CN100587124C - 电子零件用电镀夹具以及电解电镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供可使多个电子零件的引线及接地引线与阴极可靠地接触、并可抑制发生在引线及接地引线上的电镀缺陷的电子零件用电镀夹具。其是使由基座(12)和接地引线(18)构成的多个头部(10)定位、对由形成头部(10)的金属构成的各部件实施电解电镀的电镀夹具(30)，基座(12)将插入金属制部件的贯通孔内的引线(16、16)密封，接地引线18)一端部与金属制部件的一面侧接合，具备：金属制的网状阴极(32)，其具有比各引线的前端直径细的网孔，且被设在各引线的前端可接触的位置上；筒状部，可插入各头部(10)，并将其向网状阴极(32)导引，同时可供电解电镀液以流动而将各引线向网状阴极上(32)按压；以及阳极，被配设为使头部(10)位于其与网状阴极(32)之间。

Description

电子零件用电镀夹具以及电解电镀装置

技术领域

本发明涉及电子零件用电镀夹具以及电解电镀装置，更详细地说，涉及使由基座和接地引线构成的多个电子零件分别定位，对由形成前述电子零件的金属所构成的各部件的露出面的整个面实施电解电镀的电子零件用电镀夹具以及电解电镀装置，其中所说的基座，通过玻璃等绝缘材料将插入到形成在金属制部件的平坦部上的贯通孔内的引线密封起来，所说的接地引线，其一端部被接合在前述金属制部件的一面侧上。

背景技术

在半导体装置等电子零件中，如图5(a)、(b)所示，有的使用了头部(ヘツダ一)10、20。

图5(a)所示的头部10，引线16分别穿过形成在由金属制部件构成的基座12的平坦部上的两个贯通孔14、14而被玻璃密封，同时接地引线18的一端部与基座12的一面侧对接而接合在其上。

另外，图5(b)所示的头部20，引线16分别穿过形成在金属制部件22的平坦部上的两个贯通孔24、24而被玻璃密封，同时接地引线18的一端部与金属制部件22的平坦部的一面侧对接而接合在其上，其中该金属制部件，是通过在金属制的板状部件上实施冲压加工而形成有凹部的金属制部件。

在该图5(a)、(b)所示的头部10、20中，在通过焊料而接合在例如由金属制部件构成的基座12的另一面侧、或金属制部件22的平坦部的另一面侧上的散热器26上搭载有半导体原件28，在该半导体原件28与引线16、16的一端部进行了引线接合后，将覆盖部件覆盖在基座12或金属制部件22的平坦部的另一面侧上，密封保持搭载在散热器26上的半导体原件28等。

可是，在图5(a)、(b)所示的头部10、20中，为了防锈等，在由构成头部10、20的金属构成的各部件的露出面上，通过电解电镀而形成有镀层(镀膜)。

但是，由于引线16、16通过玻璃密封而被密封在基座12(金属制部件22)上，因此，要在引线16、16、接地引线18以及基座12(或金属制部件22)的露出面的整个面上形成由电解电镀生成镀层，就有必要向引线16、16以及接地引线18供电。

因此，在对头部10(20)实施电解电镀之际，以往都采用了滚镀(筒式电镀)。

在滚镀中，是使收容有多个头部10(20)以及作为通电辅助材料的虚设物的滚笼体旋转，从而对各个头部10(20)实施电解电镀。因此，由于在电解电镀中头部10(20)的引线16等彼此会绞缠在一起，或者虚设物会被夹在头部10(20)的引线16之间，因此在电解电镀完成时，还有必要进行将绞缠在一起的头部10(20)一个个地解开的操作。

进而，在电解电镀中，会因为多个头部10(20)等彼此冲撞而导致出现划痕，或者引线16、16和接地引线18易弯折。因此，对于从滚笼体中取出的头部10(20)，还有必要进行那些被弯折的引线16等的修整操作。

另外，在以往，如图6所示，也进行将多个分别形成头部10(20)的引线16、16以及接地引线18的各前端部连接在一根金属线100上，通过向金属线100供电从而对各个头部10(20)实施电解电镀的做法。

在图6所示的方法中，虽然能够防止引线16、16和接地引线18在电解电镀中被弯折的情况，但有必要进行将引线16、16、接地引线18的各前端部连接到一根金属线100上的连接操作，以及从金属线100上将引线16、16、接地引线18的各前端部切离的切离操作。

与这种以往的方法相对，在下述专利文献1中，提出了在头部10(20)的电解电镀之际，使用图7所示的电镀夹具的方案。

图7所示的电镀夹具，在由树脂构成的基台102的一面侧上，设有作为向引线16、16以及接地引线18分别供电的供电部件的供电板106，而其中所说的基台102，以能够将头部10的引线16、16以及接地引线18的前端吸引靠近规定位置的方式，在各个规定位置上密封配设有多个磁铁104、104...。

进而，在图7所示的电镀夹具中，在引线16、16、接地引线18的长度上存在有细微差别，为了可靠地从供电板106向各前端面供电，在供电板106上配设导电性无纺布108。

这种导电性无纺布108的表面，除头部10的引线16、16以及接地引线18的前端面所触接的触接部以及其附近之外，均由掩膜部件110所覆盖。

在该掩膜部件110上，为了使头部10的引线16、16以及接地引线18的前端面所触接的导电性无纺布108的触接部以及其附近露出，形成有贯通孔112。该贯通孔112也是导引该头部10的引线16、16以及接地引线18的导引孔。

再者，掩膜部件110，由销114、114定位，以使其贯通孔112位于对应的磁铁104之上。

专利文献1：特开2003-213497号公报(图5)

通过用图7所示的电镀夹具对多个头部10(20)实施电解电镀，可省略将头部10(20)的引线16、16以及接地引线18的各前端部连接在一根金属线100上的连接操作，以及从金属线100将引线16、16、接地引线18的各前端部切离的切离操作等操作，可较容易地实施电解电镀。

但是，没有设置任何将头部10(20)向导电性无纺布108的方向按压的按压装置，只将头部10(20)放置在导电性无纺布108上，因此不能保证在供电时引线16、16以及接地引线18的各前端面与导电性无纺布108可靠地接触。

另外，例如，即便在供电时引线16、16以及接地引线18的各前端面与导电性无纺布108接触，在由供电板106供电的导电性无纺布108上，也会与头部10(20)同时被实施电解电镀。因此，在与导电性无纺布108接触的引线16、16以及接地引线18的各前端面等接触部以及其附近，就会出现未镀着部和镀膜色调异常。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够使多个电子零件的引线以及接地引线的各前端面可靠地与阴极接触、并且能够抑制发生在引线以及接地引线上的未镀着或色调异常的电子零件用电镀夹具。

本发明的发明人们，为了解决前述问题而检讨的结果发现，通过采用网状阴极作为阴极，并使电解电镀液向网状阴极的方向流动，可将多个电子零件同时向网状阴极的方向按压，即便电子零件之间的引线以及接地引线的长度多少有些不同，在供电时也可将引线以及接地引线的各前端面与网状阴极接触，因而得出了本发明。

即，本发明是一种电子零件用电镀夹具，它是使多个电子零件各自定位、对由形成前述电子零件的金属构成的各部件的露出面的整个面实施电解电镀的电子零件用电镀夹具，其中所述的电子零件由通过玻璃等绝缘材料将插入到形成在金属制部件的平坦部上的贯通孔内的引线密封起来的基座、和一端部与前述金属制部件的一面侧相接合的接地引线构成；其特征在于，具备：金属制的网状阴极，具有比形成各电子零件的向基座的一面侧突出的引线以及接地引线的各前端直径细的网孔，且被设在可与前述引线以及接地引线的各前端相接触的位置上；筒状部，可供前述各电子零件插入，将其引线以及接地引线的各前端向前述网状阴极导引，同时可供电解电镀液以按压前述电子零件将引线以及接地引线的各前端面向前述网状阴极按压的方式流动；以及阳极，是前述电解电镀液能够通过的部件，并以电子零件位于其与前述网状阴极之间的方式配设。

另外，本发明是一种电解电镀装置，它是使多个电子零件各自定位、对由形成前述电子零件的金属构成的各部件的露出面的整个面实施电解电镀的电解电镀装置，其中所述的电子零件由通过玻璃等绝缘材料将插入到形成在金属制部件的平坦部上的贯通孔内的引线密封起来的基座、和一端部与前述金属制部件的一面侧相接合的接地引线构成；其特征在于，设有前述的电镀夹具，并设有以通过流经前述电镀夹具的各筒状部内的电解电镀液的液流、按压被插入到前述筒状部中的电子零件而将引线以及接地引线的各前端面按压到前述网状阴极上的方式向前述电镀夹具供给电解电镀液的供给装置。

在本发明中，作为网状阴极，使用长尺寸状的网状阴极，并以在对电子零件的电解电镀时能够使用新的网状阴极的方式，可从电镀夹具的一端侧向另一端侧的方向移动地设置，由此，在电解电镀的时候，就能够使用网孔没有堵塞的网状阴极。

通过对该长尺寸状的网状阴极，将其一端侧缠绕在设在电镀夹具的一端侧的外方的供给滚子上，同时将从前述供给滚子拉出并经过了电镀夹具的另一端侧缠绕在设在前述电镀夹具的另一端侧的外方的收取滚子上，从而可在每次电解电镀时，很容易地使用网孔没有堵塞的网状阴极。

进而，通过将筒状部分割为上部筒状部与下部筒状部，可很容易地进行将各电子零件向对应的筒状部的插入和取出。

通过在该筒状部的中间配设形成有仿照被插入到前述筒状部中的电子零件的引线以及接地引线的配列形状而成的孔的导引板，可更容易地进行电子零件向筒状部的插入和取出。

另外，通过以各电子零件被磁力向网状阴极的一面侧的方向吸引的方式，在前述网状阴极的另一面侧上与供前述各电子零件插入的筒状部相对应地设有磁铁，与流经筒状部的电解电镀液的液流共同作用，能够更可靠地使电子零件的引线以及接地引线的前端面与网状阴极接触。

通过将所述的各磁铁埋设在形成有可供电解电镀液通过的多个贯通孔的由电绝缘性材料构成的基台的规定的位置上，能够使磁铁与电解电镀液以及网状阴极相隔离开。

根据本发明，通过在网状阴极的一面侧上设置多个筒状部，在将电子零件插入到各筒状部的状态下，使电解电镀液在各筒状部内向网状阴极的方向流动，可将多个电子零件同时向网状阴极的方向按压。另外，通过将阴极设为由金属线构成的网孔形状，并设为在被电子零件按压的情况下可弯曲的构造，可吸收引线以及接地引线的细微差别。因此，即便电子零件之间的引线以及接地引线的长度多少有些不同，也能够可靠地使引线以及接地引线的各前端面与网状阴极接触。另外，即便在引线以及接地引线的根数多的情况下，也能够可靠地使引线以及接地引线的各前端面与网状阴极接触。

进而，与网状阴极接触的引线以及接地引线的各前端面，只不过是其一部分与形成网状阴极的金属线接触，能够尽可能抑制因引线以及接地引线的各前端面的整个面与供电部件接触所引发的未镀着和色调异常。

其结果是，可在形成有引线以及接地引线的电子零件的整个面上形成良好的镀层，可提高最终所得到的半导体装置等制品的可靠性。

附图说明

图1是用于说明本发明的电子零件用电镀夹具的一例的分解图。

图2是使用在图1所示的电镀夹具上的导引板60的局部正视图。

图3是说明使用在图1所示的电镀夹具上的电解电镀装置的说明图。

图4是说明本发明的电子零件用电镀夹具的另一例的组装图。

图5是说明电子零件的一例的局部剖面图。

图6是说明以往的实施电解电镀的电子零件的一个形态的正视图。

图7是说明改良的电子零件用电镀夹具的一例的简要剖面图。

标号说明

10、20              头部(电子零件)    12      基座

16                  引线              18      接地引线

24、36、72          贯通孔            30      电镀夹具

32                  网状阴极          34      支撑板

38a、38b、42a、42b  导引滚子          40      供给滚子

44                  收取滚子          48      排出口

50b                 下部筒状部件      50a     上部筒状部件

51b                 下部筒状部        51a     上部筒状部

54                  阳极              58      供给口

60                  导引板            62      导引孔

63  电镀液储存槽   64  电解电镀液

66  供给泵         68  基板

70  磁铁           S   供给装置

具体实施方式

在图1中展示了本发明的电子零件用电镀夹具的一例。在图1所示的电镀夹具30中，与形成作为电子零件的各头部10、10...的向基座12的一面侧突出的引线16、16以及接地引线18的各前端面接触的由不锈钢制金属线构成的网状阴极32，被载置在形成有供电解电镀液通过的贯通孔36、36...的且由电绝缘性的材料、例如树脂构成的支撑板34的一面侧上。

这种网状阴极32，以引线16、16以及接地引线18的各前端面可与形成网状阴极32的不锈钢制金属线相接触的方式，形成为比引线16、16以及接地引线18的各前端直径细的网孔。例如，在引线16、16以及接地引线18的各前端直径为0.45mm的情况下，最好是将网状阴极32的网孔设为0.3mm左右。

图1所示的网状阴极32为长尺寸状，其一端侧经由设在电镀夹具30的一端侧的外方上的导引滚子38a、38b而被缠绕在供给滚子40上。进而，从缠绕在供给滚子40上的网状阴极32拉出并经过了电镀夹具30的支撑板34上的另一端侧，经由设在电镀夹具30的另一端侧的外方上的导引滚子42a、42b  被缠绕在收取滚子44上。因此，通过使收取滚子44沿箭头的方向旋转，可将从缠绕在供给滚子40上的网状阴极32拉出的部分载置在支撑板34的一面侧上。

这样，在一面侧上载置有网状阴极32的支撑板34的另一面侧上，设有收集通过了支撑板34的贯通孔36、36...的电解电镀液的收集部46。在该收集部46上设有排出口48。

在被载置在支撑板34的一面侧上的网状阴极32上，可分割地设有作为筒状部件的上部筒状部件50a和下部筒状部件50b，其中该筒状部件一体地设置有可供各头部10、10...插入的多个筒状部，下部筒状部件50b的下端面与网状阴极32相接触。

在该上部筒状部件50a上，一体地设置有供作为各头部10、10的上部构造的基座12及其周围部分插入的多个上部筒状部51a、51a...，在下部筒状部件50b上，一体地设置有供作为各头部10、10...的下部构造的引线16、16以及接地引线18插入的多个下部筒状部51b、51b...。该上部筒状部51a、51a...与下部筒状部51b、51b直径相同。

上部筒状部件50a的上端面与设在框体52的一面侧的阳极54相接触。该阳极54由在头部10、10...的电解电镀中所使用的金属构成，可使用电解电镀液能通过的部件，例如形成有多个贯通孔的平板或网状体。

在这种框体52的另一面侧上，设有将电解电镀液提供给由上部筒状部件50a与下部筒状部件50b构成的筒状部件的各筒状部的供给部56。在该供给部56上，设有供给口58。

在图1所示的电镀夹具30中，在作为筒状部件的上部筒状部件50a与下部筒状部件50b的分割面上，夹持着形成有导引孔62的导引板60，该导引孔62是仿照被插入到由上部筒状部51a与下部筒状部51b构成的筒状部中的头部10的引线16、16以及接地引线18的配列形状而成的导引孔。这种导引孔62是与由上部筒状部51a与下部筒状部51b构成的各筒状部对应地形成的。

在图2中展示了该导引板60的一例。图2所示的导引板60，由绝缘性树脂构成，在与由上部筒状部51a与下部筒状部51b构成的各筒状部相对应的位置上，形成有三角形状的导引孔62。该导引孔62的形状，是与头部10的引线16、16以及接地引线18以三角形状配列在基座12上的情况相对应的。因此，插入导引孔62的头部10的引线16、16以及接地引线18，位于三角形状的导引孔62的各顶角附近，被可靠地向网状阴极32的方向导引。

进而，如后述那样，还能够防止头部10因流经由上部筒状部51a与下部筒状部51b构成的筒状部的电解电镀液的流动而倾斜，其引线16、16以及接地引线18的任何一个的前端面从网状阴极32离开的情况。

另外，通过将头部10的引线16、16以及接地引线18预先插入到该导引板60的各导引孔62中，可很容易地将各头部10、10...插入对应的筒状部以及从对应的筒状部取出。

再者，在导引板60上，形成有开口面积比导引孔62小的小孔65、65...，用于使电解电镀液通过。

在对构成图1所示的电镀夹具30的部件进行组装之际，在将下部筒状部件50b载置在被载置在支撑板34的一面侧上的网状阴极32上之后，将在各导引孔62、62...中插入了头部10的引线16、16以及接地引线18的导引板60夹在下部筒状部件50b与上部筒状部件50a之间。

通过将导引板60夹在下部筒状部件50b与上部筒状部件50a之间，就可将引线16、16以及接地引线18被插入到导引板60的各导引孔62、62...中的头部10插入由上部筒状部51a与下部筒状部51b构成对应的筒状部内。

再者，通过在各部件的对接面上配设由有机硅橡胶等弹性材料构成的密封件，可防止电解电镀液的泄漏。

在使用将图1所示的各部件组装起来所得到的电镀夹具30对头部10、10...实施电解电镀时，使用图3所示的电解电镀装置。在图3所示的电解电镀装置中，具备以通过流经构成电镀夹具30的由下部筒状部件50b和上部筒状部件50a构成的筒状部件的各筒状部的电解电镀液的液流，按压插入到各筒状部中的头部10，将引线16、16以及接地引线18的各前端面按压到网状阴极32上的方式，向电镀夹具30供给电解电镀液的供给装置S。

在该供给装置S中，设有将储存在电镀液储存槽63内的电解电镀液64提供给设在电镀夹具30的供给部56上的供给口58的供给泵66。

被提供给供给口58的电解电镀液，通过阳极54而后流经由下部筒状部件50b和上部筒状部件50a构成的筒状部件的各筒状部，将引线16、16以及接地引线18被导引板60的导引孔62导引而被插入到各筒状部中的头部10，向网状阴极32的方向按压。

通过该电解电镀液的液流的按压，头部10、10...的各引线16、16以及接地引线18的前端面，能够可靠地与网状阴极32接触。

另外，由于各头部10、10...被电解电镀液的液流按压，另外，网状阴极32在被引线16、16以及接地引线18按压时可弯曲，因此，即便在头部10、10...相互之间引线16、16以及接地引线18的长度多少有些不同，也可将各引线16、16以及接地引线18的前端面与网状阴极32接触。

这样，经过各筒状部而流下的电解电镀液的液流一面将头部10、10...向网状阴极32的方向按压，一面从网状阴极32以及支撑板34的贯通孔36、36...流出，被收集部46收集然后从排出口48排出。被排出的电解电镀液储存在电镀液储存槽63内，然后再次被提供给电镀夹具30的供给口58。

在图3所示的电解电镀装置中，一面使电解电镀液在电镀夹具30上循环使用，一面在阳极54与网状阴极32之间通入直流电流，从而对各引线16、16以及接地引线18的前端面与网状阴极32相接触的头部10、10...的整个面实施电解电镀。

在头部10、10...的电解电镀完成之后，停止供给泵66，将下部筒状部件50b与上部筒状部件50a打开，将在导引孔62内插入了头部10、10...的各引线16、16以及接地引线18的导引板60取出，由此即可很容易地将插入到各筒状部中的头部10、10...从电镀夹具30中取出。

另外，在电解电镀时，由于在网状阴极32上也会形成镀层，因此网状阴极32的网孔就要渐渐变窄。为此，驱动收取滚子44，将缠绕在供给滚子40上的网状阴极32拉出，从而将新的网状阴极32载置在支撑板34上。

再者，从收取滚子44上取下的使用过的网状阴极32，通过浸泡在剥离液中进行剥离，可很容易地剥离附着的镀层而再生，从而可再次使用。

根据使用了图1所示的电镀夹具30的电解电镀装置，通过流经由下部筒状部件50b和上部筒状部件50a构成的筒状部件的各筒状部的电解电镀液的液流来按压插入到各筒状部中的头部10，可将引线16、16以及接地引线18的各前端面可靠地按压到网状阴极32上。

进而，与网状阴极32相接触的引线16、16以及接地引线18的各前端面，只不过是其一部分与形成网状阴极32的金属线接触，因此能够尽可能抑制因引线16、16以及接地引线18的各前端面的整个面与供电部件接触而发生的未镀着和色调异常。

因此，可在头部10、10...的整个面上形成良好的电解电镀层，可提高最终所得到的半导体装置等制品的可靠性。

虽然在图1～图3所示的电镀夹具30中，只通过流经筒状部的电解电镀液的液流，将头部10向网状阴极32的方向按压，但如图4所示的电镀夹具30那样，通过代替支撑板34而使用在规定位置埋设有磁铁70、70...的基板68，可使流经筒状部的电解电镀液的液流与磁铁70的磁力共同作用，从而可使插入到筒状部内的头部10的引线16、16以及接地引线18的各前端面更可靠地与网状阴极32接触。

这种基板68由电气绝缘性材料、例如树脂构成，被配设在网状阴极32的另一面侧上，也是网状阴极32的支撑部件。在该基板68上，在与供头部10插入的筒状部相对应的位置上埋设有磁铁70，同时，形成有多个贯通孔72、72...。流经筒状部的电解电镀液从贯通孔72、72向收集部46内流出。

再者，对于构成图4所示的电解电镀30的部件，关于与图1～图3所示的电镀夹具30相同的部件附加相同的标号而省略详细的说明。

在图1～图4所示的电镀夹具30中，作为导引板60，使用了由绝缘性树脂构成的导引板60，但也可使用由金属构成的导引板60，并将导引板60作为阴极来使用。

这样，通过使用导引板60和网状阴极32作为阴极，可使头部10的引线16、16以及接地引线18可靠地与阴极接触。

另外，也可在网状阴极32的下方，隔着形成有电解电镀液可流下的多个贯通孔的由绝缘性树脂构成的绝缘板而配设阳极，从而将头部10与网状阴极32配设在其与阳极54之间。

进而，在图1～图4所示的电镀夹具30中，虽然使用了导引板60，但只要由上部筒状部51a与下部筒状部51b构成的筒状部具有不会使被插入的头部10因流经筒状部内的电解电镀液的流动而倾斜、使引线16、16以及接地引线18的任何一个的前端面从网状阴极32离开那样的尺寸，则导引板60也并非是必须的。

另外，在图1～图4所示的电镀夹具30中，虽然设定引线以及接地引线的根数为3根，但不限定于此。因为本发明的阴极具有被载置在支撑板34或基板68的一面侧上的由金属线构成的网孔形状，所以即便在引线以及接地引线的根数在3根以上的情况下，也可将引线以及接地引线的各前端面可靠地与网状阴极接触。

Claims (21)

1.一种电子零件用电镀夹具，它是使包括基座和接地引线的多个电子零件各自定位、对由形成前述电子零件的金属所构成的各部件的露出面的整个面实施电解电镀的电子零件用电镀夹具，其中所述的基座通过绝缘材料密封着引线，所述引线被插入到形成在金属制部件的平坦部上的贯通孔内，所述的接地引线一端部与前述金属制部件的一面侧相接合；其特征在于具备：

金属制的网状阴极，具有比所述引线以及接地引线的各前端直径细的网孔，且被设在所述引线以及接地引线的各前端可接触的位置上，所述引线以及接地引线是形成各电子零件的向基座的一面侧突出的引线和接地引线；

筒状部，可使前述各电子零件插入，并将其引线以及接地引线的各前端向前述网状阴极导引，同时可使电解电镀液以按压前述电子零件而将引线以及接地引线的各前端面按压到前述网状阴极上的方式流动；以及

阳极，是前述电解电镀液能够通过的部件，并以电子零件位于其与前述网状阴极之间的方式配设。

2.如权利要求1所述的电子零件用电镀夹具，其中，网状阴极是长尺状的网状阴极，并以可从电镀夹具的一端侧向另一端侧的方向移动的方式设置，使得在对电子零件的电解电镀时能够使用新的网状阴极。

3.如权利要求2所述的电子零件用电镀夹具，其中，长尺寸状的网状阴极，其一端侧缠绕在设在电镀夹具的一端侧的外方的供给滚子上，同时，从前述供给滚子拉出并经过了电镀夹具的另一端侧，缠绕在设在前述电镀夹具的另一端侧的外方的收取滚子上。

4.如权利要求1或2所述的电子零件用电镀夹具，其中，筒状部被分割为上部筒状部和下部筒状部。

5.如权利要求3所述的电子零件用电镀夹具，其中，筒状部被分割为上部筒状部和下部筒状部。

6.如权利要求1或2所述的电子零件用电镀夹具，其中，在筒状部的中间，配设有形成有仿照被插入到前述筒状部中的电子零件的引线以及接地引线的配列形状而成的孔的导引板。

7.如权利要求3或5所述的电子零件用电镀夹具，其中，在筒状部的中间，配设有形成有仿照被插入到前述筒状部中的电子零件的引线以及接地引线的配列形状而成的孔的导引板。

8.如权利要求4所述的电子零件用电镀夹具，其中，在筒状部的中间，配设有形成有仿照被插入到前述筒状部中的电子零件的引线以及接地引线的配列形状而成的孔的导引板。

9.如权利要求1或2所述的电子零件用电镀夹具，其中，以各电子零件被磁力向网状阴极的一面侧的方向吸引的方式，在前述网状阴极的另一面侧上，与供前述各电子零件插入的筒状部相对应地设有磁铁。

10.如权利要求3或5所述的电子零件用电镀夹具，其中，以各电子零件被磁力向网状阴极的一面侧的方向吸引的方式，在前述网状阴极的另一面侧上，与供前述各电子零件插入的筒状部相对应地设有磁铁。

11.如权利要求4所述的电子零件用电镀夹具，其中，以各电子零件被磁力向网状阴极的一面侧的方向吸引的方式，在前述网状阴极的另一面侧上，与供前述各电子零件插入的筒状部相对应地设有磁铁。

12.如权利要求6所述的电子零件用电镀夹具，其中，以各电子零件被磁力向网状阴极的一面侧的方向吸引的方式，在前述网状阴极的另一面侧上，与供前述各电子零件插入的筒状部相对应地设有磁铁。

13.如权利要求7所述的电子零件用电镀夹具，其中，以各电子零件被磁力向网状阴极的一面侧的方向吸引的方式，在前述网状阴极的另一面侧上，与供前述各电子零件插入的筒状部相对应地设有磁铁。

14.如权利要求8所述的电子零件用电镀夹具，其中，以各电子零件被磁力向网状阴极的一面侧的方向吸引的方式，在前述网状阴极的另一面侧上，与供前述各电子零件插入的筒状部相对应地设有磁铁。

15.如权利要求9所述的电子零件用电镀夹具，其中，各磁铁被埋设在形成有可使电解电镀液通过的多个贯通孔的由电绝缘性材料构成的基台的规定的位置上。

16.如权利要求10所述的电子零件用电镀夹具，其中，各磁铁被埋设在形成有可使电解电镀液通过的多个贯通孔的由电绝缘性材料构成的基台的规定的位置上。

17.如权利要求11所述的电子零件用电镀夹具，其中，各磁铁被埋设在形成有可使电解电镀液通过的多个贯通孔的由电绝缘性材料构成的基台的规定的位置上。

18.如权利要求12所述的电子零件用电镀夹具，其中，各磁铁被埋设在形成有可使电解电镀液通过的多个贯通孔的由电绝缘性材料构成的基台的规定的位置上。

19.如权利要求13所述的电子零件用电镀夹具，其中，各磁铁被埋设在形成有可使电解电镀液通过的多个贯通孔的由电绝缘性材料构成的基台的规定的位置上。

20.如权利要求14所述的电子零件用电镀夹具，其中，各磁铁被埋设在形成有可使电解电镀液通过的多个贯通孔的由电绝缘性材料构成的基台的规定的位置上。

21.一种电解电镀装置，它是使包括基座和接地引线的多个电子零件各自定位、对由形成前述电子零件的金属构成的各部件的露出面的整个面实施电解电镀的电解电镀装置，其中所述的基座通过绝缘材料密封着引线，所述引线被插入到形成在金属制部件的平坦部上的贯通孔内，所述接地引线一端部与前述金属制部件的一面侧相接合；其特征在于，

设有权利要求1所述的电镀夹具，并设有以通过流经前述电镀夹具的各筒状部内的电解电镀液的液流、按压被插入到前述筒状部中的电子零件而将引线以及接地引线的各前端面按压到前述网状阴极上的方式向前述电镀夹具供给电解电镀液的供给装置。

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