CN101116141A - 用于多束光学扫描设备的光点尺寸的聚焦误差检测 - Google Patents

Abstract

一种用于扫描光盘(6)的设备(1)，光盘(6)包括基本上平行的数据轨道(10)。设备(1)包括用于在数据轨道(10)上产生多个轨道光点(12)并且在多个信号检测器上产生多个检测器光点的光学单元。所说设备(1)进一步还包括聚焦误差单元，它具有一个光束操纵元件(21、22、22a、92)，用于为至少一个反射光束提供通向第一分段检测器(8a)的第一光学路径(24)和通向第二分段检测器(8b)的第二光学路径(25)。第一光学路径(24)和第二光学路径(25)的长度呈现差值(Dd)，从而使当至少一个轨道光点正确聚焦时在第一分段检测器(8a)上的第一检测器光点的强度分布等于在第二分段检测器(8b)上的第二检测器光点的强度分布，并且使当至少一个轨道光点没有正确聚焦时在第一分段检测器(8a)上的强度分布不同于在第二分段检测器(8b)上的强度分布。所说的差值(Dd)明显小于两个相邻检测器光点之间的距离(Ds)和透镜(7)的数值孔径(NA)的商。分段检测器在相邻的检测器光点方向的光检测面积的尺寸(DI)小于两个相邻检测器光点之间的距离(Ds)。

Description

用于多束光学扫描设备的光点尺寸的聚焦误差检测

技术领域

本发明涉及用于扫描光盘的设备，所说光盘包括基本上平行的数据轨道，所说设备包括：用于在数据轨道上产生多个轨道光点的光学单元，光学单元包括用于从在数据轨道上反射的多个光束在多个信号检测器上产生多个检测器光点的透镜；和用于提供聚焦误差信号的聚焦误差单元，聚焦误差信号表示多个轨道光点中的至少一个轨道光点的散焦数量。

背景技术

这样一种设备在国际专利申请WO02/071400上公开过。这个申请公开的设备使用了从CD或DVD盘的多个数据轨道上同时读出数据的多个读出光束和一个多元件检测器。全息元件在中心光束中引入象散。使用包括2×2阵列的检测器分段的一个中心分段检测器进行象散聚焦误差的检测。如果系统是聚焦的，则投射在中心分段检测器上的光点是圆形的，均衡地照射所有的检测器分段。如果系统是散焦的，光点沿对角线方向变长，因此，分段的一个对角线对接收的照射要大于对于另一个对角线对的照射，这与聚焦误差的方向有关。在WO02/071400公开的设备中，中心分段的检测器还用于推挽(push pull)跟踪误差检测。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种使用更加可靠的、不同的、用于确定聚焦误差的技术扫描光盘的设备。

按照本发明，提供如在本文开始段描述的设备，其中的聚焦误差单元包括一个光束操纵元件，用于为至少一个反射光束提供通向第一分段检测器的第一光学路径和通向第二分段检测器的第二光学路径，第一光学路径和第二光学路径的长度呈现差值，从而使当至少一个轨道光点正确聚焦时在第一分段检测器上的第一检测器光点的强度分布基本上等于在第二分段检测器上的第二检测器光点的强度分布，并且使当至少一个轨道光点没有正确聚焦时在第一分段检测器上的强度分布不同于在第二分段检测器上的强度分布。聚焦误差单元进一步还包括比较装置，用于比较第一分段检测器上的强度分布与在第二分段检测器上的强度分布，以确定聚焦误差信号。在路径长度之间的差值明显小于两个相邻检测器光点之间的距离和透镜的数值孔径的商，并且分段检测器在相邻的检测器光点方向的光检测面积的尺寸小于两个相邻检测器光点之间的距离。

按照本发明的多束扫描设备使用光点尺寸检测来确定聚焦误差。光点尺寸的聚焦误差检测是先前使用过的在单束光学扫描设备中确定聚焦误差的技术。当轨道光点正确地聚焦在光盘的一个轨道上时，在这个轨道上反射的光束通过透镜会聚并通过光束操纵器分束，从而使第一光学路径在检测器光点的焦点之前抵达第一分段检测器，并且第二光学路径在检测器光点的焦点之后抵达第二分段检测器。如果从第一和第二分段检测器到这个焦点的距离相等，则在第一和第二分段检测器上的强度分布相同。当轨道光点没有正确地聚焦在光盘上时，检测器光点的焦点向第一分段检测器移动并远离第二分段检测器，或者反之亦然。分段检测器之一比另一个更加靠近焦点，导致对于第一和第二分段检测器的不同的强度分布。通过比较两个分段检测器的强度分布，就可确定散焦量。

在单束光学扫描设备中，第一和第二光学路径长度之差和分段检测器的表面面积优选足够大，以便在正常使用所说设备期间可能发生的聚焦误差的整个范围内实现可靠的聚焦误差检测。这就是说，第一和第二光学路径长度之差至少应该等于可能的聚焦误差范围的宽度，并且分段检测器的表面面积至少应该与所说范围的外部边缘上的光点一样大。本发明基于如下的认识：在多束扫描设备中，叠加的光束对于光点尺寸的聚焦误差检测的质量产生不利的影响。靠近第二光点的焦点，完全分开光束，但散焦的光束极快地重叠在一起。来自相邻的重叠光束的交叉串扰严重地破坏了可靠的聚焦误差信号的产生。因此，直到现在还不认为光点尺寸的聚焦误差检测可以用于多束光学扫描设备。本发明人已经看到，通过减小第一和第二光学路径的长度之差以及分段检测器的大小，可以把重叠光束的交叉串扰减至最小。如果光学路径的长度之差太大，则至少一个分段检测器要处在相邻光束重叠的位置，与聚焦误差无关。如果分段检测器太大，来自多个光束的光将同时落在一个分段检测器上，即使这个分段检测器恰好处在焦点上亦是如此。只要分段检测器在相邻光点的光束完全分开的区域操作，就可以将光点尺寸的聚焦误差检测应用到其中使用多个光束同时读出多个数据轨道的扫描设备上。这个区域的确定有两个限制。第一，路径长度之差明显小于两个相邻检测器光点之间的距离和透镜的数值孔径的商。第二，分段检测器在相邻检测器光点方向的光检测面积的尺寸小于两个相邻检测器光点之间的距离。后面，参照图5详细描述尺寸限制的来源和计算。

当对于多束扫描设备使用象散聚焦时，使用象差(象散)透镜产生比使用非象散透镜大的光点。较大的光点将要叠加在较低的散焦值上。不使用任何象散透镜是按照本发明的设备的优点。

在按照本发明的设备的一个实施例中，聚焦误差单元包括附加装置，用于附加由第一分段检测器和第二分段检测器的各个段检测的强度，以便提供近似的聚焦误差信号。由于在按照本发明的设备中光学距离小，并且两个分段检测器的尺寸小，所以可以只对相当小的聚焦误差检测可靠地使用强度分布的比较。在两个分段检测器上的总强度则是较大的近似聚焦误差的一个可靠的度量值。当光点靠近正确的焦点时，整个强度最大。当光点靠近正确的焦点时，使用比较装置以便根据光点尺寸的检测对于聚焦误差进行比较精确的确定。

在按照本发明的另一个实施例中，光束操纵元件是一个玻璃片，玻璃片包括一个全息部分，用于分裂至少一个反射光束，以便提供第一光学路径和第二光学路径。所说的玻璃片例如可以是一个全息的玻璃片，它的中心只在用于只分裂至少一个光束的分段检测器的上方。按照另一种方式，可以使用较大的玻璃片，这个玻璃片包括一个全息部分，用于分裂至少一个光束，并且这个玻璃片对于另外的光束是透射性的。这个玻璃片保证只有相关的光点(至少在焦点区域中，在这里的光束是分开的)才用于光点尺寸的检测，而另外的光束则直接聚焦到它们的单个的信号检测器上。

在按照本发明的设备的另一个实施例中，对于聚焦误差单元进行安排，以便提供至少两个聚焦误差信号，用于至少两个轨道光点并且用于从中导出一个角度误差信号。当对于不同光束的聚焦误差不同时，多个读出光束没有正确地对齐，即读出光束不垂直于光盘表面。从两个光束之间的距离以及相应的两个聚焦误差之间的差值，就可以很容易地导出角度偏差。

从下述的实施例，本发明的这些和其它方面都是显而易见的，下面参照这些实施例描述本发明的这些和其它方面方面。

附图说明

在附图中：

图1示意地表示按照本发明的设备的一个实施例；

图2a、2b、2c表示用在按照本发明的设备中的分束元件的实例；

图3a和3b分别表示在分段的光点尺寸检测器上光点的聚焦状态和散焦状态；

图4a示意地表示按照本发明的光点尺寸检测器和先前在单束扫描设备中使用的光点尺寸检测器的聚焦状态；

图4b示意地表示按照本发明的光点尺寸检测器和先前在单束扫描设备中使用的光点尺寸检测器的散焦状态；

图5示意地表示光束几何形状，从这里可以减小按照本发明的光点尺寸检测器的尺寸要求；

图6表示从先前在单束扫描设备中使用的光点尺寸检测器获得的S曲线；

图7表示按照本发明的光点尺寸检测器获得的S曲线和CA信号；

图8a、8b、8c表示在用于按照本发明的设备的检测器阵列中的光点尺寸检测器的示例性的安排；

图9a和9b表示用于分裂至少一个光束的玻璃片的示例性的安排；

图10a、10b、10c表示用在扫描设备中的检测器阵列的示例性的安排，其中使用了用于分裂至少一个光束的玻璃片。

具体实施方式

图1示意地表示按照本发明的设备1。所说设备包括一个光束产生单元1，优选产生激光光束。激光光束通过衍射元件3，如光栅，在这里激光光束分裂为多个平行光束。平行光束通过半透过性的棱镜或反光镜4，并且由物镜5聚焦到光盘6的表面，从而将多个光点投射到光盘6的轨道上。在光盘6的部件的细节图11中，表示的是平行轨道10的图形。聚焦的光束在盘表面反射，通过物镜5并且在半透过性的棱镜或反光镜4反射到组合的读出或伺服分支。此外，通过使用某些额外的光调制元件，还可以提供单独的伺服和读出分支。在伺服和读出分支中，通过透镜7聚焦反射光束以便将多个检测器光点投射到信号检测器的阵列(未示出)。信号检测器将检测器光点转换成代表光盘6的轨道10上的数据的电信号。

在按照本发明的设备1中，至少一个光束用于聚焦误差检测。测量每个轨道光点的聚焦误差是没有必要的。轨道光点12之一的聚焦误差是其它轨道光点12的代表。在一般情况下使用的是中央光束或者是围绕中心对称的两个光束，但在原理上可以使用任何一个光束。当使用不止一个光束进行聚焦误差检测时，还可以检测光束和垂直于光盘表面的法线之间的角度。下面，我们假定只使用中央光束进行聚焦误差检测。与其它光束不同，使用分段的光检测器检测中央光束。在通过透镜7以后，光束通过分束器21、22(图2)。分束器为光束提供通向第一分段检测器8a的第一光学路径24(图2)，并且提供通向第二分段检测器8b的第二光学路径25(图2)。第一光学路径24和第二光学路径25的长度呈现差值Dd(图5)，从而当中央轨道光点正确地聚焦时，在第一分段检测器8a上的检测器光点的强度分布基本上等于第二分段检测器8b上的检测器光点的强度分布，并且当中央轨道光点没有正确地聚焦时，在第一分段检测器8a上的检测器光点的强度分布不同于第二分段检测器8b上的检测器光点的强度分布。比较单元9分析来自分段检测器8a、8b的电信号。从这个电信号就可以导出并且比较分段检测器8a、8b上的强度分布。使用在两个分段检测器8a、8b上的强度分布之间的差值，计算聚焦误差。在图1中示意地表示出正确聚焦的情况。通向第二分段检测器8b的光学路径长度大于通向第一分段检测器8a的光学路径长度。中央光束在第一分段检测器8a上形成一个前焦点(pre-focal spot)，并且在第二分段检测器8b上形成一个后焦点(post-focal spot)。其它的光束在它们对应的信号检测器(未示出)上都形成正确聚焦的光点。在一般情况下，如以上所述，并且如图2所示，前焦点和后焦点是由分束器单元提供的。此外，检测器8a是半透明的检测器，如图1所示安排了两个分段检测器8a和8b。

图2a、2b、2c表示在按照本发明的设备1中用于操纵光束的分束元件21、22、22a的实例。分束元件21、22为中央光束提供通向第一分段检测器8a的第一光学路径24和通向第二分段检测器的第二光学路径25。在图2a所示的实施例中，差值Dd是由全息片21产生的。在图2b所示的实施例中，差值Dd是由微棱镜22产生的，微棱镜22包括一个半透过性的反光镜23。在图2c所示的实施例中，微棱镜22a进一步还包括一个第二半透过性的反光镜27，用于提供通向信号检测器8c的第三光学路径26。第三光学路径26的长度在第一和第二光学路径的长度的中间，用于提供在信号检测器8c上的焦点。可以使用其它类型的光束操纵元件来提供差值Dd。

图3a和3b分别表示光点在分段的光点尺寸检测器上的聚焦和散焦的情况。在聚焦情况下(图3a)，在两个分段检测器上的强度分布是相等的。在散焦情况下(图3b)，在分段检测器8a的中间段上集中了一个光点，在另一个分段检测器8b上的光点分散在三个分段上。在可替换的实施例中，分段检测器包括的分段超过三个。还可以使用只有两个分段的分段检测器来测量强度分布，但为了实现可靠的测量，分段检测器优选具有至少三个分段。比较单元9比较在两个分段检测器8a和8b上的强度分布，并且提供表示聚焦误差的大小和方向的聚焦误差信号。

图4a示意地表示按照本发明的光点尺寸检测器8a、8b和先前在单束扫描设备中使用过的光点尺寸检测器48a、48b的聚焦状态。图3b示意地表示按照本发明的光点尺寸检测器的散焦状态。在单束扫描设备中，第一和第二光学路径的长度之间的差值Dd以及分段检测器48a、48b的表面面积最好很大，以便在聚焦误差的一个很大的范围上实现可靠的聚焦误差检测。当光学路径的长度之间的差值很大时，焦点仍旧在第一和第二分段检测器48a、48b之间，即使聚焦误差很大亦是如此。结果，即使对于很大的聚焦误差，也要在一个分段检测器上形成前焦点，并且在另一个分段检测器上形成后焦点。

在多束扫描设备中，相邻的叠加光束42对于光点尺寸聚焦误差检测的质量产生负面的影响。靠近第二光点的焦点，光束41、42完全分开，但散焦时光束41、42极其迅速地重叠。即使不发生任何聚焦误差，相邻光束42也影响分段检测器48a、48b上的强度分布。因此，直到现在，还没有考虑对于多束扫描设备进行光点尺寸聚焦误差检测。在按照本发明的多束扫描设备1中，通过减小光学路径长度之差Dd，可使重叠光束41、42的交叉串扰减至最小。此外，在按照本发明的扫描设备中使用的分段检测器8a、8b的尺寸不应超过一定的限制。在非常大的检测器48a、48b上形成的光点的强度分布可能受到来自相邻光束42的光的影响，即使没有产生任何聚焦误差亦是如此。

图5示意地表示光束的几何形状，从这里可以导出按照本发明的光点尺寸检测器8a、8b的尺寸要求。对于检测器尺寸的限制以及第一和第二光学路径的长度之差(Dd)主要取决于两个相邻光点之间的距离。

在两个相邻光点之间的最大距离取决于光的波长(λ)，并且取决于视场和把光束聚焦在所说检测器上的透镜7的数值孔径(NA)。大约20微米(NA＝0.85，λ＝405纳米)的蓝光盘透镜的视场限制了光点的最大分开距离。对于使用蓝光透镜的一个11个光束的系统，最大分开距离是20/11＝1.8微米。两个光点之间的最小距离受到相邻光点的干涉的限制。如果允许相邻光点对于聚焦光点的强度的贡献小于1％，则光点的最小分开距离约为2.8＊λ/NA＝1.3微米。

图5表示三个相邻光束的详细情况。在焦点，光点的分开距离为Ds。在路径长度之间的差值Dd不得超过一个最大距离Dmax，以便防止重叠光束落到分段检测器上，优选地，保持差值Dd明显小于Dmax。在优选实施例中，Dd约为Dmax的一半。从图5所示的几何形状可以计算Dmax。在图5中，示出一个直角三角形51，其中表示出一个角度α，长度为1/2Dmax一个边，长度为1/2Ds的一个边。角度α是透镜7的角度孔径的一半。数值孔径(NA)等于角度α的正弦。从这个信息可以计算出Dmax等于Ds/(2×tan(arc sin(NA)))。对于小数值的NA，Dmax近似等于Ds/NA。用于提供检测器光点的透镜7的数值孔径通常约为0.1，这个值对于证明这个近似是足够小的了。

在朝向相邻光点的方向测量的分段检测器的光检测区的最大长度(Lmax)等于两个相邻检测器光点之间的距离(Ds)。当使用较大的检测器时，相邻重叠光束的交叉串扰会破坏聚焦误差的检测。

图6表示从先前在单束扫描设备中使用过的光点尺寸检测器获得的S曲线61。在曲线61上的每一点的x值代表聚焦误差。在该曲线上的每一点的y值代表一个误差信号值，所说的误差信号值是由两个分段检测器8a、8b的分段测量的光强度的函数。通过在下面的公式中在不同的分段上插入光强度，例如可以计算出误差信号值：

但是还可以使用其它的公式。优选地，使用对于在较大聚焦误差范围内的所有聚焦误差导致唯一数值的函数。使用S曲线61和来自图6所示的分段检测器的分段的信号，比较单元9确定聚焦误差的大小和方向。

图7表示来自按照本发明的多束扫描设备的S曲线71和CA信号72。对于小的聚焦误差，比较单元9可以使用曲线71，象对于单束扫描设备所述的那样。对于较大的聚焦误差，由于重叠光束的干涉，误差信号值是完全不可预测的。为了扩大按照本发明的多束扫描设备中焦点检测系统的俘获范围，需要有附加的措施。例如，可以测量中央幅度(CA)信号72。CA信号代表在两个分段检测器8a、8b的所有分段上的强度的总合。通过用于简单地相加来自这些检测器分段的电信号的一个加法单元，可以计算CA信号。当光点接近焦点时CA信号最大；当光点散焦时，CA信号很低。在按照本发明的扫描设备的优选实施例中，CA信号首先用于在光盘上近似地聚焦轨道光点12，然后比较装置9使用光点尺寸的检测来确定误差信号值。

图8a、8b、8c表示用于按照本发明的设备的一个检测器阵列中光点尺寸检测器的示例性的安排。在图8a中，所示的检测器阵列用于9个光束的系统中的信号检测。在使用这个检测器阵列的扫描设备中，使反射光束分裂，以便使用中央光束进行光点尺寸聚焦误差的检测。具有不同长度的两个分开的路径引导中央光束到达分段检测器8a和8b。另外的光束也要分裂，并且在8个信号检测器对的信号检测器82a、82b上形成光点。然而，如果略有散焦，就要使用信号检测器82a、82b来获得存储在光盘6的轨道10上的数据。值得注意的是，当聚焦正确时，在检测器82a、82b上的光点是一样的，并且只使用检测器对中的一个检测器就能够读出所说的数据。按照另一种方式，检测器对可以由一个较大的用于检测两个光点的检测器代替。优选还要计算在分段检测器8a、8b上的总强度，并且还要使用这个总强度进行数据读出。

在图8b中，使用两个中心对称的光束进行聚焦误差检测。当使用不止一个光束进行聚焦误差检测的时候，还可以检测这些光束和垂直于光盘表面的法线之间的角度。当对于不同的光束有不同的聚焦误差时，多个读出光束没有正确地对齐，即，读出光束不垂直于光盘表面。从两个光束之间的距离以及从相应的两个聚焦误差之间的差，就可以很容易地导出角度偏差。

图8b表示散焦的情况。第一分段检测器8a比第二分段检测器8b更靠近激光光束的焦点。为了实现可靠的数据读出，应对焦点进行校正，将焦点向第二分段检测器8b移动。

在图8c中，使用单个非中央光束进行聚焦误差检测。在图8c所示的实施例中，分束器不仅提供前焦点和后焦点，而且还提供焦点。可以使用图2c中所示的分束器22a来提供这三个焦点。当轨道光点12正确地聚焦在光盘6的轨道10上时，所说的焦点聚焦在单个检测器8c上。在图8c中所示的布置具有可以使用聚焦的检测器光点进行数据读出的优点。然而要说明的是，与将一个光束分成两个光束相比，将一个光束分成三个光束使光束的强度较低。

图9a和9b表示用于分裂至少一个光束的玻璃片92的示例性安排。在图9a中，玻璃片92是一个全息部分91，用于分裂中央光束并提供第一光学路径24和第二光学路径25。全息部分91例如可以包括如图2所示的光束操纵元件21、22、22a之一的微型版本。另外的光束不分裂，直接落在信号检测器81上。在图9b中，表示一个较大的玻璃片92。玻璃片92包括两个全息部分91，用于分裂总共9个光束中的两个光束。玻璃片92的其余部分是透明的，以便让其它光束可以直接落在信号检测器81上。

图10a、10b、10c表示在扫描设备中使用的检测器阵列的示例性的安排，所说扫描设备中使用玻璃片分裂至少一个光束。在图2a、2b、2c中所示的光束操纵元件21、22、22a将所有的光束都分裂为两个或三个光束。在图2a、2b中所示的光束操纵元件21、22的缺点是信号检测器81上的光点不在焦点上。在图2c中所示的光束操纵元件22a的缺点是信号检测器81上的光点没有得到明显衰减。当使用图9a、9b中所示的玻璃片92时，只分裂用于光点尺寸检测的那些光束。因此，在图10a、10b、10c的信号检测器81上，可以产生具有足够大光强度的正确聚焦的光点。

应当说明的是，上述的实施例只是说明了本发明，而不是限制本发明，本领域的普通技术人员在不偏离所附的权利要求的范围的情况下能够设计出许多可替换的实施例。在权利要求书中，加在括号之间的任何参考符号不被认为是对于权利要求的限制。使用动词“包括”及其变化形式并不排除存在除权利要求中所列的元件或步骤外的元件或步骤。在元件前边的冠词“一个”并不排除存在多个这样的元件。通过包括几个不同元件的硬件、以及通过合适编程的计算机可以实施本发明。在列举几个装置的设备权利要求中，几个这样的装置可以由同一个硬件实施。在相互不同的从属权利要求中引用某些措施的事实并不表明不能利用这些措施的组合使优点突出。

Claims (7)

1.一种用于扫描光盘(6)的设备(1)，所说光盘(6)包括基本上平行的数据轨道(10)，所说设备(1)包括：

用于在数据轨道(10)上产生多个轨道光点(12)的光学单元，所说光学单元包括用于从在数据轨道(10)上反射的多个光束在多个信号检测器上产生多个检测器光点的透镜(7)；和

用于提供聚焦误差信号的聚焦误差单元，聚焦误差信号表示多个轨道光点(12)中的至少一个轨道光点的散焦量，聚焦误差单元包括：

一个光束操纵元件(21、22、22a、92)，用于为至少一个反射光束提供通向第一分段检测器(8a)的第一光学路径(24)和通向第二分段检测器(8b)的第二光学路径(25)，第一光学路径(24)和第二光学路径(25)的长度呈现差值(Dd)，从而使当至少一个轨道光点正确聚焦时在第一分段检测器(8a)上的第一检测器光点的强度分布基本上等于在第二分段检测器(8b)上的第二检测器光点的强度分布，并且使当至少一个轨道光点没有正确聚焦时在第一分段检测器(8a)上的强度分布不同于在第二分段检测器(8b)上的强度分布；和

比较装置，用于比较第一分段检测器(8a)上的强度分布与在第二分段检测器(8b)上的强度分布，以确定聚焦误差信号；

所说的差值(Dd)明显小于两个相邻检测器光点之间的距离(Ds)和透镜(7)的数值孔径(NA)的商；并且

分段检测器在相邻的检测器光点方向的光检测面积的尺寸(DI)小于两个相邻检测器光点之间的距离(Ds)。

2.根据权利要求1所述的设备(1)，其中所说聚焦误差单元包括附加装置，用于附加由第一分段检测器(8a)和第二分段检测器(8b)的各个段检测的强度，以便提供近似的聚焦误差信号。

3.根据权利要求1所述的设备(1)，其中将光束操纵元件(21、22、22a、92)安排成为至少一个反射光束提供通向信号检测器(8c)的第三光学路径(26)，信号检测器(8c)附加到通向第一分段检测器(8a)的第一光学路径(24)和通向第二分段检测器(8b)的第二光学路径(25)，第三光学路径(26)的长度在第一光学路径(24)的长度和第二光学路径(25)的长度之间。

4.根据权利要求1所述的设备(1)，其中将多个信号检测器安排成多个信号检测器对(82a、82b)，并且其中将光束操纵元件(21、22、22a)安排成对于多个反射光束中的每个反射光束提供通向多个对中的相应的一对的第一信号检测器(82a)的第一光学路径(24)以及通向相应对中的第二信号检测器(82b)的第二光学路径(25)。

5.根据权利要求1所述的设备(1)，其中光束操纵元件是一个玻璃片(92)，该玻璃片(92)包括一个全息部分(91)，用于分裂至少一个反射光束，提供第一光学路径(24)和第二光学路径(25)。

6.根据权利要求5所述的设备(1)，其中玻璃片(92)进一步还包括一个透射部分，用于透射对于聚焦误差检测来说不使用的至少一个反射光束。

7.根据前述权利要求之一所述的设备(1)，其中将聚焦误差单元安排成为至少两个轨道光点(12)提供至少两个聚焦误差信号，并且用于从至少两个聚焦误差信号导出一个角度误差信号。

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