CN100571862C - 吸附酸性气体的吸附剂 - Google Patents
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Abstract
本发明揭露一种吸附酸性气体的吸附剂及其制备和使用方法。所述吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.%的催化剂，所述催化剂包含过渡金属化合物与氧化锰(II)，其中过渡金属化合物选自含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)、碳酸锰(II)。
Description
技术领域
本发明涉及吸附酸性气体的吸附剂，尤其涉及处理半导体与光电产业过程所产生的酸性气体的吸附剂。
背景技术
近年来随着半导体与光电产业的发展，大量使用各种酸性气体化合物，这些酸性气体对于人体与环境的危害都相当大，例如对皮肤有强烈的刺激性与腐蚀性，会导致皮肤产生严重的发炎现象。若食入会造成食道的灼伤，若经呼吸道与眼睛，会产生强烈的刺激与灼痛感。若排放至大气环境中，则会导致酸雨、空气污染烟雾等，加速建筑物与金属的氧化腐蚀，或者使得树木快速枯萎、动物急速暴毙等事情发生。
因此，目前在过程废气管末处理端常使用干式洗涤塔(dry scrubber)。在干式洗涤塔中，装填碱性吸附剂，当酸性气体由洗涤塔的底端进入时，会立即和里面的吸附剂发生吸附反应，转化成无害而稳定的盐类，此方法的气体处理效能高，且仪器采购成本较低廉，因此开始为业界所使用。然而目前获得气体吸附剂的成本较高，吸附剂耗材的成本亦偏高；其次对于被处理气体流量也有限制，对于高浓度、高流量的气体操作成本过高，效果亦不佳。在过程中产生的粉体等副产物，可能会堵塞洗涤塔的桶子与管路。
本领域公知的气体吸附剂大多使用活性碳，活性碳可以对酸性气体具有物理吸附作用。酸性气体附着在活性碳的孔洞中间与表面上，并保持原先的物理特性。酸性气体浓缩在活性碳吸附剂当中，也具有相当高度的腐蚀性，对于管路、阀件的危害是相当的严重；同时物理吸附属于可逆的化学反应，当回收的活性碳做废弃物或再生处理时，吸附在活性碳上的酸性气体会也会释放出来，有危害人员安全的风险；再者，活性碳属于可燃化学物质，若是过程气体中，含有类似硅烷(SiH4)或磷化氢(PH3)等易燃气体，此时会有着火的风险。因为活性碳上的吸附属于物理吸附，其吸附容量在于活性碳的比表面积的大小，所以其吸附容量有限。虽然活性碳的售价相当的低廉，但是在处理酸性气体使用上所衍生的问题，确是相当棘手。
另一方面，气体吸附剂也使用一般金属化合物，然而存在缺点。例如，镁、钠、钾等氧化物、氢氧化物及碳酸盐等，每单位体积吸附剂的去除能力小。生石灰的吸附能力虽然较上述气体吸附剂高一些，然而对于某些气体的适用性存在疑虑，并且对于含氯气体，如氯化氢、氯气等，会产生潮解性显著的氯化钙。
因此，极需一种能克服上述困难，以有效处理半导体与光电业过程中产生的酸性气体的吸附剂。
附图说明
图1为使用本发明吸附剂的除净系统；
图2为本发明一种吸附剂的制备方法的流程图；
图3为本发明另一种吸附剂的制备方法的流程图。
发明内容
本发明提供一种吸附酸性气体的吸附剂，其能有效处理半导体与光电产业等业界所产生的废弃气体。
本发明的一个方面提供一种吸附酸性气体的吸附剂，其包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂(触媒)，此催化剂包含过渡金属化合物及氧化锰(II)，其中所述过渡金属化合物选自含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)、碳酸锰(II)。
本发明另一方面提供一种吸附剂的制备方法，此吸附剂用于吸附酸性气体，且此吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，此催化剂为过渡金属化合物及氧化锰(II)的组合物，其中此过渡金属化合物选自含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)、碳酸锰(II)，此制备方法包含：
a.混合前体(前驱物)、氧化锰(II)及载体，此前体选自含铁化合物或含铜化合物；以及
b.加入碱性溶液而沉淀出此吸附剂。
本发明另一方面提供一种吸附剂的制备方法，此吸附剂用于吸附酸性气体，且此吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，此催化剂包含过渡金属化合物与氧化锰(II)，此过渡金属化合物为碳酸锰(II)，此制备方法包含：
a.混合碳酸锰(II)、氧化锰(II)及载体。
本发明另一方面提供一种吸附酸性气体的方法，该方法通过使用吸附剂，将此吸附剂与酸性气体接触，此吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，此催化剂为过渡金属化合物及氧化锰(II)的组合物，其中此过渡金属化合物选自含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)、碳酸锰(II)。
本发明另一方面提供一种吸附酸性气体的方法，该方法通过使用吸附剂，此吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，此催化剂为过渡金属化合物及氧化锰(II)的组合物，其中此过渡金属化合物选自含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)、碳酸锰(II)，此方法包含：
a.将此吸附剂置入干式洗涤塔中；
b.将此酸性气体通入此干式洗涤塔中，使此吸附剂与酸性气体反应；以及
c.检测此酸性气体的含量。
具体实施方式
本发明所述酸性气体包括在路易斯(Lewis)酸碱电子对理论中，在气态容易离解形成含有孤对电子(lone pair)的离子的物质，包括大部分的卤素化合物、氮氧化物及硫氧化物；此外，也包括符合阿仑尼乌斯(Arrhenius)酸碱理论的酸性气体，例如：氢氟酸(HF)、氢氯酸(HCl)、氢溴酸(HBr)、氟气(F2)、氯气(Cl2)、二氯硅烷(DCS)、三氯硅烷(SiHCl3)、四氯硅烷(SiCl4)、四氟硅烷(SiF4)、四氯化锗(GeCl4)、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、三氟化氯(ClF3)、三氯化磷(PCl3)、五氯化磷(PCl5)、二氧化硫(SO2)等。
本发明的吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，催化剂包含过渡金属化合物与氧化锰(II)(MnO)，过渡金属化合物选自含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)(CuCO3)、碳酸锰(II)(MnCO3)，其中含结晶水的氧化铁(III)是指非无水(non-anhydrous)的氧化铁，优选为一水氧化铁[Fe2O3·H2O]及三水氧化铁[Fe2O3·3H2O]。
本发明的吸附剂还包含载体，本领域的技术人员清楚知道：此载体主要用于负载催化剂，增加吸附剂的机械强度。吸附剂具有一定的机械强度，这是因为当吸附剂为粉状物时，会使得酸性气体无法在吸附剂与酸性气体反应的干式洗涤塔中流通，并造成干式洗涤塔中压力增加。若吸附剂的尺寸过大，则没有足够的表面积处理酸性气体，且造成干式洗涤塔中间隙过大，酸性气体来不及处理即通过干式洗涤塔。
为解决上述问题以有效处理酸性气体，本发明的吸附剂可为圆柱状、球状、不规则粒状、锭状等，优选为直径2-6mm、长度3-8mm的圆柱颗粒。本发明的载体选自本领域公知的三氧化二铝(Al2O3)、二氧化硅(SiO2)、硅胶(Silica gel)、三氧化二铬(Cr2O3)、二氧化钛(TiO2)、二氧化锆(ZrO2)、氧化镁(MgO)、二氧化钍(ThO2)、二氧化铈(CeO2)、硅铝化物(silica-alumina)、硅藻土(kieselguhr)、硫酸钙(CaSO4)、活性碳、氧化锌(ZnO)等。由于本发明的吸附剂与酸性气体反应时会生成水，因此，在此选用的载体优选也具有干燥剂的效果，其选自氧化铝、氧化硅、硅胶、氧化镁、硫酸钙及包含至少上述之一的组合。
当过渡金属化合物为碳酸锰(II)时，参见图2，即催化剂仅包含碳酸锰(II)及氧化锰(II)时，吸附剂的制备方法是将碳酸锰(II)与氧化锰(II)、上述载体混合(步骤20)，即可获得吸附剂(步骤22)。此制备方法优选在室温下进行反应，载体的比例为10％-50％，而碳酸锰(II)与氧化锰(II)的比例优选为0.5-4。
当过渡金属化合物选自含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)时，参见图3，吸附剂制备方法包含：
a.将前体、氧化锰(II)及上述的载体混合(步骤30)；
b.加入碱性溶液，沉淀出吸附剂(步骤31)。
根据欲形成的过渡金属化合物选择前体，因此前体选自含铁化合物、含铜化合物。含铁化合物可为氯化铁(III)、硫酸亚铁(II)、硫酸铁(III)、硝酸铁(III)、溴化铁(III)、碘化铁(III)、硝酸亚铁(II)、硫代硫酸铁(III)。含铜化合物可为硫酸铜(II)、硝酸铜(II)、亚硝酸铜(II)、氯化铜(II)、溴化铜(II)。上述含铁化合物、含铜化合物皆可从市场上购买获得。碱性溶液包含氢氧化钾、氨、碳酸钾、碳酸氢钾、碳酸钠或碳酸氢钠及包含至少上述之一组合的水溶液。
在步骤a中，于室温下进行反应，载体的比例为10％-50％，而前体与氧化锰(II)的比例优选为0.5-4。
在步骤b中，所加入的碱性溶液的量与含铁化合物的比例是3/1，与含铜化合物的比例是1/1，在室温下进行反应混合后即沉淀出国体，此固体即本发明的吸附剂(步骤32)。由于反应中会产生盐类，如氯化钠(NaCl)、硫酸钠(Na2SO4)，因此用诸如水的溶剂洗涤吸附剂以移除盐类(步骤33)。
不论过渡金属化合物是碳酸锰(II)还是选自含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)，尽管通过前述步骤皆可分别获得本发明的吸附剂，但是仍需要一些处理步骤，以便用作吸附剂。包含下列步骤：
干燥吸附剂，并控制吸附剂的含水量(步骤24、步骤34)；
将吸附剂造粒(步骤26、步骤36)；以及
煅烧吸附剂，以增加吸附剂的机械强度(步骤28、步骤38)。
干燥吸附剂的目的是为对后面的吸附剂造粒步骤作准备，因为当吸附剂的含水量过低时，无法用造粒成型机将吸附剂造出适当颗粒，同时所造出的颗粒会含有大量的粉体；当吸附剂的含水量过高时，吸附剂在造粒过程中将附着在造粒成型机中而无法造粒成型。在本发明的实施方案中，将吸附剂置入烘箱中，依所需要的含水量控制烘箱的温度及时间，在此时优选将吸附剂的含水量控制在10-20％。
对吸附剂造粒是用造粒成型机将吸附剂制成圆柱状颗粒。然后煅烧吸附剂，在此所指的煅烧是通过烘箱将吸附剂干燥，以确定完全除去吸附剂中的水分，并可加强吸附剂的机械强度。
下述实施例揭示本发明吸附剂的制备方法的实施方案，但并非用来限制本发明。
实施例1(催化剂为含结晶水的氧化铁(III)及氧化锰(II)的组合)
将406.25g、40％FeCl3(aq)(1mol)置于2000ml三角瓶中；并加入30g硅胶与20g MnO，并将搅拌机置于其中搅拌。将266.7g、45％NaOH(aq)(3mol)加入前述溶液中搅拌，生成黄棕色的固体。待NaOH水溶液加完后，再搅拌溶液5分钟。将以上所得的胶体溶液，在加压式过滤器中过滤，在过滤器上得到固体滤饼；再用2500ml水洗涤干净，如此得到约570g吸附剂。将吸附剂于100-120℃烘箱中烘烤30-90分钟，再用造粒成型机造成颗粒。最后放入120-160℃烘箱中，烘烤2-4小时。
实施例2(催化剂为碳酸铜(II)及氧化锰(II)的组合)
将714g、40％CuSO4·7H2O(aq)(1mol)置于2000ml三角瓶中，加入30g硅胶与20g MnO，并将搅拌机置于其中搅拌。将265g、40％Na2CO3(aq)(1mol)加入前述溶液中搅拌，生成黄绿色的固体。搅拌溶液5分钟。将以上所得的胶体溶液，在加压式过滤器中过滤，在过滤器上得到固体滤饼；再用2500ml水洗涤干净，如此得到约390g吸附剂。将吸附剂于100-120℃烘箱中烘烤30-90分钟，再用造粒成型机造成颗粒。最后放入120-160℃烘箱中，烘烤2-4小时。
实施例3(催化剂为碳酸锰(II)与氧化锰(II)的组合)
将400g的MnCO3、50g MnO、50g硅胶置于2000ml三角瓶中，加入1500ml水，并将搅拌机置于其中搅拌。将以上所得的胶体溶液，在加压式过滤器中过滤，在过滤器上得到红棕色固体滤饼，约680g吸附剂。将吸附剂于100-120℃烘箱中烘烤30-90分钟，再用造粒成型机造成颗粒。最后放入120-160℃烘箱中，烘烤2-4小时。
实施例4(催化剂为含结晶水的氧化铁(III)、碳酸锰(II)及氧化锰(II)的组合)
将406.25g、40％FeCl3(aq)(1mol)置于2000ml三角瓶中，加入40g硅胶、30g MnO与80g MnCO3，加水1000ml，并将搅拌机置于其中搅拌。加入266.7g、45％NaOH(aq)(3mol)并搅拌，生成咖啡色固体。待NaOH水溶液加完后，再搅拌溶液5分钟。将以上所得的胶体溶液，在加压式过滤器中过滤，在过滤器上得到固体滤饼；再用2500ml水洗涤干净，如此得到约680g吸附剂。将吸附剂于100-120℃烘箱中烘烤30-90分钟，再用造粒成型机造成颗粒。最后放入120-160℃烘箱中，烘烤2-4小时。
实施例5(催化剂为含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)、碳酸锰(II)及氧化锰(II)的组合)
溶液1.将406.25g、40％FeCl3(aq)(1mol)置于2000ml三角瓶中，加入30g硅胶、20gMnO，并将搅拌机置于其中搅拌。加入266.7g、45％NaOH(aq)(3mol)并搅拌，生成咖啡色固体。待NaOH水溶液滴完后，再搅拌溶液5分钟。
溶液2.将714g、40％的CuSO4·7H2O(aq)(1mol)置于2000ml三角瓶中，加入30g硅胶、20g MnO，并将搅拌机置于其中搅拌。将265g、40％Na2CO3(aq)(1mol)置于500ml滴定瓶中，将Na2CO3逐滴加入溶液中搅拌，生成水蓝色固体。待Na2CO3水溶液滴完后，再搅拌溶液5分钟。
将溶液1与溶液2加入3000ml三角瓶中混合搅拌，并加80g MnCO3、10g硅胶、10g MnO，并加入500ml水搅拌，即得到胶体溶液，并将之在加压式过滤器中过滤，在过滤器上得到固体滤饼，再用2500ml水，逐次将滤饼中的NaCl与Na2SO4洗涤干净，如此得到本发明的吸附剂。于100-120℃烘箱中烘烤30-90分钟，并控制含水量为10-20％。再用造粒成型机造成颗粒，最后在120-160℃烘箱中，烘烤2-4小时。
使用本发明的吸附剂吸附酸性气体的方法是在除净系统中进行的，参见图1，此除净系统1具有干式洗涤塔10、11，气体钢瓶12用于提供酸性气体，气体钢瓶14用于提供氮气，以清洁除净系统1的管路，并以浮子流量计(Mass flow meter)16控制酸性气体及氮气的流量，将本发明的吸附剂5置于干式洗涤塔10中，并以傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)18监控反应是否结束。
吸附酸性气体的流程为：首先将吸附剂5置于干式洗涤塔10中。打开气体钢瓶12，则酸性气体经由浮子流量计16流至干式洗涤塔10中，酸性气体与吸附剂5反应，并释放出反应热；当反应结束时(即有酸性气体破出)，在干式洗涤塔10的尾端装设的傅立叶变换红外光谱仪18将监测到酸性气体破出，产生酸性气体的光谱数据，并且传输讯号，此时使用者记载反应所消耗的时间，本领域的技术人员可轻易了解的是，不同的酸性气体在傅立叶变换红外光谱仪18中将显示不同的反应讯号。最后在此干式洗涤塔10后端接干式洗涤塔11，处理少量破出的酸性气体，并将抽风柜19设置于干式洗涤塔11之后以确定不会有酸性气体排放至大气环境中。
表1列出根据本发明所揭示的制备方法所得的吸附剂的吸附能力：
表1
| 实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 实施例4 | 实施例5 | |
| 堆积密度(g/ml) | 0.5-0.7 | 0.5-0.7 | 0.6-0.8 | 0.6-0.8 | 0.6-0.8 |
| 每升吸附能力(L/L) | 175-185 | 180-190 | 170-180 | 180-190 | 190-200 |
| 每斤吸附能力(L/kg) | 275-285 | 280-290 | 260-270 | 280-290 | 285-295 |
表1所示的性能计算方式如下：假设各个实施例的吸附剂堆积密度分别为x(kg/L)，在干式洗涤塔中分别装有y(g)本发明的过渡金属化合物催化剂，盐酸气体流量为z(sccm)，盐酸破出的时间分别为t(min.)，计算出每升吸附剂可以处理盐酸气体的升数(L/L)(Absorption capacity)，则：
吸附能力＝x z t/y(L/L)。
不欲为任何理论限定，目前相信本发明的吸附剂中过渡金属化合物与氧化锰形成金属键接的金属团簇(metal cluster)。相较于一般市场上以物理方式吸附酸性气体，达到处理酸性气体的目的的活性碳大不相同的是，此金属团簇与酸性气体通过多核金属化学键接方式反应。例如，含结晶水的氧化铁(III)及氧化锰(II)的组合处理酸性气体的能力约为分别单独使用含结晶水的氧化铁(III)及氧化锰(II)的1.7倍；碳酸铜(II)及氧化锰(II)的组合处理酸性气体的能力约为分别单独使用碳酸铜(II)及氧化锰(II)的1.2倍；含结晶水的氧化铁(III)、碳酸铜(II)及氧化锰(II)处理酸性气体的能力约为分别单独使用碳酸铜(II)及氧化锰(II)的1.25倍。由此可知本发明的吸附剂是通过过渡金属化合物间形成的金属团簇，来有效地与酸性气体反应。此外，当过渡金属化合物与氧化锰(II)的摩尔比在0.5-4之间时，是优选的处理酸性气体的条件；此时处理酸性气体，如盐酸(HCl(g))时，其吸附容量可达每升吸附能力200(L/L)。此外，本发明的吸附剂能有效吸附高浓度、高流量的酸性气体，以对盐酸的吸附能力来说，本发明的吸附剂于300(sccm)的吸附能力为约183(L/L)，此程度吸附能力可维持至600(sccm)，直至3000(sccm)时吸附能力仍然明显(约95L/L)，超过本领域公知的吸附酸性气体的极限。
效果比较
将一般市场上用于处理酸性气体的常规产品与本发明的吸附剂进行效果比较。此效果实验使用上述的除净系统及干式洗涤塔装备，参见图1。关于酸性气体的来源，在此选择使用较廉价、且没有被环保署公告列管的酸性气体(HCl(g))，并使用氮气当作清洁管路的气体。将市场上用于处理酸性气体的产品或本发明的吸附剂置于干式洗涤塔10中，酸性气体流至干式洗涤塔10中，与市场上用于处理酸性气体的产品或本发明的吸附剂接触，并以傅立叶变换红外光谱仪18监控反应是否结束。
根据上述实验，表2列出了一般市场上用于处理酸性气体的常规产品与本发明的吸附剂的一般物性及效果比较。
表2
表2显示，本发明的吸附剂对酸性气体有超强的吸附与处理能力，其处理酸性气体的吸附能力大约为铝镁氢氧化物的2倍，为碱性活性碳的3-3.5倍，为活性碳的5-6倍。
通过参考上述本发明的不同实施例，本领域的技术人员应知道此处的附图及详细说明仅作说明而非限定，且非意欲将本发明限制在所揭露的具体实施方案和实施例中。相反，在不脱离本发明的精神及范畴的情况下，对本发明的技术人员显而易见的是：在权利要求限定的范围内，可对本发明进行修饰、变化、重新排列、取代、替换、设计选择及实施例。因此，可预期的是本发明的权利要求包含所有进一步的修饰、变化、重新排列、取代、替换、设计选择及实施例。
Claims (29)
1.一种吸附酸性气体的吸附剂，所述吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，所述催化剂包含过渡金属化合物及氧化锰(II)，其中所述过渡金属化合物选自碳酸铜(II)及碳酸锰(II)。
2.如权利要求1的吸附剂，其中所述过渡金属化合物与氧化锰(II)的摩尔比在0.5-4之间。
3.如权利要求1的吸附剂，所述吸附剂为直径2-6mm、长度3-8mm的圆柱颗粒。
4.如权利要求1的吸附剂，还包含载体，所述载体用于负载所述催化剂，增加催化剂的机械强度。
5.如权利要求4的吸附剂，其中所述载体为干燥剂，其选自氧化铝、氧化硅、硅胶、硫酸钙、氧化镁及包含至少上述之一的组合。
6.如权利要求1的吸附剂，使用在除净系统中。
7.如权利要求1的吸附剂，使用在干式洗涤塔中。
8.一种吸附剂的制备方法，所述吸附剂用于吸附酸性气体，其中所述吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，所述催化剂包含过渡金属化合物及氧化锰(II)，所述过渡金属化合物为碳酸锰(II)，其制备方法包含：
a.混合碳酸锰(II)、氧化锰(II)及载体。
9.如权利要求8的制备方法，还包含：
a.干燥所述吸附剂，并控制吸附剂的含水量；
b.将该吸附剂造粒；以及
c.煅烧该吸附剂，以增加该吸附剂的机械强度。
10.如权利要求8的制备方法，其中所述碳酸锰(II)与氧化锰(II)的摩尔比在0.5-4之间。
11.如权利要求8的制备方法，其中所述载体用于负载该催化剂，增加该催化剂的机械强度。
12.如权利要求11的制备方法，其中所述载体为干燥剂，其选自氧化铝、氧化硅、硅胶、硫酸钙、氧化镁及包含至少上述之一的组合。
13.如权利要求8的制备方法，使用在除净系统中。
14.如权利要求8的制备方法，使用在干式洗涤塔中。
15.一种吸附剂的制备方法，所述吸附剂用于吸附酸性气体，其中所述吸附剂包含占吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，所述催化剂包含过渡金属化合物及氧化锰(II)，其中所述过渡金属化合物为碳酸铜(II)，该制备方法包含：
a.混合前体氧化锰(II)及载依其中所述前体包含含铜化合物；
b.加入碱性溶液而沉淀出该吸附剂。
16.如权利要求15的制备方法，还包含：
c.洗涤该吸附剂；
d.干燥该吸附剂，并控制该吸附剂的含水量；
e.将该吸附剂造粒；以及
f.煅烧该吸附剂，以增加该吸附剂的机械强度。
17.如权利要求15的制备方法，其中所述过渡金属化合物与氧化锰(II)之摩尔比在0.5-4之间。
18.如权利要求15的制备方法，其中所述含铜化合物选自硫酸铜(II)、硝酸铜(II)、亚硝酸铜(II)、氯化铜(II)、溴化铜(II)，及包含至少上述之一的组合。
19.如权利要求15的制备方法，其中所述碱性溶液包含氢氧化钾、氨、碳酸钾、碳酸氢钾、碳酸钠或碳酸氢钠及包含至少上述之一的组合地水溶液。
20.如权利要求15的制备方法，其中所述载体用于负载该催化剂，增加该催化剂的机械强度。
21.如权利要求20的制备方法，其中所述载体为干燥剂，选自氧化铝、氧化硅、硅胶、硫酸钙、氧化镁及包含至少上述之一的组合。
22.如权利要求15的制备方法，使用在除净系统中。
23.如权利要求15的制备方法，使用在干式洗涤塔中。
24.一种吸附酸性气体的方法，其通过将所述酸性气体与吸附剂接触，所述吸附剂包含占该吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，所述催化剂包含过渡金属化合物及氧化锰(II)，其中所述过渡金属化合物选自碳酸铜(II)及碳酸锰(II)。
25.一种吸附酸性气体的方法，其通过使用吸附剂，所述吸附剂包含占该吸附剂重量50-90wt.％的催化剂，所述催化剂包含过渡金属化合物及氧化锰(II)，其中所述过渡金属化合物选自碳酸铜(II)及碳酸锰(II)，该方法包含：
a.将该吸附剂置入干式洗涤塔中；
b.将该酸性气体通入该干式洗涤塔中，使该吸附剂与该酸性气体反应；以及
c.检测该酸性气体的含量。
26.如权利要求25的方法，其中通过气体检测器检测该酸性气体的含量。
27.如权利要求25的方法，其中所述过渡金属化合物与氧化锰(II)的摩尔比在0.5-4之间。
28.如权利要求25的方法，其中所述吸附剂还包含载体，所述载体用于负载该催化剂，增加该催化剂的机械强度。
29.如权利要求28的方法，其中所述载体为干燥剂，选自氧化铝、氧化硅、硅胶、硫酸钙、氧化镁及包含至少上述之一的组合。
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