CN101122683A - 光学设备、光扫描器及图像形成装置 - Google Patents

光学设备、光扫描器及图像形成装置 Download PDF

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Abstract

提供实现省电化及小型化且具有大的转动角的光学设备、光扫描器及图像形成装置。该光学设备包括具备光反射部(6)的质量部(21)、支撑部(24)、一对弹性部(22、23)、使质量部(21)转动的驱动装置，利用驱动装置的动作，使弹性部(22、23)扭转变形，同时使质量部(21)转动，并由光反射部(6)对光进行扫描，其中，驱动装置具有磁性部(41)和磁场产生装置，磁性部(41)设置在质量部(21)上，沿与该质量部的面成直角的方向被磁化，磁场产生装置具有在非驱动状态的质量部(21)的俯视状态下，经由质量部(21)在与其转动中心轴(X)成直角的方向上对置设置的一对磁极(511、521)，磁场产生装置在一对磁极(511、521)间产生磁场，从而使质量部(21)相对于支撑部(24)转动。

Description

光学设备、光扫描器及图像形成装置
技术领域
本发明涉及光学设备、光扫描器及图像形成装置。
背景技术
作为在激光打印机等中使用的、通过光扫描进行描绘的光学设备，已知有从实现小型化等目的出发，采用扭转振子的光学设备(例如，参照专利文献1。)。
例如，专利文献1中的光学设备具有经过了镜面加工的小磁铁(镜部)、用于支撑小磁铁的支撑部、相对于支撑部连结小磁铁并确保其能够转动的扭簧和与小磁铁的面对置设置的线圈。并且，向线圈中流通变变电流从而产生交变磁场，使小磁铁产生共振振动，以此进行光扫描。
当通过向线圈流通电流而产生的磁力相等时，磁铁和线圈之间的距离越小作用于小磁铁的磁力越大。换言之，小磁铁和线圈间的距离越小，越能够进行低电压驱动，越能够实现耗电的削减。可是，专利文献1中的光学设备，由于线圈和小磁铁的面对置设置，从而，必须将线圈和小磁铁隔开配置成能够容许小磁铁转动的程度(小磁铁和线圈不碰撞的程度)。从而，产生难以实现耗电削减这样的问题。
另外，如果将线圈和小磁铁隔开配置成能够容许小磁铁转动的程度，就会导致光学设备的大型化。小磁铁的转动角越大，这个问题变得越显著。即，还产生难以增大小磁铁的转动角且实现光学设备小型化的问题。
如以上所述，专利文献1中的光学设备，存在难以实现省电化及小型化且增大小磁铁的转动角的问题。
专利文献1：特开平9-138366号公报
发明内容
本发明的目的在于，提供实现省电化及小型化、且具有大的转动角的光学设备、光扫描器及图像形成装置。
这样的目的，通过下述的本发明实现。
本发明的光学设备，其包括：
质量部，其呈板状，且具备具有光反射性的光反射部；
支撑部，其用于支撑所述质量部；
一对弹性部，其相对于所述支撑部连结所述质量部并确保该质量部能够转动，且该一对弹性部能够弹性变形；
驱动装置，其使所述质量部转动，
通过使所述驱动装置动作，能够使所述弹性部扭转变形，同时使所述质量部转动，并变更由所述光反射部反射的光的方向，
所述光学设备的特征在于，
所述驱动装置具有：
磁性部，其设置在所述质量部上，沿与该质量部的面成直角的方向被磁化；
磁场产生装置，其具有一对磁极和线圈，所述一对磁极在非驱动状态的所述质量部的俯视状态下，经由该磁性部在与其转动中心轴成直角的方向上对置设置，且极性相互不同，所述线圈用于在所述一对磁极上产生磁力，
所述磁场产生装置通过向所述线圈施加电压，从而在所述一对磁极间产生磁场，使所述质量部相对于所述支撑部转动。
从而，能够防止所述质量部和所述一对磁极的干涉，因而，能够增大质量部的转动角、且实现光学设备的小型化。
本发明的光学设备中，优选，在所述质量部的一面侧设有所述光反射部，
在所述质量部的另一面侧设有所述磁性部。
从而，能够增大所述光反射部及所述磁性部的配置等设计的自由度。
本发明的光学设备中，优选，所述磁性部呈薄膜状，且沿着所述质量部的面设置。
从而，能够抑制所述质量部的转动中心轴的摇晃，能够稳定地转动所述质量部。
本发明的光学设备中，优选，所述磁场产生装置具有：
磁心，其卷绕有所述线圈；
一对磁轭，其设置在所述磁心的两端部，且形成所述一对磁极而形成磁路；
电压施加装置，其向所述线圈施加电压，
利用所述电压施加装置向所述线圈施加电压，从而在所述一对磁极间产生磁场。
从而，能够以比较简单的构成在所述一对磁极间产生磁场。
本发明的光学设备中，优选，所述电压施加装置向所述线圈施加交变电压。
从而，能够周期性地切换一对磁极间的磁场方向，能够顺畅地转动所述质量部。
本发明的光学设备中，优选，在与所述质量部的转动中心轴平行的方向上，各所述磁极的长度与所述磁性部的长度大致相等。
从而，能够稳定地转动所述质量部。
本发明的光学设备中，优选，所述一对磁极彼此间的距离，在所述光的入射侧的区域，具有朝向所述光的射出方向渐增的部分。
从而，能够防止对由所述光反射部反射的光的路线造成阻碍。
本发明的光学设备中，优选，所述质量部具有：
一对第一质量部，其呈板状；
第二质量部，在俯视状态下其设置在所述一对第一质量部间；
一对连结构件，其相对于所述第一质量部连结所述第二质量部并确保该第二质量部能够转动，且该一对连结构件能够弹性变形，
所述光反射部设置在所述第二质量部上，
所述磁性部设置在各所述第一质量部上。
从而，能够削减耗电。
本发明的光扫描器，其包括：
质量部，其呈板状，且具备具有光反射性的光反射部；
支撑部，其用于支撑所述质量部；
一对弹性部，其相对于所述支撑部连结所述质量部并确保该质量部能够转动，且该一对弹性部能够弹性变形；
驱动装置，其使所述质量部转动，
通过使所述驱动装置动作，使所述弹性部扭转变形，同时使所述质量部转动，并对由所述光反射部反射的光进行扫描，
所述光扫描器的特征在于，
所述驱动装置具有：
磁性部，其设置在所述质量部上，沿与该质量部的面成直角的方向被磁化；
磁场产生装置，其具有一对磁极和线圈，所述一对磁极在非驱动状态的所述质量部的俯视状态下，经由该磁性部在与其转动中心轴成直角的方向上对置设置，且极性相互不同，所述线圈用于在所述一对磁极上产生磁力，
所述磁场产生装置通过向所述线圈施加电压，从而在所述一对磁极间产生磁场，使所述质量部相对于所述支撑部转动。
从而，能够防止所述质量部和所述一对磁极的干涉，因而，能够提供小型且质量部的转动角大的光扫描器。
本发明的图像形成装置，其具备光扫描器，所述光扫描器包括：
质量部，其呈板状，且具备具有光反射性的光反射部；
支撑部，其用于支撑所述质量部；
一对弹性部，其相对于所述支撑部连结所述质量部并确保该质量部能够转动，且该一对弹性部能够弹性变形；
驱动装置，其使所述质量部转动，
通过使所述驱动装置动作，使所述弹性部扭转变形，同时使所述质量部转动，并对由所述光反射部反射的光进行扫描，
所述图像形成装置的特征在于，
所述驱动装置具有：
磁性部，其设置在所述质量部上，沿与该质量部的面成直角的方向被磁化；
磁场产生装置，其具有一对磁极和线圈，所述一对磁极在非驱动状态的所述质量部的俯视状态下，经由该磁性部在与其转动中心轴成直角的方向上对置设置，且极性相互不同，所述线圈用于在所述一对磁极上产生磁力，
所述磁场产生装置通过向所述线圈施加电压，从而在所述一对磁极间产生磁场，使所述质量部相对于所述支撑部转动。
从而，能够提供具有优异的光扫描特性的图像形成装置。
附图说明
图1是表示本发明的光学设备的第一实施方式的立体图。
图2是图1中的A-A线截面图。
图3是用于说明驱动装置的图。
图4是表示本发明的光学设备的第二实施方式的局部放大图。
图5是图4中的A-A线截面图。
图6是用于说明驱动装置的图。
图中：1、1A-光学设备，2、2A-基体，21、21A-质量部，211A、212A-第一质量部，213A-第二质量部，214A、215A-连结部，22、22A、23、23A-弹性部，24、24A-支撑部，3、3A-支撑基板，30、30A-凹部，31A-开口部(避让部)，4、4A-驱动装置，41、41A-磁性体(磁性部)，5、5A-磁场产生装置，51、51A、52、52A-磁轭，511、511A、521、521A-磁极，53、53A-线圈，54、54A-磁心，55、55A-交流电源(电压施加装置)，6、6A-光反射部，X-转动中心轴。
具体实施方式
以下，参照附图，关于本发明的光学设备的最佳实施方式进行说明。
<第一实施方式>
首先，说明本发明的光学设备的第一实施方式。
图1是表示本发明的光学设备的第一实施方式的立体图，图2是图1中的A-A线截面图，图3是用于说明驱动装置的图。
还有，以下，为了说明方便，以图1中的纸面面前侧为「上」，以纸面里侧为「下」，以右侧为「右」，以左侧为「左」，以图2及图3中的上侧为「上」，以下侧为「下」，以右侧为「右」，以左侧为「左」。
光学设备1包括如图1所示的具有1自由度振动系统的基体2和支撑该基体2的支撑基板3。
基体2包括质量部(可动部)21、一对弹性部22、23和支撑部24。
这种光学设备1的构成是，通过在后述的一对磁极511、521间产生磁场，从而使一对弹性部22、23扭转变形，同时使质量部21转动。此时，一对弹性部22、23以图1所示的转动中心轴X为中心转动。
这样的一对弹性部22、23在质量部21的俯视状态下，以质量部21为中心大致左右对称地设置。即，本实施方式的光学设备1在俯视状态下，以质量部21为中心，大致左右对称地形成。再有，光学设备1在俯视状态下，相对于转动中心轴X对称地形成。
质量部21呈板状，在其上面(与支撑基板3相反侧的板面)设有光反射部6。
另一方面，在质量部21的下面(与支撑基板3对置侧的板面)设有磁性体(磁性部)41。关于磁性体41，在后述的驱动装置4中进行详细说明。
这种质量部21经由弹性部22、23连接在支撑部24上。
弹性部22以使质量部21相对于支撑部24能够转动的方式将质量部21和支撑部24连结。与此同样地，弹性部23以使质量部21相对于支撑部24能够转动的方式将质量部21和支撑部24连结。
这样的一对弹性部22、23同轴设置，以它们为转动中心轴(旋转轴)X，使质量部21相对于支撑部24能够转动。
这样，基体2具有由质量部21和一对弹性部22、23构成的1个振动系统。即，基体2具有1自由度振动系统。
这种基体2例如以硅为主材料构成，质量部21、一对弹性部22、23和支撑部24一体形成。这样，由于以硅为主材料，从而，能够实现优异的转动特性，并且能够发挥优异的耐久性。另外，还可以进行微细的处理(加工)，能够实现光学设备1的小型化。
还有，基体2也可以是由SOI基板等具有层叠结构的基板形成质量部21、一对弹性部22、23和支撑部24的结构。此时，优选以质量部21、弹性部22、23和支撑部24的一部分成为一体的方式由层叠结构基板的1个层构成它们。
以上的基体2如图1所示接合(支撑)在支撑基板3上。
支撑基板3例如以玻璃或硅等非磁性体为主材料构成。
在支撑基板3的上面，如图2所示，形成有凹部30。该凹部30构成在质量部21转动时，防止与支撑基板3接触的避让部。
接着，关于用于使质量部21转动的驱动装置4进行详细叙述。
驱动装置4具有设置在质量部21上的磁性体(磁性部)41、产生向磁性体41作用的磁场的磁场产生装置5。
磁性体41设置在质量部21的下面(与光反射部6相反侧的面)。从而，能够增大光反射部6及磁性体41的配置等设计的自由度。
另外，磁性体41在俯视状态下，相对于转动中心轴X对称地设置在质量部21的面上。从而，由于在质量部21上设置磁性体41，因而，能够抑制质量部21的转动中心轴X摇晃。其结果是，光学设备1能够稳定地转动质量部21。
另外，磁性体41呈薄膜状，沿着质量部21的面设置。从而，能够抑制质量部21整体的厚度(在垂直于面的方向上的长度)，能够实现光学设备1的小型化。另外，能够使与质量部21的面垂直的方向上的质量部21和磁性体41的中心间距离减小，因而，能够稳定地转动质量部21。
另外，这种磁性体41沿与质量部21的面成直角的方向(质量部21的厚度方向)被磁化。即，在图2中向上方向或下方向磁化。具体地说，磁性体41例如当在与质量部21对置的面侧形成N极，在其相反的面侧形成S极时，在图2中向上方向磁化，当在与质量部21对置的面相反的面侧形成N极，在与质量部21对置的面侧形成S极时，在图2中向下方向磁化。还有，以下，为了说明方便，关于在图2中向上方向磁化的情况进行说明。
磁性体41是磁化硬质磁性材料而形成的磁性体(所谓的永久磁铁)。作为这样的磁性体41，并没有特别限定，可举出钕磁铁、铁氧体磁铁、钐钴磁铁、铝镍钴磁铁等。
磁场产生装置5具有形成磁路的一对磁轭51、52、用于产生磁场的线圈53、卷绕有线圈53的磁心54和向线圈53施加电压的交流电源(电压施加装置)55。
磁心54，如图2所示，固定设置在支撑基板3上。并且，在该磁心54上卷绕有线圈53，线圈53与交流电源(电压施加装置)55连接。
磁心54以软质磁性材料为主材料构成。作为这种软磁性材料，并没有特别限定，可举出Fe、各种Fe合金(硅铁、坡莫合金、非晶形、铁硅铝磁合金)、软磁性铁氧体等。
磁轭51中的一端与磁心54连接，另一端与质量部21的远离转动中心轴X的侧面对置设置。并且，磁轭51的与质量部21对置侧的端部作为磁极511发挥功能。本实施方式中，磁轭51呈大致“コ”字状。
与之同样，磁轭52中的一端与磁心54连接，另一端与质量部21的远离转动中心轴X的侧面对置设置。并且，磁轭52的与质量部21对置侧的端部作为磁极521而发挥功能。本实施方式中，磁轭52呈大致“コ”字状，形成为与磁轭51大致相同形状、相同尺寸。
即，磁轭51、52形成一对磁极511、521而形成磁路。
这种磁场产生装置5的构成是，利用交流电源55向线圈53施加电压，从而使一对磁极511、521形成相互不同的极性，在一对磁极511、521间产生磁场。从而，能够以比较简单的构成，在一对磁极511、521间产生磁场。
作为这种磁轭51、52的材料，只要能够感应磁通即可，并没有特别限定，例如，可以优选使用软质磁性材料等。
另外，一对磁极511、521在非驱动状态的质量部21的俯视状态下，经由质量部21在与其转动中心轴X成直角的方向上对置设置。根据这样的构成，能够使一对磁极511、521接近质量部21设置，能够实现光学设备的小型化及省电化。另外，根据这种构成，能够防止一对磁极511、521阻碍质量部21的转动，从而，能够增大质量部21的转动角。即，能够实现光学设备1的小型化及省电化、且增大质量部21的转动角。
另外，在与质量部21的转动中心轴X平行的方向上，设置一对磁极511、521，使各磁极511、521的长度比磁性体41(质量部21)的长度长一些(大致相等)。从而，在与转动中心轴X平行的方向上，磁性体41受到均匀的磁力，其结果是，能够稳定地转动质量部21。另外，能够实现省电化。
另外，磁极511、521，如图3所示，在质量部21的远离转动中心轴X的缘部面对面设置。从而，能够更可靠地在一对磁极511、521间产生磁场。
再有，一对磁极511、521彼此间的距离，在光的入射侧的区域，具有朝向光的射出方向渐增的部分。从而，能够防止入射光的反射被阻碍。
如以上构成的驱动装置4如下转动(驱动)质量部21。
若利用交流电源55向线圈53施加电压，则在磁心54上产生磁力，一对磁极511、521中的一方成为S极，另一方成为N极。从而，在一对磁极511、521间产生磁场。
另一方面，在质量部21上，设置有在与其面垂直的方向上磁化的磁性体41。因而，在非驱动状态的质量部的俯视状态下，在一对磁极511、521间产生的磁场方向和磁性体41的磁化方向正交。
在这种状态(在一对磁极511、521间产生的磁场方向和磁性体41的磁化方向正交的状态)下，磁性体41(质量部21)受到磁性体41的磁化方向成为与在一对磁极511、521间产生的磁场方向相同的方向(平行)那样的力(转矩)。
具体地说，例如，当磁极511为S极，磁极521为N极时(以这种情况为「第一状态」)，在一对磁极511、521间，在图3中产生向右方向(从磁极521向磁极511的方向)的磁场。并且，磁性体41(质量部21)受到以转动中心轴X为轴，在图3中顺时针(右旋)方向的转矩。相反，当磁极511为N极，磁极521为S极时(以这种情况为「第二状态」)，在一对磁极511、521间，在图3中产生左方向(从磁极511向磁极521的方向)的磁场。并且，磁性体41(质量部21)受到以转动中心轴X为轴，在图3中逆时针(左旋)方向的转矩。
交替重复这种第一状态和第二状态，从而，能够使弹性部22、23扭转变形，同时使质量部21相对于支撑部24转动。作为电压施加装置使用交流电源55，从而，能够周期性地切换一对磁极511、521的极性，能够顺畅地转动质量部21。
根据以上的驱动装置4，能够实现光学设备1的小型化及省电化、且增大质量部21的转动角。
如以上说明的光学设备1能够适用于例如光扫描器、光开关、光衰减器等。
本发明的光扫描器与本发明的光学设备1同样，具有质量部、光反射部、支撑部、一对弹性部和驱动装置。这种光扫描器利用所述驱动装置的动作，使所述弹性部扭转变形，同时使所述质量部转动，对由所述光反射部反射的光进行扫描。另外，光扫描器的驱动装置与光学设备1的驱动装置4同样。从而，能够增大光扫描器的转动角，因而，能够减小光反射部和扫描对象物的距离。其结果是，能够实现本发明的光扫描器的小型化。
这种光扫描器能够适用于例如激光打印机、用于成像的显示器、条形码阅读器、扫描型共焦点显微镜等图像形成装置。
本发明的图像形成装置具备本发明的光扫描器，从而，能够实现小型化、且发挥优异的描绘特性。
还有，本实施方式中，关于图2中向上方向磁化的磁性体41进行了说明，不过，只要是沿与质量部21的面垂直的方向磁化即可，即可以采用图2中向下方向磁化的磁性体41。
另外，本实施方式中，关于磁性体41，以设置在质量部21的与光反射部6相反的面上为例进行说明，不过，只要是沿与质量部21的面垂直的方向磁化而设置即可，并没有限定于此，例如，既可以设置在质量部21的设置有光反射部6的面上，也可以设置在质量部21的两面。
另外，本实施方式中，关于磁性体41，以呈薄膜状为例进行了说明，不过，只要沿与质量部21的面垂直的方向磁化而设置即可，并没有限定于此，例如，可以是板状，也可以是棒状。
另外，关于磁轭51、52，以呈“コ”字状为例进行了说明，不过只要能够经由质量部21对置设置即可，并没有限定于此，例如，既可以是U字状，也可以是不同形状。另外，磁轭51和磁轭52的形状也可以不同。
另外，本实施方式中，关于使用交流电源作为电压施加装置55的方式进行了说明，不过，只要能够向线圈53施加电压即可，并没有限定于此，例如，也可以使用直流电源。此时，例如，通过间歇性施加直流电压，从而能够使质量部21相对于支撑部24转动。
另外，本实施方式中，关于一对磁极511、521彼此间的距离，在光的入射侧的区域，具有朝向光的射出方向渐增的部分的方式进行了说明，不过，也可不具有这样的部分。
另外，本实施方式中，关于磁轭51、52与磁心54独立构成的方式进行了说明，不过，磁轭51、52与磁心54也可以一体构成。
<第二实施方式>
接着，关于本发明的光学设备的第二实施方式进行说明。
图4是表示本发明的光学设备的第二实施方式的局部放大图，图5是图4中A-A线截面图，图6是用于说明本发明的光学设备的驱动装置的图。
还有，以下，为了说明方便，以图4中的纸面面前侧为「上」，以纸面里侧为「下」，以右侧为「右」，以左侧为「左」。
以下，关于第二实施方式的光学设备1A，以与所述第一实施方式的光学设备1的不同点为中心进行说明，关于相同的事项，省略其说明。
第二实施方式的光学设备1A，除了质量部21的构成不同以外，与第一实施方式的光学设备1大致相同。
即，光学设备1A中，质量部21A，如图4所示，由一对第一质量部211A、212A、第二质量部213A和一对连结部214A、215A构成。
这种光学设备1A通过在后述的一对磁极511A、521A间产生磁场，从而，使一对弹性部22A、23A扭转变形，同时使一对第一质量部211A、212A转动，与之相伴，使一对连结部214A、215A扭转变形，同时使第二质量部213A转动。此时，一对第一质量部211A、212A及第二质量部213A分别以图4所示的转动中心轴X为中心转动。
在这样的一对第一质量部211A、212A之间，设置有第二质量部213A，一对第一质量部211A、212A在第二质量部213A的俯视状态下，以第二质量部213A为中心大致左右对称地设置。同样，一对连结部214A、215A在俯视状态下，以第二质量部213A为中心大致左右对称地设置，一对弹性部22A、23A在俯视状态下，以第二质量部213A为中心大致左右对称地设置。即，本实施方式的光学设备1A在俯视状态下，以第二质量部213A为中心大致左右对称地形成。再有，光学设备1A在俯视状态下，相对于转动中心轴X对称地形成。
第二质量部213A呈板状，在其上面(与支撑基板3A相反侧的板面)设有光反射部6A。从而，能够将光学设备1A适用于光扫描器、光衰减器、光开关等光学设备。
第一质量部211A及第一质量部212A呈板状，互为大致相同形状、相同尺寸。再有，在第一质量部211A的下面(与支撑基板3A对置侧的板面)设有磁性体41A，在第一质量部212A的下面设有磁性体41A。
第二质量部213A及第一质量部211A中，第一质量部211A经由弹性部22A连接在支撑部24A上，第二质量部213A经由连结部214A连接在第一质量部211A上。
与此同样，第二质量部213A及第一质量部212A中，第一质量部212A经由弹性部23A连接在支撑部24A上，第二质量部213A经由连结部215A连接在第一质量部212A上。
弹性部22A以使第一质量部211A相对于支撑部24能够转动的方式将第一质量部211A和支撑部24A连结。与此同样地，弹性部23A以使第一质量部212A相对于支撑部24A能够转动的方式将第一质量部212A和支撑部24A连结。
连结部214A以使第二质量部213A相对于第一质量部211A能够转动的方式将第二质量部213A和第一质量部211A连结。与此同样地，连结部215A以使第二质量部213A相对于第一质量部212A能够转动的方式将第二质量部213A和第一质量部212A连结。还有，连结部214A、215A为能够弹性变形的棒状构件。
这样的一对弹性部22A、23A及一对连结部214A、215A同轴设置，以它们为转动中心轴(旋转轴)X，使一对第一质量部211A、212A相对于支撑部24A能够转动。再有，第二质量部213A相对于第一质量部211A、212A能够转动。
这样，基体2A具有由一对第一质量部211A、212A和一对弹性部22A、23A构成的第一振动系统、由第二质量部213A和一对连结部214A、215A构成的第二振动系统。即，基体2具有由第一振动系统及第二振动系统构成的2自由度振动系统。
这种基体2A例如以硅为主材料构成，第二质量部213A、第一质量部211A、212A、弹性部22A、23A、连结部214A、215A和支撑部24A一体形成。这样，由于以硅为主材料构成，从而，能够实现优异的转动特性，并且能够发挥优异的耐久性。另外，还可以进行微细的处理(加工)，能够实现光学设备1A的小型化。
还有，基体2A也可以是由SOI基板等具有层叠结构的基板形成第二质量部213A、第一质量部211A、212A、弹性部22A、23A、连结部214A、215A和支撑部24A的结构。此时，优选，以第二质量部213A、第一质量部211A、212A、弹性部22A、23A、连结部214A、215A和支撑部24A的一部分成为一体的方式由层叠结构基板的1个层构成它们。
接下来，关于第一质量部211A、212A和第二质量部213A的关系进行详细叙述。
当以第一质量部211A距转动中心轴X在与之大致垂直方向(纵向)上的长度为L1，以第一质量部212A距转动中心轴X在与之大致垂直方向(纵向)上的长度为L2，以第二质量部213A距转动中心轴X在与之大致垂直方向上的长度为L3时，本实施方式中，由于第一质量部211A、212A分别独立设置，从而，不管第二质量部213A的大小(长度L3)如何，都能够使第一质量部211A、212A和第二质量部213A不产生干涉地减小L1及L2。从而，能够增大第一质量部211A、212A的旋转角度(摆角)，其结果是，能够增大第二质量部213A的旋转角度。
另外，第一质量部211A、212A及第二质量部213A的尺寸，优选分别设定为满足L1＜L3且L2＜L3的关系。
通过满足所述关系，能够更加减小L1及L2，能够更加增大第一质量部211A、212A的旋转角度，能够进一步增大第二质量部213A的旋转角度。
此时，优选第二质量部213A的最大旋转角度为20°以上。
从而，能够实现第一质量部211A、212A的低电压驱动和第二质量部213A在大旋转角度下的振动(转动)。
因而，当将这种光学设备1A适用于例如投影仪、激光打印机、扫描型共焦点激光显微镜等装置中使用的光扫描器时，能够更容易地使装置小型化。
还有，如上所述，本实施方式中，L1和L2设定成大致相等，不过，L1和L2当然也可以不同。
在以上详细叙述的基体2A上接合有支撑基板3A。
这种支撑基板3A例如以玻璃或硅等非磁性材料为主材料构成。
在支撑基板3A的上面，如图5所示，形成有凹部30A。再有，在凹部30A的底面，在与第二质量部213A对应的部分形成有开口部31A。该开口部31A构成在第二质量部213A转动(振动)时，防止与支撑基板3A接触的避让部。通过设置开口部(避让部)31A，能够防止光学设备1A整体的大型化、且能够更大地设定第二质量部213A的摆角(振幅)。
还有，如上所述的避让部，只要是能够充分发挥所述效果的构成，则也可以不一定在支撑基板3A下面(与第二质量部213A相反侧的面)开放(开口)。即，避让部也可以由在支撑基板3A的上面形成的凹部构成。另外，当凹部30A的深度相对于第二质量部213A的摆角(振幅)足够大时，也可以不设置开口部31A。
接着，关于用于使质量部21A转动的驱动装置4A进行详细叙述。
驱动装置4A具有设置在第一质量部211A上的磁性体(磁性部)41A、设置在第一质量部212A上的磁性体(磁性部)41A、产生向一对磁性体41A、41A作用的磁场的磁场产生装置5A。
以下，关于驱动机构4A进行具体说明，不过如图6所示，由于驱动第一质量部211A的构成(装置)和驱动第一质量部212A的构成(装置)相同，因而，以驱动第一质量部211A的构成为代表进行说明，关于驱动第一质量部212A的装置，省略其说明。
在第一质量部211A的下面(与光反射部6相反侧的面)设有磁性体41A。
这样的磁性体41A相对于转动中心轴X对称地设置在第一质量部211A上。从而，即使在第一质量部211A上设置磁性体41A，也能够防止第一质量部211A的转动中心轴X摇晃。其结果是，光学设备1A能够稳定地转动第一质量部211A，与之相伴，能够稳定地转动第二质量部213A。
另外，磁性体41A呈薄膜状，沿着第一质量部211A的面设置。从而，能够抑制第一质量部211A整体的厚度(在与面垂直的方向上的长度)，能够实现光学设备1A的小型化。另外，能够使与第一质量部211A的面垂直的方向上的第一质量部211A和磁性体41的中心间距离减小，因而，能够稳定地转动第一质量部211A。
另外，这种磁性体41A沿与第一质量部211A的面成直角的方向磁化。
磁场产生装置5A具有用于转动第一质量部211A、形成磁路的一对磁轭51A、52A、用于产生磁场的线圈53A、卷绕有线圈53A的磁心54A和向线圈53A施加电压的交流电源55A。
再有，磁场产生装置5A具有用于转动第一质量部212A、形成磁路的一对磁轭51A、52A、用于产生磁场的线圈53A、卷绕有线圈53A的磁心54A和向线圈53A施加电压的交流电源(电压施加装置)55A。
磁心54A，如图5所示，固定设置在支撑基板3A上。并且，在该磁心54A上卷绕有线圈53A，线圈53A与交流电源55A连接。
磁轭51A中的一端与磁心54A连接，另一端与第一质量部211A的侧面对置设置。并且，磁轭51A的与第一质量部211A对置侧的端部作为磁极511A发挥功能。本实施方式中，磁轭51A呈大致“コ”字状。
与之同样，磁轭52A中的一端与磁心54A连接，另一端与第一质量部211A的侧面对置设置。并且，磁轭52A的与第一质量部211A对置侧的端部作为磁极521A发挥功能。本实施方式中，磁轭52A呈大致“コ”字状，形成为与磁轭51A大致相同形状、相同尺寸。
即，磁轭51A、52A形成一对磁极511A、521A而形成磁路。
这种磁场产生装置5A的构成是，利用交流电源55A向线圈53A施加电压，从而使一对磁极511A、521A形成相互不同的极性，在一对磁极511A、521A间产生磁场。从而，能够以比较简单的构成，在一对磁极511A、521A间产生磁场。
一对磁极511A、521A在非驱动状态的质量部21A的俯视状态下，经由第一质量部211A在与其转动中心轴X成直角的方向上对置设置。根据这样的构成，能够使一对磁极511A、521A接近第一质量部211A设置，能够实现光学设备1A的小型化及省电化。另外，根据这种构成，能够防止一对磁极511A、521A阻碍第一质量部211A的转动，因而，能够增大第一质量部211A的转动角。即，能够实现光学设备1A的小型化及省电化、且增大第二质量部213A的转动角。
另外，在与质量部21A的转动中心轴X平行方向，设置一对磁极511A、521A，使各磁极511A、521A的长度比磁性体41A的长度长一些(大致相等)。从而，在与转动中心轴X平行的方向上，磁性体41A受到均匀的磁力，其结果是，能够稳定地转动第一质量部211A。另外，能够实现省电化。
另外，磁极511A、521A，如图4所示，在第一质量部211A的远离转动中心轴X的缘部面对面设置。从而，能够更可靠地在一对磁极511A、521A间产生磁场。
以上，关于驱动装置4A中用于使第一质量部211A转动的构成进行了说明，如上所述，为了驱动第一质量部212A，而设有同样的构成。
交流电源55A，如图6所示，向一对线圈53A、53A分别施加电压。从而，能够使第一质量部211A和第一质量部212A同步转动。其结果是，能够更稳定地转动第二质量部213A。
还有，本实施方式中，以磁性体41A设置在第一质量部211A的下面为例进行了说明，不过，只要沿与第一质量部211A的面垂直的方向磁化即可，并没有限定于此，例如，也可以设置在上面。另外，在第一质量部211A和第一质量部212A上，磁性体41A的配置也可以不同。
另外，关于磁轭51A、52A，以呈“コ”字状的方式进行了说明，不过，只要能够经由第一质量部211A、212A对置设置磁极511A、521A即可，并没有限定于此，例如，可以是U字状，也可以是不同形状。另外，磁轭51A和磁轭52A的形状也可以不同。
另外，本实施方式中，交流电源(电压施加装置)55A向一对线圈53A、53A分别施加交流电源，不过，例如也可以使用2个交流电源，其中一个交流电源向一个线圈53A施加电压，另一个交流电源向另一个线圈53A施加电压。
另外，本实施方式中，磁场产生装置5A分别具有一对(2组)包括一对磁轭51A、52A、线圈53A和磁心54A这样的结构，不过，并不限定于此。例如，可以采用在与转动中心轴X平行方向上，具有与质量部21A的长度大致相等的长度的一对磁轭。
根据这样的第二实施方式，也能够发挥与第一实施方式同样的效果。
以上，关于本发明的光学设备、光扫描器及图像形成装置，根据图示的实施方式进行了说明，不过，本发明并不限定于此。例如，本发明的光学设备中，各部的构成能够置换成发挥相同功能的任意构成，另外，也能够附加任意的构成。
另外，所述的实施方式中，关于形成为相对于通过光扫描器中心并与质量部或驱动部的转动轴线成直角的面大致对称(左右对称)的形状的结构进行了说明，不过，也可以是非对称的。
另外，所述实施方式中，关于光反射部设置在质量部的上面(与支撑基板相反侧的面)、散热部设置在质量部的背面(支撑基板侧的面)的构成进行了说明，不过，也可以采用与其相反设置的构成。

Claims (10)

1.一种光学设备，其包括：
质量部，其呈板状，且具备具有光反射性的光反射部；
支撑部，其用于支撑所述质量部；
一对弹性部，其相对于所述支撑部连结所述质量部并确保该质量部能够转动，且该一对弹性部能够弹性变形；
驱动装置，其使所述质量部转动，
通过使所述驱动装置动作，能够使所述弹性部扭转变形，同时使所述质量部转动，并变更由所述光反射部反射的光的方向，
所述光学设备的特征在于，
所述驱动装置具有：
磁性部，其设置在所述质量部上，沿与该质量部的面成直角的方向被磁化；
磁场产生装置，其具有一对磁极和线圈，所述一对磁极在非驱动状态的所述质量部的俯视状态下，经由该磁性部在与其转动中心轴成直角的方向上对置设置，且极性相互不同，所述线圈用于在所述一对磁极上产生磁力，
所述磁场产生装置通过向所述线圈施加电压，从而在所述一对磁极间产生磁场，使所述质量部相对于所述支撑部转动。
2.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，
在所述质量部的一面侧设有所述光反射部，
在所述质量部的另一面侧设有所述磁性部。
3.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，
所述磁性部呈薄膜状，且沿着所述质量部的面设置。
4.根据权利要求3所述的光学设备，其特征在于，
所述磁场产生装置具有：
磁心，其卷绕有所述线圈；
一对磁轭，其设置在所述磁心的两端部，且形成所述一对磁极而形成磁路；
电压施加装置，其向所述线圈施加电压，
利用所述电压施加装置向所述线圈施加电压，从而在所述一对磁极间产生磁场。
5.根据权利要求4所述的光学设备，其特征在于，
所述电压施加装置向所述线圈施加交变电压。
6.根据权利要求4或5所述的光学设备，其特征在于，
在与所述质量部的转动中心轴平行的方向上，各所述磁极的长度与所述磁性部的长度大致相等。
7.根据权利要求4～6中任意一项所述的光学设备，其特征在于，
所述一对磁极彼此间的距离，在所述光的入射侧的区域，具有朝向所述光的射出方向渐增的部分。
8.根据权利要求1～6中任意一项所述的光学设备，其特征在于，
所述质量部具有：
一对第一质量部，其呈板状；
第二质量部，在俯视状态下其设置在所述一对第一质量部间；
一对连结构件，其相对于所述第一质量部连结所述第二质量部并确保该第二质量部能够转动，且该一对连结构件能够弹性变形，
所述光反射部设置在所述第二质量部上，
所述磁性部设置在各所述第一质量部上。
9.一种光扫描器，其包括：
质量部，其呈板状，且具备具有光反射性的光反射部；
支撑部，其用于支撑所述质量部；
一对弹性部，其相对于所述支撑部连结所述质量部并确保该质量部能够转动，且该一对弹性部能够弹性变形；
驱动装置，其使所述质量部转动，
通过使所述驱动装置动作，使所述弹性部扭转变形，同时使所述质量部转动，并对由所述光反射部反射的光进行扫描，
所述光扫描器的特征在于，
所述驱动装置具有：
磁性部，其设置在所述质量部上，沿与该质量部的面成直角的方向被磁化；
磁场产生装置，其具有一对磁极和线圈，所述一对磁极在非驱动状态的所述质量部的俯视状态下，经由该磁性部在与其转动中心轴成直角的方向上对置设置，且极性相互不同，所述线圈用于在所述一对磁极上产生磁力，
所述磁场产生装置通过向所述线圈施加电压，从而在所述一对磁极间产生磁场，使所述质量部相对于所述支撑部转动。
10.一种图像形成装置，其具备光扫描器，所述光扫描器包括：
质量部，其呈板状，且具备具有光反射性的光反射部；
支撑部，其用于支撑所述质量部；
一对弹性部，其相对于所述支撑部连结所述质量部并确保该质量部能够转动，且该一对弹性部能够弹性变形；
驱动装置，其使所述质量部转动，
通过使所述驱动装置动作，使所述弹性部扭转变形，同时使所述质量部转动，并对由所述光反射部反射的光进行扫描，
所述图像形成装置的特征在于，
所述驱动装置具有：
磁性部，其设置在所述质量部上，沿与该质量部的面成直角的方向被磁化；
磁场产生装置，其具有一对磁极和线圈，所述一对磁极在非驱动状态的所述质量部的俯视状态下，经由该磁性部在与其转动中心轴成直角的方向上对置设置，且极性相互不同，所述线圈用于在所述一对磁极上产生磁力，
所述磁场产生装置通过向所述线圈施加电压，从而在所述一对磁极间产生磁场，使所述质量部相对于所述支撑部转动。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101750734A (zh) * 2008-12-05 2010-06-23 船井电机株式会社 振动镜部件
CN101750735B (zh) * 2008-12-15 2013-09-25 船井电机株式会社 振动镜部件
CN103582840A (zh) * 2011-07-06 2014-02-12 日本电气株式会社 光学扫描装置、图像显示设备和光学扫描方法
CN103676139A (zh) * 2012-09-13 2014-03-26 精工爱普生株式会社 致动器、光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器
CN105329838A (zh) * 2014-06-17 2016-02-17 英飞凌科技股份有限公司 用于微机电像素和显示器件和系统的薄膜结构、以及用于形成薄膜结构和相关器件的方法
CN106444017A (zh) * 2015-08-05 2017-02-22 精工爱普生株式会社 光扫描器及其制造方法、图像显示装置以及头戴式显示器
CN109313337A (zh) * 2016-10-31 2019-02-05 国立大学法人福井大学 二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置
CN112840260A (zh) * 2018-10-18 2021-05-25 微软技术许可有限责任公司 扫描镜致动器框架
CN113534449A (zh) * 2021-07-27 2021-10-22 西南大学 一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描微镜
CN115165005A (zh) * 2022-08-26 2022-10-11 南京高华科技股份有限公司 一种mems流量传感器及其制备方法

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE554419T1 (de) * 2008-12-05 2012-05-15 Funai Electric Co Vibrierendes spiegelelement
JP5402124B2 (ja) * 2009-03-18 2014-01-29 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置
JP5343903B2 (ja) * 2010-03-18 2013-11-13 株式会社豊田中央研究所 光偏向装置
DE102011087230A1 (de) * 2011-11-28 2013-05-29 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg System aus Bediengerät und Feldgerät und Verfahren zur Kommunikation mit einem Feldgerät
WO2013121774A1 (ja) * 2012-02-17 2013-08-22 日本電気株式会社 光走査素子および画像表示装置
WO2013175663A1 (ja) * 2012-05-22 2013-11-28 日本電気株式会社 光走査素子及び光走査装置
JP2015087443A (ja) 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
CN103984091A (zh) * 2013-11-21 2014-08-13 苏州浩创信息科技有限公司 一种扫描器摆镜装置
WO2018179041A1 (ja) * 2017-03-27 2018-10-04 オリンパス株式会社 光偏向器

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3642344A (en) * 1970-11-27 1972-02-15 Honeywell Inc Optical scanner having high-frequency torsional oscillator
JPS63158579A (ja) 1986-12-23 1988-07-01 Citizen Watch Co Ltd レ−ザ−ビ−ム・プリンタ
JPH01195417A (ja) 1988-01-30 1989-08-07 Konica Corp 光ビーム偏向器
JPH0954264A (ja) 1995-08-10 1997-02-25 Omron Corp 光走査装置、距離測定装置及び光センサ装置
JPH09138366A (ja) 1995-11-15 1997-05-27 Brother Ind Ltd 光走査装置
JP2000235152A (ja) 1999-02-12 2000-08-29 Victor Co Of Japan Ltd 光偏向器
US20040004775A1 (en) * 2002-07-08 2004-01-08 Turner Arthur Monroe Resonant scanning mirror with inertially coupled activation
JP4503930B2 (ja) 2003-01-30 2010-07-14 オリンパス株式会社 医療装置
JP4091004B2 (ja) 2003-02-04 2008-05-28 オリンパス株式会社 医療装置誘導システム
JP4137740B2 (ja) 2003-08-06 2008-08-20 オリンパス株式会社 カプセル型医療装置及びカプセル型医療装置誘導システム
JP2005084571A (ja) 2003-09-11 2005-03-31 Memusu Technology:Kk 光スキャナ装置
JP3759598B2 (ja) * 2003-10-29 2006-03-29 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ
JP2005165276A (ja) * 2003-11-10 2005-06-23 Olympus Corp 光偏向器
WO2006004644A1 (en) * 2004-06-29 2006-01-12 Nicolas Loebel Optical scanner
JP4891535B2 (ja) 2004-09-21 2012-03-07 オリンパス株式会社 医療装置誘導システム

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101750734B (zh) * 2008-12-05 2013-09-11 船井电机株式会社 振动镜部件
CN101750734A (zh) * 2008-12-05 2010-06-23 船井电机株式会社 振动镜部件
CN101750735B (zh) * 2008-12-15 2013-09-25 船井电机株式会社 振动镜部件
CN103582840A (zh) * 2011-07-06 2014-02-12 日本电气株式会社 光学扫描装置、图像显示设备和光学扫描方法
CN103676139B (zh) * 2012-09-13 2018-03-06 精工爱普生株式会社 致动器、光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器
CN103676139A (zh) * 2012-09-13 2014-03-26 精工爱普生株式会社 致动器、光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器
CN105329838A (zh) * 2014-06-17 2016-02-17 英飞凌科技股份有限公司 用于微机电像素和显示器件和系统的薄膜结构、以及用于形成薄膜结构和相关器件的方法
CN106444017A (zh) * 2015-08-05 2017-02-22 精工爱普生株式会社 光扫描器及其制造方法、图像显示装置以及头戴式显示器
CN109313337A (zh) * 2016-10-31 2019-02-05 国立大学法人福井大学 二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置
CN109313337B (zh) * 2016-10-31 2021-11-16 国立大学法人福井大学 二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置
CN112840260A (zh) * 2018-10-18 2021-05-25 微软技术许可有限责任公司 扫描镜致动器框架
CN113534449A (zh) * 2021-07-27 2021-10-22 西南大学 一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描微镜
CN115165005A (zh) * 2022-08-26 2022-10-11 南京高华科技股份有限公司 一种mems流量传感器及其制备方法
CN115165005B (zh) * 2022-08-26 2024-03-08 南京高华科技股份有限公司 一种mems流量传感器及其制备方法

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