CN100591443C - 用于生产金属粉末的方法 - Google Patents

用于生产金属粉末的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN100591443C
CN100591443C CN200580029474A CN200580029474A CN100591443C CN 100591443 C CN100591443 C CN 100591443C CN 200580029474 A CN200580029474 A CN 200580029474A CN 200580029474 A CN200580029474 A CN 200580029474A CN 100591443 C CN100591443 C CN 100591443C
Authority
CN
China
Prior art keywords
reactor
processing gas
metal
improving
methods
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN200580029474A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101022905A (zh
Inventor
K·S·科利
A·马卡里安
S·萨贝里
R·肖贝尔
R·A·斯蒂芬
L·M·蒂姆伯格
E·B·沃斯蒙德
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vale Canada Ltd
Original Assignee
Vale Canada Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vale Canada Ltd filed Critical Vale Canada Ltd
Publication of CN101022905A publication Critical patent/CN101022905A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100591443C publication Critical patent/CN100591443C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/16—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
    • B22F9/18—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with reduction of metal compounds
    • B22F9/28—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with reduction of metal compounds starting from gaseous metal compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/16—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
    • B22F9/30—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with decomposition of metal compounds, e.g. by pyrolysis
    • B22F9/305—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with decomposition of metal compounds, e.g. by pyrolysis of metal carbonyls
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
    • C22B5/00—General methods of reducing to metals
    • C22B5/02—Dry methods smelting of sulfides or formation of mattes
    • C22B5/20—Dry methods smelting of sulfides or formation of mattes from metal carbonyls

Abstract

一种用于通过化学气相沉积和溶解技术生产超细球形金属粉末的方法，该方法包括羰基金属，将所述含金属的加工气体向上推进通过加热的反应器。通过采用向上气流而不是传统的向下气流，取得了更加接近理论栓塞流速度分布图，由此导致理想的更窄颗粒尺寸分布，避免或者降低了对后续分级技术的需求。

Description

用于生产金属粉末的方法
技术领域
本发明总的说来涉及金属粉末且更具体地，涉及用于生产超细球形金属粉末的方法。
背景技术
由于电子设备的尺寸不可阻挡地不断减小，使其个体和集体元件的小型化成为持续的需求。
特别地，由非聚集的、直径在1微米以下的球形颗粒组成的金属粉末是一致的需求。
这些粉末构成可以以1-10微米的烧成厚度印刷为特别薄的电极以用于多层陶瓷电容器(“MLCC”)的油墨。超细金属粉末还用于金属涂敷糊和其它应用。
用于制造球形超细金属颗粒的领先工业方法是通过气相化学沉积(“CVD”)。在该反应中，含有金属的蒸气通过由高温条件引发的化学反应被转换为气溶胶金属颗粒。使用NiCl2作为前体的所述方法的实例可以参见Ishikowa的美国专利5,853,451，Kogohaski等人的专利6,235,077B1和Ito等人的美国专利6,391,084B1。所述第一项专利公开了一种卧式反应器而后两项专利公开的是下降流立式反应器。
其它的CVD反应利用羰基金属，例如羰基镍(Ni(CO)4)、羰基铁(Fe(CO)5)等等。代表性方法可参见Schlecht等人的美国专利1,836,732，Schlecht等人的美国专利2,663,630和Schlecht等人的美国专利2,851,347。所公开的是立式分解器。
类似地，所述前体可以为含有溶解的金属或金属化合物的溶液的雾状物，其在高温下分解而得到金属颗粒。该CVD方法被称作喷雾热解，通常使用气溶胶热壁管式反应器。
使用添加剂来控制由CVD制造的金属粉末的形态已有多年历史。West等人的美国专利3,367,768公开了向分解器中加入氨。Llewelyn的美国专利3,702,761介绍了形成氧化氮以促进其方法。Pfeil的美国专利4,673,430教导利用加入硫或含硫化合物来生产细小球形镍粉末。这些上述参考使用了羰基化方法。Katayama等人的美国专利6,402,803B1类似地公开了由常规NiCl2还原法制得的含硫颗粒。
公知多种添加剂用来控制所得粉末的尺寸、形状和晶体结构。但是，这些添加剂没有排除或控制聚集问题。颗粒倾向于凝聚在一起，即使是在微观尺度上也是这样，这对电子元件是有害的，因为聚集可能引起短路及其它问题。
无论粉末生产多么先进，用于生产金属粉末的CVD方法的一个长期存在的缺点是所得颗粒的分布非常宽。这是由于颗粒在反应器中的停留时间是载气的流场的函数而产生的。除非所述流场完全均匀，也就是所谓的“栓塞流(plug flow)”速度分布图，否则处于反应器不同部位的颗粒将在不同的反应条件(温度、浓度和时间)下生产。由此，CVD方法对于生产具有非常窄粒度分布的颗粒是不利的。为了克服这一问题，工业上已经研发了多种方法以对CVD方法制备的粉末分级，从而通过缩窄粒度分布使得这些粉末更加适合用于MLCC及其它应用。例如旋液分离、风力分级和离心的分级方法教导于多项专利中，例如Mukuno等人的美国专利6,494,931B1和Ito等人的美国专利6,454,830B1，以用来生产具有所需尺寸分布的CVD粉末。这些方法的缺点在于额外的工艺步骤带来了显著上升的总体生产成本。
已经使用热壁管式反应器(也是公知的分解器)超过70年以通过羰基镍和羰基铁蒸气的分解来制造细小粉末。在标准配置中，处于惰性载气中的羰基金属蒸气通过喷嘴流入反应器顶部。所述反应器典型地具有大约5∶1的长径比，并且由通过壁的传导进行加热。羰基金属在其它情况下为空置(otherwise empty)的反应器内部空间分解，且所得气溶胶被向下携带穿过反应器并进入粉末固结器(consolidator)。从反应器顶部进料气体的一个特征在于在固结器中颗粒的沉降得到重力的帮助。不幸的是，由该配置产生的流场并不均匀，并因而使其对于生产具有所需窄粒度分布的金属颗粒来说并非最优化的。
本发明发明人确定了由Ni(CO)4在热壁管式反应器中的CVD反应制得的镍颗粒的粒度分布可以通过如下方式显著缩窄：对反应器中的加工气体的流场进行设计，使其速度分布图更接近于理想的栓塞流形式；其中流体的所有小块(parcel)或通量(flux)都在反应器内以相同的速度移动。与之相反，在目前的实践中，由于器壁边界条件和温度梯度，以及其它因素，使得重力驱动速度分布图在完全发展时更加接近于抛物线形式，其中处于物流中心的颗粒比靠近器壁的颗粒移动更快，造成广泛相异的停留时间分布及随之而来的大的且变化的颗粒尺寸分布。
发明内容
本发明提供了用于从CVD方法气体源生产超细且非聚集的金属粉末的基于气体的方法，该方法通过如下完成：将含有金属的加工进料气引入反应器底部而非反应器的顶部或中部。
附图说明
图1是现有技术的横截面仰视图。
图2是本发明一个实施方案的横截面仰视图。
图3包含一系列的速度分布图。
图4包含一系列的速度分布图。
图5是颗粒尺寸分布图。
图6是颗粒尺寸分布图。
图7是本发明的一个实施方案提供的金属粉末的显微照片。
具体实施方式
图1表示了目前现有技术实践中采用具有至少基本上垂直于水平支撑件22的垂直对称轴a的基本上为垂直方向的下降流反应器10。初始的CVD加工气体被向下引入位于反应器10的上端的入口12。所述反应器由盘管18进行加热，且所得金属颗粒由位于反应器10下端20的出口16取出。为了简化，一般性的控制元件、安全装置、仪表、开口等没有标出。
术语“上部的”、“下部的”、“顶部的”、“底部的”、“垂直的”和“水平的”等是用来标识各种元件方向的任意的常规术语。各种数值之前的形容词“大约”应该被理解为也应用于连续数值中的每一个，除非另有指明。“超细”、“特细”和“细小”等是用于表示具有大约1微米及更低直径的颗粒的同义术语。
在图1所示的反应器10中，通过气态前体的分解进行的过程基本上发生在由加热盘管18环绕的内管24中。入口12通过水冷喷嘴26引入CVD加工气体。
图2表示本发明的一个实施方案，其对常规反应器进行倒置以提供具有至少基本上垂直于基本水平支撑件42的垂直取向的对称轴b的上升流反应器30。初始的一种或多种CVD加工气体通过设置于反应器30下端34的入口32引入反应器30。CVD气体被压差向上推进穿过反应器30，并由盘管38加热，由此，颗粒由位于反应器30上端40的出口36取出。
反应发生在由加热盘管38环绕的无液体内管44中。入口32通过水冷喷嘴46引入所述一种或多种CVD加工气体。
用于评价反应器中的三维内部流动分布图的方法有两套：a)物理模型和b)计算流体动力学。在前一方法中，建立体系的物理模型并从模型获得流动测量值。或者，计算流体动力学(“CFD”)可以用来求解通过单元的大型三维阵列的质量和能量守恒方程。CFD的优点是温度、化学反应和气体组成的影响都可以包括在计算中。
使用CFXTM 4.4软件(ANSYS，Inc.，Cannonsburg，Pennsylvania，USA)对如图1和2所示几何图形的反应器10和30进行CFD分析(入口喷嘴12直径为22mm，内管24直径为45mm，管24高度为250mm)。进行分析以确定命名为情况A的流动情况(scenario)。情况A如下组成：流动速率为大约18slpm(标准升每分钟)的进料气，该气体包括大约2体积％的Ni(CO)4和大约400ppm(每百万份的份数)NH3，其余部分为CO，反应器10的外壁温度为大约620℃的平均温度。在第一次模拟中，进料气由反应器10的顶部进料，这是常规配置。反应器10的几何形态示于图1中且此后将被称作“下降流配置”。在第二次模拟中，使用相同的流动和温度条件，不同的是进料气从反应器30底部的入口32进料。反应器30的几何形态示于图2中并将被称作“上升流配置”。在两种情况中内部入口12和32偏离(diverge)22mm。
每次模拟(情况A下降流和情况A上升流)所得的速度分布图分别显示于图3和图4中。每次测量分别从入口12和32的顶部和底部进行。可以从这些分布图中看出，在两种情况下初始进入作用都导致不均匀的速度分布图。参见图3(a)和图4(a)。但是，在情况A上升流模拟中，速度分布图开始接近理想的优选栓塞流形状(图4b-4e)，而情况A下降流保持衰减的抛物线分布图(图3b-c)。如前注意到的，发明人已假设栓塞流流场中制得的CVD粉末具有更加狭窄的尺寸分布，使其用于MLCC粉末及其它应用时更为有利。
在用于情况A流动情况的实验反应器中运行了三次测试。测试021212在下降流配置中进行而测试030522和030915在上升流配置中进行。从每一实验得到的粉末通过激光散射(Malvern MastersizerTM2000)分析其粒度分布(“PSD”)；比表面积(“SSA”)；由x射线(XRD)衍射分析微晶尺寸(“Crys”)；以及化学分析。所得结果显示在表1中。由光散射进行的这些实验的体积颗粒尺寸分布如表5所示。上升流方向的主要益处是去除了尺寸分布右侧中从大约5微米延伸至16微米的“低质侧翼”(coarse shoulder)。
表1：粉末性质
Figure C20058002947400091
在层流情态中，反应器中流体的小块以最少量的相互作用一起移动。如果反应器的速度分布图不均匀，则流体的每一小块将具有不同停留时间，且温度分布图和随之的颗粒尺寸分布将会较宽。可以使用CFD来评估对于栓塞流条件的偏差，并因此可以提供是否能够期望特别的反应器设计能带来对缩窄尺寸分布的改进的指标。
为了定量表示相对于栓塞流条件的偏差，可以调用比较指数在使停留时间分布的差异最小化的基础上来定量两个流动分布图的差别。将要最小化的量是在局部速度和平均速度之间的偏差半径的总和-该量的最小值对应于其中速度分布图平坦、且流场中的所有流体成员具有同样的停留时间的条件。对于这一总和作出贡献的每一个应该通过相应的质量通量进行加权(weighted)。根据连续性的原则，所述质量通量正比于轴向速度乘以径向面积。应该被最小化的比较指数通过如下方程进行计算：
Σ i = 1 i = i max | v i | ( r i 2 - r i - 1 2 ) | v i - v avg | 方程1
其中vi和ri为对于总和的第i个成员的轴向速度和管半径。如果速度分布图关于管的中心对称，则所述总和可超过管直径的一半。对于所有其它条件均相等的两个速度分布图来说，具有较小的该比较指数值的栓塞流特征对于分布图来说是最好的。
表2显示了对于情况A上升流和下降流条件的该比较指数，数学地表明了上升流配置将如何产生比下降流配置更窄的停留时间分布。这一结果来自于实验021212和030522以及030915的实验结果的比较，所述实验在具有较少聚集颗粒的上升流配置中完成，所有的其它因素相同。
表2：对于情况A下降流和情况A上升流的速度分布图的比较指数(Eqn1)值
  离入口12/34的轴向距离   情况A下降流   情况A上升流
  5cm   3.12x10<sup>-5</sup>   2.25x10<sup>-5</sup>
  10cm   1.29x10<sup>-5</sup>   4.28x10<sup>-6</sup>
  15cm   1.51x10<sup>-5</sup>   7.05x10<sup>-6</sup>
  20cm   1.74x10<sup>-5</sup>   9.13x10<sup>-6</sup>
  25cm   1.88x10<sup>-5</sup>   9.84x10<sup>-6</sup>
如前描述的实验并不意味着代表了可以获得的最细(finest)颗粒尺寸，而更确切地说是突出了可以将反应器流场的计算流体动力学分析用于研究能够用来对所有其它因素均等同的两项设计之间进行比较的数学比较指数。特别地，以显示出该原理可用于确定在上升流配置中运行倒置的传统CVD管式反应器30可以获得更窄的颗粒尺寸分布。可以显示出通过使用SO2代替NH3，可以获得甚至更细的颗粒尺寸。实验030905在情况A条件下使用上升流配置运行，并具有甚至更细的颗粒，如图6和表1所示。从先前Pfeil的美国专利4,673,430在1940年代所进行的Inco工作中已经公知的是，硫和含硫掺杂物可用于降低颗粒尺寸。未公开的载硫气体也在Katayama等人的美国专利6,402,803B1中进行了教导。但是在该专利中，公开的是将硫用于控制颗粒的结晶习性。在本发明中，相对于常用添加剂NH3来说，硫的存在对于颗粒形态没有明显影响。
情况B在如下条件下运行：大约13slpm的加工气体，其包括大约3.1-3.8体积％的羰基镍，不同水平的SO2，其余为CO，平均外壁温度为大约620℃。
对情况B条件进行CFD分析。表3显示，早前研究的比较指数在上升流模式中再次降低，表明了更窄的停留时间分布。对于情况B在上升流配置中的实验结果显示于表1。SO2以大约200-1600ppm的水平进行测试。可以看出所有实验的颗粒尺寸非常相似，表明优化流场并使用公知添加剂的结合可以制造具有狭窄尺寸分布的非常细小颗粒。在实验的范围内，当气体中的SO2水平升高时，最终产品中的硫增多，碳水平不受影响，微晶尺寸稍微降低，氧气增加，以及体积分布的d50和d100均降低。SO2的水平可以用来确定最终应用所需的准确的性能结合。大约400ppmSO2的水平提供了对于MLCC应用来说所有的这些性能之间的良好妥协。
图7显示了来自于与实验030707相同条件下所运行实验的粉末的显微图像，以展示由上升流方法生产的颗粒的尺寸和形状。
表3：对于情况B下降流和情况B上升流的速度分布图的比较指数(Eqn1)值
  离入口12/34的轴向距离  情况B下降流   情况B上升流
  5cm  3.24x10<sup>-5</sup>   7.92x10<sup>-6</sup>
  10cm  1.25x10<sup>-5</sup>   4.17x10<sup>-6</sup>
  15cm  5.33x10<sup>-5</sup>   10.6x10<sup>-6</sup>
  20cm  5.52x10<sup>-5</sup>   9.69x10<sup>-6</sup>
  25cm  6.02x10<sup>-5</sup>   8.21x10<sup>-6</sup>
本发明一般来说可以采用任何CVD方法且特别地，采用羰基金属(例如羰基镍、羰基铁、羰基钴等等)来进行。
如前所注意到的，目前CVD方法使用了传统上由顶部进料加工气体的立式反应器。通过将一种或多种加工气体从反应器的底部引入，通过采用上升流方法得到了更窄的停留时间和更紧密的粉末尺寸分布。
本领域技术人员能够认识到，由于含金属的加工气体通过反应器30被向上推进，本方法能够高效地生产超细球形粉末。有利地，对称轴b优选垂直定向以垂直于地面或其它基本上水平放置的支撑表面42。但是，可以预见在实际的工业实践中可以存在相对于标准状态的微小偏差。本方法的关键在于垂直向上流动的栓塞流速度分布所带来的结果。任何向上定向的反应器30均可接受，只要其能够产生(permit)至少一种基本上向上的加工气体流。
根据法律规定，此处阐明并描述了本发明的具体实施方式。本领域技术人员应该理解，可以对权利要求覆盖的本发明的形式做出改变，并且有时可以使用本发明的某些特征以产生良好效果而不相应地使用其它特征。

Claims (15)

1.一种用于生产具有窄粒度分布的金属粉末的化学气相沉积方法，该方法包括：
提供具有上部和下部的垂直定向的加热的反应器，
将含有金属的加工气体引入所述反应器的下部，
将所述含金属的加工气体向上推进通过反应器，
在反应器中引发所述含金属的加工气体的分解，
使得所述含金属的加工气体在反应器中呈现向上移动的栓塞流速度分布图，
使得含金属的加工气体中的金属形成颗粒，和
从反应器的上部取出所述颗粒。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述反应器具有至少基本上垂直于基本上水平的反应器支撑件的纵向垂直的对称轴。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属颗粒由选自由羰基金属和氯化镍组成的组的气体的分解产生。
4.根据权利要求3所述的方法，其中所述羰基金属选自羰基镍、羰基铁和羰基钴中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的方法，其中将选自硫、二氧化硫和氨中的一种或多种的掺杂物加入反应器。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述颗粒为至少基本上球形的并具有等于或小于1微米的直径。
7.根据权利要求1所述的方法，其中所述反应器是管式反应器。
8.一种用于通过化学气相沉积生产超细金属粉末的改进方法，其中所述改进包括将含有金属的加工气体以至少大致为栓塞流的速度分布图向上推进通过被加热的反应器，其中加工气体的所有通量都在反应器中相同的速度移动，由此减少反应器中不一致的颗粒停留时间，从而产生具有窄粒度分布的颗粒。
9.根据权利要求8所述的改进方法，其中所述反应器至少基本上垂直定向，具有下部和上部。
10.根据权利要求9所述的改进方法，其中所述金属加工气体被引入位于反应器下部的入口。
11.根据权利要求9所述的改进方法，其中所述粉末从反应器的上部取出。
12.根据权利要求8所述的改进方法，其中将选自硫、二氧化硫和氨中的一种或多种的掺杂物引入反应器。
13.根据权利要求12所述的改进方法，其中所述二氧化硫以200-1600ppm的水平引入反应器。
14.根据权利要求8所述的改进方法，其中所述含有金属的加工气体选自羰基镍、羰基铁和羰基钴中的一种或多种。
15.根据权利要求8所述的改进方法，其中所述含有金属的加工气体是氯化镍。
CN200580029474A 2004-09-03 2005-04-18 用于生产金属粉末的方法 Expired - Fee Related CN100591443C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/933,719 2004-09-03
US10/933,719 US7344584B2 (en) 2004-09-03 2004-09-03 Process for producing metal powders

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101022905A CN101022905A (zh) 2007-08-22
CN100591443C true CN100591443C (zh) 2010-02-24

Family

ID=35994882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200580029474A Expired - Fee Related CN100591443C (zh) 2004-09-03 2005-04-18 用于生产金属粉末的方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7344584B2 (zh)
JP (1) JP4932718B2 (zh)
KR (1) KR100879173B1 (zh)
CN (1) CN100591443C (zh)
CA (1) CA2578876C (zh)
GB (1) GB2431669B (zh)
RU (1) RU2356698C2 (zh)
WO (1) WO2006024135A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102910685A (zh) * 2011-08-05 2013-02-06 陕西兴化化学股份有限公司 羰基铁粉热解工艺列管式反应器
CN102717065A (zh) * 2012-06-05 2012-10-10 金川集团股份有限公司 一种制备镍包铝粉的方法
JP7193534B2 (ja) * 2018-06-28 2022-12-20 東邦チタニウム株式会社 ニッケル粉体とその製造方法
CN113579247B (zh) * 2021-08-17 2023-02-17 化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 一种纳米镍粉的制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3220875A (en) * 1961-05-01 1965-11-30 Int Nickel Co Process and apparatus for decomposing gaseous metal compounds for the plating of particles
US4673430A (en) * 1946-04-04 1987-06-16 Inco Limited Method for the production of nickel powder
US4732110A (en) * 1983-04-29 1988-03-22 Hughes Aircraft Company Inverted positive vertical flow chemical vapor deposition reactor chamber

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1836732A (en) * 1929-03-05 1931-12-15 Ig Farbenindustrie Ag Production of finely divided metals
US2851347A (en) * 1949-10-21 1958-09-09 Basf Ag Manufacture of iron powder
US2663630A (en) * 1949-11-04 1953-12-22 Basf Ag Production of metal powders
BE668506A (zh) * 1964-08-19
GB1098522A (en) * 1965-01-07 1968-01-10 Vitaly Grigorievich Syrkin Method of manufacture of a high-dispersion carbonyl iron
GB1332901A (en) * 1970-07-07 1973-10-10 Int Nickel Ltd Decomposition of metal carbonyls
JPS597765B2 (ja) * 1980-09-13 1984-02-21 昭宣 吉澤 微粉末金属の製造方法
JPS59170211A (ja) * 1983-03-14 1984-09-26 Toho Aen Kk 超微粉の製造方法
WO1984004334A1 (en) * 1983-04-29 1984-11-08 Hughes Aircraft Co Inverted positive vertical flow chemical vapor deposition reactor chamber
US4808216A (en) * 1987-04-25 1989-02-28 Mitsubishi Petrochemical Company Limited Process for producing ultrafine metal powder
JPS63270405A (ja) * 1987-04-25 1988-11-08 Mitsubishi Petrochem Co Ltd 金属超微粉の製造法
JPS63312603A (ja) * 1987-06-16 1988-12-21 Akinobu Yoshizawa 磁性金属超微粉の製造方法
JPS6436706A (en) * 1987-07-31 1989-02-07 Nippon Kokan Kk Production of magnetized metal superfine powder
CA1304572C (en) * 1988-01-18 1992-07-07 Leonard George Wiseman System for coating particles employing a pneumatic transport reactor
US5064464A (en) * 1988-11-10 1991-11-12 Mitsubishi Petrochemical Company Limited Process for producing ultrafine metal particles
DE3940347C2 (de) * 1989-12-06 1997-02-20 Basf Ag Verfahren zur Herstellung von Eisenwhiskers
US5853451A (en) * 1990-06-12 1998-12-29 Kawasaki Steel Corporation Ultrafine spherical nickel powder for use as an electrode of laminated ceramic capacitors
KR100418591B1 (ko) * 1996-12-02 2004-06-30 토호 티타늄 가부시키가이샤 금속분말의제조방법및제조장치
JP3640511B2 (ja) * 1997-09-05 2005-04-20 Ｊｆｅミネラル株式会社 ニッケル超微粉
WO1999042237A1 (fr) * 1998-02-20 1999-08-26 Toho Titanium Co., Ltd. Procede de production de nickel en poudre
WO2000067936A1 (en) 1998-05-06 2000-11-16 H.C. Starck, Inc. Metal powders produced by the reduction of the oxides with gaseous magnesium
US6391084B1 (en) * 1998-07-27 2002-05-21 Toho Titanium Co., Ltd. Metal nickel powder
JP3807873B2 (ja) 1999-06-08 2006-08-09 東邦チタニウム株式会社 Ｎｉ超微粉の製造方法
US6454830B1 (en) * 1999-08-31 2002-09-24 Toho Titanium Co., Ltd. Nickel powder for multilayer ceramic capacitors
JP2001098309A (ja) * 1999-09-28 2001-04-10 Tokyo Parts Ind Co Ltd 金属微粉末の製造方法及びその装置並びに金属微粉末
WO2001036131A1 (fr) * 1999-11-12 2001-05-25 Mitsui Mining And Smelting Co., Ltd. Poudre de nickel et pate conductrice

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4673430A (en) * 1946-04-04 1987-06-16 Inco Limited Method for the production of nickel powder
US3220875A (en) * 1961-05-01 1965-11-30 Int Nickel Co Process and apparatus for decomposing gaseous metal compounds for the plating of particles
US4732110A (en) * 1983-04-29 1988-03-22 Hughes Aircraft Company Inverted positive vertical flow chemical vapor deposition reactor chamber

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
超细粉末的制备技术. 梁涣珍，毛铭华.材料导报，第2期. 1992
超细粉末的制备技术. 梁涣珍，毛铭华.材料导报，第2期. 1992 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN101022905A (zh) 2007-08-22
US20060048606A1 (en) 2006-03-09
GB2431669A (en) 2007-05-02
RU2007112100A (ru) 2008-10-10
JP2008511748A (ja) 2008-04-17
RU2356698C2 (ru) 2009-05-27
WO2006024135A1 (en) 2006-03-09
JP4932718B2 (ja) 2012-05-16
GB0702884D0 (en) 2007-03-28
KR100879173B1 (ko) 2009-01-16
US7344584B2 (en) 2008-03-18
GB2431669B (en) 2010-06-09
CA2578876C (en) 2009-12-22
KR20070042563A (ko) 2007-04-23
CA2578876A1 (en) 2006-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Das et al. Nanofluids: science and technology
Feng et al. Toward industrial scale synthesis of ultrapure singlet nanoparticles with controllable sizes in a continuous gas-phase process
CN100591443C (zh) 用于生产金属粉末的方法
Zhao et al. Formation mechanism of Fe nanocubes by magnetron sputtering inert gas condensation
Wang et al. Bimetallic nanocrystals: liquid‐phase synthesis and catalytic applications
Kareeri et al. Simulation of flow distribution in radial flow reactors
Park et al. Commercially manufactured engineered nanomaterials for environmental and health studies: Important insights provided by independent characterization
Buesser et al. Multiscale Aspects of Modeling Gas‐Phase Nanoparticle Synthesis
TW201332686A (zh) 金屬粉末製造用電漿裝置
EP3455017B1 (de) Verfahren zum herstellen und kodieren von metallpulver
Lin et al. Synthesis of metallic nanoparticles by microplasma
Akbarzadeh et al. Ni-Co bimetallic nanoparticles with core-shell, alloyed, and Janus structures explored by MD simulation
Zhu et al. Magnetized fluidized bed with binary admixture of magnetizable and nonmagnetizable particles
Schaidle et al. Transitioning rationally designed catalytic materials to real “working” catalysts produced at commercial scale: nanoparticle materials
Limon et al. Characterization of Magnetic Series of Iron–Carbon Clusters Fe n C0,±1 (n≤ 13)
Rudyak et al. Measurements of the temperature dependent diffusion coefficient of nanoparticles in the range of 295–600 K at atmospheric pressure
Nagashima et al. Effect of the tube shape on gas and particle flow in spouted beds with a porous draft tube
US20080289447A1 (en) Process for producing metal powders
Amara et al. Synthesis and characterization of elemental iron and iron oxide nano/microcomposite particles by thermal decomposition of ferrocene
Hamamoto et al. Synthesis of gold nanoparticles dispersion in toluene using immiscible fluid flow in microfluidic device
KR102564634B1 (ko) 무기분말의 제조장치 및 제조방법
Aghamiri et al. Nickel carbonyl formation in a fluidized bed reactor: experimental investigation and modeling
KR102572729B1 (ko) 무기분말의 제조장치 및 제조방법
Pease Optimizing the yield and selectivity of high purity nanoparticle clusters
KR101548418B1 (ko) 유동층 반응기 및 이를 이용한 탄소나노구조물 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100224

Termination date: 20150418

EXPY Termination of patent right or utility model