐射膜或反射红外线膜的双功能镀膜玻璃。
技术方案：本发明具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃在玻璃基片表面上的一面镀制具有自洁净功能的二氧化钛自洁净膜层，另一面镀制低辐射膜或反射红外线膜层，或在玻璃基片表面上的两面镀制具有自洁净功能的二氧化钛自洁净膜层，在其中一面的二氧化钛自洁净膜层外再镀制低辐射膜或反射红外线膜层；所述低辐射膜或反射红外线膜层为氧化物半导体膜或银基多层膜，膜层结构是：氧化物半导体ZnO:Al或In2O3:Sn镀制的单层膜，或金属Sn、NiCr合金和金属Ag镀制的多层膜。具有自洁净功能的二氧化钛自洁净膜层的厚度为100nm～500nm，低辐射膜或反射红外线膜层的厚度为80nm～500nm。
具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃的制备方法首先在玻璃上用二氧化钛溶胶-凝胶单面喷涂法或双面浸渍提拉法制备具有自洁净功能的二氧化钛自洁净膜层，之后将该镀膜玻璃在500℃-650℃热处理2-20分钟；然后在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制低辐射膜或反射红外线膜层用溅射法制备，
具体方法为：
1)对待镀膜玻璃基片进行清洗、干燥；
2)配制含钛的溶胶-凝胶溶液，该溶液由钛酸丁酯、水和乙醇组成；钛酸丁酯6.92毫升，水0.37毫升，乙醇92.71毫升；三者体积比：1∶0.053∶13.4；配比在±0.05范围内，
3)用喷涂方法或浸渍提拉方法在洁净玻璃片上镀制单面或双面的二氧化钛自洁净膜层；其方法是：在常压下，首先在玻璃上喷涂或浸渍含钛的溶胶-凝胶液，根据膜层厚度确定喷涂时间或浸渍提拉次数；然后把喷涂单面二氧化钛自洁净膜玻璃或浸渍提拉双面二氧化钛自洁净膜玻璃在500-650℃热处理2-20分钟；
4)玻璃的单面或双面镀制二氧化钛自洁净膜层后，直接送入溅射镀膜设备中，在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制氧化物半导体膜或银基多层膜，溅射室的背底真空小于2.5×10-3Pa，镀制方法是：
a)镀制氧化物半导体膜：靶材是ZnO:Al或In2O3:Sn陶瓷靶材；溅射气体是高纯氩气，工作气压是0.25Pa，镀制的膜层厚度80-500纳米；
b)镀制银基多层膜：靶材分别是金属Sn、NiCr合金和金属Ag，金属Sn溅射气体是高纯氩气和氧气，其中氧气/氩气＝15/85，工作气压是0.25Pa；NiCr合金和金属Ag，溅射气体是高纯氩气，工作气压是0.25Pa，镀制的膜层总厚度80-500纳米。
有益效果：本发明的特征在于在玻璃表面的一面或双面首先镀有二氧化钛自洁净膜层，然后在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制低辐射膜或反射红外线膜的双功能镀膜玻璃；可见光透射率在55～80％，辐射率在0.2～0.05，红外线反射的起始波长在900nm～2500nm。
本发明的制备方法通过改变膜层厚度，可以调节其颜色，使该膜层结构的镀膜玻璃得到所需要的可见光透射率、反射颜色、透射色。
本发明的双功能镀膜玻璃，在汽车、火车、轮船、建筑和照明灯具及冰箱或冰柜的透视(观察)窗(门)等使用玻璃领域，具有广泛的应用，前景广阔。
附图说明
图1是喷涂法镀二氧化钛自洁净膜玻璃热处理、溅射镀低辐射或反射红外线膜玻璃后的膜层结构示意图。
图2是浸渍提拉法镀二氧化钛自洁净膜玻璃热处理、溅射镀低辐射或反射红外线膜玻璃后的膜层结构示意图。
图中有：玻璃基片1，二氧化钛自洁净膜层2，低辐射或反射红外线膜层3。
具体实施方式
本发明是通过镀膜在同一块(片)玻璃的两个面分别实现自洁净和低辐射或反射红外线双功能。它的膜层结构是：二氧化钛自洁净膜/玻璃基片/低辐射膜或反射红外线膜；可见光透射率在55～80％，辐射率在0.2～0.05，红外线反射的起始波长在900nm～2500nm。自洁净膜层厚100nm～500nm，低辐射膜或反射红外线膜层总厚80nm～500nm。本镀膜玻璃的二氧化钛自洁净膜面用二氧化钛溶胶-凝胶单面喷涂法或双面浸渍提拉法制备；在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制低辐射膜或反射红外线膜用溅射法制备。
为了实现上述目的，本发明的技术方案是：
在一块(片)玻璃上的两个面分别具有自洁净和低辐射或反射红外线双功能镀膜玻璃，制备方法是：玻璃基片上的一个面或双面首先镀有二氧化钛自洁净膜层，然后在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀低辐射膜或反射红外线膜。其膜层结构是：二氧化钛自洁净膜/玻璃基片/低辐射膜或反射红外线膜；所述的二氧化钛自洁净膜是锐钛矿相，膜层厚度为：100～500纳米；所述的低辐射膜或反射红外线膜是氧化物半导体膜或银基多层膜；氧化物半导体ZnO:Al或In2O3:Sn镀制的单层膜，膜层厚度为：80～500纳米；或金属Sn、NiCr合金和金属Ag镀制的多层膜，膜层总厚度为：80～500纳米。
所述的同一块(片)玻璃的两个面分别具有自洁净和低辐射或反射红外线双功能镀膜玻璃的制备方法，其特征是包括如下步骤：
1)对待镀膜玻璃基片进行清洗、干燥；
2)配制含钛的溶胶-凝胶溶液，溶液由钛酸丁酯、水和乙醇组成；钛酸丁酯6.92毫升，水0.37毫升，乙醇92.71毫升；三者体积比：1∶0.053∶13.4；配比在±0.05范围内。
3)用喷涂方法或浸渍提拉方法在洁净玻璃片上分别镀制单面的二氧化钛自洁净膜层或双面的二氧化钛自洁净膜层。其方法是：
在常压下，首先在玻璃上喷涂或浸渍含钛的溶胶-凝胶液并提拉，根据膜层厚度确定喷涂时间或浸渍提拉次数；然后把喷涂单面二氧化钛自洁净膜或浸渍提拉双面二氧化钛自洁净膜的玻璃在500-650℃热处理2-20分钟。玻璃热处理后的膜层结构示意图见图1(喷涂法)或图2(浸渍提拉法)。图1和图2中：1指玻璃基片，2指喷涂或浸渍提拉法制备的二氧化钛自洁净膜。
4)玻璃的单面或双面镀制二氧化钛自洁净膜层后，直接送入溅射镀膜设备中，在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制氧化物半导体膜或银基多层膜。溅射室的背底真空小于2.5×10-3Pa。镀制方法是：
a)镀制半导体氧化物膜：靶材是ZnO:Al或In2O3:Sn(ITO)陶瓷靶材；溅射气体是高纯氩气，工作气压是0.25Pa。镀制的膜层厚度80-500纳米。
b)镀制银基多层膜：靶材分别是金属Sn、NiCr合金和金属Ag，金属Sn溅射气体是高纯氩气和氧气，其中氧气/氩气＝15/85，工作气压是0.25Pa；NiCr合金和金属Ag，溅射气体是高纯氩气，工作气压是0.25Pa。镀制的膜层总厚度80-500纳米。
实施例1：用喷涂法在玻璃单面制备二氧化钛自洁净膜、用溅射法在未镀二氧化钛自洁净膜玻璃的一面镀制氧化物半导体ZnO:Al或In2O3:Sn膜，玻璃在两个面分别具有自洁净和低辐射或反射红外线功能，使该镀膜玻璃同时具有该双功能。
制备包括如下步骤：
1)首先对待镀膜玻璃基片进行清洗、干燥；基片玻璃的可见光透射率为89％；
2)配制含钛喷涂液，喷涂液由钛酸丁酯组成，用乙醇调整钛的浓度。钛酸丁酯6.92毫升，水0.37毫升，乙醇92.71毫升；三者体积比：1∶0.053∶13.4。
3)在常压下，首先在100mm长、100mm宽、3mm厚的玻璃片上喷涂含钛的喷涂液；然后把喷涂膜的玻璃在520℃热处理10分钟。
4)把单面镀二氧化钛自洁净膜的镀膜玻璃送到溅射镀膜设备，背底真空2.5×10-3Pa；用ZnO:Al或In2O3:Sn做靶材，在工作真空0.25Pa的纯氩气下，在未镀二氧化钛自洁净膜玻璃的一面镀ZnO:Al或In2O3:Sn氧化物半导体膜。
得到的双功能镀膜玻璃的性能如下：二氧化钛自洁净膜厚200nm、ZnO:Al或In2O3:Sn膜厚200nm；可见光透过率78％；把镀膜玻璃的二氧化钛自洁净膜面向上放置在一个密闭容器里，向容器里注入甲醛气体，在中心波长为345nm的紫外线照射下，二氧化钛自洁净膜面上的照明度是1.2mW/cm2，用火焰电离检测器定量分析容器内的甲醛余量，得到镀膜玻璃对甲醛的降解率为17.2μl/min；将浸有色拉油的薄纸擦拭二氧化钛自洁净膜面(尺寸：50×50)，用天平称膜面上色拉油的重量约为0.1mg/cm2，在中心波长为345nm的紫外线照射下，二氧化钛自洁净膜面上的照明度是1.2mW/cm2，照射28小时后，玻璃恢复到未擦拭色拉油前的重量，说明玻璃镀二氧化钛膜层对色拉油的降解为100％。镀膜玻璃的红外反射起始波长为1400nm，辐射率为0.19；镀膜玻璃的理化性能符合“镀膜玻璃理化性能测试标准”中规定的国家标准。
实施例2：用喷涂法在玻璃单面制备二氧化钛自洁净膜，用溅射法在未镀二氧化钛自洁净膜玻璃的一面镀制银基多层膜(膜层是SnO2/NiCr/Ag/NiCr/SnO2)。玻璃在两个面分别具有自洁净和低辐射或反射红外线功能，使该镀膜玻璃同时具有该双功能。制备包括如下步骤：
1)首先对待镀膜玻璃基片进行清洗、干燥；基片玻璃的可见光透射率为89％；
2)配制含钛喷涂液，喷涂液由钛酸丁酯组成，用乙醇调整钛的浓度。钛酸丁酯6.92毫升，水0.37毫升，乙醇92.71毫升；三者体积比：1∶0.053∶13.4。
3)在常压下，首先在100mm长、100mm宽、3mm厚的玻璃片上喷涂含钛的喷涂液；然后把喷涂膜的玻璃在550℃热处理10分钟。
4)把单面镀二氧化钛自洁净膜的镀膜玻璃送到溅射镀膜设备，在未镀二氧化钛自洁净膜玻璃的一面镀银基多层膜。背底真空2.5×10-3Pa；，靶材分别是金属Sn、NiCr合金和金属Ag，金属Sn溅射气体是高纯氩气和氧气，其中氧气/氩气＝15/85，工作气压是0.25Pa；NiCr合金和金属Ag靶的溅射气体是高纯氩气，工作气压是0.25Pa。
得到的双功能镀膜玻璃的性能如下：二氧化钛自洁净膜厚300nm、银基多层膜总厚度为90nm；可见光透过率70％；把镀膜玻璃的二氧化钛自洁净膜面向上放置在一个密闭容器里，向容器里注入甲醛气体，在中心波长为345nm的紫外线照射下，二氧化钛自洁净膜面上的照明度是1.2mW/cm2，用火焰电离检测器定量分析容器内的甲醛余量，得到镀膜玻璃对甲醛的降解率为25.2μl/min；将浸有色拉油的薄纸擦拭二氧化钛自洁净膜面(尺寸：50×50)，用天平称膜面上色拉油的重量约为0.1mg/cm2，在中心波长为345nm的紫外线照射下，二氧化钛自洁净膜面上的照明度是1.2mW/cm2，照射26小时后，玻璃恢复到未擦拭色拉油前的重量，说明玻璃镀二氧化钛自洁净膜层对色拉油的降解为100％。镀膜玻璃的红外反射起始波长为1200nm，辐射率为0.12；镀膜玻璃的理化性能符合“镀膜玻璃理化性能测试标准”中规定的国家标准。
实施例3：用浸渍提拉法在玻璃双面制备二氧化钛自洁净膜、用溅射法在镀二氧化钛自洁净膜玻璃的其中一面镀制氧化物半导体ZnO:Al或In2O3:Sn膜，玻璃在两个面分别具有自洁净和低辐射或反射红外线功能，使该镀膜玻璃同时具有该双功能。制备包括如下步骤：
1)首先对待镀膜玻璃基片进行清洗、干燥；基片玻璃的可见光透射率为89％；
2)配制含钛浸渍液，浸渍液由钛酸丁酯组成，用乙醇调整钛的浓度。钛酸丁酯6.92毫升，水0.37毫升，乙醇92.71毫升；三者体积比：1∶0.053∶13.4。
3)在常压下，首先在100mm长、100mm宽、3mm厚的玻璃片上用浸渍提拉镀法在玻璃的双面镀有机钛膜；然后把镀膜玻璃在600℃热处理5分钟。
4)把双面镀二氧化钛自洁净膜的镀膜玻璃送到溅射镀膜设备，背底真空2.5×10-3Pa；用ZnO:Al或In2O3:Sn做靶材，在工作真空0.25Pa的纯氩气下，在镀二氧化钛自洁净膜玻璃的其中一面镀ZnO:Al或In2O3:Sn氧化物半导体膜。
得到的双功能镀膜玻璃的性能如下：二氧化钛自洁净膜厚400nm、ZnO:Al或In2O3:Sn膜厚400nm；可见光透过率68％；把镀膜玻璃的二氧化钛自洁净膜面向上放置在一个密闭容器里，向容器里注入甲醛气体，在中心波长为345nm的紫外线照射下，二氧化钛自洁净膜面上的照明度是1.2mW/cm2，用火焰电离检测器定量分析容器内的甲醛余量，得到镀膜玻璃对甲醛的降解率为30.7μl/min；将浸有色拉油的薄纸擦拭二氧化钛自洁净膜面(尺寸：50×50)，用天平称膜面上色拉油的重量约为0.1mg/cm2，在中心波长为345nm的紫外线照射下，二氧化钛自洁净膜面上的照明度是1.2mW/cm2，照射22小时后，玻璃恢复到未擦拭色拉油前的重量，说明玻璃镀二氧化钛自洁净膜层对色拉油的降解为100％。镀膜玻璃的红外反射起始波长为1100nm，辐射率为0.15；镀膜玻璃的理化性能符合“镀膜玻璃理化性能测试标准”中规定的国家标准。
实施例4：用浸渍提拉法在玻璃双面制备二氧化钛自洁净膜，用溅射法在镀二氧化钛自洁净膜玻璃的其中一面镀制银基多层膜(膜层是SnO2/NiCr/Ag/NiCr/SnO2)。玻璃在两个面分别具有自洁净和低辐射或反射红外线功能，使该镀膜玻璃同时具有该双功能。制备包括如下步骤：
1)首先对待镀膜玻璃基片进行清洗、干燥；基片玻璃的可见光透射率为89％；
2)配制含钛浸渍液，浸渍液由钛酸丁酯组成，用乙醇调整钛的浓度。钛酸丁酯6.92毫升，水0.37毫升，乙醇92.71毫升，三者体积比：1∶0.053∶13.4。
3)在常压下，首先在100mm长、100mm宽、3mm厚的玻璃片上用浸渍提拉法在玻璃上双面镀膜含钛的有机膜；然后把双面镀膜的玻璃在650℃热处理2.5分钟。
4)把双面镀二氧化钛自洁净膜的镀膜玻璃送到溅射镀膜设备，在镀二氧化钛膜自洁净玻璃的其中一面镀银基多层膜。背底真空2.5×10-3Pa；，靶材分别是金属Sn、NiCr合金和金属Ag，金属Sn溅射气体是高纯氩气和氧气，其中氧气/氩气＝15/85，工作气压是0.25Pa；NiCr合金和金属Ag靶的溅射气体是高纯氩气，工作气压是0.25Pa。
得到的双功能镀膜玻璃的性能如下：二氧化钛自洁净膜厚500nm、银基多层膜总厚度为110nm；可见光透过率63％；把镀膜玻璃的二氧化钛自洁净膜面向上放置在一个密闭容器里，向容器里注入甲醛气体，在中心波长为345nm的紫外线照射下，二氧化钛自洁净膜面上的照明度是1.2mW/cm2，用火焰电离检测器定量分析容器内的甲醛余量，得到镀膜玻璃对甲醛的降解率为35.2μl/min；将浸有色拉油的薄纸擦拭二氧化钛自洁净膜面(尺寸：50×50)，用天平称膜面上色拉油的重量约为0.1mg/cm2，在中心波长为345nm的紫外线照射下，二氧化钛自洁净膜面上的照明度是1.2mW/cm2，照射20小时后，玻璃恢复到未擦拭色拉油前的重量，说明玻璃镀二氧化钛自洁净膜层对色拉油的降解为100％。镀膜玻璃的红外反射起始波长为1000nm，辐射率为0.08；镀膜玻璃的理化性能符合“镀膜玻璃理化性能测试标准”中规定的国家标准。
Claims (3)
1.一种具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃，其特征在于在玻璃基片(1)表面上的一面镀制具有自洁净功能的二氧化钛自洁净膜层(2)，另一面镀制低辐射膜或反射红外线膜层(3)，或在玻璃基片(1)表面上的两面镀制具有自洁净功能的二氧化钛自洁净膜层(2)，在其中一面的二氧化钛自洁净膜层(2)外再镀制低辐射膜或反射红外线膜层(3)；所述低辐射膜或反射红外线膜层(3)为氧化物半导体膜或银基多层膜，膜层结构是：氧化物半导体ZnO:Al或In2O3:Sn镀制的单层膜，或金属Sn、NiCr合金和金属Ag镀制的多层膜。
2.根据权利要求1所述的具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃，其特征在于具有自洁净功能的二氧化钛自洁净膜层(2)的厚度为100nm～500nm，低辐射膜或反射红外线膜层(3)的厚度为80nm～500nm。
3.一种如权利1所述的具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃的制备方法，其特征在于首先在玻璃上用二氧化钛溶胶-凝胶单面喷涂法或双面浸渍提拉法制备具有自洁净功能的二氧化钛自洁净膜层(2)，之后将该镀膜玻璃在500℃-650℃热处理2-20分钟；然后在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制低辐射膜或反射红外线膜层(3)用溅射法制备，
具体方法为：
1)对待镀膜玻璃基片进行清洗、干燥；
2)配制含钛的溶胶-凝胶溶液，该溶液由钛酸丁酯、水和乙醇组成；钛酸丁酯6.92毫升，水0.37毫升，乙醇92.71毫升；三者体积比：1∶0.053∶13.4；配比在±0.05范围内，
3)用喷涂方法或浸渍提拉方法在洁净玻璃片上镀制单面或双面的二氧化钛自洁净膜层；其方法是：在常压下，首先在玻璃上喷涂或浸渍含钛的溶胶-凝胶液，根据膜层厚度确定喷涂时间或浸渍提拉次数；然后把喷涂单面二氧化钛自洁净膜玻璃或浸渍提拉双面二氧化钛自洁净膜玻璃在500-650℃热处理2-20分钟；
4)玻璃的单面或双面镀制二氧化钛自洁净膜层后，直接送入溅射镀膜设备中，在未镀二氧化钛自洁净膜的一面、或两面都镀制二氧化钛自洁净膜的其中一个面镀制氧化物半导体膜或银基多层膜，溅射室的背底真空小于2.5×10-3Pa，镀制方法是：
a)镀制氧化物半导体膜：靶材是ZnO:Al或In2O3:Sn陶瓷靶材；溅射气体是高纯氩气，工作气压是0.25Pa，镀制的膜层厚度80-500纳米；
b)镀制银基多层膜：靶材分别是金属Sn、NiCr合金和金属Ag，金属Sn溅射气体是高纯氩气和氧气，其中氧气/氩气＝15/85，工作气压是0.25Pa；NiCr合金和金属Ag，溅射气体是高纯氩气，工作气压是0.25Pa，镀制的膜层总厚度80-500纳米。
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