CN101125272B - 用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统 - Google Patents

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Abstract

一种外接于真空系统的用于收聚和处理半导体制造过程中产生的有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统。现有的有毒粉尘收聚和处理方法容易对厂房环境造成污染，并对人体健康造成危害。本发明的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，包括一主体、一过滤网支架和一过滤头，其中，所述的主体具有一腔室，用于容置所述的过滤网支架，所述主体的两端分别开口，且主体前端与所述的过滤头相连接，所述过滤网支架的底面设有穿孔，使所述的过滤装置内部形成一空气流通通道。利用本发明的过滤装置及过滤系统，可快速、方便地将有毒有害粉尘收聚于专用的过滤网中，既避免了粉尘的飞扬扩散，也保证了真空系统不受污染。

Description

用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统
技术领域
本发明涉及晶圆代工厂的环境维护，涉及有毒有害粉尘的收聚和处理，具体地说，是一种外接于真空系统的用于收聚和处理半导体制造过程中产生的有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统。
背景技术
晶圆代工厂在半导体制造过程中需要使用各种化学物质和材料，并会产生很多的废料和残余物质，其中不乏一些具有毒性的粉尘颗粒，如：砷等。这些有毒有害粉尘必须先由工作人员收聚起来，统一经过特殊处理之后才能向外界排放，一旦处置不当，不仅会对环境造成影响，也会对人体健康造成严重威胁。
通常情况下，工作人员采用抹布将这些有毒有害粉尘收聚到一起，装入垃圾袋后丢弃。但是在擦抹的过程中，粉尘容易飞扬扩散，扬起的粉尘或者被工作人员吸入体内，或者散落到工厂的其他角落，对人体健康和厂房环境均造成不良影响。此外，使用过的抹布也很难处置，如果不当心掉落抹布或者撒落抹布上的粉尘，都会引起周围环境的再次污染。
除了采用抹布收聚有毒粉尘外，有些工作人员也采用晶圆代工厂(FAB)内部的真空系统来吸走粉尘。但是由于真空系统本身没有净化有毒有害物质的能力，并且真空系统在整个FAB范围内循环，因此采用此方法处理有毒粉尘会对FAB的循环系统造成污染，从而降低FAB的洁净度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统，它不仅能快速方便地将有毒有害粉尘吸入专用的过滤网中，便于后续的集中处理，而且避免了有毒有害粉尘对工厂环境及人体健康造成的不良影响。
本发明的目的是这样实现的：一种用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，它包括一主体、一过滤网支架和一过滤头，其实质性特点在于：所述的主体具有一腔室，用于容置所述的过滤网支架，所述主体的两端分别开口，且主体前端与所述的过滤头相连接，主体后端用于连接至晶圆代工厂内的真空系统，所述过滤网支架的底面设有穿孔，使所述的过滤装置内部形成一空气流通通道，所述的过滤网支架内还套设有一过滤网，所述过滤网的网孔小于有毒有害粉尘颗粒的大小，用于收聚吸入过滤网的有毒有害粉尘。
在上述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置中，所述过滤网支架的侧壁上设有数个穿孔。
在上述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置中，所述的过滤网内还装有化学物质，用于净化有毒有害粉尘挥发出来的有毒气体。
在上述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置中，所述过滤头采用斜口设计。
本发明的另一方案是提供一种用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤系统，它包括一真空系统，其具有数个真空管；以及一过滤装置，其实质性特点在于：所述的过滤装置包括一主体、一过滤网支架和一过滤头，所述的主体具有一腔室，用于容置所述的过滤网支架，所述主体的两端分别开口，其前端与所述的过滤头相连接，后端连接至所述真空系统的一真空管，所述过滤网支架的底面设有穿孔，所述过滤网支架内还套设有一过滤网，所述过滤网的网孔小于有毒有害粉尘颗粒的大小，当所述过滤装置连接至真空管时，空气从过滤头进入主体前端，流经过滤网支架及主体后端吸入真空管，有毒有害粉尘被收聚在过滤网中。
本发明的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统利用晶圆代工厂现有的真空系统连接至过滤装置，可快速、方便地将有毒有害粉尘收聚于专用的过滤网中，既避免了粉尘的飞扬扩散，也保证了真空系统不受污染。通过在过滤网中加入化学物质，可对有毒有害粉尘所散发出的毒气进行初步净化，进一步保护了人体健康及工厂环境不受侵害。使用后的过滤网只需封口、丢弃即可，为后续的粉尘集中处理提供了方便。
附图说明
本发明的具体装置及系统的结构由以下的实施例及附图给出。
图1为本发明第一实施例的分解状态纵剖面图；
图2为图1中过滤网支架的左视图；
图3为本发明的第二实施例的使用状态纵剖面图。
具体实施方式
以下将结合附图对本发明的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统作进一步的详细描述。
图1和图2分别为本发明第一实施例的分解状态纵剖面图及过滤网支架的左视图。本发明的过滤装置主要包括三个部分：主体1、过滤网支架3和过滤头5。主体1的前后两端分别开口，形成一中空壳体，其内具有一腔室4，用于容置过滤网支架3。过滤网支架3的侧壁和底面上设有数个穿孔4，便于空气的流通，穿孔4的数量和大小可根据过滤装置的使用要求进行改变。过滤头5直接与主体1的前端连接，可通过螺纹或卡和等方式固定。过滤头5的作用是吸入空气和粉尘，于本实施例中，采用斜口设计的过滤头5以清理设备表面平坦处的有毒有害粉尘。根据厂房内各种设备、工件台、工具的结构形状，可采用与之相适应的过滤头进行清理，例如：采用狭长型开口的过滤头来清理狭缝、凹槽等不易伸入的地方；采用细长型的过滤头来清理精密仪器上的粉尘以免碰坏仪器上的元件。主体1的后端连接至真空系统的真空管，其开口大小与真空管的尺寸相匹配。过滤装置的三个部分可采用相同或不同的材料制成，主要选用的材料有：聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)、不锈钢等。
下面结合图3详细说明本发明的过滤装置及过滤系统的工作方式。首先，将过滤装置各个部分组装起来，即把过滤网支架3装入主体1内的腔室2中，再将过滤头5连接至主体的前端。于本发明第二实施例中，还需在过滤网支架3内套设过滤网6，并将过滤网6的开口边缘卡固在主体1和过滤头5之间，防止过滤网6因吸力作用而从过滤网支架3的开口处滑脱。过滤网6的网孔小于粉尘颗粒的大小，从而当粉尘吸入过滤装置内时，可将粉尘留在过滤网中而不影响空气流过。过滤网6中还可放置一些化学物质来净化收聚在过滤网6中的有毒有害粉尘及其挥发出来的有毒气体。当过滤装置组装完毕后，只需将真空系统的真空管(图未示)连接至主体1的后端即可开始工作。由于真空系统具有抽真空功能，空气连同有毒有害粉尘从过滤头5被吸入主体1内部，有毒有害粉尘被收聚在过滤网6中，而空气通过真空管流入真空系统。使用完毕后，只需将过滤网封口并取出，直接丢入有毒有害物回收桶即可。由于吸引力的作用，粉尘大都积聚在过滤网的底部，因此在对过滤网封口时，不会出现粉尘散逸的情形。
本发明的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统利用晶圆代工厂现有的真空系统连接至过滤装置，可快速、方便地将有毒有害粉尘收聚于专用的过滤网中，既避免了粉尘的飞扬扩散，也保证了真空系统不受污染。通过在过滤网中加入化学物质，可对有毒有害粉尘所散发出的毒气进行初步净化，进一步保护了人体健康及工厂环境不受侵害。使用后的过滤网在封口时不会出现粉尘散逸的情形，避免了二次污染，并为后续的粉尘集中处理提供了方便。

Claims (8)

1.一种用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，它包括一主体、一过滤网支架和一过滤头，其特征在于：所述的主体具有一腔室，用于容置所述的过滤网支架，所述主体的两端分别开口，且主体前端与所述的过滤头相连接，主体后端用于连接至晶圆代工厂内的真空系统，所述过滤网支架的底面设有穿孔，使所述的过滤装置内部形成一空气流通通道，所述的过滤网支架内还套设有一过滤网，所述过滤网的网孔小于有毒有害粉尘颗粒的大小，用于收聚吸入过滤网的有毒有害粉尘。
2.如权利要求1所述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，其特征在于：所述过滤网支架的侧壁上设有数个穿孔。
3.如权利要求1所述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，其特征在于：所述的过滤网内还装有化学物质，用于净化有毒有害粉尘挥发出来的有毒气体。
4.如权利要求1所述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，其特征在于：所述过滤头采用斜口设计。
5.一种用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤系统，它包括一真空系统，其具有数条真空管；以及一过滤装置，其特征在于：所述的过滤装置包括一主体、一过滤网支架和一过滤头，所述的主体具有一腔室，用于容置所述的过滤网支架，所述主体的两端分别开口，其前端与所述的过滤头相连接，后端连接至所述真空系统的一真空管，所述过滤网支架的底面设有穿孔，所述过滤网支架内还套设有一过滤网，所述过滤网的网孔小于有毒有害粉尘颗粒的大小，当所述过滤装置连接至真空管时，空气从过滤头进入主体前端，流经过滤网支架及主体后端吸入真空管，有毒有害粉尘被收聚在过滤网中。
6.如权利要求5所述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤系统，其特征在于：所述过滤网支架的侧壁上设有数个穿孔。
7.如权利要求5所述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤系统，其特征在于：所述的过滤网内还装有化学物质，用于净化有毒有害粉尘挥发出来的有毒气体。
8.如权利要求5所述的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤系统，其特征在于：所述过滤头采用斜口设计。
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