CN101024332A - 图案形成方法、液滴喷出装置及电光学装置 - Google Patents

Abstract

向第1形成区域(Sa)喷出来自第1喷出方向(Aa)的第1液滴(Fa)，赋予射中的第1液滴(Fa)从第1形成区域(Sa)的内侧向外侧(第2形成区域(Sb)的一侧)的速度成分(第1切线速度(Va))。另外，向第2形成区域(Sb)喷出来自第2喷出方向(Ab)的第2液滴(Fb)，赋予射中的第2液滴(Fb)从第2形成区域(Sb)的内侧向外侧(第1形成区域(Sa)的一侧)的速度成分(第2切线速度(Vb))。提供提高由液滴构成的图案的膜厚均匀性的图案形成方法、液滴喷出装置及电光学装置。

Description

图案形成方法、液滴喷出装置及电光学装置

技术领域

[0001]

本发明涉及图案形成方法、液滴喷出装置及电光学装置。

背景技术

[0002]

在显示装置及半导体装置的制造工序中，大多包含将在基板上堆积的膜布图成为所需的形状、形成膜图案的图案形成工序。

近几年来，在这种图案形成工序中，为了提高生产率，而利用使向基板喷出的液滴固化后自我整合地形成膜图案的喷墨法。喷墨法由于能够形成与液滴形状对应的膜图案，所以不需要形成旨在布图的掩模，能够减少图案形成工序的工序数。

[0003]

可是，利用喷墨法形成膜图案时，如果射中的液滴不在基板表面散开后，液滴的凹凸形状就会反映到图案形状中，有损于膜图案的平坦性及膜厚均匀性。

[0004]

因此，在这种现有技术的喷墨法中，有人提出了能够使射中的液滴在基板表面的散开扩大的方案(例如专利文献1)。在专利文献1中，使液滴的喷出方向倾斜于基板的法线，赋予喷出的液滴沿着基板的反扫描方向的成分。这样，能够使喷出的液滴沿着基板的切线方向散开基板的法线方向和喷出方向构成的角度(倾斜角)。

专利文献1：日本国特开平2005-131498号公报

[0005]

可是，在上述喷墨法中，通常使喷出液滴的液滴喷出头与基板相对移动(扫描)，从而形成所需的图案。因此，在形成大型的膜图案时，需要使一个液滴喷出头进行多次换行扫描，或者使多个液滴喷出头连续扫描。就是说，使一个液滴喷出头每次扫描形成的图案(单一图案)依次接合，从而形成大型的膜图案。

[0006]

可是，位于各单一图案的外缘(交界)的各液滴，在各自的表面张力等的作用下，被一样地向对应的单一图案的内方拉过去(流动)。因此，在依次接合多个单一图案后形成的膜图案中，接合的单一图案的外缘(交界)就产生膜厚的离差(换行条纹)。其结果，存在着有损于膜图案的膜厚均匀性的问题。

发明内容

[0007]

本发明就是为了解决上述问题而研制的，其目的在于提供提高由液滴构成的图案的膜厚均匀性的图案形成方法、液滴喷出装置及电光学装置。

[0008]

本发明的图案形成方法，是在向基板的图案形成区域喷出图案形成材料的液滴后形成图案的图案形成方法中，从所述基板的法线上看，向所述图案形成区域的外缘，按照从所述图案形成区域的内侧朝着外侧的喷出方向，喷出所述液滴。

[0009]

采用本发明的图案形成方法后，能够赋予射到图案形成区域的外缘的液滴从图案形成区域的内侧向着外侧的速度成分。这样，能够赋予射到图案形成区域的外缘的液滴抵抗其表面张力的流动。其结果，能够提高图案的膜厚均匀性。

[0010]

另外，在该图案形成方法中，所述外缘，是邻接的多个所述图案形成区域的交界；从所述基板的法线上看，可以按照从所述图案形成区域的内侧向着所述交界的喷出方向，喷出所述液滴。

[0011]

采用本发明的图案形成方法后，对于邻接的图案的交界而言，能够提高其膜厚均匀性。

另外，在该图案形成方法中，可以从所述基板的法线方向上看，按照具有沿着所述图案形成区域的外缘的成分的所述喷出方向，喷出所述液滴。

[0012]

采用该图案形成方法后，能够赋予射到图案形成区域的外缘的液滴抵抗其表面张力的流动和沿着外缘方向的流动。其结果，由于使射中的液滴沿着外缘方向流动，所以能够使射到外缘的各液滴的接合均匀。因此，能够进一步提高图案的膜厚均匀性。

[0013]

本发明的液滴喷出装置，是在向基板的图案形成区域喷出图案形成材料的液滴后形成图案的液滴喷出装置中，具备从所述基板的法线上看，向所述图案形成区域的外缘，按照从所述图案形成区域的内侧朝着外侧的喷出方向，喷出所述液滴的液滴喷出头。

[0014]

采用本发明的液滴喷出装置后，能够赋予射到图案形成区域的外缘的液滴从图案形成区域的内侧向外侧的速度成分。这样，能够赋予射到图案形成区域的外缘的液滴抵抗其表面张力的流动。其结果，能够提高图案的膜厚均匀性。

[0015]

另外，在该液滴喷出装置中，所述基板，可以具备邻接的多个所述图案形成区域；所述外缘，是邻接的多个所述图案形成区域的交界。

采用该液滴喷出装置后，对于连续的图案的交界，能够提高其膜厚均匀性。

[0016]

另外，在该液滴喷出装置中，可以具备方向设定单元，该方向设定单元移动所述液滴喷出头，设定所述喷出方向。

采用该液滴喷出装置后，能够用方向设定单元设定的喷出方向，喷出液滴。这样，能够与图案形成区域的形状及尺寸无关，用所需的喷出方向喷出液滴。其结果，能够切实提高图案的膜厚均匀性。

[0017]

另外，在该液滴喷出装置中，可以具备：方向信息生成单元，该方向信息生成单元生成与所述图案形成区域对应的所述喷出方向有关的方向信息；控制单元，该控制单元根据所述方向信息，驱动控制所述方向设定单元。

[0018]

采用该液滴喷出装置后，能够根据与图案形成区域对应的方向信息，驱动控制方向设定单元。这样，能够与图案形成区域的形状及尺寸无关，更切实地提高图案的膜厚均匀性。

[0019]

另外，在该液滴喷出装置中，可以具备多个所述液滴喷出头，和与所述多个液滴喷出头对应的多个所述方向设定单元；所述方向信息生成单元，生成所述方向信息，以便使与所述多个液滴喷出头对应的各喷出方向，在所述基板侧交叉。

[0020]

采用该液滴喷出装置后，能够利用多个液滴喷出头喷出喷出方向不同的液滴。这样，对于邻接的图案形成区域及多个不同的图案形成区域，能够用大致相同的时刻形成图案。其结果，能够不影响生产效率地提高图案的膜厚均匀性。

[0021]

另外，在该液滴喷出装置中，可以具备移动单元，该移动单元使所述基板与所述液滴喷出头相对移动，以便使所述喷出方向具有沿着所述图案形成区域的外缘的成分。

[0022]

采用该液滴喷出装置后，能够赋予射到图案形成区域的外缘的液滴抵抗其表面张力的流动和沿着外缘方向的流动。其结果，能够进一步提高图案的膜厚均匀性。

[0023]

本发明的电光学装置，具备由上述液滴喷出装置形成的图案。

采用本发明的电光学装置后，能够具备由提高了的液滴构成的图案。

附图说明

图1是表示本实施方式中的液晶显示装置的立体图。

图2是表示本实施方式中的液晶显示装置的剖面图。

图3是表示本实施方式中的液滴喷出装置的立体图。

图4是表示本实施方式中的液滴喷出头的立体图。

图5是表示本实施方式中的液滴喷出头的简要平面图。

图6是表示本实施方式中的液滴喷出头的简要侧面图。

图7是表示本实施方式中的液滴喷出头的主要部件侧面图。

图8是讲述本实施方式中的液滴喷出动作的说明图。

图9是讲述本实施方式中的液滴喷出动作的说明图。

图10是讲述本实施方式中的液滴喷出动作的说明图。

图11是表示本实施方式中的液滴喷出装置的电气结构的电气块方框电路图。

具体实施方式

[0024]

下面，参照图1～图11，讲述将本发明具体化的一种实施方式。首先，讲述作为电光学装置的液晶显示装置10，该电光学装置具有采用本发明的图案形成方法形成的取向膜。图1是液晶显示装置10的立体图，，图2是图1的A～A线剖面图。

[0025]

在图1中，在液晶显示装置10的下侧，具备边缘灯型的背景灯12，该背景灯12具有LED等光源11，四方板状地形成。在背景灯12的上方，具备和背景灯12大致相同尺寸形成的四方板状的液晶屏13。而且，由光源11射出的光，朝着液晶屏13照射。

[0026]

在液晶屏13中，具备相对的元件基板14和相对基板15。这些元件基板14和相对基板15，如图2所示，通过由光硬化性树脂构成的四方框状的密封部件16做媒介，粘贴在一起。而且，在这些元件基板14和相对基板15之间的间隙，封入液晶17。

[0027]

在图1中，在元件基板14的下面(背景灯12一侧的侧面)，粘贴着偏振光板及相位差板等光学基板18。光学基板18将来自背景灯12的光，作为直线偏振光射到液晶17上。在元件基板14的上面(相对基板15一侧的侧面：元件形成面14a)，排列形成大致遍及一个方向(X箭头方向)的全宽地延伸的多个扫描线Lx。各扫描线Lx，分别与配置在元件基板14的一侧的扫描线驱动电路19电连接，同时还在规定的时刻，输入来自扫描线驱动电路19的扫描信号。另外，在元件形成面14a上，排列形成大致遍及Y箭头方向的全宽地延伸的多个数据线Ly。各数据线Ly，分别与配置在元件基板14的另一侧的数据线驱动电路21电连接，同时还在规定的时刻，输入根据来自数据线驱动电路21的显示数据的数据信号。在元件形成面14a的扫描线Lx和数据线Ly的交叉的位置，形成多个象素22，这些象素22矩阵状地排列，与对应的扫描线Lx及数据线Ly连接。在各象素22中，分别具备TFT等未图示的控制元件及由透明导电膜等构成的光透过性的象素电极23。

[0028]

在图2中，在各象素22的整个上侧，层叠经过摩擦处理等取向处理的取向膜24。取向膜24是由取向性聚酰亚胺等取向性高分子构成的薄膜图案，在对应的象素电极23附近，将液晶17的取向设定成规定的取向。该取向膜24，采用喷墨法形成。就是说，将取向膜形成材料F(该取向膜形成材料F是将取向性高分子溶解到规定的溶剂中后构成的图案形成材料)(参照图7)，作为第1液滴Fa及第2液滴Fb(参照图7)，向各象素22的整个上侧喷出后，形成取向膜24。

[0029]

在所述相对基板15的上面，设置着偏振光板25，该偏振光板25将和来自光学基板18的光正交的光，射到外方(图2中的上方)。在相对基板15的下面(元件基板14一侧的侧面：电极形成面15a)的整个面上，层叠着和各象素电极23相对地形成的、由光透过性的导电膜构成的相对电极26。相对电极26在与所述数据线驱动电路21电连接的同时，还被赋予来自该数据线驱动电路21的规定的共同电位。在相对电极26的整个下面，层叠经过摩擦处理等取向处理的取向膜27。该取向膜27，和所述取向膜24一样，在采用喷墨法形成的同时，还在所述相对电极26的附近，将液晶17的取向设定成规定的取向。

[0030]

然后，根据线依次扫描，在规定的时刻，一根一根地选择各扫描线Lx，只在各自选择的期间中，使各象素22的控制元件成为接通状态。于是，向与各控制元件对应的各象素电极23，输出根据来自对应的数据线Ly的显示数据的数据信号。向各象素电极23输出数据信号后，根据各象素电极23和相对电极26之间的电位差，调制对应的液晶17的取向状态。就是说，按照象素22，调制来自光学基板18的光的偏振光状态。而且，根据调制的光是否通过偏振光板25，在液晶屏13的上侧，显示根据显示数据的图象。

[0031]

接着，按照图3～11，讲述旨在形成上述取向膜27(取向膜24)的液滴喷出装置30。

在图3中，液滴喷出装置30在具备正方体形状形成的基台31的同时，还在该基台31的上面，形成一对沿着其长度方向(X箭头方向)延伸的导向槽32。在该基台31的上方，具备作为移动单元的输送台33，该输送台33在与基台31内设置的X轴电动机MX(参照图11)的输出轴驱动连接的同时，还沿着所述导向槽32，以规定的速度(输送速度V)，朝着X箭头方向及反X箭头方向往复运动(沿着X箭头方向输送)。

[0032]

在输送台33的上面，形成放置面34，可以放置将所述相对电极26作为上侧的相对基板15，并且使处于放置状态的相对基板15在输送台33上定位固定。此外，在本实施方式中，采用将相对基板15放置到输送台33上的结构，但并不局限于此，还可以采用将所述各象素电极23作为上侧的元件基板14的结构。

[0033]

在基台31的Y箭头方向的两侧，设置着门型形成的导向部件35，同时还在该导向部件35中，形成上下一对朝着Y箭头方向延伸的导轨36。另外，在导向部件35中，还具备滑动架37，该滑动架37在与导向部件35内设置的Y轴电动机MY(参照图11)的输出轴驱动连接的同时，还沿着导轨36，朝着Y箭头方向及反Y箭头方向往复运动(沿着Y箭头方向扫描)。在滑动架37的内部，设置着可以导出、收容所述取向膜形成材料F(参照图7)的墨水囊38，将该墨水囊38收容的所述取向膜形成材料F，供给搭载在滑动架37下方的一对头组件H(第1头组件Ha及第2头组件Hb)。

[0034]

图4是从下方(相对基板15)看第1头组件Ha及第2头组件Hb的简要立体图。图5是从滑动架37的一侧看第1头组件Ha及第2头组件Hb的平面图。

[0035]

在图4中，在滑动架37的下侧(图4中的上侧)，配置着一对头组件H。一对头组件H，在从Y箭头方向看，被分别互相平行设置的同时，从X箭头方向看，还有一部分互相重叠。此外，在本实施方式中，将反Y箭头方向的头组件H，称作(第1头组件Ha)；将Y箭头方向的头组件H，称作(第2头组件Hb)。

[0036]

这些一对头组件H，分别从滑动架37的一侧，依次具备转动台39、导向台40和倾动台41。在本实施方式中，这些转动台39、导向台40和倾动台41构成方向设定单元。

[0037]

各转动台39，立方体形状地形成，分别向Y箭头方向延伸的同时，还与滑动架37内设置的转动电动机(第1转动电动机MRa及第2转动电动机MRb：参照图11)的输出轴连接。各转动台39，分别接受对应的转动电动机的驱动力，使对应的导向台40以沿着相对基板15的法线方向(Z箭头方向)的轴(旋转轴Cr)为中心转动。

[0038]

各导向台40，大致立方体形状地形成，分别与各转动台39对应的同时，还在其下侧(倾动台41的一侧)，遍及其Y箭头方向的大致全宽地形成断面圆弧状的凹曲面(导向面40s)。各导向面40s，在对应的导向台40的正下方，而且位于被放置到输送台33上的状态的相对电极26上面地形成各自对应的曲率中心Cd(参照图5及图6)。

[0039]

在本实施方式中，将如图5的双点划线所示的各导向台40的配置位置——使对应的曲率中心Cd(图5的点划线)和Y箭头方向平行的配置位置，称作“初始位置”。另外，将如图5的实线所示的第1头组件Ha的导向台40(曲率中心Cd)对于Y箭头方向而言左转第1转动角θra、第2头组件Hb的导向台40(曲率中心Cd)对于Y箭头方向而言，右转第2转动角θrb的配置位置，称作“转动位置”。

[0040]

在图4中，各倾动台41，半圆柱状地形成，分别向Y箭头方向延伸的同时，还在其导向台40的一侧，形成分别与导向面40s对应的凸曲面(滑动面41s)。另外，在各倾动台41的一个侧面——与其滑动面41s相对的侧面(图4中的上面)，形成分别沿着相对基板15的平面(安装面41t)。各倾动台41，分别与滑动架37内设置的倾动电动机(第1倾动电动机MDa及第2倾动电动机MDb：参照图11)的输出轴连接的同时，接受对应的倾动电动机的驱动力，使对应的滑动面41s沿着对应的导向面40s滑动(转动)。就是说，各倾动台41将位于相对电极26之上的曲率中心Cd作为倾动轴，使对应的安装面41t对于相对基板15而言倾动。

[0041]

在本实施方式中，将如图6的双点划线所示的各倾动台41的配置位置——使对应的安装面41t的法线方向(“喷出方向”)和相对基板15的法线方向(“Z箭头方向”)成为平行的配置位置，称作“初始位置”。另外，将如图6的实线所示的倾动台41的配置位置——使对应的安装面41t的法线方向(“喷出方向”)对于相对基板15的法线方向(“Z箭头方向”)而言倾斜规定的角度(“倾斜角”)的配置位置，称作“倾斜位置”。在本实施方式中，将与第1头组件Ha对应的“喷出方向”和“倾斜角”，分别称作“第1喷出方向Aa”和“第1倾斜角θda”；将与第2头组件Hb对应的“喷出方向”和“倾斜角”，分别称作“第2喷出方向Ab”和“第2倾斜角θdb”。

[0042]

此外，在本实施方式中，如图6所示，从Z箭头方向看，第1头组件Ha和第2头组件Hb的双方的倾动台41，分别向X箭头方向的一侧(相对基板15的输送方向一侧)倾斜。

[0043]

在图4中，各安装面41t具备立方体形状形成的液滴喷出头(以下简称“喷出头”)，分别沿着Y箭头方向延伸。在本实施方式中，将与第1头组件Ha对应的喷出头，称作“第1喷出头42a”。另外，将与第2头组件Hb对应的喷出头，称作“第2喷出头42b”。

[0044]

在第1喷出头42a及第2喷出头42b的下侧(图4中的上侧)，分别具备喷嘴板43，同时还在该喷嘴板43的相对基板15的一侧(图4中的上侧)，形成和对应的安装面41t平行的喷嘴形成面43s。在各喷嘴形成面43s上，多个喷嘴分别沿着Y箭头方向，以相等的间隔(喷嘴间距Wn)排列形成。在本实施方式中，将与第1头组件Ha对应的喷嘴，称作“第1喷嘴Na”。另外，将与第2头组件Hb对应的喷出头，称作“第2喷嘴Nb”。

[0045]

在图6中，各第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb，沿着各自对应的喷嘴形成面43s的法线方向即第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab，贯通对应的喷嘴板43后形成。各第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb，配置成为在各自对应的倾动台41位于“初始位置”时，位于曲率中心Cd的Z箭头方向即第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab的相反侧。此外，在本实施方式中，将曲率中心Cd而且与各第1喷嘴Na的第1喷出方向Aa对应的位置，分别称作“第1射中位置Pa”。另外，将曲率中心Cd而且与各第2喷嘴Na的第2喷出方向Ab对应的位置，分别称作“第2射中位置Pb”。

[0046]

然后，正转驱动各倾动电动机，将各倾动台41从“初始位置”配置移动到“倾斜位置”。于是，如图6所示，各第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb，以各自对应的曲率中心Cd即对应的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb为中心，向X箭头方向一侧倾动第1倾斜角θda及第2倾斜角θdb。倾动的各第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb，使各自对应的形成方向(第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab)，对于相对基板15的法线(Z箭头方向)而言，倾斜第1倾斜角θda及第2倾斜角θdb。此外，这时，各第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb，在使各自的形成方向倾斜的过程中，能够维持对应的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb，能够将对应的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb之间的距离，维持成规定的距离(飞行距离L)。就是说，液滴喷出装置30采用能够在变更第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab的过程中，维持各第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb喷出的第1液滴Fa及第2液滴Fb的射中精度的结构。

[0047]

在图7中，在各第1喷嘴Na(第2喷嘴Nb)的第1喷出方向Aa(第2喷出方向Ab)的相反侧，分别形成与所述墨水囊38连通的空腔谐振器44，将来自墨水囊38的取向膜形成材料F，供给对应的第1喷嘴Na(第2喷嘴Nb)。在各空腔谐振器44的第1喷出方向Aa(第2喷出方向Ab)的相反侧，粘贴着可以朝着第1喷出方向Aa(第2喷出方向Ab)及其相反方向振动的振动板45，从而使空腔谐振器44内的容积扩大·缩小。在振动板45的上侧，设置着与各第1喷嘴Na(第2喷嘴Nb)对应的多个第1压电元件PZa(第2压电元件PZb)。各第1压电元件PZa(第2压电元件PZb)，分别接受旨在进行驱动控制的信号(压电元件驱动信号COM：参照图11)后收缩·伸张，使对应的振动板45朝着第1喷出方向Aa(第2喷出方向Ab)及其相反方向振动。此外，本实施方式的压电元件驱动信号COM，根据预先通过试验等设定的波形数据WD(参照图11)生成，设定成在使弯月面圆滑地振动的同时，还用规定的重量使第1液滴Fa及第2液滴Fb的重量稳定。

[0048]

然后，向各第1压电元件PZa及第2压电元件PZb，分别供给压电元件驱动信号COM。于是，各空腔谐振器44的容积扩大·缩小，各第1喷嘴Na(第2喷嘴Nb)内的弯月面(取向膜形成材料F的界面)振动。各第1喷嘴Na(第2喷嘴Nb)内的弯月面振动后，与压电元件驱动信号COM对应的规定的重量(“喷出重量”)的取向膜形成材料F，就作为第1液滴Fa(第2液滴Fb)，从对应的第1喷嘴Na(第2喷嘴Nb)中喷出。喷出的各第1液滴Fa(第2液滴Fb)，分别沿着第1喷嘴Na(第2喷嘴Nb)的形成方向即第1喷出方向Aa(第2喷出方向Ab)，用规定的速度(喷出速度Vf)飞行。

[0049]

在这里，如图8所示，在相对电极26上的形成所述取向膜27的区域(图8所示的双点划线：取向膜形成区域S)中，设定旨在使第1液滴Fa及第2液滴Fb射中的多个晶格结点(目标位置T)。

[0050]

更详细的说，首先，根据取向膜27的膜厚(“目标膜厚”)和所述“喷出重量”，设定喷出的总数量即目标位置T的数量。设定目标位置T的数量后，再设定邻接的目标位置T的X箭头方向及Y箭头方向的间隔(输送间距Wx及排列间距Wy)，以便在取向膜形成区域S内，沿着X箭头方向及Y箭头方向，晶格状配置所述数量的目标位置T。这时，将排列间距Wy设定成比第1喷嘴Na(第2喷嘴Nb)的喷嘴间距Wn短。

[0051]

设定输送间距Wx及排列间距Wy后，根据输送间距Wx及排列间距Wy，计算与取向膜形成区域S对应的各目标位置T的位置坐标。计算出各目标位置T的位置坐标后，在各目标位置T中，将位于取向膜形成区域S的反Y箭头方向一侧的目标位置T，作为旨在分别使第1液滴Fa射中的目标位置T(第1目标位置Ta)。相反，在各目标位置T中，将位于取向膜形成区域S的Y箭头方向一侧的目标位置T，作为旨在分别使第2液滴Fb射中的目标位置T(第2目标位置Tb)。这样，在取向膜形成区域S中，设定旨在使第1液滴Fa或第2液滴Fb射中的目标位置T(第1目标位置Ta及第2目标位置Tb)。

[0052]

此外，在本实施方式中，将取向膜形成区域S内的使第1液滴Fa射中的区域，称作“第1形成区域Sa”。另外，将取向膜形成区域S内的使第2液滴Fb射中的区域，称作“第2形成区域Sb”。

[0053]

而且，设定各目标位置T后，如图9所示，首先驱动控制第1转动电动机MRa，使第1头组件Ha的导向台40转动第1转动角θra(向“转动位置”转动)，以便从X箭头方向看的第1喷嘴Na(第1射中位置Pa)的间隔，分别成为排列间距Wy。另外，驱动控制第2转动电动机MRb，使第2头组件Hb的导向台40转动第2转动角θrb(向“转动位置”转动)，以便从X箭头方向看的第2喷嘴Nb(第2射中位置Pb)的间隔，分别成为排列间距Wy。

[0054]

接着，驱动控制各倾动电动机，倾动各倾动使台41(向“倾动位置”倾动)，以便从X箭头方向看的第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab，在相对基板15的一侧交叉。

[0055]

这样，从相对基板15的法线方向(“Z箭头方向”)看，能够使第1喷出方向Aa由第1形成区域Sa朝着第2形成区域Sb。另外，从相对基板15的法线方向(“Z箭头方向”)看，能够使第2喷出方向Ab由第2形成区域Sb朝着第1形成区域Sa。就是说，能够向第1形成区域Sa的外缘——位于其第2形成区域Sb的外缘(交界)的第1目标位置Ta，喷出具有从第1形成区域Sa的内侧朝着外侧的速度成分的第1液滴Fa。另外，能够向第2形成区域Sb的外缘——位于其第1形成区域Sa的外缘(交界)的第2目标位置Tb，喷出具有从第2形成区域Sb的内侧朝着外侧的速度成分的第2液滴Fb。

[0056]

然后，用输送速度V，朝着X箭头方向输送相对基板15，在各第1射中位置Pa及第2射中位置Pb，分别位于对应的第1目标位置Ta及第2目标位置Tb的时刻，向各第1压电元件PZa及第2压电元件PZb供给压电元件驱动信号COM。

[0057]

于是，如图10所示，来自各第1喷嘴Na的第1液滴Fa，分别沿着第1喷出方向Aa飞行，依次射到第1目标位置Ta(第1射中位置Pa)的区域。另外，来自各第2喷嘴Nb的第2液滴Fb，分别沿着第2喷出方向Ab飞行，依次射到第2目标位置Tb(第2射中位置Pb)的区域。

[0058]

这时，赋予射中的各第1液滴Fa与第1喷出方向Aa对应的相对基板15的切线方向的速度成分(第1喷出切线速度Vfa)。另外，还赋予射中的各第1液滴Fa朝着相对基板15的输送方向的相反侧、与相对基板15的输送速度V对应的相对速度成分(第1输送切线速度Via)。因此，赋予射中的各第1液滴Fa合成这些第1喷出切线速度Vfa和第1输送切线速度Via的方向的速度成分(第1切线速度Va)。

[0059]

其结果，射中第1形成区域Sa的各第1液滴Fa，沿着第1切线速度Va流动，朝着抵抗其表面张力的方向即从第1形成区域Sa向第2形成区域Sb的方向流动。这样，射中的各第1液滴Fa，能够在第2形成区域Sb一侧的外缘，抑制表面张力引起的流动(膜厚降低)，第1切线速度Va引起的流动，则能够使该第2形成区域Sb一侧的膜厚均匀。

[0060]

另一方面，赋予射中的各第2液滴Fb与第2喷出方向Ab对应的相对基板15的切线方向的速度成分(第2喷出切线速度Vfb)。另外，还赋予射中的各第2液滴Fb朝着相对基板15的输送方向的相反侧、与相对基板15的输送速度V对应的相对速度成分(第2输送切线速度Vib)。因此，赋予射中的各第2液滴Fb合成这些第2喷出切线速度Vfb和第2输送切线速度Vib的方向的速度成分(第1切线速度Vb)。

[0061]

其结果，射中第2形成区域Sb的各第2液滴Fb，沿着第2切线速度Vb流动，朝着抵抗其表面张力的方向即从第2形成区域Sb向第1形成区域Sa的方向流动。这样，射中的各第2液滴Fb，能够在第1形成区域Sa一侧的外缘，抑制表面张力引起的流动(膜厚降低)，第2切线速度Vb引起的流动，则能够使该第1形成区域Sa一侧的膜厚均匀。

[0062]

这样，能够分别在第1形成区域Sa和第1形成区域Sb的交界，使由第1液滴Fa构成的第1液态膜LFa和由第2液滴Fb构成的第2液态膜LFb的膜厚均匀。而且，由于提高了交界区域的膜厚均匀性，所以能够提高第1液态膜LFa和由第2液滴Fb接合后形成的取向膜27的膜厚均匀性。

[0063]

接着，根据图11，讲述采用上述结构的液滴喷出装置30的电气性的结构。

在图11中，控制装置51具备构成控制单元及方向信息生成单元的CPU、RAM、ROM等。而且，控制装置51按照RAM及ROM等存放的各种数据及各种程序，输送输送台33滑动架37，在使滑动架37进行扫描的同时，还驱动控制第1头组件Ha及第2头组件Hb。

[0064]

控制装置51与输入装置52、X轴电动机驱动电路53、Y轴电动机驱动电路54、第1台驱动电路55、第1喷出头驱动电路56、第2台驱动电路57及第2喷出头驱动电路58连接。

[0065]

输入装置52，具有起动开关、停止开关等操作开关，在将各种操作信号向控制装置51输入的同时，还将有关相对基板15形成的取向膜27的目标膜厚的信息，作为既定形式的膜厚信息It，向控制装置51输入。

[0066]

然后，将膜厚信息It，由输入装置52向控制装置51输入。于是，控制装置51接收来自输入装置52的膜厚信息It，计算向相对电极26喷出的取向膜形成材料F的总重量。另外，控制装置51根据计算出的总重量和与波形数据WD对应的第1液滴Fa(第2液滴Fb)的重量，计算喷出的第1液滴Fa及第2液滴Fb的数量即各第1目标位置Ta及第2目标位置Tb的位置坐标(输送间距Wx及排列间距Wy)。这时，排列间距Wy被设定成比第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb的喷嘴间距Wn短。

[0067]

接着，控制装置51计算出各目标位置T的位置坐标后，生成、存放旨在向第1目标位置Ta及第2目标位置Tb分别喷出第1液滴Fa及第2液滴Fb的第1描绘数据BMa及第2描绘数据BMb。进而，控制装置51生成、存放构成方向信息的第1转动数据RaD、第2转动数据RbD、第1倾动数据DaD及第2倾动数据GbD。

[0068]

第1描绘数据BMa及第2描绘数据BMb，是分别使包含第1目标位置Ta及第2目标位置Tb的取向膜形成区域S内的各晶格结点，与各自的各比特的值(0或1)对应的数据，按照各比特的值，分别规定第1压电元件PZa及第2压电元件PZb的接通或断开。而且，第1描绘数据BMa规定每当第1射中位置Pa位于对应的第1目标位置Ta上时，喷出第1液滴Fa。另外，第2描绘数据BMb规定每当第2射中位置Pb位于对应的第2目标位置Tb上时，喷出第2液滴Fb。

[0069]

第1转动数据RaD及第2转动数据RbD，是分别用第1转动电动机MRa及第2转动电动机MRb的转数，规定第1转动角θra及第2转动角θrb的数据，根据第1形成区域Sa和第2形成区域Sb的交界位置、排列间距Wy生成。就是说，这些第1转动数据RaD及第2转动数据RbD，规定第1转动电动机MRa及第2转动电动机MRb的转数，以便使各自对应的第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab，朝着第1形成区域Sa和第2形成区域Sb的交界一侧。而且，这些第1转动数据RaD及第2转动数据RbD，规定第1转动电动机MRa及第2转动电动机MRb的转数，以便从各自的X箭头方向看的第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb的间隔，成为排列间距Wy。

[0070]

第1倾动数据DaD及第2倾动数据DbD，是分别用第1倾动电动机MDa及第2倾动电动机MDb的转数，规定第1倾斜角θda及第2倾斜角θdb的数据，根据输送间距Wx和排列间距Wy生成。就是说，这些第1倾动数据DaD及第2倾动数据DbD，根据预先进行的试验等，规定第1转动电动机MRa及第2转动电动机MRb的转数，以便使射中的第1液滴Fa及第2液滴Fb的长径及短径，分别大于输送间距Wx及排列间距Wy。

[0071]

X轴电动机驱动电路53，应答来自控制装置51的与X轴电动机驱动电路53对应的驱动控制信号，使X轴电动机MX正转或反转，从而使输送台33往复移动。向该X轴电动机驱动电路53被输入来自X轴电动机MX具备的X轴电动机旋转检出器MEX的检出信号。X轴电动机驱动电路53在根据来自X轴电动机旋转检出器MEX的检出信号，计算输送台33(相对基板15)的移动方向及移动量的同时，还作为基板位置信息SPI，生成有关输送台33(各目标位置T)的现在位置的信息。而且，控制装置51接收来自X轴电动机驱动电路53的基板位置信息SP1后，输出各种信号。

[0072]

Y轴电动机驱动电路54，应答来自控制装置51的与Y轴电动机驱动电路54对应的驱动控制信号，使Y轴电动机MY正转或反转，从而使滑动架37往复移动。向该Y轴电动机驱动电路54被输入来自Y轴电动机MY具备的Y轴电动机旋转检出器MEY的检出信号。Y轴电动机驱动电路54在根据来自Y轴电动机旋转检出器MEY的检出信号，计算滑动架37(第1头组件Ha及第2头组件Hb)的移动方向及移动量的同时，还作为滑动架位置信息CPI，生成有关滑动架37的现在位置的信息。而且，控制装置51接收来自Y轴电动机驱动电路54的滑动架位置信息CPI后，输出各种驱动信号。

[0073]

更详细的说，控制装置51根据基板位置信息SP1及滑动架位置信息CP1，在相对基板15进入滑动架37的正下方之前，生成第1喷出控制信号SIa，以便使与相对基板15的输送量(往动或复动)对应的第1描绘数据BMa，与规定的时钟脉冲信号同步。另外，控制装置51生成第2喷出控制信号SIb，以便使与相对基板15的输送量(往动或复动)对应的第2描绘数据BMb，与规定的时钟脉冲信号同步。而且，控制装置51每当扫描滑动架37时，将生成的第1喷出控制信号SIa及第2喷出控制信号SIb，分别依次串行传输给第1喷出头驱动电路56及第2喷出头驱动电路58。

[0074]

另外，控制装置51根据基板位置信息SP1，每当第1射中位置Pa位于第1目标位置Ta时，生成旨在驱动对应的第1压电元件PZa的信号(第1喷出时刻信号LPa)。另外，控制装置51根据基板位置信息SP1，每当第2射中位置Pb位于第2目标位置Tb时，生成旨在驱动对应的第2压电元件PZb的信号(第2喷出时刻信号LPb)。而且，控制装置51将生成的第1喷出时刻信号LPa及第2喷出时刻信号LPb，分别逐次向第1喷出头驱动电路56及第2喷出头驱动电路58输出。

[0075]

第1台驱动电路55，应答来自控制装置51的第1转动数据RaD，使驱动第1头组件Ha的转动台39的第1转动电动机MRa正转或反转。另外，第1台驱动电路55，应答来自控制装置51的第1倾动数据DaD，使倾动第1头组件Ha的倾动台41的第1倾动电动机MDa正转或反转。

[0076]

第1喷出头驱动电路56，与多个所述第1压电元件PZa连接。第1喷出头驱动电路56，被供给来自控制装置51的波形数据WD、第1喷出控制信号SIa及第1喷出时刻信号LPa。第1喷出头驱动电路56，接收来自控制装置51的第1喷出控制信号SIa后，使该第1喷出控制信号SIa与各第1压电元件PZa对应，依次进行串行/并行变换。而且，第1喷出头驱动电路56，每当接收来自控制装置51的第1喷出时刻信号LPa时，根据经过串行/并行变换的第1喷出控制信号SIa，将波形数据WD产生的压电元件驱动信号COM，供给选择的第1压电元件PZa。就是说，第1喷出头驱动电路56，每当各第1射中位置Pa位于第1目标位置Ta时，就向对应的第1压电元件PZa供给压电元件驱动信号COM。

[0077]

第2台驱动电路57，应答来自控制装置51的第2转动数据RbD，使驱动第2头组件Hb的转动台39的第2转动电动机MRb正转或反转。另外，第2台驱动电路57，应答来自控制装置51的第2倾动数据DbD，使倾动第2头组件Hb的倾动台41的第2倾动电动机MDb正转或反转。

[0078]

第2喷出头驱动电路58，与多个所述第2压电元件PZb连接。第2喷出头驱动电路58，被供给来自控制装置51的波形数据WD、第2喷出控制信号SIb及第2喷出时刻信号LPb。第2喷出头驱动电路58，接收来自控制装置51的第2喷出控制信号SIb后，使该第2喷出控制信号SIb与各第2压电元件PZb对应，依次进行串行/并行变换。而且，第2喷出头驱动电路58，每当接收来自控制装置51的第2喷出时刻信号LPb时，根据经过串行/并行变换的第2喷出控制信号SIb，将波形数据WD产生的压电元件驱动信号COM，供给选择的第2压电元件PZb。就是说，第2喷出头驱动电路58，每当各第2射中位置Pb位于第2目标位置Tb时，就向对应的第2压电元件PZb供给压电元件驱动信号COM。

[0079]

接着，讲述使用上述的液滴喷出装置30，形成取向膜27的方法。

首先，如图3所示，将相对基板15放置到输送台33上。这时，输送台33配置在与滑动架37相比，靠近反X箭头方向的一侧。滑动架37则配置在导向部件35的最反Y箭头方向的一侧。另外，各导向台40及倾动台41，被分别配置在“初始位置”。

[0080]

在该状态下，操作输入装置52，将膜厚信息It输入控制装置51。于是，控制装置51计算与膜厚信息It(目标膜厚)对应的输送间距Wx及排列间距Wy、即第1目标位置Ta及第2目标位置Tb的位置坐标。另外，控制装置51根据第1目标位置Ta及第2目标位置Tb的位置坐标，生成、存放第1描绘数据BMa及第2描绘数据BMb。另外，控制装置51根据第1目标位置Ta及第2目标位置Tb的位置坐标，生成、存放第1转动数据RaD、第2转动数据RbD、第1倾动数据DaD及第2倾动数据GbD，

[0081]

存放各种数据后，控制装置51通过第1台驱动电路55及第2台驱动电路57做媒介，配置移动各导向台40。就是说，控制装置51根据第1转动数据RaD及第2转动数据RbD，分别将第1头组件Ha及第2头组件Hb的导向台40，从“初始位置”配置移动到“转动位置”。配置移动各导向台40后，控制装置51通过第1台驱动电路55及第2台驱动电路57做媒介，配置移动各倾动台41。就是说，控制装置51根据第1倾动数据DaD及第2倾动数据DbD，分别将第1头组件Ha及第2头组件Hb的倾动台41，从“初始位置”配置移动到“转动位置”。

[0082]

配置移动各导向台40及各倾动台41后，控制装置51驱动控制Y轴电动机MY，将相对基板15向X箭头方向输送时，配置移动滑动架37，以便使各第1射中位置Pa及各第2射中位置Pb分别位于对应的第1目标位置Ta及第2目标位置Tb的路线上。

[0083]

这样，控制装置51在从对应的第1形成区域Sa的内侧朝着邻接的第2形成区域Sb的一侧，固定第1喷出方向Aa。另外，控制装置51在从对应的第2形成区域Sb的内侧朝着邻接的第1形成区域Sa的一侧，固定第2喷出方向Ab。

[0084]

固定第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab后，控制装置51驱动控制X轴电动机MX，开始向输送台33(相对基板15)的X箭头方向进行扫描。

这时，控制装置51使波形数据WD和规定的时钟脉冲信号同步，向第1喷出头驱动电路56及第2喷出头驱动电路58输出。另外，控制装置51使与相对基板15的扫描量对应的第1描绘数据BMa及第2描绘数据BMb和规定的时钟脉冲信号同步，分别生成第1喷出控制信号SIa及第2喷出控制信号SIb。进而，控制装置51将生成的第1喷出控制信号SIa及第2喷出控制信号SIb串行传输给第1喷出头驱动电路56及第2喷出头驱动电路58。

[0085]

然后，控制装置51根据基板位置信息SPI及滑动架位置信息CPI，每当第1射中位置Pa位于对应的第1目标位置Ta上时，向第1喷出头驱动电路56输出第1喷出时刻信号LPa。另外，控制装置51每当第2射中位置Pb位于对应的第2目标位置Tb上时，向第2喷出头驱动电路58输出第2喷出时刻信号LPb。

[0086]

输出第1喷出时刻信号LPa后，控制装置51通过第1喷出头驱动电路56做媒介，实行根据第1喷出控制信号SIa的液滴喷出动作。

就是说，每当第1射中位置Pa位于对应的第1目标位置Ta上时，控制装置51就向对应的第1压电元件PZa供给压电元件驱动信号COM，使对应的第1喷嘴Na喷出第1液滴Fa。喷出的各第1液滴Fa，分别向着第1喷出方向Aa飞行，依次射中对应的第1目标位置Ta。射中的各第1液滴Fa，分别沿着合成第1喷出切线速度Vfa和第1输送切线速度Via的第1切线速度Va的方向流动。这样，朝着抵抗其表面张力的方向、即朝着从第1形成区域Sa向第2形成区域Sb的方向流动。这样，能够在第1形成区域Sa形成由第1液滴Fa构成的第1液态膜LFa，能够在第2形成区域Sb一侧的外缘，抑制表面张力引起的流动(膜厚降低)。而且，第1切线速度Va引起的流动，还能够在第1液态膜LFa的第2形成区域Sb的一侧，使其膜厚均匀。

[0087]

另外，输出第2喷出时刻信号LPb后，控制装置51通过第2喷出头驱动电路58做媒介，实行根据第2喷出控制信号SIb的液滴喷出动作。

就是说，每当第2射中位置Pb位于对应的第2目标位置Tb上时，控制装置51就向对应的第2压电元件PZb供给压电元件驱动信号COM，使对应的第2喷嘴Nb喷出第2液滴Fb。喷出的各第2液滴Fb，分别向着第2喷出方向Ab飞行，依次射中对应的第2目标位置Tb。射中的各第2液滴Fb，分别沿着合成第2喷出切线速度Vfb和第2输送切线速度Vib的第2切线速度Vb的方向流动，朝着抵抗其表面张力的方向、即朝着从第2形成区域Sb向第1形成区域Sa的方向流动。这样，能够在第2形成区域Sb形成由第2液滴Fb构成的第2液态膜LFb，能够在第1形成区域Sa一侧的外缘，抑制表面张力引起的流动(膜厚降低)。而且，第2切线速度Vb引起的流动，还能够在第2液态膜LFb的第1形成区域Sa的一侧，使其膜厚均匀。

[0088]

然后，能够在由第1液滴Fa构成的第1液态膜LFa和由第2液滴Fb构成的第2液态膜LFb的交界区域，使其膜厚均匀，能够形成提高膜厚均匀性的取向膜27。

[0089]

接着，列举采用以上结构的本实施方式的效果。

(1)采用上述实施方式后，向第1形成区域Sa喷出来自第1喷出方向Aa的第1液滴Fa，赋予射中的第1液滴Fa从第1形成区域Sa的内侧向外侧(第2形成区域Sb的一侧)的速度成分。另外，向第2形成区域Sb喷出来自第2喷出方向Ab的第2液滴Fb，赋予射中的第2液滴Fb从第2形成区域Sb的内侧向外侧(第1形成区域Sa的一侧)的速度成分。

[0090]

而且，能够赋予第1形成区域Sa的外缘——射到第2形成区域Sb的外缘的各第1液滴Fa，抵抗其表面张力的向外侧的流动。其结果，在第1液态膜LFa的第2形成区域Sb的一侧，能够提高其膜厚均匀性。另外，能够赋予第2形成区域Sb的外缘——射到第1形成区域Sa的外缘的各第2液滴Fb，抵抗其表面张力的向外侧的流动。其结果，在第2液态膜LFb的第1形成区域Sa的一侧，能够提高其膜厚均匀性。这样，能够提高取向膜27的膜厚均匀性。

(2)而且，接合第1液态膜LFa和第2液态膜LFb后，形成取向膜27。这样，能够提高取向膜27的膜厚均匀性。

(3)采用上述实施方式后，分别赋予射中的第1液滴Fa及第2液滴Fb，沿着第1形成区域Sa及第2形成区域Sb的外缘(反X箭头方向)的速度成分(第1输送切线速度Via及第2输送切线速度Vib)。这样，能够赋予射到第1形成区域Sa及第2形成区域Sb的外缘的第1液滴Fa及第2液滴Fb，沿着外缘流动(的力)。其结果，由于使第1液滴Fa及第2液滴Fb沿着外缘流动，所以能够提高沿着外缘的膜厚的均匀性。进而，能够提高取向膜27的膜厚均匀性。

(4)采用上述实施方式后，根据与取向膜形成区域S对应的目标位置T，生成第1转动数据RaD、第2转动数据RbD、第1倾动数据DaD及第2倾动数据GbD。而且，根据这些第1转动数据RaD、第2转动数据RbD、第1倾动数据DaD及第2倾动数据GbD，设定第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab。这样，能够分别赋予第1液滴Fa及第2液滴Fb的两者，与取向膜形成区域S(第1取向膜形成区域Sa及第2取向膜形成区域Sb)对应的第1切线速度Va及第2切线速度Vb。其结果，能够更加切实地提高取向膜27的膜厚均匀性。

(5)采用上述实施方式后，从相对基板15的输送方向(X箭头方向)看，使第1喷出方向Aa和第2喷出方向Ab交叉。而且，通过相对基板15的一次扫描，能够使第1液滴Fa和第2液滴Fb双双射中。其结果，能够不影响取向膜27的生产效率地提高其膜厚均匀性。

[0091]

另外，能够使交界区域中的第1液滴Fa和第2液滴Fb射中时刻，大致相同。因此，能够抑制第1液滴Fa和第2液滴Fb的干燥状态的差异引起的膜厚变动，能够进一步提高取向膜27的膜厚均匀性。

[0092]

此外，上述实施方式，可以进行如下变更。

·在上述实施方式中，接合第1液态膜LFa和第2液态膜LFb后形成取向膜27。但并不局限于此，既可以采用形成只由第1液态膜LFa构成的图案的结构，或者还可以采用形成只由第2液态膜LFb构成的图案的结构。这样，至少对于由第1液态膜LFa构成的图案而言，能够提高第1切线速度Va一侧的外缘的膜厚均匀性。或者对于由第2液态膜LFb构成的图案而言，能够提高第2切线速度Vb一侧的外缘的膜厚均匀性。

·在上述实施方式中，采用使来自第1喷出方向Aa(第2喷出方向Ab)的第1液滴Fa(第2液滴Fb)射到整个第1形成区域Sa(第2形成区域Sb)中的结构。但并不局限于此，例如可以采用使来自第1喷出方向Aa(第2喷出方向Ab)的第1液滴Fa(第2液滴Fb)只射到第1形成区域Sa(第2形成区域Sb)的外缘——其第2形成区域Sb一侧(第1形成区域Sa一侧)的外缘中的结构。

[0093]

这样，能够只在第1液态膜LFa(第2液态膜LFb)的第2形成区域Sb(第1形成区域Sa)的一侧的外缘，提高其膜厚均匀性，能够保持其它的外缘的膜厚均匀性。

·或者也可以采用按照分别从第1形成区域Sa(第2形成区域Sb)的内侧朝着外侧的喷出方向，喷出向第1形成区域Sa(第2形成区域Sb)的外缘喷出的所有的第1液滴Fa(第2液滴Fb)的结构。这样，能够遍及第1形成区域Sa(第2形成区域Sb)的整个外缘，提高其膜厚均匀性。

·在上述实施方式中，从相对基板15的法线方向看，第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab具有输送台33的扫描方向的成分。但并不局限于此，也可以采用从相对基板15的法线方向看，第1喷出方向Aa及第2喷出方向Ab具有输送台33的反扫描方向的成分的结构。

·在上述实施方式中，分别向第1压电元件PZa及第2压电元件PZb供给由共同的波形数据WD构成的压电元件驱动信号COM，喷出规定容量的第1液滴Fa及第2液滴Fb。但并不局限于此，例如可以采用向第1压电元件PZa及第2压电元件PZb供给由不同的波形数据WD构成的压电元件驱动信号COM，喷出不同重量的第1液滴Fa及第2液滴Fb的结构。

·在上述实施方式中，采用分别只具备一个第1喷出头42a及第2喷出头42b的结构。但并不局限于此，可以采用具备多个第1喷出头42a或第2喷出头42b的结构。

·在上述实施方式中，采用分别只具备一列第1喷嘴Na及第2喷嘴Nb的结构。但并不局限于此，可以采用具备多列第1喷嘴Na或第2喷嘴Nb的结构。

·在上述实施方式中，将图案具体化成液晶显示装置10的取向膜27。但并不局限于此，例如可以具体化成液晶显示装置10及利用由电子释放元件释放的电子产生的荧光物质的发光的电场效应型装置(FED及SED)设置的各种薄膜、金属布线、彩色滤色片等。就是说，只要是由射中的液滴形成的图案就行。

·在上述实施方式中，将基板具体化成液晶显示装置10的相对基板15。但并不局限于此，也可以将基板具体化成硅基板、挠性基板或金属基板等。

·在上述实施方式中，将电光学装置具体化成液晶显示装置10。但并不局限于此，也可以将电光学装置具体化成电致发光元件装置。

Claims (10)

1、一种图案形成方法，向基板的图案形成区域喷出图案形成材料的液滴后形成图案，其特征在于：

从所述基板的法线方向看，以从所述图案形成区域的内侧朝着外侧的喷出方向，将所述液滴喷向所述图案形成区域的外缘。

2、如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于：所述外缘，是邻接的多个所述图案形成区域的交界；

从所述基板的法线方向看，以从所述图案形成区域的内侧向着所述交界的喷出方向，喷出所述液滴。

3、如权利要求2所述的图案形成方法，其特征在于：从所述基板的法线方向看，以具有沿着所述图案形成区域的外缘的成分的所述喷出方向，喷出所述液滴。

4、一种液滴喷出装置，向基板的图案形成区域喷出图案形成材料的液滴后形成图案，其特征在于：

具备从所述基板的法线方向看，以从所述图案形成区域的内侧朝着外侧的喷出方向，将所述液滴喷向所述图案形成区域的外缘的液滴喷出头。

5、如权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于：所述基板，具备邻接的多个所述图案形成区域；

所述外缘，是邻接的多个所述图案形成区域的交界。

6、如权利要求4或5所述的液滴喷出装置，其特征在于：具备方向设定单元，该单元移动所述液滴喷出头，设定所述喷出方向。

7、如权利要求6所述的液滴喷出装置，其特征在于，具备：方向信息生成单元，该单元生成与所述图案形成区域对应的所述喷出方向有关的方向信息；和

控制单元，该单元根据所述方向信息，驱动控制所述方向设定单元。

8、如权利要求7所述的液滴喷出装置，其特征在于：具备多个所述液滴喷出头，和

与所述多个液滴喷出头对应的多个所述方向设定单元；

所述方向信息生成单元，生成所述方向信息，以便使与所述多个液滴喷出头对应的各喷出方向，在所述基板侧交叉。

9、如权利要求4～8任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于：具备移动单元，该单元使所述基板针对所述液滴喷出头产生相对移动，以便使所述喷出方向具有沿着所述图案形成区域的外缘的成分。

10、一种电光学装置，其特征在于：具备由权利要求4～9任一项所述的液滴喷出装置形成的图案。

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