CN101025613A - 联锁控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够使构造单纯化的联锁控制装置。联锁控制装置(1)具有与控制模块对应的从开关装置(100、200、300)和与它们连接的主开关装置(400)。在主开关装置(400)中多路化装置(110)通过以预先设定的顺序对联锁要因信号进行多路化而生成多路化信号。存储器(120)按照写入地址设定数据存储多路化信号，此外，按照读出地址设定数据读出多路化信号。分离装置(130)，通过分离由存储器(120)读出的多路化信号而分配给各输出目标以对分配的信号进行多路化，生成与每个输出目标对应的分离信号。

Description

联锁控制装置

技术领域

本发明涉及多个控制模块的联锁控制装置，特别是，涉及在蚀刻装置等的半导体制造装置中分别驱动控制至少1个设备的多个控制模块之间实施联锁控制的联锁控制装置。

背景技术

在已有的蚀刻装置等的半导体制造装置中，具有联锁控制功能。在具有这种现有的联锁控制功能的半导体制造装置中，在每个为了控制用于实现半导体制造装置的各功能的多个设备的控制模块中设置联锁电路，在各个控制模块的每一个中进行联锁控制。

此外，也存在着在各控制模块之间联动地进行联锁控制的情形，在该情形中，在控制模块之间发送接收用于联锁控制的信号。即，在现有的联锁控制装置中，在控制模块之间对每个用于实施联锁控制的联锁要因发送接收个别的联锁控制信号，在各控制模块之间联动地进行联锁控制(例如，参照专利文献1)。例如，当控制气体供给装置的气体供给至控制模块以对气体供给装置实施联锁控制时，在多个控制模块中分别检测包含来自气体泄漏检测器的气体泄漏警报等的多个联锁要因，对每个检测出的联锁要因将个别的联锁控制信号发送到气体供给控制模块，气体供给控制模块接收上述多个联锁要因，当联锁条件成立时，对作为联锁实施目标的设备的气体供给箱实施联锁控制。

专利文献1：日本特愿平05-204401号专利公报

但是，在当半导体制造装置等的装置功能复杂化时，联锁控制条件也变得复杂化，此外，当重视装置的安全性时联锁控制条件也复杂化的已有的联锁控制装置中，因为如上所述地对每个联锁要因在各控制模块之间发送接收个别的联锁控制信号，所以联锁控制信号的数量变得很庞大，用于连接各控制模块之间的配线变得复杂。

此外，在现有的联锁控制装置中，因为对每个联锁控制条件在控制模块之间发送接收的联锁控制信号不同，所以在追加新的半导体制造装置的开发和控制模块等的限度内，需要新设计各控制模块的联锁电路和变更设计等。

进一步，在现有的联锁控制装置中，伴随着联锁功能的复杂化，当在装置的故障等中实施联锁控制时，解析其原因是困难的。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够使构造单纯化的联锁控制装置。

为了实现上述目的，本发明第一方面所述的联锁控制装置是具有分别驱动控制至少1个设备的多个控制模块的联锁控制装置，其特征在于：具有与上述多个控制模块中的各个对应的从开关装置，其中，上述各个从开关装置包括：对表示上述对应的控制模块所驱动控制的上述设备的多个状态的状态检测信号进行多路化而生成多路化信号的多路化装置、存储上述多路化信号的存储装置、读出上述存储的多路化信号的读出装置、分离上述读出的多路化信号而生成多个分离信号的分离装置、将上述多个分离信号内规定的分离信号传送到上述对应的控制模块以外的控制模块的传送装置、和根据上述分离信号驱动控制上述对应设备的至少1个控制装置。

本发明第二方面所述的联锁控制装置的特征在于：在第一方面所述的联锁控制装置中，上述多路化装置以预先设定的顺序对上述状态检测信号进行多路化，上述读出装置根据预先设定的条件从上述存储的多路化信号读出上述状态检测信号，以该读出的顺序对上述读出的状态检测信号再次进行多路化而生成多路化信号。

本发明第三方面所述的联锁控制装置的特征在于：在第一方面或者第二方面所述的联锁控制装置中，具有分离信号监视装置，判别上述分离信号是否正常，当上述分离信号不正常时生成安全地驱动与该分离信号对应的设备的控制信号，并输出到与上述分离信号对应的控制装置。

本发明第四方面所述的联锁控制装置的特征在于：在第一方面至第三方面中任一方面所述的联锁控制装置中，上述从开关装置具有能够显示上述多路化信号的监视器接口。

本发明第五方面所述的联锁控制装置的特征在于：在第一方面至第四方面中任一方面所述的联锁控制装置中，具有连接上述传送装置、并且连接上述各个从开关装置的主开关装置，其中，上述主开关装置包括：对上述各个传送装置传送的上述规定的分离信号进行多路化而生成主多路化信号的主多路化装置、存储上述主多路化信号的主存储装置、读出上述存储的主多路化信号的主读出装置、分离上述读出的主多路化信号而生成多个主分离信号的主分离装置、和将上述主分离信号输出到上述从开关装置的输出装置。

本发明第六方面所述的联锁控制装置的特征在于：在第五方面所述的联锁控制装置中，上述主多路化装置，以预先设定的顺序对上述传送的规定的分离信号进行多路化，上述主读出装置，根据预先设定的条件从上述存储的主多路化信号读出上述状态检测信号，并以该读出的顺序对上述读出的状态检测信号再次进行多路化而生成主多路化信号。

本发明第七方面所述的联锁控制装置的特征在于：在第五方面或者第六方面所述的联锁控制装置中，上述多路化装置对上述状态检测信号和上述主分离信号进行多路化。

本发明第八方面所述的联锁控制装置的特征在于：在第五方面至第七方面中任一方面所述的联锁控制装置中，上述各个从开关装置具有主分离信号监视装置，判别上述主分离信号是否正常，当上述主分离信号不正常时生成安全地驱动与该主分离信号对应的上述控制模块控制的上述设备的控制信号的。

第一方面所述的联锁控制装置，在与多个控制控制模块中的各个对应的从开关装置中，对通过检测控制模块控制的设备的多个状态而生成的状态检测信号进行多路化而生成多路化信号，分离该多路化信号生成多个分离信号，将规定的分离信号传送到其它的控制模块，根据分离信号驱动控制对应设备。这样，因为能够将传送到其它控制模块的状态检测信号作为多路化了信号，所以能够减少在控制模块之间发送接收的信号数量，能够减少用于连接控制模块之间的配线。从而，能够使联锁控制装置的构成简单化。

如果根据第二方面所述的联锁控制装置，则以预先设定的顺序对状态检测信号进行多路化并存储起来，根据预先设定的条件根据该存储的多路化信号读出状态检测信号，以读出的顺序对读出的状态检测信号再次进行多路化。从而，即便在各控制模块中追加和变更功能，或者追加新的控制模块，通过变更上述预先设定的顺序和条件也能够进行控制模块的所要的联锁控制。这样，能够容易地与追加和变更控制模块的功能以及追加新的控制模块相对应。

如果根据第三方面所述的联锁控制装置，则判别分离信号是否正常，当分离信号不正常时生成安全地驱动与该分离信号对应的设备的控制信号。因此，能够提高联锁控制装置的安全性。

如果根据第四方面所述的联锁控制装置，则因为从开关装置具有能够显示多路化信号的监视器接口，所以操作者能够容易地观察多路传送的状态检测信号，即联锁要因信号。因此，根据该联锁要因信号能够容易地监视装置的状态，当在装置中发生障碍时能够容易地进行原因分析等。

如果根据第五方面所述的联锁控制装置，则主开关装置连接各从开关装置，主开关装置对从各从开关装置传送的规定的分离信号进行多路化而生成主多路化信号并将其存储起来，读出并分离存储的主多路化信号而生成多个主分离信号，将主分离信号输出到各从开关装置。这样，因为能够将在控制模块之间传送的状态检测信号作为已多路化的信号，所以能够减少在控制模块之间发送接收的信号数量，能够减少用于连接控制模块间的配线。从而，能够使联锁控制装置的构成简单化。此外，即便在各控制模块中追加和变更功能，或者追加新的控制模块，通过变更主开关装置的构成也能够进行控制模块的所要的联锁控制。这样，能够容易地与追加和变更各控制模块的功能，追加新的控制模块相对应。

如果根据第六方面所述记载的联锁控制装置，则在主开关装置中，以预先设定的顺序对从各从开关装置传送的规定的分离信号进行多路化，根据预先设定的条件从存储的主多路化信号读出状态检测信号，以读出的顺序对读出的状态检测信号再次进行多路化而生成主多路化信号。从而，即便在各控制模块中追加和变更功能，或者追加新的控制模块，通过变更上述预先设定顺序和条件也能够进行所要的控制模块的联锁控制。这样，能够容易地与追加和变更各控制模块的功能，追加新的控制模块相对应。

如果根据第七方面所述的联锁控制装置，则因为在各从开关装置中对状态检测信号和主分离信号进行多路化，所以根据与各控制模块对应的设备的多个状态在各控制模块中能够实施联锁控制。

如果根据第八方面所述的联锁控制电路，则在各个从开关装置中，判别主分离信号是否正常，当主分离信号不正常时生成安全地驱动与该主分离信号对应的控制模块对应的设备的控制信号。因此，能够提高联锁控制装置的安全性。

附图说明

图1A是表示与本发明的实施方式有关的联锁控制装置全体的概略构成的方框图。

图1B是表示图1A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图1C是表示图1A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图1D是表示图1A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图1E是表示图1A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图1F是表示图1A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图1G是表示图1A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图1H是表示图1A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图1I是表示图1A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图2A是用于说明图1A的联锁控制装置的基本工作的图，图2A(A)～(E)是例示在图1B、C的A、B、C、D、E点上传送的数据的图。

图2B是用于说明图1A的联锁控制装置的基本工作的图，图2B(F)～(H)是例示在图1B的F1～F3点上传送的数据的图。

图3是例示错误监视数据的图。

图4A是用于说明图1A中的主开关装置的基本工作的图，图4A(A)、(B)是例示在图1I的主开关装置的G、H点上传送的数据的图。

图4B是用于说明图1A中的主开关装置的基本工作的图，图4B(C)～(E)是例示在图1I的主开关装置的I1、I2、I3点上传送的数据的图。

图5是表示作为具有与本实施方式有关的联锁控制装置的基板处理装置的等离子体处理装置的概略构成的剖面图。

图6是表示图5的等离子体处理装置的系统控制器的方框图。

图7A是表示图5的等离子体处理装置具有的联锁控制装置全体的概略构成的方框图。

图7B是表示图7A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图7C是表示图7A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图7D是表示图7A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图7E是表示图7A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图7F是表示图7A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图7G是表示图7A的联锁控制装置的概略构成的部分放大图。

图8A是用于说明图7A中的从开关电路的工作的图，图8A(A)、(B)是表示在图7B、C的从开关电路的A、B点上传送的传送数据的图。

图8B是用于说明图7A中的从开关电路的工作的图，图8B(C)～(E)是表示在图7B的从开关电路的C1、C2、C3点上传送的传送数据的图。

图9A是用于说明图7A中的从开关电路的工作的图，图9A(A)、(B)是表示在图7D、E的从开关电路的A、B点上传送的传送数据的图。

图9B是用于说明图7A中的从开关电路的工作的图，图9B(C)、(D)是表示在图7D的从开关电路的C1、C2点上传送的传送数据的图。

图10是用于说明图7A中的主开关电路的工作的图，图10A(A)～(C)是表示在图7F、G的主开关电路的A、B、C点上传送的传送数据的图。

标号说明

1、66  联锁控制装置

10     等离子体处理装置

11     真空容器

15      自动压力控制阀(APC阀)

17      涡轮分子泵(TMP)

18      干燥泵(DP)

47      气体供给装置

48      气体泄漏传感器

49      腔室开闭检测传感器

50      气体无毒化装置

52      辅助(utility)供给装置

53      空气供给压监视传感器

60      系统控制器

61      处理腔室模块(控制模块)

62      系统模块(控制模块)

100、200、300  从开关装置

101、102、103、201、202、203、301、302、303  信号变换装置

110、210、310、440  多路化装置

120、220、320、450  存储器

121、221、321、451  写入地址控制装置

124、224、324、454  读出地址控制装置

130、230、330、460  分离装置

141、142、241、242、341、342  解码装置

143、243、343、481、482、483  传送装置

151、152、251、252、351、352、410、420、430  安全化装置(分离信号监视装置)

161、162、261、262、361、362  联锁控制部

180、280、380  电缆配线

181、281、381  数据积蓄部

182、282、382  I/F

400  主开关

600、700  从开关电路

601、602、603、701、702  A/D变换电路

610、710、830  多路化装置

613、713、833  多路复用器

620、720、840  双通道存储电路

621、721、841  写入地址电路

624、724、844  读出地址电路

630、730、850  多路分用器

641、642、741  解码电路

643、742、871、872  驱动电路

651、655、670、751、770  安全化电路

661、662  联锁电路

681、781、861  数据积蓄电路

682、782、862  I/F电路

具体实施方式

下面，一面参照附图一面说明本发明的实施方式。

首先，说明与本发明的实施方式有关的联锁(interlock)控制电路的基本构成。

图1A～I是表示与本发明的实施方式有关的联锁控制装置的概略构成的方框图，图1A是表示联锁控制装置全体的概略构成的方框图，图1B～I是表示联锁控制装置的概略构成的部分放大图。在下面的说明中，联锁控制装置，在控制进行多个处理的处理装置中的各个功能中的每一个设备群的控制模块A、B、C之间实施联锁控制。

如图1A所示，联锁控制装置1具有分别与控制模块A、B、C对应的从开关装置100、200、300、和与从开关装置100、200、300连接的主开关装置400。从开关装置100、200、300经过电缆配线180、280、380可通信地分别与主开关装置400连接。

从开关装置100，如图1B、C所示，具有信号变换装置101、102、103、多路化装置110、存储器120、写入地址控制装置121、读出地址控制装置124、分离装置130、解码装置141、142、安全化装置(分离信号监视装置)151、155、和联锁控制部161、162。联锁控制部161、162向作为控制模块A控制的设备的联锁控制实施目标510A、520A发送联锁控制指令，对联锁控制实施目标510A、520A实施联锁控制。

在从开关装置100中，信号变换装置101、102、103分别与状态检测装置501A、502A、503A相连接，其中，所述状态检测装置501A、502A、503A分别检测与对应的控制模块A的功能关联的规定状态。状态检测装置501A、502A、503A是发送表示处理装置中的规定设备的状态或规定参数的状态的状态检测信号的传感器或设备，与检测对象的状态相应地输出High(高)电平信号或者Low(低)电平信号。状态检测信号，因为如后述的那样成为用于在联锁控制装置1中实施联锁控制的要因，所以，也将状态检测装置501A发送的状态检测信号称为联锁要因信号A，将状态检测装置502A发送的状态检测信号称为联锁要因信号B，将状态检测装置503A发送的状态检测信号称为联锁要因信号C。此外，联锁要因信号A、B、C是表示状态检测装置501A、502A、503A检测到的状态的ON/OFF(接通/断开)信号(High电平信号/Low电平信号)。

信号变换装置101对来自状态检测装置501A的联锁要因信号A进行A/D变换，将它变换成数字信号。同样，信号变换装置102、103对来自状态检测装置502A、503A的联锁要因信号B、C进行A/D变换，将它们变换成数字信号。

多路化装置110具有生成预先设定的脉冲宽度的帧脉冲信号的帧脉冲信号生成部111、生成后述的错误监视数据的错误监视数据生成部112、和使信号多路化的多路化部113。帧脉冲信号是如后述的那样用于规定多路化装置110等生成的多路化信号的1个帧长度(时间长度)的信号。多路化装置110与信号变换装置101、102、103连接，并且经过后述的安全化装置170和电缆配线180与主开关装置400连接，如后述的那样以预先设定的顺序对已数字化的联锁要因信号A、B、C和从后述的主开关装置400传送的信号进行多路化而生成多路化信号。帧脉冲信号生成部111具有可以变更生成的帧脉冲信号的脉冲宽度的构成。

存储器120是可以写入和读出数据的存储器，按照写入地址控制装置121的控制存储多路化信号。此外，按照读出地址控制装置124的控制读出多路化信号。写入地址控制装置121具有写入地址控制部122和写入地址设定存储器123，读出地址控制装置124具有读出地址控制装置125和读出地址设定存储器126。

写入地址设定存储器123具有写入地址设定数据。在写入地址设定数据中，设定着构成多路化信号的各数据(以下，称为要素数据)和写入它们的顺序以及写入目标的存储器120内的地址的关系。写入地址设定存储器123的写入地址设定数据是可以变更的，可以设定任意的写入地址。

写入地址控制部122，以将多路化信号的各要素数据写入到根据写入地址设定数据指定的写入目标地址的方式而控制存储器120。这样，将在多路化装置110中生成的多路化信号，按照写入地址设定数据存储在存储器120内的规定地址中。

读出地址设定存储器126具有读出地址设定数据。在读出地址设定数据中，设定着从存储器120读出的数据的顺序。即，在读出地址设定数据中，设定着从存储器120读出的数据和读出这些数据的顺序以及与这些数据对应的存储器120的地址的关系。读出地址设定存储器126的读出地址设定数据是可变更的，可以设定任意的读出顺序。

读出地址控制部125，以按照由读出地址设定数据指定的顺序从存储器120读出要素数据的方式控制存储器120。存储器120，按照读出地址控制部125的控制，以设定在读出地址设定数据中的顺序读出要素数据，以读出的顺序对读出的各要素数据进行多路化。此外，能够根据写入地址设定存储器的设定，来设定读出地址设定存储器的读出地址。

分离装置130，分离由存储器120读出的多路化信号并分配给各输出目标，对分配的信号进行多路化，生成与每个输出目标对应的分离信号。在图1B中，因为作为输出目标的解码装置141、解码装置142和传送装置143分别与分离装置130的第一输出端子131、第二输出端子132和第三输出端子133连接，所以，与解码装置141、解码装置142和传送装置143对应地分离接收的多路化信号分配给3个组，对各组的信号进行多路化，生成分别与3个输出目标对应的3个分离信号。

在解码装置141和分离装置130之间设置安全化装置151，安全化装置151由错误监视单元152、信号生成部153和选择部154构成。在安全化装置151中，错误监视单元152监视从分离装置130输出的分离信号判别在分离信号中是否发生错误，当发生错误时将错误信号发送到信号生成部153并且将切换信号发送到选择部154。信号生成部153，当从错误监视单元152接收错误信号时，生成用于将发送该分离信号的设备(在图1B中联锁实施目标510A)驱动到安全侧的信号(以下，称为安全驱动信号)并发送到选择部154。选择部154选择将从分离装置130接收的分离信号和从信号生成部153接收的安全驱动信号中的哪一个信号发送到解码装置141。具体地说，当从错误监视单元152接收切换信号时，即当在接收的分离信号中存在错误时，将安全驱动信号发送到解码装置141，当没有从错误监视单元152接收切换信号时，即当在接收的分离信号中没有错误时，将分离信号原封不动地发送到解码装置141。

解码装置141对接收的分离信号或者安全驱动信号进行解码，分离成联锁要因信号。

联锁控制部161，解析由解码装置141已解码的各联锁要因信号，将与解析结果相应的联锁指令发送到连接的联锁实施目标510A。接收到联锁指令的联锁实施目标510A与接收的联锁指令相应地进行工作。此外，与联锁要因信号的状态(ON或OFF)对应地预先设定发送的联锁指令，此外，可以变更到任意的指令。从而，联锁实施目标的控制方法可以与接收的联锁要因信号的内容相应地任意设定。

传送装置143经过电缆配线180将从分离装置130接收的分离信号传送到主开关装置400。

在从开关装置100中，解码装置142、安全化装置155和联锁控制部162具有与上述的解码装置141、安全化装置151和联锁控制部161同样的构成。安全化装置170具有与上述的安全化装置151同样的构成。从而，省略对各构成要素的详细说明。

此外，从开关装置100具有积蓄写入到存储器120中的多路化信号和从存储器120读出的多路化信号的数据积蓄部181，在数据积蓄部181上，连接着可以连接个人计算机等的监视器终端的接口(I/F)182。此外，在I/F182上，连接着可以变更写入地址设定存储器123的写入地址设定数据和读出地址设定存储器126的读出地址设定数据的存储器写入控制部183。通过这种构成，用户通过使监视器终端与I/F182连接起来，而能够在监视器终端观察积蓄的多路化信号。即，能够观察积蓄的联锁要因信号，即现在或过去的种种装置状态，当在装置中发生障碍时，能够容易地进行原因分析等。此外，用户通过监视器终端，而能够确认、变更设定的写入地址设定数据和读出地址设定数据。

此外，从开关电路100具有生成规定频率的时钟信号的时钟信号生成装置184。

因为与控制模块B对应的从开关装置200和与控制模块C对应的从开关装置300具有与上述从开关装置100同样的构成，所以省略对它们的说明(参照图1D～G)。

主开关装置400，如图1H、I所示，具有经过电缆配线180、280、380分别与从开关装置100、200、300的传送装置143、243、343连接的安全化装置410、420、430。安全化装置410具有与从开关装置100的安全化装置151同样的构成，在错误监视单元411中判别是否在从传送装置143传送的分离信号中发生错误，当发生错误时，在信号生成部412中生成与分离信号对应的联锁要因信号处在安全侧那样的信号(安全驱动信号)并从选择部413输出，当不发生错误时，从选择部413原封不动地输出分离信号。因为安全化装置420、430也具有与安全化装置410同样的构成，所以省略对它们的说明。

此外，主开关装置400具有与安全化装置410、420、430连接的多路化装置440、存储器450、写入地址控制装置451、读出地址控制装置454、分离装置460、数据积蓄部471、I/F472、存储器写入控制部473和时钟信号发生装置474。分离装置460，经过电缆配线180、280、380和安全化装置170、270、370分别与从开关装置100、200、300的多路化装置110、210、310连接。

因为主开关装置400的多路化装置440、存储器450、写入地址控制装置451、读出地址控制装置454、分离装置460、数据积蓄部471、I/F472、存储器写入控制部473和时钟信号发生装置474具有与上述的从开关装置100的多路化装置110、存储器120、写入地址控制装置121、读出地址控制装置124、分离装置130、数据积蓄部181、I/F182、存储器写入控制部183和时钟信号发生装置184同样的构成，所以省略对它们的详细说明。

下面，说明联锁控制装置1的工作。

图2A、B是用于说明联锁控制装置1的基本工作的图，图2A(A)～(E)和图2B(F)～(H)是例示在图1B、C的A、B、C、D、E、F1～F3点上传送的数据的图。

首先，说明联锁控制装置1的工作的概略。在与控制模块A对应的从开关装置100中，联锁控制部161与状态检测装置501A、502A的检测结果，即联锁要因信号A、B所示的值相应地对联锁实施目标510A进行联锁控制。此外，联锁控制部162与状态检测装置501A、502A、503A和状态检测装置501B、502B的检测结果，即联锁要因信号A、B、C、D、E所示的值相应地对联锁实施目标520A进行联锁控制。

在与控制模块B对应的从开关装置200中，联锁控制部261与状态检测装置503A、501B、503B的检测结果，即联锁要因信号C、D、F所示的值相应地对联锁实施目标510B进行联锁控制。此外，联锁控制部262与状态检测装置503A、501B、502B、503B的检测结果，即联锁要因信号C、D、E、F所示的值相应地对联锁实施目标520B进行联锁控制。

在与控制模块C对应的从开关装置300中，联锁控制部361与状态检测装置503A、501C、502C的检测结果，即联锁要因信号C、G、H所示的值相应地对联锁实施目标510C进行联锁控制。此外，联锁控制部362与状态检测装置503A、501C、502C、503C的检测结果，即联锁要因信号C、G、H、J所示的值相应地对联锁实施目标520C进行联锁控制。

从上述关系，主开关装置400，经过电缆配线180将包含联锁要因信号D、E的多路化信号发送到从开关装置100，经过电缆配线280将包含联锁要因信号C的多路化信号发送到从开关装置200，经过电缆配线380将包含联锁要因信号C的多路化信号发送到从开关装置300。此外，从各从开关装置100、200、300，将与它们对应的控制模块A、B、C的功能有关的状态检测信号传送到主开关装置400。即，从从开关装置100的传送装置143传送联锁要因信号A、B、C，从从开关装置200的传送装置243传送联锁要因信号D、E、F，从从开关装置300的传送装置343传送联锁要因信号G、H、J。

下面，详细说明联锁控制装置1的工作。

首先，说明从开关装置100的工作。

信号变换装置101、102、103分别从状态检测装置501A、502A、503A接收联锁要因信号A、B、C。联锁要因信号A、B、C，如图2A(A)所示，是用High(高)电平信号(例如+24V)或Low(低)电平信号(例如，0V)的ON/OFF信号表示联锁要因信号A、B、C的内容的信号，以与状态检测装置501A、502A、503A检测到的状态相应地输出ON信号或OFF信号的方式进行构成。信号变换装置101、102、103通过A/D变换对联锁要因信号A、B、C进行数字变换，如图2A(B)所示生成ON/OFF的数字信号。

安全化装置170，如后述的那样，接收包含来自主开关装置400的联锁要因信号D、E的多路化信号，进行错误监视等将多路化信号输出到多路化装置110。在安全化装置170中的工作的详细说明将在后面述说。在安全化装置170从主开关装置400接收的传送数据中，包含着多路化信号、规定周期的时钟信号和用于规定多路化信号的1个帧长度的帧脉冲信号(参照图2A(C))。在多路化信号中包含着后述的错误监视数据和规定的联锁要因信号(D，E)。

下面，多路化装置110，在帧脉冲信号生成部111中根据来自时钟信号生成部184的时钟信号，生成预先设定的脉冲宽度的帧脉冲信号，在错误监视数据生成部112中生成错误监视数据，在多路化部112中以预先设定的顺序对错误监视数据、来自信号变换装置101、102、103的联锁要因信号A、B、C、和来自主开关装置400的联锁要因信号D、E进行多路化。

在错误监视数据生成部111中生成的错误监视数据是预先设定的数据，具体地说，如图3所示，由1，0，1，0、1，0，1，0的55的数字数据和0，1，0，1、0，1，0，1的AA的数字数据构成。错误监视数据生成部112，作为错误监视数据交互地生成55的数字数据和AA的数字数据。根据该错误监视数据，如后述的那样，在错误监视单元152等中能够对多路化信号的错误进行监视。此外，错误监视数据不限于上述那些数据。

多路化部113以字母顺序对在错误监视数据中下一个接收的联锁要因信号进行多路化而生成多路化信号。多路化部113，以生成的1个帧的多路化信号的长度成为与来自帧脉冲信号生成部111的帧脉冲信号的1个脉冲周期对应的长度的方式生成多路化信号(参照图2A(D))。当对错误监视数据和接收的联锁要因信号进行多路化得到的多路化信号比根据该帧脉冲信号规定的帧长度短时，多路化部113对规定数的空白信号X进行多路化，使生成的多路化信号的长度等于该帧长度。此外，空白信号X是在联锁控制中没有意义的规定信号，例如，是0或1的1位信号。此外，在赋予1帧的多路化信号的错误监视数据中，如上述那样交互地使用55的数字数据和AA的数字数据。

如上述那样，在多路化部113中生成的多路化信号，如图2A(D)所示，成为以错误监视数据、联锁要因信号A、B、C、D、E和规定数的空白信号的顺序对它们进行多路化而得到的信号。

在帧脉冲信号生成部111中，生成的帧脉冲信号的脉冲宽度成为可以变更的。这样，与发送到多路化装置110的联锁要因信号的种类相应地输出的多路化信号的1个帧的长度成为可以变更的。

下面，多路化装置110，将时钟信号、在帧脉冲信号生成部111中生成的帧脉冲信号和在多路化部113中生成的多路化信号作为1个传送数据进行输出(参照图2A(D))。

按照写入地址控制装置121的控制将在多路化装置110中经过多路化所得到的多路化信号存储在存储器120中。在写入地址设定存储器123的写入地址设定数据中，以将多路化信号的要素数据从前头顺序地写入到存储器120的规定地址上的方式设定着多路化信号的要素数据的顺序和写入目标地址的关系，存储器120，由写入地址控制部122控制，按照写入地址设定数据将多路化信号的各要素数据从前头写入到规定地址上。具体地说，存储器120，以将作为多路化信号的前头的要素数据的错误监视数据写入到存储器120的规定地址，例如，号码最新的地址上，将作为第二要素数据的联锁要因信号A写入到它的下一个地址，将作为第三要素数据的联锁要因信号B写入到它的下一个地址，将作为第四要素数据的联锁要因信号C写入到它的下一个地址的顺序，一直写入到1个帧的多路化信号的最后的要素数据为止。

下面，按照读出地址控制装置124的控制从存储器120读出写入到存储器120中的多路化信号。在读出地址设定存储器126的读出地址设定数据中，首先读出应该从分离装置130输出的分离信号(多路化信号)的数目只为m(在从开关装置100中m＝3)的错误监视信号，其次，以每次1个顺序地读出作为应该从分离装置130输出的分离信号的各个要素数据的联锁要因信号的方式，设定读出要素数据、读出这些要素数据的顺序和要素数据的读出地址的关系。即，首先，3次读出错误监视数据，其次读出作为发送到联锁控制部161的分离信号(以下，也称为第一分离信号)(参照图2B(F))的1个联锁要因信号的联锁要因信号A，读出作为发送到联锁控制部162的分离信号(以下，也称为第二分离信号)(参照图2B(G))的1个联锁要因信号的联锁要因信号A，读出作为应该发送到传送装置143的分离信号(以下，也称为第三分离信号)(参照图2B(H))的1个联锁要因信号的联锁要因信号A，读出作为第一分离信号的1个联锁要因信号的联锁要因信号B、作为第二分离信号的1个联锁要因信号的联锁要因信号B、作为第三分离信号的1个联锁要因信号的联锁要因信号B，而且，因为已经全部读出第一分离信号的联锁要因信号，所以读出空白信号X，读出作为第二分离信号的1个联锁要因信号的联锁要因信号C、作为第三分离信号的1个联锁要因信号的联锁要因信号C，进行顺序地交互读出直到全部读出各分离信号的联锁要因信号为止。

在上述读出中，当与各分离信号对应的要素数据的读出次数相同，全部读出分离信号的联锁要因信号时，读出空白信号。即，以各分离信号的长度相同的方式进行读出。而且，存储器120以读出的顺序使各要素数据聚合(参照图2A(E))。此外，生成的聚合化信号的1个帧长度成为从聚合化装置110输出的帧脉冲信号的1个脉冲周期。此外，这时的聚合化速度是聚合化装置110中的聚合化速度的m倍(分离装置130的输出数量)。即，在本实施方式中，为聚合化装置110中的聚合化速度的3倍速度。接着，存储器120输出包含时钟信号、帧脉冲信号和读出的聚合化信号的传送数据(参照图2A(E))。

下面，在分离装置130中，从前头开始每次1个顺序地将在存储器120中读出的聚合化信号的要素数据分配给各输出端子。具体地说，将作为聚合化信号的前头的要素数据的错误监视数据分配给第一输出端子131，将作为聚合化信号内的第二要素数据的错误监视数据分配给第二输出端子132，将作为聚合化信号内的第三要素数据的错误监视数据分配给第三输出端子133，将作为聚合化信号内的第四要素数据的联锁要因信号A分配给第一输出端子131，将作为聚合化信号内的第五要素数据的联锁要因信号A分配给第二输出端子132，将作为聚合化信号内的第六要素数据的联锁要因信号A分配给第三输出端子133，并每次1个顺序地将要素数据分配给每个端子直到没有聚合化信号的要素数据为止。(参照图2B(F)～(H))。

下面，通过使已分配的信号聚合化生成分离信号。这时，生成与第一输出端子131对应地应该发送到联锁控制部161的第一分离信号(参照图2B(F))，生成与第二输出端子132对应地应该发送到联锁控制部162的第二分离信号(参照图2B(G))，生成与第三输出端子133对应地应该发送到传送装置143的第三分离信号(参照图2B(H))。此外，分离装置130，以各分离信号的长度成为接收的帧脉冲信号的1个脉冲周期的方式进行分离和聚合化。

此外，连续地进行上述工作。即，如图2A、B(C)～(H)所示，连续地生成各聚合化信号(1个帧长度)。

下面，分离装置130，分别从第一输出端子131将包含时钟信号、帧脉冲信号和第一分离信号的传送数据输出到安全化装置151，从第二输出端子132将包含时钟信号、帧脉冲信号和第二分离信号的传送数据输出到安全化装置152，从第三输出端子133将包含时钟信号、帧脉冲信号和第三分离信号的传送数据输出到传送装置143。

安全化装置151，在错误监视单元152中，监视是否在接收的传送数据中遗漏时钟信号，通过观察接收的帧脉冲信号和第一分离信号监视在每个脉冲信号中是否交互地赋予在多路化装置110中赋予的2类(55/AA)的错误监视数据(参照图3)，监视分离信号的数据失落和数据的Bit(位)偏离等。当时钟信号没有遗漏时和在每个帧脉冲信号中交互地赋予在多路化装置110中赋予的2类错误监视数据时，判别在分离信号中没有数据的失落和数据的Bit偏离，在分离信号中没有错误。另一方面，当时钟信号遗漏时和在每个帧脉冲信号中不交互地赋予在多路化装置110中赋予的2类错误监视数据时，判别在分离信号中发生数据的失落和数据的Bit偏离等，和在分离信号中具有错误，将错误信号发送到信号生成部153并将切换信号发送到选择部154。

下面，信号生成部153，当从错误监视单元152接收错误信号时，以发送该第一分离信号的联锁控制部161将联锁实施目标510A驱动到安全侧的方式，将第一分离信号的联锁要因信号(联锁要因信号A、B)的值变更到ON或OFF的预先设定的值，生成规定的安全驱动信号发送到选择部154。

下面，选择部154，当从错误监视单元152接收切换信号时，即当在第一分离信号中存在错误时将安全驱动信号发送到解码装置141，当没有从错误监视单元152接收切换信号时，即，当在第一分离信号中没有错误时，将第一分离信号原封不动地发送到解码装置141。

安全化装置156也与上述安全化装置151同样地进行工作。

从安全化装置151接收分离信号或安全驱动信号的解码装置141，对接收的分离信号或者安全驱动信号进行解码，分离成各要素信号，只提取联锁要因信号(联锁要因信号A、B)输出到联锁控制部161。解码装置142也同样，对接收的分离信号或者安全驱动信号进行解码，分离成各要素信号，只提取联锁要因信号(联锁要因信号A、B、C、D、E)输出到联锁控制部162。

另一方面，传送装置143，经过电缆配线180将从分离装置130接收的第三分离信号传送到主开关装置400。

而且，从解码装置141接收联锁要因信号A、B的联锁控制部161，解析接收的联锁要因信号A、B的内容，即，通过判别是ON信号还是OFF信号，将与联锁要因信号A、B的内容的组合相应地预先设定的联锁指令(联锁指令A)发送到联锁实施目标510A。因此联锁实施目标510A进行规定的联锁工作。同样，联锁控制部162，解析接收的联锁要因信号A、B、C、D、E的内容，将与联锁要因信号A、B、C、D、E的内容的组合相应地预先设定的联锁指令(联锁指令B)发送到联锁实施目标520A。因此联锁实施目标520A进行规定的工作。

因为从开关装置200、300也与从开关装置100同样地进行工作，所以省略对它们的说明。

此外，写入地址设定数据和读出地址设定数据的内容不限于上述的内容，也可以是其它的内容。这时，只要使分离装置130的分离方法与读出地址设定数据对应即可。

下面，参照图4A、B说明主开关装置400的工作。图4A、B是用于说明主开关装置的基本工作的图，图4A、B(A)～(E)是例示在图1H、I的主开关装置400的G、H、I1、I2、I3点上传送的数据的图。

安全化装置410、420、430，经过电缆配线180、280、380分别从从开关装置100、200、300的传送装置143、243、343接收第一、二、三传送数据(参照图2B(H))。第一传送数据，如上所述，是包含在分离装置130中生成的第三分离信号，包含时钟信号、帧脉冲信号、错误监视数据和包含在与从开关装置100对应的控制模块A中检测到的全部联锁要因信号(联锁要因信号A、B、C)的多路化信号的数据，同样，第二传送数据包含时钟信号、帧脉冲信号、错误监视数据和包含在与从开关装置200对应的控制模块B中检测到的全部联锁要因信号(联锁要因信号D、E、F)的多路化信号，第三传送数据包含时钟信号、帧脉冲信号、错误监视数据和包含在与从开关装置300对应的控制模块C中检测到的全部联锁要因信号(联锁要因信号G、H、J)的多路化信号。

安全化装置410、420、430，与安全化装置151同样，在错误监视单元411、421、431中观察时钟信号的遗漏和错误监视数据，判别有无错误。当没有错误时，原封不动地输出从选择部413、423、433接收的传送数据。另一方面，当具有错误时，在信号生成部412、422、432中将各个多路化信号的联锁要因信号的内容变更到以将各设备(联锁实施目标)驱动到安全侧的方式预先设定的值(ON或OFF)，将安全驱动信号作为聚合化信号，从选择部413、423、433一起输出时钟信号和帧脉冲信号。此外，在从安全化装置410、420、430发送的传送数据中的时钟信号和帧脉冲信号分别是相互相同的信号。此外，在从各安全化装置410、420、430发送的多路化信号中的错误监视数据也是相互相同的。

下面，多路化装置440，与多路化装置110同样，以预先设定的顺序对接收的多路化信号进行多路化。具体地说，多路化装置440以字母顺序对在错误监视数据中下一个接收的联锁要因信号进行多路化而生成多路化信号。多路化装置440，以生成的1个帧的多路化信号的长度成为与接收的帧脉冲信号的1个脉冲周期对应的长度的方式生成多路化信号。当对错误监视数据和接收的联锁要因信号进行多路化得到的多路化信号比根据该帧脉冲信号规定的帧长度短时，多路化装置440对规定数的空白信号X进行多路化，使生成的多路化信号的长度为该帧长度。

下面，多路化装置440将时钟信号、帧脉冲信号和生成的多路化信号作为1个传送数据进行输出(参照图4A(A))。

按照写入地址控制装置451的控制，将已由多路化装置440进行多路化的多路化信号存储在存储器450中。在写入地址设定存储器453的写入地址设定数据中，以从前头开始顺序地将多路化信号的要素数据写入到存储器450的规定地址上的方式，设定着多路化信号的要素数据、这些要素数据的顺序和写入目标地址的关系，对于存储器450，由写入地址控制装置452控制，按照写入地址设定数据将多路化信号的各要素数据从前头写入到规定地址上。具体地说，存储器450，以将作为多路化信号的前头的要素数据的错误监视数据写入到存储器450的规定地址，例如号码最新的地址上，将作为第二要素数据的联锁要因信号A写入到下一个地址，将作为第三要素数据的联锁要因信号B写入到其下一个地址，将作为第四要素数据的联锁要因信号C写入到其下一个地址的顺序，顺序地写入到连续的地址上直到1个帧的多路化信号的最后的要素数据为止。

下面，按照读出地址控制装置454的控制从存储器450读出写入到存储器450中的多路化信号。在读出地址设定存储器456的读出地址设定数据中，首先读出应该从分离装置460输出的分离信号(多路化信号)的数目只为n(在主开关装置400中n＝3)的错误监视信号，其次，以每次1个顺序地读出作为应该从分离装置460输出的分离信号的各个要素数据的联锁要因信号的方式，设定读出要素数据、读出这些要素数据的顺序和要素数据的读出地址的关系。即，首先，3次读出错误监视数据，其次读出作为发送到从开关装置100的分离信号(以下，也称为第十分离信号)(参照图4B(C))的1个联锁要因信号的联锁要因信号D，读出作为发送到从开关装置200的分离信号(以下，也称为第十一分离信号)(参照图4B(D))的1个联锁要因信号的联锁要因信号C，读出作为应该发送到从开关装置300的分离信号(以下，也称为第十二分离信号)(参照图4B(E))的1个联锁要因信号的联锁要因信号C，读出作为第十分离信号的1个联锁要因信号的联锁要因信号E，而且，已经全部读出第十一分离信号的联锁要因信号，因此，读出空白信号，因为也已经全部读出第十二分离信号的联锁要因信号，所以读出空白信号，进行读出直到全部读出各分离信号的联锁要因信号为止。

在上述读出中，与各分离信号对应的要素数据的读出次数相同，当全部读出分离信号的联锁要因信号时，读出空白信号。即，以各分离信号的长度相同的方式进行读出。而且，存储器450以读出的顺序使各要素数据聚合生成聚合化信号，与时钟信号和帧脉冲信号一起输出该聚合化信号(参照图4A(B))。此外，生成的聚合化信号的1个帧长度成为接收的帧脉冲信号的脉冲周期。

下面，在分离装置460中，从前头开始每次1个顺序地将在存储器120中读出的聚合化信号的要素数据分配给各输出端子。具体地说，将作为聚合化信号的前头的要素数据的错误监视数据分配给第一输出端子461，将作为聚合化信号内的第二要素数据的错误监视数据分配给第二输出端子462，将作为聚合化信号内的第三要素数据的错误监视数据分配给第三输出端子463，将作为聚合化信号内的第四要素数据的联锁要因信号D分配给第一输出端子461，将作为聚合化信号内的第五要素数据的联锁要因信号C分配给第二输出端子462，将作为聚合化信号内的第六要素数据的联锁要因信号C分配给第三输出端子463，并每次1个顺序地交互将要素数据分配给每个端子直到没有聚合化信号的要素数据为止。下面，通过使已分配的信号聚合化生成分离信号。这时，生成与第一输出端子461对应地应该发送到从开关装置100的第十分离信号(参照图4B(C))，生成与第二输出端子462对应地应该发送到从开关装置200的第十一分离信号(参照图4B(D))，生成与第三输出端子463对应地应该发送到从开关装置300的第十二分离信号(参照图4B(E))。此外，分离装置460，以各分离信号的长度成为接收的帧脉冲信号的脉冲周期的方式进行分离和聚合化。

此外，连续地进行上述工作。即连续地生成各聚合化信号(1个帧长度)。

下面，分离装置460分别从输出端子461将包含时钟信号、帧脉冲信号和第十分离信号的传送数据(参照图4B(C))输出到传送装置481，从输出端子462将包含时钟信号、帧脉冲信号和第十一分离信号的传送数据(参照图4B(D))输出到传送装置482，从输出端子463将包含时钟信号、帧脉冲信号和第十二分离信号的传送数据(参照图4B(E))输出到传送装置483。

传送装置481、482、483，分别经过电缆配线180、280、380将传送数据发送到从开关装置100的安全化装置170、从开关装置200的安全化装置270、和从开关装置300的安全化装置370。

在从开关装置100中，安全化装置170，与安全化装置151同样，处理从主开关装置400接收的传送数据。即，安全化装置170，在错误监视单元171中，监视是否在接收的传送数据中遗漏时钟信号，通过观察接收的帧脉冲信号和第十分离信号监视是否对每个脉冲信号交互地赋予2类(55/AA)的错误监视数据(参照图3)，监视分离信号的数据失落和数据的Bit偏离等。当时钟信号没有遗漏时和对每个帧脉冲信号交互地赋予2类错误监视数据时，判别分离信号中没有数据的失落和数据的Bit偏离等，在分离信号中没有错误。另一方面，当遗漏时钟信号时和对每个帧脉冲信号不交互地赋予2类错误监视数据时，判别在分离信号中发生数据的失落和数据的Bit偏离等，当判别在分离信号中具有错误时，将错误信号发送到信号生成部172并将切换信号发送到选择部173。

下面，信号生成部172，当从错误监视单元171接收错误信号时，以将发送该第十分离信号的联锁实施目标驱动到安全侧的方式，将第十分离信号的联锁要因信号(联锁要因信号C、D)的值变更到ON或OFF，生成规定的安全驱动信号发送到选择部173。

下面，选择部173，当从错误监视单元171接收切换信号时，即当在第十分离信号中存在错误时将安全驱动信号发送到多路化装置110，当没有从错误监视单元171接收切换信号时，即当在第十分离信号中没有错误时，将第十分离信号原封不动地发送到多路化装置110。

从开关装置200的安全化装置270和从开关装置300的安全化装置370也与上述安全化装置170同样地进行工作。

此外，在主开关装置400中，写入地址设定数据和读出地址设定数据的内容不限于上述的内容，也可以是其它的内容。这时，可以使分离装置460的分离方法与读出地址设定数据对应。

如上所述，如果根据与本发明的实施方式有关的联锁控制装置，则当实施多个控制模块间的联锁控制时，因为对在各控制模块间(各从开关装置间)发送接收的联锁要因信号进行多路化，进行发送接收，所以能够减少在控制模块之间发送接收的信号，能够减少用于连接控制模块之间的配线。从而，能够使联锁控制装置的构成简单化。

此外，如果根据与本实施方式有关的联锁控制装置，则因为通过主开关装置连接各控制模块间(各从开关装置间)，在主开关装置中分别对在各控制模块的联锁控制中需要的联锁要因信号进行多路化，发送到各个控制模块，所以能够更加减少在控制模块之间发送接收的信号，能够更加减少用于连接控制模块之间的配线。从而，能够使联锁控制装置的构成更加简单化。

如果根据与本实施方式有关的联锁控制装置，则根据在各从开关装置和主开关装置中的多路化条件、写入地址设定数据、读出地址设定数据、分离条件和帧脉冲信号的脉冲周期等的预先设定的可以变更的条件来设定发送接收的联锁要因信号的多路化和分离条件。因此，即便在各控制模块中追加和变更功能，或者追加新的控制模块，通过变更上述预先设定的条件也能够进行控制模块之间的所要的联锁控制。这样，与本实施方式有关的联锁控制装置能够容易地与追加和变更各控制模块的功能，追加新的控制模块对应。

与本实施方式有关的联锁控制装置具有安全化装置，对于安全化装置，当在控制模块之间传送的传送数据中存在错误时，生成将各设备驱动到安全侧的信号。从而，当在控制模块之间传送的传送数据中发生错误时，因为以将各设备驱动到安全侧的方式进行控制，所以能够提高联锁控制装置的安全性，能够提高装置的安全性。

与本实施方式有关的联锁控制装置，因为各从开关装置和主开关装置具有数据积蓄部，数据积蓄部可以经过I/F与监视器终端连接，所以操作者能够容易地观察多路传送的状态检测信号，即联锁要因信号。从而，从该联锁要因信号能够容易地监察装置的状态，当发生障碍时能够容易地进行原因解析等。

与本发明的实施方式有关的联锁控制装置，处理装置具有3个控制模块，对应地具有3个从开关装置，但是，从开关装置的数量不限于此。例如，既可以与装置的控制模块的数量对应地增加从开关装置的数量，也可以进一步细分各功能，与已细分的功能对应地增加从开关装置。

下面，作为本发明的实施例，说明具有与本发明的实施方式有关的联锁控制装置的基板处理装置。该基板处理装置以使用反应性活性气体对基板施加规定处理的方式进行构成。

图5是表示作为具有与本实施方式有关的联锁控制装置的基板处理装置的等离子体处理装置的概略构成的剖面图。该等离子体处理装置，以对作为基板的半导体晶片W施加RIE(Reactive Ion Etching(活性离子蚀刻)处理，此外，可以实施WLDC处理的方式进行构成。

在图5中，等离子体处理装置10具有圆筒形状的真空容器11(减压容器)，该真空容器11在内部具有处理空间S。此外，在真空容器11内，例如，配置有作为载置直径为300mm的半导体晶片W(以下，称为“晶片W”)的载置台的圆柱状的支持器12。真空容器11的内壁面由侧壁部件45所覆盖。该侧壁部件45由铝构成，与该处理空间S对置的面涂敷有氧化钇(Y₂O₃)等的陶瓷。此外，真空容器11电接地，经过绝缘性部件29将支持器12设置在真空容器11的底部。

在等离子体出来装置10中，通过真空容器11的内侧壁和支持器12的侧面，形成作为将支持器12上方的气体分子排出到真空容器11外的流路起作用的排气路径13。在该排气路径13的中途配置有防止等离子体泄漏的环状隔板14。此外，下游空间从排气路径13中的隔板14回到支持器12下方，与作为可变式阀的自动压力控制阀(AdaptivePressure Control Valve)(以下，称为“APC阀”)15连通。APC阀15经过隔离器(Isolator)16与作为抽真空用的排气泵的涡轮分子泵(TurboMolecular Pump)(以下，称为“TMP”)17连接，TMP17经过阀V1与作为排气泵的干燥泵(以下，称为“DP”)18连接。由APC阀15、隔离器16、TMP17、阀V1和DP18构成的排气流路(以下，称为“主排气管线”)通过APC阀15控制真空容器11内的压力，进一步通过TMP17和DP18使真空容器11内减压到大致成为真空状态为止。

此外，配管19从隔离器16和APC泵15之间经过阀V2与DP18连接。配管19和阀V2(以下，称为“旁通管线”)形成隔离器16和TMP17的旁通管线，由DP18对真空容器11内进行粗排气。

如图5所示，在DP18上连接着气体无毒化装置50，气体无毒化装置50使从真空容器11排出的气体无毒化。

在支持器12上经过馈电棒21和匹配器(Matcher)22连接着下部电极用的高频电源20，该下部电极用的高频电源20将规定的高频功率供给支持器12。因此，支持器12作为下部电极起作用。此外，匹配器22减少来自支持器12的高频功率的反射，使高频功率到支持器12的供给效率最大。

在支持器12的内部上方，配置着由导电膜构成的圆板状的ESC电极板23。使直流电源24与ESC电极板23电连接。利用由从直流电源24施加在ESC电极板23上的直流电压产生的库伦力或约翰逊-拉别克(Johnson-Rahbek)力将晶片W吸附保持在支持器12的上面。此外，在支持器12的上方，以包围吸附保持在支持器12上面的晶片W四周的方式配设着圆环状的聚焦环25。该聚焦环25，露出在处理空间S中，在该处理空间S中使等离子体向晶片W的表面会聚，提高了RIE处理的效率。

此外，在支持器12的内部，例如，设置着沿圆周方向延伸的环状制冷剂室26。从冷却装置(图中未画出)经过制冷剂用配管27将规定温度的制冷剂，例如，冷却水和Galden(注册商标)液循环供给该制冷剂室26，由该制冷剂的温度控制吸附保持在支持器12上面的晶片W的处理温度。

而且，支持器12上面的吸附保持晶片W的部分(以下，称为“吸附面”)中，开通有多个传热气体供给孔28。这些多个周边传热气体供给孔28，经过配置在支持器12内部的传热气体供给管线30而与传热气体供给孔单元32连接，该传热气体供给单元32，经过传热气体供给孔28将作为传热气体的氦气供给吸附面与晶片W背面的间隙。

此外，在支持器12的吸附面上，配置有作为从支持器12的上面自由突出的升降支杆的多个推进支杆33。这些推进支杆33经过滚珠丝杠(图中未画出)而与马达(图中未画出)连接，通过滚珠丝杠将马达的旋转运动变换成直线运动，使这些推进支杆33自由地从吸附面突出。当为了对晶片W实施RIE处理而将晶片W吸附保持在吸附面上时，将推进支杆33收容在支持器12中，当从真空容器11搬出已施加RIE处理的晶片W时，推进支杆33从支持器12的上面突出，使晶片W离开支持器12而提升到上方。

在真空容器11的顶部，以与支持器12对置的方式配置有气体导入喷头34。在气体导入喷头34上经过匹配器35连接着上部电极用的高频电源36，因为上部电极用的高频电源36将规定的高频功率供给气体导入喷头34，所以气体导入喷头34作为上部电极起作用。此外，匹配器35的功能与上述匹配器22的功能相同。

气体导入喷头34包括具有多个气体孔37的顶部电极板38和可以装上卸下地支持该顶部电极板38的电极支持体39。此外，在该电极支持体39的内部设置有缓冲室40，从处理气体供给装置47延伸的处理气体导入管41与该缓冲室40连接。在该处理气体导入管41的中途配置着配管隔离器42。该配管隔离器42由绝缘体构成，防止供给气体导入喷头34的高频功率通过处理气体导入管41而泄漏到处理气体供给装置47。气体导入喷头34将经过处理气体导入管41从气体供给装置47供给缓冲室40的处理气体，例如，作为反应性活性气体的CxFy气和氩(Ar)气体的混合气体，经过气体孔37而供给真空容器11内部(处理空间S)。用容器盖31盖住气体导入喷头34。此外，在气体供给装置47上安装着检测供给的处理气体泄漏的气体泄漏传感器48。

此外，在真空容器11的侧壁中，在与由推进支杆33从支持器12提升到上方的晶片W的高度对应的位置上设置有晶片W的搬出搬入口43，在搬出搬入口43中安装有开闭该搬出搬入口43的门阀44。真空容器11，经过门阀44与图中未画出的负载锁定单元连接。负载锁定单元作为可以调整其内部压力的真空预备搬运室起作用。在门阀44中安装有用于检测门阀44的开闭的腔室开闭检测传感器49。此外，在真空容器11中，安装有用于检测处理空间S内的压力的腔室内压力监视传感器51。

此外，等离子体处理装置10具有将空气、冷却水和N₂气体供给等离子体处理装置10内的utility供给装置(辅助供给装置)52。utility供给装置(辅助供给装置)52供给用于驱动门阀44等的空气，此外，从冷却装置供给冷却水，而且，从N₂气瓶将N₂气体供给上述图中未画出的负载锁定单元，控制等离子体处理装置10内的种种状态。utility供给装置(辅助供给装置)52具有检测供给的空气压力的空气供给压监视传感器53。

在该等离子体处理装置10的真空容器11内，如上所述，通过将高频功率供给支持器12和气体导入喷头34，在支持器12和气体导入喷头34之间的处理空间S中加上高频功率，在该处理空间S中使从气体导入喷头34供给的混合气体等离子体化，产生离子，由离子等对晶片W施加RIE处理。

具有上述构成的等离子体处理装置10，由后述的图6中的系统控制器60控制它的各构成要素实施各种处理。

图6是模式地表示系统控制器60的概略构成的方框图。

系统控制器60对每个功能具有控制用于实现等离子体处理装置10的各功能的设备组的多个控制模块。在等离子体处理装置10具有的功能中，例如，具有晶片搬运功能和处理气体流量控制功能、功率控制功能等。如图6所示，系统控制器60具有控制用于实现等离子体处理装置10的各功能的设备组的控制模块61、62、和表示等离子体处理装置10的工作状态，并且接受用户对等离子体处理装置10的操作的操作控制器63。在系统控制器60中各控制模块，经过开关盘64与EC(Equipment Controller(设备控制器))65连接。系统控制器60从EC65经过LAN(Local Area Network(局域网))71，与作为管理设置着等离子体处理装置10的整个工厂的制造步骤的MES(ManufacturingExecution System(制造执行系统))的PC70连接。MES与系统控制器联合将关于工厂中的制造步骤的实时信息反馈到基干业务系统(图中未画出)，并且考虑到整个工厂的负荷等进行关于制造步骤的判断。

EC65是统括各控制模块而控制整个等离子体处理装置10的工作的主控制部。此外，EC65具有CPU、RAM、HDD等，在操作控制器63中由用户等指定的晶片W的处理方法，即，与方案对应的程序相应地CPU通过将控制信号发送到各控制模块，控制等离子体处理装置10的各设备的工作。

开关盘64，与来自EC65的控制信号相应地切换作为EC65的连接目标的控制模块。

控制模块61、62是控制等离子体处理装置10的各设备的工作的副控制部(从控制部)，经过图中未画出的网络分别与每个功能的设备组连接。控制模块61是处理腔室模块，在等离子体处理装置10的真空容器11中，控制实施RIE处理的设备组。此外，控制模块62是系统模块，控制用于实施为了系统地连续实施上述RIE所需的晶片搬运等的设备组。

在等离子体处理装置10中，当对晶片W施加各种处理时，与各处理的方案对应的程序相应地、EC65的CPU切换开关盘64而将控制信号发送到控制模块，控制模块根据接收的控制信号控制各设备。

此外，系统控制器60，如图6所示，具有在控制模块之间实施联锁控制的联锁控制装置66。

在图6中，为了使说明容易理解起见，系统控制器60只具有两个控制模块，但是系统控制器60具有的控制模块不限于上述控制模块。例如，系统控制器60也可以通过更细分等离子体处理装置10的功能，具有与这些功能对应的更多的控制模块。

下面，说明等离子体处理装置10具有的联锁控制装置66。

图7A～G是表示等离子体处理装置10具有的联锁控制装置66的概略构成的方框图，图7A是表示联锁控制装置66全体的概略构成的方框图。图7B～G是表示联锁控制装置66的概略构成的部分放大图。在下面的说明中，为了使说明容易理解起见，联锁控制装置66进行的在处理腔室模块61和系统模块62之间的联锁控制是对处理腔室模块61控制的真空设备和气体供给装置47，以及系统模块62控制的utility装置(辅助供给装置)52进行的。

联锁控制装置66，如图7A所示，具有作为设置在处理腔室模块61中的从开关装置的从开关电路600、作为设置在系统模块62中的从开关装置的从开关电路700、和作为连接从开关电路600和从开关电路700的主开关装置的主开关电路800。

从开关电路600，如图7B、C所示，具有作为信号变换装置的A/D变换电路601、602、603、多路化装置610、作为存储器的双通道存储电路620、作为控制双通道存储电路620的写入地址控制装置的写入地址电路621、作为控制双通道存储电路620的读出地址控制装置的读出地址电路624、作为分离装置的多路分用器630、作为解码装置的解码电路641、642、作为传送装置的驱动电路643、作为安全化装置的安全化电路651、655、670、和作为联锁控制部的联锁电路661、662。

多路化装置610具有帧脉冲信号生成电路611、错误监视数据生成电路612、和作为多路化部的多路复用器613。

写入地址电路621具有写入地址控制电路622和写入地址设定存储器623，读出地址电路624具有读出地址控制电路625和读出地址设定存储器626。

安全化电路651、655、670分别具有错误监视电路652、656、671、信号生成电路653、657、672和选择电路654、658、673。

此外，从开关电路600具有作为数据积蓄部的数据积蓄电路681、I/F电路682、作为存储器写入控制部的存储器写入控制电路683、和作为时钟信号生成装置的时钟信号生成电路684。而且，从开关电路600具有接收电路691。

在从开关电路600中，A/D变换电路601、602、603分别与腔室开闭检测传感器49、气体泄漏传感器48、腔室内压力监视传感器51连接。

腔室开闭检测传感器49输出表示等离子体处理装置10的门阀44的开闭状态的联锁要因信号A。腔室开闭检测传感器49，当门阀44处于开状态时作为联锁要因信号A输出ON信号，当门阀44处于闭状态时作为联锁要因信号A输出OFF信号。

气体泄漏传感器48输出表示在气体供给装置47中是否发生处理气体泄漏的联锁要因信号B。气体泄漏传感器48，当在气体供给装置47中发生处理气体泄漏时作为联锁要因信号B输出ON信号，当在气体供给装置47中不发生处理气体泄漏时作为联锁要因信号B输出OFF信号。

腔室内压力监视传感器51输出表示真空容器11的处理空间S是否处于大气压状态的联锁要因信号C。腔室内压力监视传感器51，当真空容器11的处理空间S处于大气压状态时作为联锁要因信号C输出ON信号，当真空容器11的处理空间S不处于大气压状态时作为联锁要因信号C输出OFF信号。

联锁电路661，与等离子体处理装置10的气体供给装置47连接，与联锁要因信号A、B、C的值相应地对气体供给装置47进行联锁控制。具体地说，对于联锁控制电路661，当与在联锁要因信号A的值为ON，门阀44处于开状态时，联锁要因信号B的值为ON，在气体供给装置47中发生气体泄漏时，或者当联锁要因信号C处于ON状态，真空容器11的处理空间S处于大气压状态时的任一个条件相当时，发出指示停止并中止对气体供给装置47供给处理气体的联锁指令A。当接收该联锁指令A时气体供给装置47停止并中止供给处理气体。另一方面，联锁要因信号A的值、联锁要因信号B的值、和联锁要因信号C的值中的任一个都不处于ON时，联锁电路661不发出联锁指令A。

此外，联锁电路662，与等离子体处理装置10的真空设备连接，与联锁要因信号A、B、C、D、E的值相应地对真空设备进行联锁控制。真空设备是APC阀15、TMP17和DP18等的设备。此外，联锁要因信号D是空气供给压监视传感器53输出的信号，当从utility供给装置(辅助供给装置)52供给的空气压力比用于驱动等离子体处理装置10的门阀44等的系统所需的规定压力低时，它的值成为ON。联锁要因信号E是表示气体无毒化装置50的状态的信号，当气体无毒化装置50发生故障时，它的值成为ON。

联锁电路662，具体地说，当与在联锁要因信号A的值为ON，门阀44处于开状态时，当联锁要因信号B处于ON状态，在气体供给装置47中发生气体泄漏时，当联锁要因信号C处于ON状态，真空容器11的处理空间S处于大气压状态时，当联锁要因信号D处于ON状态，从utility供给装置(辅助供给装置)52供给的空气压力比上述规定压力低时，或者当联锁要因信号E处于ON状态，气体无毒化装置50发生故障时中的某一个条件相当时，向真空设备发出指示停止并中止真空容器11内的抽真空的联锁指令B。当接收该联锁指令B时，真空设备停止并中止真空容器11内的抽真空。另一方面，当联锁要因信号A、B、C、D、E的值中的任何一个都不为ON时，联锁电路662不发出联锁指令B。

从开关电路700，如图7D、E所示，具有作为信号变换装置的A/D变换电路701、702、多路化装置710、作为存储器的双通道存储电路720、作为控制双通道存储电路720的写入地址控制装置的写入地址电路721、作为控制双通道存储电路720的读出地址控制装置的读出地址电路724、作为分离装置的多路分用器730、作为解码装置的解码电路741、作为传送装置的驱动电路742、作为安全化装置的安全化电路751、770、和作为联锁控制部的联锁电路761。

多路化装置710具有帧脉冲信号生成电路711、错误监视数据生成电路712、和作为多路化部的多路复用器713。

写入地址电路721具有写入地址控制电路722和写入地址设定存储器723，读出地址电路724具有读出地址控制电路725和读出地址设定存储器726。

安全化电路751、770分别具有错误监视电路752、771、信号生成电路753、772和选择电路754、773。

此外，从开关电路700具有作为数据积蓄部的数据积蓄电路781、I/F电路782、作为存储器写入控制部的存储器写入控制电路783、和作为时钟信号生成装置的时钟信号生成电路784。而且，从开关电路700具有接收电路791。

在从开关电路700中，A/D变换电路701、702分别与空气供给压监视传感器53、和经过气体无毒化装置I/F50a与气体无毒化装置50连接。

空气供给压监视传感器53，如上所述，输出表示从utility供给装置52供给的空气压力状态的联锁要因信号D。空气供给压监视传感器53，当从utility供给装置52供给的空气压力比用于驱动等离子体处理装置10的门阀44等的系统所需的上述规定压力低时，作为联锁要因信号D输出ON信号，当从utility供给装置(辅助供给装置)52供给的空气压力在上述规定压力以上时，作为联锁要因信号D输出OFF信号。

气体无毒化装置50经过气体无毒化装置I/F50a输出表示气体无毒化装置50的状态的联锁要因信号E。气体无毒化装置50可以判别在气体无毒化装置50内是否发生故障，当气体无毒化装置50发生故障时作为联锁要因信号E输出ON信号，当气体无毒化装置50不发生故障时作为联锁要因信号E输出OFF信号。

联锁电路761，与等离子体处理装置10的utility供给装置52连接，与联锁要因信号D、E的值相应地对utility供给装置52进行联锁控制。具体地说，联锁控制电路761，当与在联锁要因信号D的值为ON，从utility供给装置52供给的空气压力比用于驱动等离子体处理装置10的门阀44等的系统所需的上述规定压力低时，或者当联锁要因信号E处于ON状态信号，气体无毒化装置50发生故障时的某个条件相当时，向utility供给装置52发出指示停止供给空气、水和N2气的联锁指令C。当接收该联锁指令C时utility供给装置52停止供给空气、水和N2气。另一方面，当联锁要因信号D的值和联锁要因信号E的值中的任何一个都不是ON时，联锁电路761不发出联锁指令C。

主开关电路800，如图7F、G所示，具有分别与从开关电路600的驱动电路643、从开关电路700的驱动电路743连接的接收电路801、802、作为分别与接收电路801、802连接的安全化装置的安全化电路810、820、多路化装置830、作为存储器的双通道存储电路840、作为控制双通道存储电路840的写入地址控制装置的写入地址电路841、作为控制双通道存储电路840的读出地址控制装置的读出地址电路844、作为分离装置的多路分用器(demultiplex)850、和作为传送装置的驱动电路871、872。

多路化电路830具有帧脉冲信号生成电路831、错误监视数据生成电路832、和作为多路化部的多路复用器833。

写入地址电路841具有写入地址控制电路842和写入地址设定存储器843，读出地址电路844具有读出地址控制电路845和读出地址设定存储器846。

安全化电路810、820分别具有错误监视电路811、821、信号生成电路812、822和选择电路813、823。

此外，主开关电路800具有作为数据积蓄部的数据积蓄电路861、I/F电路862、作为存储器写入控制部的存储器写入控制电路863、和作为时钟信号生成装置的时钟信号生成电路864。

从开关电路600和主开关电路800，通过驱动电路643和接收电路801，通过接收电路691和驱动电路871可以通信地连接起来。从而，驱动电路643和接收电路801以及接收电路691和驱动电路871与图1的联锁控制装置1的传送装置和电缆配线对应。同样，从开关电路700和主开关电路800，通过驱动电路742和接收电路802，通过接收电路791和驱动电路872可以通信地连接起来。从而，驱动电路742和接收电路802以及接收电路791和驱动电路872与图1的联锁控制装置1的传送装置和电缆配线对应。

因为从开关电路600、700和主开关电路800的构成与图1的联锁控制装置1中的从开关装置和主开关装置相同，所以省略对它们的详细说明。

下面，参照图8A、B和图9A、B说明联锁控制电路66的工作。图8A、B是用于说明从开关电路600的工作的图，图8A、B(A)～(E)是表示在图7B、C的从开关电路的600的A、B、C1、C2、C3点上传送的传送数据的图。图9A、B是用于说明从开关电路700的工作的图，图9A、B(A)～(D)是表示在图7D、E的从开关电路700的A、B、C1、C2点上传送的传送数据的图。图10是用于说明主开关电路800的工作的图，图10(A)～(C)是表示在图7F、G的主开关电路800的A、B、C点上传送的传送数据的图。

首先，说明从开关电路600的工作。

A/D变换电路601、602、603，对分别从腔室开闭检测传感器49、气体泄漏传感器48和腔室内压力监视传感器51接收的联锁要因信号A、B、C进行A/D变换，将联锁要因信号A、B、C变换成数字信号。分别从腔室开闭检测传感器49、气体泄漏传感器48和腔室内压力监视传感器51输出的联锁要因信号A、B、C是图2A(A)所示的High电平的ON信号或Low电平的OFF信号。分别在A/D变换电路601、602、603中经过A/D变换的联锁要因信号A、B、C成为如图2A(B)所示的ON/OFF的数字信号。

下面，多路复用器613，对在错误监视数据生成电路612中生成的错误监视数据、经过A/D变换的联锁要因信号A、B、C、和如后述那样从主开关电路800传送的联锁要因信号D、E进行多路化生成多路化信号。错误监视数据是2类的规定数据，例如，是图3中所示的数据。

多路复用器613，以字母顺序对在错误监视数据中下一个接收的联锁要因信号进行多路化生成多路化信号。此外，多路复用器613，以生成的1帧的多路化信号的长度成为与来自帧脉冲信号生成部612的帧脉冲信号的1个脉冲周期对应的长度的方式生成多路化信号(参照图8A(A))。当对错误监视数据和接收的联锁要因信号进行多路化得到的多路化信号比由该帧脉冲信号规定的帧长度短时，多路复用器613对规定数量的空白信号进行多路化，使生成的多路化信号的长度等于它的帧长度。在多路复用器613中生成的多路化信号，如图8A(A)所示，成为以错误监视数据、联锁要因信号A、B、C、D、E和规定数量的空白信号的顺序，对它们进行多路化得到的信号。

帧脉冲信号是预先设定脉冲宽度的脉冲信号，帧脉冲信号生成部612根据来自时钟发生电路611的时钟信号生成帧脉冲信号。帧脉冲信号生成部612具有可以变换生成的帧脉冲信号的脉冲宽度的构成。

下面，多路化装置610将时钟信号、在帧脉冲信号生成部612中生成的帧脉冲信号、和在多路复用器613中生成的多路化信号作为1个传送数据进行输出(参照图8A(A))。

与图1的存储器120的情形同样，按照写入地址电路621的控制，将在多路化装置610中经过多路化的多路化信号存储在双通道存储电路620中。在写入地址设定存储器123的写入地址设定数据中，以将多路化信号的要素数据从前头顺序地写入到双通道存储电路620的规定地址上的方式，设定多路化信号的要素数据的顺序和写入目标地址的关系，双通道存储电路620由写入地址控制电路622控制，按照写入地址设定数据将多路化信号的各要素数据从前头写入规定地址上。

具体地说，双通道存储电路620，以将作为多路化信号的前头的要素数据的错误监视数据写入到双通道存储电路620的规定地址，例如，号码最新的地址上，将作为第二要素数据的联锁要因信号A写入到其下一个地址，将作为第三要素数据的联锁要因信号B写入到其下一个地址，将作为第四要素数据的联锁要因信号C写入到其下一个地址的顺序，而将1个帧的多路化信号的要素数据写入到连续的地址上。

下面，按照读出地址电路624的控制从双通道存储电路620读出写入到双通道存储电路620的多路化信号。在读出地址设定存储器626的读出地址设定数据中，首先读出应该从多路分用器630输出的分离信号(多路化信号)的数目只为m(在从开关电路600中m＝3)的错误监视信号，其次，以每次1个顺序地读出作为应该从多路分用器630输出的分离信号的各个要素数据的联锁要因信号的方式，设定读出要素数据、读出这些要素数据的顺序和要素数据的读出地址的关系。

即，首先，3次读出错误监视数据，其次读出作为发送到联锁控制部661的分离信号(以下，也称为分离信号A)(参照图8B(C))的1个联锁要因信号的联锁要因信号A，顺次地读出作为发送到联锁控制部662的分离信号(以下，也称为分离信号B)(参照图8B(D))的1个联锁要因信号的联锁要因信号A，读出作为发送到驱动电路643的分离信号(以下，也称为分离信号C)(参照图8B(E))的1个联锁要因信号的联锁要因信号A，下面，顺次地读出作为分离信号A的1个联锁要因信号的联锁要因信号B、作为分离信号B的1个联锁要因信号的联锁要因信号B、作为分离信号C的1个联锁要因信号的联锁要因信号B，作为分离信号A的1个联锁要因信号的联锁要因信号C、作为分离信号B的1个联锁要因信号的联锁要因信号C，作为分离信号C的1个联锁要因信号的联锁要因信号C，而且，因为已经全部读出分离信号A的联锁要因信号，所以读出空白信号，顺序地读出作为分离信号B的1个联锁要因信号的联锁要因信号D、因为已经全部读出分离信号C的联锁要因信号，所以顺序地读出读出空白信号、空白信号、作为分离信号B的1个联锁要因信号的联锁要因信号E、空白信号，进行读出直到全部读出各分离信号的联锁要因信号为止。

在上述读出中，与各分离信号对应的要素数据的读出次数相同，当全部读出分离信号的联锁要因信号时，如上所述地读出空白信号。即，以各分离信号的长度成为相同的方式进行读出。而且，双通道存储电路620以读出的顺序对个要素数据进行聚合(参照图8A(B))。此外，生成的聚合化信号的1个帧长度成为从聚合化电路610输出的帧脉冲信号的1个脉冲周期。此外，这时的聚合化速度是多路复用器613中的聚合化速度的m倍(多路分用器630的输出数)。即，为多路复用器613中的聚合化速度的3倍速度。下面，双通道存储电路620输出包含时钟信号、帧脉冲信号和读出的聚合化信号的传送数据(参照图8A(B))。

下面，在多路分用器630中，从前头开始每次1个顺序地将在双通道存储电路620中读出的聚合化信号的要素数据分配给各输出端子。具体地说，将作为聚合化信号的前头的要素数据的错误监视数据分配给第一输出端子631，将作为聚合化信号内的第二要素数据的错误监视数据分配给第二输出端子632，将作为聚合化信号内的第三要素数据的错误监视数据分配给第三输出端子633，将作为聚合化信号内的第四要素数据的联锁要因信号A分配给第一输出端子631，将作为聚合化信号内的第五要素数据的联锁要因信号A分配给第二输出端子632，将作为聚合化信号内的第六要素数据的联锁要因信号A分配给第三输出端子633，将第七联锁要因信号B、第八联锁要因信号B、第九联锁要因信号B、第十联锁要因信号C、第十一联锁要因信号C、第十二联锁要因信号C、第十三空白信号X、第十四联锁要因信号D、第十五、十六空白信号X、第十七联锁要因信号E、第十八空白信号X交互地分配给第一、第二、第三输出端子631、632、633，并每次1个顺序地将要素数据分配给每个端子直到没有聚合化信号的要素数据为止。(参照图8B(C)、(D)、(E))。

下面，通过使已分配的信号聚合化生成分离信号。这时，生成与第一输出端子631对应地应该发送到联锁电路661的分离信号A(参照图8B(C))。生成与第二输出端子632对应地应该发送到联锁电路662的分离信号B(参照图8B(D))。生成与第三输出端子633对应地应该发送到驱动电路663的分离信号C(参照图8B(E))。此外，多路分用器630，以各分离信号的长度成为接收的帧脉冲信号的1个脉冲周期的方式进行分离和聚合化。

下面，多路分用器630，分别从第一输出端子631将包含时钟信号、帧脉冲信号和分离信号A的传送数据输出到安全化电路651，从第二输出端子632将包含时钟信号、帧脉冲信号和分离信号B的传送数据输出到安全化电路652，从第三输出端子633将包含时钟信号、帧脉冲信号和分离信号C的传送数据输出到驱动电路643。

安全化装置651，在错误监视单元652中，监视是否在接收的传送数据中遗漏了时钟信号，通过观察接收的帧脉冲信号和分离信号A监视在每个脉冲信号中是否交互地赋予在多路复用器613中赋予的2类(55/AA)的错误监视数据(参照图3)，监视分离信号的数据失落和数据的Bit偏离等。当时钟信号没有遗漏时和当在每个帧脉冲信号中交互地赋予在多路复用器613中赋予的2类错误监视数据时，判别在分离信号中没有数据的失落和数据的Bit偏离等，在分离信号中没有错误。另一方面，当时钟信号遗漏时和在每个帧脉冲信号中不交互地赋予在多路复用器613中赋予的2类错误监视数据时，判别在分离信号中发生数据的失落和数据的Bit偏离等，和在分离信号中具有错误，将错误信号发送到信号生成部653并将切换信号发送到选择部654。

下面，信号生成电路653，当从错误监视电路652接收错误信号时，以发送该分离信号A的联锁控制电路661将作为联锁实施目标的气体供给装置47驱动到安全侧的方式，将分离信号A的联锁要因信号(联锁要因信号A、B、C)的值变更到ON或OFF的预先设定的值，生成规定的安全驱动信号发送到选择电路654。信号生成电路653，例如，生成联锁要因信号A是ON信号，联锁要因信号B是ON信号，联锁要因信号C是ON信号的安全驱动信号。因此，因为气体供给装置47停止并中止供给气体，所以将气体供给装置47驱动到安全侧。

下面，选择电路654，当从错误监视电路652接收切换信号时，即当在分离信号A中存在错误时将安全驱动信号发送到解码电路641，当没有从错误监视电路652接收切换信号时，即当在分离信号A中没有错误时，将分离信号A原封不动地发送到解码电路641。

安全化装置656也与上述安全化装置652同样地进行工作。即，当判别在错误监视电路656接收的分离信号B中具有错误时，信号生成电路657生成将真空设备驱动到安全侧的安全驱动信号，选择电路658将该安全驱动信号输出到复合电路642。另一方面，当判别在错误监视电路656接收的分离信号B中没有错误时，选择电路658将接收的分离信号B原封不动地输出到解码电路642。这里，信号生成电路657，例如，生成联锁要因信号A、B、C、D、E全部是ON信号的安全驱动信号。因此，因为真空设备停止并中止抽真空，所以将真空设备驱动到安全侧。

从安全化电路651接收分离信号或安全驱动信号的解码电路641，对接收的分离信号或安全驱动信号进行解码，分离成各要素信号，只提取联锁要因信号(联锁要因信号A、B、C)输出到联锁控制电路661。解码电路642也同样，对接收的分离信号或安全驱动信号进行解码，分离成各要素信号，只提取联锁要因信号(联锁要因信号A、B、C、D、E)输出到联锁控制电路662。

另一方面，驱动装置643将从多路分用器630接收的分离信号C传送到主开关装置800。

而且，从解码装置641接收联锁要因信号A、B、C的联锁控制电路661，解析接收的联锁要因信号A、B、C的内容，即，通过判别是ON信号还是OFF信号，与联锁要因信号A、B、C的内容的组合相应地如上所述地对气体供给装置47实施联锁控制。

即，联锁电路661，当与在联锁要因信号A的值为ON，门阀44处于开状态时，当联锁要因信号B的值为ON，在气体供给装置47中发生气体泄漏时，或者当联锁要因信号C处于ON状态，真空容器11的处理空间S处于大气压状态时的某个条件相当时，向气体供给装置47发出指示停止并中止对供给处理气体的联锁指令A。当接收该联锁指令A时气体供给装置47停止并中止供给处理气体。另一方面，联锁要因信号A的值、联锁要因信号B的值、和联锁要因信号C的值中的任何一个都不是ON时，联锁电路661不发出联锁指令A。

同样，联锁电路662，解析接收的联锁要因信号A、B、C、D、E的内容，与联锁要因信号A、B、C、D、E的内容的组合相应地如上所述地对真空设备实施联锁控制。

即，联锁电路662，当与在联锁要因信号A的值为ON，门阀44处于开状态时，联锁要因信号B处于ON状态，在气体供给装置47中发生气体泄漏时，当联锁要因信号C处于ON状态，真空容器11的处理空间S处于大气压状态时，当联锁要因信号D处于ON状态，从utility供给装置52供给的空气压力比上述规定压力低时，或者当联锁要因信号E处于ON状态，气体无毒化装置50发生故障时中的某个条件相当时，向真空设备发出指示停止并中止对真空容器11内抽真空的联锁指令B。当接收该联锁指令B时真空设备停止并中止对真空容器11内抽真空。另一方面，联锁要因信号A、B、C、D、E的值中的任何一个都不处于ON时，联锁电路662不发出联锁指令B。

下面，说明从开关电路700的工作。

A/D变换电路701、702对分别从空气供给压监视传感器53、和经过气体无毒化装置I/F50a从气体无毒化装置50接收的联锁要因信号D、E进行A/D变换，使联锁要因信号D、E成为数字信号。

下面，多路复用器713，对在错误监视数据生成电路712中生成的错误监视数据(参照图3)、和经过A/D变换的联锁要因信号D、E进行多路化生成多路化信号。

多路复用器713，与从开关电路600的多路复用器613同样，以字母顺序对在错误监视数据中下一个接收的联锁要因信号进行多路化生成多路化信号。当生成的1帧的多路化信号的长度成为与来自帧脉冲信号生成部711的帧脉冲信号的1个脉冲周期对应的长度(参照图9A(A))，对错误监视数据和接收的联锁要因信号进行多路化得到的多路化信号比由该帧脉冲信号规定的帧长度短时，对空白信号进行多路化。在多路复用器713中生成的多路化信号，如图9A(A)所示，成为以错误监视数据、联锁要因信号D、E和规定数量的空白信号的顺序，对它们进行多路化生成的信号。此外，因为在联锁电路761中联锁要因信号A、B、C不是联锁要因，所以不从主开关800传送联锁要因信号。

下面，多路化装置710，将时钟信号、在帧脉冲信号生成部712中生成的帧脉冲信号和在多路复用器713中生成的多路化信号作为1个传送数据进行输出(参照图9A(A))。

按照写入地址控制电路721的控制，将在多路化装置710中已多路化的多路化信号存储在双通道存储电路720中。在写入地址设定存储器723的写入地址设定数据中，与从开关装置600的写入地址设定存储器623同样，以多路化信号的要素数据从前头顺序地写入到双通道存储电路720的规定地址上的方式设定着多路化信号的要素数据的顺序和写入目标地址的关系，双通道存储电路720，由写入地址控制电路722进行控制，按照写入地址设定数据将多路化信号的各要素数据从前头写入到规定地址上。

下面，按照读出地址控制装置724的控制从双通道存储电路720读出写入到双通道存储电路720中的多路化信号。在读出地址设定存储器726的读出地址设定数据中，与从开关装置600的读出地址设定存储器626同样，首先读出应该从多路分用器730输出的分离信号(多路化信号)的数目只为n(在从开关电路700中n＝2)的错误监视信号，其次，以每次1个顺序地读出作为应该从多路分用器730输出的分离信号的各个要素数据的联锁要因信号的方式，设定读出要素数据、读出这些要素数据的顺序和要素数据的读出地址的关系。

即，首先两次读出错误监视数据，其次读出作为发送到联锁电路761的分离信号(以下，也称为分离信号D)(参照图9B(C))的1个联锁要因信号的联锁要因信号D，读出作为发送到驱动电路762的分离信号(以下，也称为分离信号E)(参照图9B(D))的1个联锁要因信号的联锁要因信号D，读出作为分离信号D的1个联锁要因信号的联锁要因信号的联锁要因信号E，读出作为分离信号E的1个联锁要因信号的联锁要因信号E，读出规定数量的空白信号。

而且，双通道存储电路720以读出的顺序使各要素数据聚合(参照图9A(B))。此外，生成的聚合化信号的1个帧长度成为从聚合化电路710输出的帧脉冲信号的1个脉冲周期。此外，这时的聚合化速度是多路复用器713中的聚合化速度的n倍(多路分用器730的输出数量)。即，多路复用器713中的聚合化速度的2倍的速度。下面，双通道存储电路720输出包含时钟信号、帧脉冲信号和读出的聚合化信号的传送数据(参照图9A(B))。

下面，在多路分用器930中，从前头开始每次1个顺序地将在双通道存储电路720中读出的聚合化信号的要素数据分配给各输出端子。具体地说，将作为聚合化信号的前头的要素数据的错误监视数据分配给第一输出端子731，将作为聚合化信号内的第二要素数据的错误监视数据分配给第二输出端子732，将作为聚合化信号内的第三要素数据的联锁要因信号D分配给第一输出端子731，将作为聚合化信号内的第四要素数据的联锁要因信号D分配给第二输出端子732，将第五联锁要因信号E、第六联锁要因信号E交互地分配给第一、第二输出端子731、732，并每次1个顺序地将要素数据分配给每个端子直到没有聚合化信号的要素数据为止。(参照图9B(C)、(D))。

下面，通过使分配了的信号聚合化生成分离信号。这时，生成与第一输出端子731对应地应该发送到联锁电路761的分离信号D(参照图9B(C))，生成与第二输出端子732对应地应该发送到驱动电路742的分离信号E(参照图9B(D))。此外，多路分用器730，以各分离信号的长度成为接收的帧脉冲信号的1个脉冲周期的方式进行分离和聚合化。

下面，多路分用器730，分别从第一输出端子731将包含时钟信号、帧脉冲信号和分离信号D的传送数据输出到安全化装置751，从第二输出端子732将包含时钟信号、帧脉冲信号和分离信号E的传送数据输出到驱动电路742。

安全化装置751与从开关电路600的安全化电路651同样地进行工作。即，当错误监视电路752判别在接收的分离信号D中具有错误时，信号生成电路753生成将utility供给装置52驱动到安全侧的安全驱动信号，选择电路754将该安全驱动信号输出到复合电路741。另一方面，当错误监视电路752判别在接收的分离信号E中没有错误时，选择电路754将接收的分离信号E原封不动地输出到复合电路741。这里，信号生成电路753，例如，生成联锁要因信号D、E全部是ON信号的安全驱动信号。因此，因为utility供给装置52停止并中止供给空气、水和N2气，所以将utility供给装置52驱动到安全侧。

从安全化电路751接收分离信号或安全驱动信号的解码电路741，对接收的分离信号或安全驱动信号进行解码分离成各要素信号，只提取联锁要因信号(联锁要因信号D、E)输出到联锁电路761。

另一方面，驱动电路742将从多路分用器730接收的分离信号E传送到主开关电路800。

而且，从解码电路741接收联锁要因信号D、E的联锁电路761，解析接收的联锁要因信号D、E的内容，即，通过判别是ON信号还是OFF信号，与联锁要因信号D、E的内容的组合相应地如上所述地对utility供给装置52实施联锁控制。即，联锁电路761，当与当联锁要因信号D的值为ON，从utility供给装置52供给的空气压力比用于驱动等离子体处理装置10的门阀44等的系统所需的上述规定压力低时，或者当联锁要因信号E处于ON状态，气体无毒化装置50发生故障时的某个条件相当时，向utility供给装置52发出指示停止供给处理空气、水和N2气的联锁指令C。当接收该联锁指令C时utility供给装置52停止供给空气、水和N2气。另一方面，当联锁要因信号D的值和联锁要因信号E的值中的任何一个都不是ON时，联锁电路761不发出联锁指令C。

下面，说明主开关电路800的工作。

如上所述，由安全化电路810、820接收分别包含从从开关装置600、700的驱动电路643、742分别传送的分离信号C、E的传送数据(参照图8B(E)、图9B(D))。

安全化电路810、820，与安全化电路651同样，在错误监视电路811、821中观察时钟信号的遗漏和错误监视数据，判别有无错误。当没有错误时，原封不动地从选择电路813、823输出接收的传送数据。另一方面，当具有错误时，以将真空设备、气体供给装置47和utility供给装置52驱动到安全侧的方式将在信号生成电路812、822中各个分离信号C、E的联锁要因信号的内容变更到预先设定的值(ON或OFF)将安全驱动信号作为聚合化信号，与时钟信号和帧脉冲信号一起从选择电路813、823输出。信号生成电路812，例如，生成联锁要因信号A、B、C为ON信号的安全驱动信号。此外，信号生成电路822，例如，生成联锁要因信号D、E为ON信号的安全驱动信号。因此，将真空设备、气体供给装置47和utility供给装置52驱动到安全侧。

下面，多路复用器833，与上述从开关电路600的多路复用器613同样，以预先设定的顺序对接收的多路化信号进行多路化。具体地说，多路复用器833，以字母顺序对在错误监视数据中下一个接收的联锁要因信号进行多路化生成多路化信号。多路复用器833，以生成的1帧的多路化信号的长度成为与接收的帧脉冲信号的1个脉冲周期对应的长度的方式生成多路化信号。当对错误监视数据和接收的联锁要因信号进行多路化得到的多路化信号比由该帧脉冲信号规定的帧长度短时，多路复用器833对规定数量的空白信号进行多路化，使生成的多路化信号的长度等于它的帧长度。

下面，多路化电路830将时钟信号、帧脉冲信号和生成的多路化信号作为1个传送数据进行输出(参照图10(A))。

按照写入地址电路841的控制，将在多路复用器833中进行了多路化的多路化信号存储在双通道存储电路840中。在写入地址设定存储器843的写入地址设定数据中，与从开关电路600的写入地址设定数据同样，以从前头开始顺序地将多路化信号的要素数据写入到双通道存储电路840的规定地址上的方式，设定着多路化信号的要素数据、这些要素数据的顺序和写入目标地址的关系，双通道存储电路840，由写入地址控制电路842控制，按照写入地址设定数据将多路化信号的各要素数据从前头写入到规定地址上。具体地说，双通道存储电路840，以将作为多路化信号的前头的要素数据的错误监视数据写入到双通道存储电路840的规定地址，例如号码最新的地址上，将作为第二要素数据的联锁要因信号A写入到它的下一个地址上，将作为第三、四、五要素数据的联锁要因信号C、D、E写入到连续的地址上的顺序，将1个帧的多路化信号的要素数据写入到连续的地址上。

下面，按照读出地址电路844的控制从双通道存储电路840读出写入到双通道存储电路840中的多路化信号。在读出地址设定存储器846的读出地址设定数据中，与从开关电路600的读出存储器设置数据同样，首先读出应该从多路分用器850输出的分离信号(多路化信号)的数目只为p(在主开关电路800中p＝2)的错误监视信号，其次，以每次1个顺序地读出作为应该从多路分用器850输出的分离信号的各个要素数据的联锁要因信号的方式，设定读出要素数据、读出这些要素数据的顺序和要素数据的读出地址的关系。

在主开关电路800中，首先，1次读出错误监视数据，其次因为在本联锁控制中不需要将联锁要因信号发送到从开关电路700，所以读出空白信号作为发送到从开关电路700的分离信号(以下，也称为分离信号G)的要素信号。下面，读出作为发送到从开关电路600的分离信号(以下，也称为分离信号F)(参照图10(C))的1个联锁要因信号的联锁要因信号D，读出空白信号X，读出作为分离信号F的1个联锁要因信号的联锁要因信号E，读出空白信号X，因为已经全部读出分离信号F的联锁要因信号，所以读出规定数目的空白信号。而且，双通道存储电路840以读出的顺序使各要素数据聚合生成聚合化信号，与时钟信号和帧脉冲信号一起输出该聚合化信号(参照图10(B))。此外，以生成的聚合化信号的1个帧长度成为接收的帧脉冲信号的脉冲周期，成为它的长度的方式，读出空白信号X。

下面，在多路分用器850中，从前头开始每次1个顺序地将在双通道存储电路840中读出的聚合化信号的要素数据分配给各输出端子。具体地说，将作为聚合化信号的前头的要素数据的错误监视数据分配给第一输出端子851，将作为第二要素数据的空白信号X分配给第二输出端子852，将作为第三、四、五、六要素数据的联锁要因信号D、空白信号X、联锁要因信号D、空白信号X交互地分配给第一、二输出端子851、852，并每次1个顺序地将要素数据分配给每个端子直到没有聚合化信号的要素数据为止。下面，通过使分配了的信号聚合化生成分离信号。这时，生成与第一输出端子851对应地应该发送到从开关电路600的分离信号F(参照图10(C))。生成与第二输出端子852对应地应该发送到从开关电路700的分离信号G。分离信号G只由空白信号X构成。此外，多路分用器850，以各分离信号的长度成为接收的帧脉冲信号的脉冲周期的方式进行分离和聚合化。

下面，多路分用器850，分别从输出端子851将包含时钟信号、帧脉冲信号和分离信号F的传送数据(参照图10(C))输出到驱动电路871，从第二输出端子852将包含时钟信号、帧脉冲信号和分离信号G的传送数据输出到驱动电路872。

驱动电路871经过从开关电路600的接收电路691将传送数据发送到安全化电路670。

在从开关电路600中，安全化电路670与安全化电路651同样地进行驱动。即，当错误监视电路671判别在接收的分离信号F中具有错误时，信号生成电路672生成将真空设备、气体供给装置47和utility供给装置52驱动到安全侧的安全驱动信号，选择电路673将该安全驱动信号输出到多路复用器613。另一方面，当错误监视电路671判别在接收的分离信号F中没有错误时，选择电路673将接收的分离信号F原封不动地输出到多路复用器613。这里，信号生成电路672，例如，生成联锁要因信号D、E全部为ON信号的安全驱动信号。因此，将真空设备、气体供给装置47和utility供给装置(辅助供给装置)52驱动到安全侧。

另一方面，驱动电路872将传送数据发送到从开关电路700的接收电路791。如上所述，在从开关电路700中，因为在对utility供给装置(辅助供给装置)52的联锁控制中不需要来自从开关电路600的联锁要因信号，所以接收电路791不将从主开关电路800接收的传送数据输出到安全化电路770。此外，主开关电路800的驱动电路872也可以不将传送数据(空白信号)输出到从开关电路700的接收电路791。

如上所述，如果根据与本发明的实施方式有关的联锁控制装置66，则当实施多个控制模块间的联锁控制时，因为对在各控制模块间(各从开关电路间)发送接收的联锁要因信号进行多路化，进行发送接收，所以能够减少在控制模块之间发送接收的信号，能够减少用于连接控制模块之间的配线。从而，能够使联锁控制装置的构成简单化，从而能够使等离子体处理装置10的系统控制器60的构成简单化。

此外，如果根据联锁控制装置66，则因为通过主开关电路连接各控制模块间(各从开关电路间)，在主开关电路中分别对在各控制模块的联锁控制中需要的联锁要因信号进行多路化，发送到各个控制模块，所以能够更加减少在控制模块之间发送接收的信号，能够更加减少用于连接控制模块间的配线。从而，能够使联锁控制装置的构成更加简单化。

如果根据联锁控制装置66，则根据在各从开关电路和主开关电路中的多路复用器613、713、833的多路化条件、写入地址设定电路621、721、841中的写入地址设定数据、读出地址设定电路624、724、844中的读出地址设定数据、在多路分用器630、730、850中的分离条件和帧脉冲信号的脉冲周期等的预先设定的可以变更的条件进行设定。因此，即便在各控制模块中追加和变更功能，或者追加新的控制模块，通过变更上述预先设定的条件也能够进行控制模块之间的所要的联锁控制。这样，联锁控制装置66能够容易地与在等离子体处理装置10中追加和变更各控制模块的功能，追加新的控制模块对应。

联锁控制装置66具有安全化电路，安全化电路，当在控制模块之间传送的传送数据中具有错误时，生成将真空设备、气体供给装置47和utility供给装置(辅助供给装置)52驱动到安全侧的信号。从而，当在控制模块间传送的传送数据中发生错误时，因为以将真空设备、气体供给装置47和utility供给装置(辅助供给装置)52等的各设备驱动到安全侧的方式进行控制，所以能够提高联锁控制装置的安全性，能够提高等离子体处理装置的安全性。

联锁控制装置66，因为各从开关电路和主开关电路具有数据积蓄电路，数据积蓄电路经过I/F可以与监视器终端连接，所以操作者能够容易地观察多路传送的状态检测信号，即联锁要因信号。从而，从该联锁要因信号能够容易地监察等离子体处理装置10的状态，当发生障碍时能够容易地进行原因解析等。

与发明的实施方式有关的联锁控制装置66，在等离子体处理装置10具有的控制模块内的2个控制模块之间，实施联锁控制，但是联锁控制装置66通过增加从开关电路能够在多个控制模块之间实施联锁控制。这时也能够产生与上述同样的效果。

此外，在联锁控制装置66中，不将在控制模块61中检测到的联锁要因信号使用于在从开关电路700中作为与控制模块62对应的联锁实施目标的utility供给装置(辅助供给装置)52的联锁控制，但是从开关电路700，与从开关电路600同样，也能够将从其它从开关电路600发送的联锁要因信号使用于对联锁实施目标的的联锁控制。

Claims (8)

1.一种联锁控制装置，该联锁控制装置具有分别驱动控制至少1个设备的多个控制模块，其特征在于：

具有与所述多个控制模块中的各个对应的从开关装置；

所述各个从开关装置包括：对表示所述对应的控制模块所驱动控制的所述设备的多个状态的状态检测信号进行多路化而生成多路化信号的多路化装置、存储所述多路化信号的存储装置、读出所述存储的多路化信号的读出装置、分离所述读出的多路化信号而生成多个分离信号的分离装置、将所述多个分离信号内规定的分离信号传送到所述对应的控制模块以外的控制模块的传送装置、和根据所述分离信号驱动控制所述对应设备的至少1个控制装置。

2.如权利要求1所述的联锁控制装置，其特征在于：

所述多路化装置以预先设定的顺序对所述状态检测信号进行多路化，所述读出装置根据预先设定的条件从所述存储的多路化信号读出所述状态检测信号，以该读出的顺序对所述读出的状态检测信号再次进行多路化而生成多路化信号。

3.如权利要求1或2所述的联锁控制装置，其特征在于：

具有分离信号监视装置，判别所述分离信号是否正常，当所述分离信号不正常时生成安全地驱动与该分离信号对应的设备的控制信号，并输出到与所述分离信号对应的控制装置。

4.如权利要求1至3中任一项所述的联锁控制装置，其特征在于：

所述从开关装置具有能够显示所述多路化信号的监视器接口。

5.如权利要求1至4中任一项所述的联锁控制装置，其特征在于：

具有连接所述传送装置、并且连接有所述各个从开关装置的主开关装置；

所述主开关装置包括：对所述各个传送装置传送的所述规定的分离信号进行多路化而生成主多路化信号的主多路化装置、存储所述主多路化信号的主存储装置、读出所述存储的主多路化信号的主读出装置、分离所述读出的主多路化信号而生成多个主分离信号的主分离装置、和将所述主分离信号输出到所述从开关装置的输出装置。

6.如权利要求5所述的联锁控制装置，其特征在于：

所述主多路化装置以预先设定的顺序对所述传送的规定的分离信号进行多路化，所述主读出装置根据预先设定的条件从所述存储的主多路化信号读出所述状态检测信号，以该读出的顺序对所述读出的状态检测信号再次进行多路化而生成主多路化信号。

7.如权利要求5或6所述的联锁控制装置，其特征在于：

所述多路化装置对所述状态检测信号以及所述主分离信号进行多路化。

8.如权利要求5到7中任一项所述的联锁控制装置，其特征在于：

所述各个从开关装置具有主分离信号监视装置，判别所述主分离信号是否正常，当所述主分离信号不正常时生成安全地驱动与该主分离信号对应的所述控制模块控制的所述设备的控制信号。

Images