CN101178489A - 修复平面显示面板中的缺陷部分的方法 - Google Patents

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Abstract

公开了一种用于修复平面显示面板缺陷部分的方法。所述方法包括：(1)检测基板上线缺陷，(2)使用激光CVD技术，在缺陷部分上形成修复图案，和(3)在步骤(2)后用保护膜涂覆修复图案。优选地，使用气压的分配器系统用保护膜涂覆修复图案。在LCD装置基板的缺陷部分上形成激光CVD修复图案并且之后在其上涂覆保护膜，从而提高被修复部分的稳定性，因此消除在完成修复之后产生的修复缺陷。

Description

修复平面显示面板中的缺陷部分的方法
技术领域
本发明涉及平面显示面板(flat display panel)的修复方法，更具体地涉及用于修复平面显示面板中的缺陷部分的方法，在所述方法中，在液晶显示(LCD)装置的基板(substrate)上的缺陷部分上形成激光化学气相沉积(laser Chemical Vapor Deposition(CVD))修复图案并同时在所述修复图案上涂覆保护膜，从而可以提高被修复部分的稳定性以便能够消除在完成修复过程之后产生的修复缺陷。
背景技术
对平面显示面板尤其是LCD需求的增加和其在尺寸方面的变大加快了其在应用、尺寸和分辨率上的增长。同样地，为了提高生产率和降低生产成本，做了许多努力以简化制造过程和提高良品率。可以实现这样的LCD装置，其包括具有黑基质、彩色滤光片和共用电极的上基板、和具有像素区、像素电极、开关器件和线(或线路)的下基板、和插入在上和下基板之间的液晶。LCD装置具有数百万排列其中的像素电极、栅极线(gate lines)、和数据线。基于这种布置，在各个像素中提供数百万器件以便驱动数百万像素。此外，用于形成精细图案和控制薄膜器件特性的技术是非常重要的。
当制造在下基板上形成的元件时，可能会产生缺陷例如断路(lineshort)或线路短接。图像装置的显示面积越大这些缺陷产生的越多。因此，需要用于修复这些缺陷的技术以便提高LCD装置的质量和稳定性。
已经提出了一种修复方法作为一种修复技术，存在缺陷时通过这种方法，提供并连接预备的线从而修复短接缺陷。但是，如果修复线太长，则由于线的电阻值使信号水平下降，这对液晶板的操作特性有不利影响。
因此，如图1所示，使用激光化学气相沉积(CVD)的线修复方法目前正受到关注。亦即，已经提出了几种方法：通过激光切去缺陷部分的特定部分并使用CVD技术在其上沉积修复线以形成图案的方法；当线路短接时，使用激光CVD技术将金属沉积在其上以电连接短接的线的方法；或者焊接与沉积的金属膜120重叠的部分(例如数据线)以完成修复的方法。
当线路短接时，该激光CVD修复法可以在短接部分处形成所希望形状的金属线，这使得修复过程简化。同样地，可以保证广泛的应用区域从而能修复所有栅极线和数据线。
但是，在通过激光CVD修复法形成的修复线中，当基板具有巨大的面积时需要被修复的部分增加。此外，在完全修复的部分上再次产生缺陷，例如与另一条线的短接，使得修复无效。而且，在这种情况下，制造成本是高昂的。
发明内容
因此，针对上述问题完成了本发明，本发明的目的是提供用于修复平面显示面板中的缺陷部分的方法，在所述方法中在LCD装置的基板上的缺陷部分上形成激光化学气相沉积(CVD)修复图案并同时在所述修复图案上涂覆保护膜，从而可以提高被修复部分的稳定性以能够消除在实现修复过程之后产生的修复缺陷。
按照本发明的一个方面，可以通过提供用于修复LCD装置的平面显示面板中的缺陷部分的方法来实现上述和其它目的，所述方法包括：(1)检测基板上的线缺陷，(2)使用激光CVD设备在所述缺陷部分上形成修复图案，和(3)在形成所述修复图案之后，通过设置在所述激光CVD设备后端的分配器系统，继续用保护膜涂覆所述修复图案的上表面。因此，可以确保稳定性以便修复线不会因为与基板的其它部分接触或者因其它外部因素造成的缺陷而损坏。
优选地，分配器系统通过将包含在喷射器中的涂覆溶液通过微管口喷射到所述修复图案上来执行涂覆过程。因此，可以更有效地用保护膜涂覆所述修复图案。
优选地，通过使分配控制器按气压控制喷射量来执行喷射涂覆溶液的过程，所述气压取决于气源供应的气量。因此，减少操作时间和增加涂覆过程效率的连续过程实现了更精确的修复涂覆。
附图说明
通过下列详细描述及附图将更清楚地理解本发明的上述和其它目的、特点和其它优点，其中：
图1是表示常规激光CVD修复的图案的横截面图；
图2是描述在根据本发明一个实施方案的用于修复平面显示面板中缺陷部分的方法的流程图；和
图3是描述在根据本发明一个实施方案的用于修复在平面显示面板中的缺陷部分方法中使用分配器系统的状态图。
附图标记的简要说明
10：空气源
20：调节装置
30：分配控制器
40：喷射器
50：管口
S1：检测缺陷
S2：形成激光CVD修复
S3：涂覆保护膜
S4：涂覆完成的修复图案
具体实施方式
现在，将参照附图详细描述本发明的优选实施方案。
参照图2，一种用于修复平面显示面板中的缺陷部分分方法包括：检测基板上的线缺陷(S1)；使用激光化学气相沉积(CVD)技术在缺陷部分上形成修复图案(S2)；和在形成所述修复图案之后，用保护膜涂覆所述修复图案的上表面(S3和S4)。具体而言，通过电阻检查或通过使用光学设备测量光量差异的检查来执行检测缺陷线的步骤。使用光的检查可能是更有效的因为不接触基板就可以测量已经产生的无论任何缺陷。此外，使用激光CVD技术来修复在步骤S1中检测到的缺陷。优选地，在低温下实施使用激光CVD技术的这种方法。特别地，使用激光CVD技术的这种方法可以部分地形成层(或膜)以实现各种图案化过程。
此外，在步骤S3中在修复图案上涂覆保护膜。在形成修复图案之后继续实施所述涂覆过程。为了降低准备用于涂覆过程的其它制造设备的负担，将图3所示的分配器系统整体地布置在激光CVD上以同时或连续实施修复图案形成过程和涂覆过程。在用保护膜涂覆之后，产生完全修复线，从而在保证修复稳定性的同时实现较高质量的LCD装置。
如上所述，图3描述用于连续或同时在修复图案上更有效地实施涂覆过程的分配器系统，这是本发明的技术目的。
所述分配器系统包括用于供给空气的气源10、用于调节供给的空气量的调节装置20、用于通过气压控制分配器的喷射量的控制器30、含有涂覆溶液的喷射器40、和管口50。优选将微针连接于管口50的末端以实现精细分配。
分配器系统整体连于激光CVD修复设备(未示出)的部分例如侧面或后面。因此，通过在形成修复图案的过程后立刻进行涂覆过程，可提高工艺效率。具体而言，可以通过调节气压来控制分配器的喷射量，因此能控制涂膜的厚度。
如上所述，本发明在LCD装置的基板的缺陷部分上形成激光CVD修复图案并在所述修复图案上涂覆保护膜，从而提高被修复部分的稳定性，由此消除在完成修复之后产生的修复缺陷。
如上所述，虽然出于说明目的公开了本发明的优选实施方案，但是在本发明范围内可进行各种修改和变化。本发明的技术范围不应该受公开的实施方案的限制，而应该由权利要求或等同物限定。

Claims (3)

1.一种用于修复在液晶显示(LCD)装置的平面显示面板中的缺陷部分的方法，包括：
1)检测基板上的线缺陷；
2)使用激光化学气相沉积(CVD)设备在所述缺陷部分上形成修复图案；和
3)在形成所述修复图案之后，通过设置在激光CVD设备后端的分配器系统，用保护膜涂覆所述修复图案。
2.权利要求1的方法，其中所述分配器系统通过将包含在喷射器中的涂覆溶液经微管口喷射到所述修复图案上实施所述涂覆过程。
3.权利要求2的方法，其中通过使分配控制器根据气压控制喷射水平来实现喷射所述涂覆溶液的过程，所述气压取决于于由气源供给的气量。
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