CN100548512C - 排风管清洁系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种排气风管清洁系统，该清洁系统包含排气风管、集尘装置以及收集装置。集尘装置包含连通管、容纳壳体以及缓冲装置。排气风管位于最上方，收集装置设置于最下方，而集尘装置设置于排气风管与收集装置之间。其中，集尘装置的连通管连接于排气风管与容纳壳体之间，而缓冲装置包含第一阀门与第二阀门，第一阀门设置于容纳壳体以及连通管之间，第二阀门设置于容纳壳体与收集装置之间。

Description

排风管清洁系统

技术领域

本发明是关于一种排气风管清洁系统；具体而言，本发明是有关于一种供半导体工艺中处理粉尘所使用的排气风管清洁系统。

背景技术

半导体相关产业经过多年发展，制造技术精益求精。半导体制造工艺中需要使用例如气相沉积(CVD，chemical vapor deposition)以及蚀刻(etch)等化学相关的技术，其所衍生的废气以及粉尘等的废弃物，通常具有腐蚀性以及毒性，容易使制造设备损坏。因此，必须架设特殊设备对废弃物进行处理。一般而言，气相沉积以及蚀刻技术所产生的粉尘经由排气风管排放至集尘机，以进行过滤以及收集。然而，排气风管在长时间的运转下，常因排气温度下降或风速变低，而使得粉尘沉积在排气风管的管壁与底部。因此，排气风管必须以人工定期清理，否则，排气风管的使用效率下降将降造成废弃物处理不完善，进而损害半导体制造设备。

目前，进行排气风管的清洁程序时，排气风管系统必须中断运作，甚至制造机台也必须暂停运转，以供人员将排气风管拆卸下来以进行清洁。如此的清洁程序费时费力，造成半导体机台利用率下降，导致整体的产能下降。因此，如何设计一种排气风管清洁系统，以改善清洁排气风管系统的效率，成为半导体制造工艺中待解决的重要课题之一。

发明内容

本发明的目的在于提供一种排气风管清洁系统，该清洁系统具有较高效率的清洁功能。

本发明的另一目的在于提供一种排气风管清洁系统，该清洁系统可提升制程机台利用率。

本发明的上述目的可通过下列技术方案来实现，一种排风管清洁系统，该清洁系统包含：一排气风管，该排气风管具有一第一开孔以及至少一第二开孔，该第一开孔设置在该排气风管的底部；以及一集尘装置，该集尘装置包含一容纳壳体以及一连通管，该连通管设置在该排气风管与该容纳壳体之间。

在本发明的优选实施方式中，该集尘装置进一步包含一缓冲装置，该缓冲装置具有一第一阀门设置于该容纳壳体以及该连通管之间。

在本发明的优选实施方式中，该清洁系统更包含一收集装置，设置于该容纳壳体下方，其中该缓冲装置进一步具有一第二阀门设置于该容纳壳体与该收集装置之间。

在本发明的优选实施方式中，该第一阀门与该第二阀门分别包含一闸刀开关。

在本发明的优选实施方式中，该收集装置包含一集尘袋，该集尘袋可拆卸地设置在该收集装置内部。

在本发明的优选实施方式中，该集尘装置的该连通管、该缓冲装置以及该收集装置至少其一的内部表面具有一抗腐蚀性材质。

在本发明的优选实施方式中，该集尘装置的该连通管、该缓冲装置以及该收集装置至少其一的内部表面具有一抛光材质。

在本发明的优选实施方式中，该第一开孔与该第二开孔的孔径界于10厘米与30厘米之间。

在本发明的优选实施方式中，该第一开孔以及该第二开孔设置在该排气风管的不同位置的轴向的横截面上。

在本发明的优选实施方式中，该排气风管进一步具有多个第二开孔，设置在该排气风管之两侧边，该第一开孔以及该第二开孔于该排气风管的轴向的横截面的位置为等间距，且该第一开孔于该排气风管的轴向的横截面位置位于二个该第二开孔于该排气风管的轴向的横截面位置之间。

在本发明的优选实施方式中，该第一开孔以及该第二开孔于该排气风管的轴向的横截面位置的间距界于45厘米与75厘米之间。

本发明提出的排气风管清洁系统包含排气风管、集尘装置以及收集装置。排气风管位于最上方，收集装置设置于最下方，而集尘装置则连接于排气风管与收集装置之间。排气风管上具有第一开孔与第二开孔，具体而言，第一开孔形成于排气风管的底部而面对于集尘装置，第二开孔形成于排气风管的侧边。集尘装置包含连通管、容纳壳体以及缓冲装置。连通管连通容纳壳体与排气风管，而缓冲装置包括第一阀门与第二阀门，第一阀门设置于容纳壳体以及连通管之间，第二阀门设置于容纳壳体与收集装置之间，作为开关。

本发明提供的排气风管清洁系统，可在不中断排气风管运作以及不停止制程机台运转的情况下，进行排气风管的清洁程序。本发明的排气风管清洁系统可应用于半导体相关的产业的制造工艺之中，如晶片制造工艺或液晶面板制造工艺。

附图说明

图1为本发明的排气风管清洁系统的立体示意图；

图2为本发明的排气风管仰视示意图；

图3为本发明的排气风管清洁系统的剖面示意图；

图4a为本发明的缓冲装置一实施例的示意图；以及

图4b为本发明的缓冲装置一实施例的示意图。

附图标记说明：

10排气风管清洁系统

20排气风管

201第一开孔

202第二开孔

30集尘装置

301连通管

303容纳壳体

305缓冲装置

3051第一阀门

3052开口

3053闸刀

3055第二阀门

40收集装置

401集尘袋

具体实施方式

如图1所示，为本发明一实施例的排气风管清洁系统10的立体示意图。排气风管清洁系统10包括排气风管20、集尘装置30以及收集装置40。其中，排气风管20位于最上方，收集装置40设置于最下方，而集尘装置30则连接于排气风管20与收集装置40之间。本实施例中，排气风管20为圆柱状的中空导管且与地面平行地设置。然而在不同实施例中，排气风管亦可具有方形、椭圆形，或其它形状的截面，且可不与地面平行。排气风管20具有第一开孔201以及至少一个第二开孔202。图2为排气风管20的仰视图(由排气风管底部往上看)。排气风管20具有第一开孔201以及至少一个第二开孔202。第一开孔201与第二开孔202的孔径较佳是介于10厘米(公分)与30厘米之间。由图2可见，排气风管20的第一开孔201与第二开孔202在排气风管20的轴向横截面上是位于不同位置，且第一开孔201与第二开孔202的开口朝向不同方向；具体而言，第一开孔201设置于排气风管20的底部而面对于集尘装置30，第二开孔202较佳交错地设置于排气风管20的侧边。

进一步而言，如图2所示，第一开孔201于排气风管20的轴向横截面下方的位置，介于两个第二开孔202于排气风管20的轴向横截面上的位置之间，且第一开孔201与其相邻的每个第二开孔202的轴向横截面上之间等距离设置，如图2所示的距离d。在本实施例中，第一开孔201与第二开孔202在排气风管20的轴向横截面上的距离d较佳介于45厘米与75厘米之间。当排气风管20具有一个以上的第一开孔201以及两个以上的第二开孔202时，于排气风管20的同一侧边的多个第二开孔202是等间距的设置。

由于不同化学工艺所产生的粉尘或废弃物的化学属性不同，所选用的排气风管的材质也不尽相同；一般而言，化学相关工艺的排气风管材料选用具抗腐蚀性以及具耐燃性的材质；例如，抗酸碱腐蚀的聚丙烯(PP)塑料材质，或者，使用金属材质并在排气风管内部表面涂布抗腐蚀性材料。

请见图3，为本发明的排气风管清洁系统10的剖面示意图。本实施例中，排气风管清洁系统10的集尘装置30包含连通管301以及容纳壳体303。连通管301可为一长形的软管，连接于排气风管20的第一开口201以及容纳壳体303之间，如此可连通排气风管20所形成的空间以及容纳壳体303所形成的空间。容纳壳体303较佳地为下方有漏斗形状的容器，便于粉尘向下集中。集尘装置30更包括缓冲装置305。此实施例中，缓冲装置305包含第一阀门3051，设置于容纳壳体303以及连通管301之间，做为开关。值得注意的是，图3是以第一开孔201为中心的剖面示意图，由于本发明的排气风管清洁系统10的第一开孔201以及第二开孔202交错设置，所以第一开孔201以及第二开孔202位于不同的剖面，因此，图3的第一开孔201以实线表示，而第二开孔202以虚线表示。

排气风管清洁系统10的收集装置40置于集尘装置30的容纳壳体303的下方。收集装置40包含集尘袋401，该集尘袋401可拆卸地设置于收集装置40之中，以于必要时进行更换。此外，集尘装置30的缓冲装置305进一步包含第二阀门3055，设置于容纳壳体303与收集装置40之间，做为开关。

类似于排气风管20的材质，本发明的排气风管清洁系统10中构成集尘装置30以及收集装置40的材质，较佳地为抗腐蚀性材质，例如，抗酸碱腐蚀的聚丙烯(PP)塑料材质，或者，涂布抗腐蚀性材料的非抗腐蚀性的金属材质。此外，集尘装置30中的连通管301与容纳壳体303，以及收集装置40的内部表面较佳地为抛光材质表面，如此使粉尘不轻易堆积于该等装置之内。

图4a与图4b所示为缓冲装置305的第一阀门3051与连通管301及容纳壳体303的进一步示意图。于一实施例中，第一阀门3051较佳地为闸刀开关，其一端为开口3052，另一端为闸刀3053。第一阀门3051可选择性地关闭或开启，供容纳壳体303与连通管301选择性地连通。如图4a所示，缓冲装置305的第一阀门3051呈关闭状态，闸刀3053位于连通管301与容纳壳体303之间，而开口3052则被推出于连通管301与容纳壳体303之外；如图4b所示的缓冲装置305的第一阀门3051呈开启状态，如此容纳壳体303与连通管301之间透过开口3052连通，而闸刀3053被推出于连通管301与容纳壳体303之外。第一阀门3051的片状阀门结构于开启时，开口3052无开关结构遮蔽，如此，粉尘不会卡在第一阀门3051的开口3052上。同样地，第二阀门3055较佳地为闸刀开关。第二阀门3055亦可选择性地关闭或开启，供容纳壳体303与收集装置40选择性地连通。

以下说明如何利用本发明的排气风管清洁系统10进行粉尘的清洁。首先，清洁人员徒手或利用工具自第二开孔202伸入排气风管20之内，将排气风管20内壁上沉积的粉尘刮除，并集中在排气风管20的底部。而后，粉尘自排气风管20底部的第一开孔201进入连通管303内；此时打开第一阀门3051，则粉尘顺势落入集尘装置30的容纳壳体303所形成的空间内。当累积于容纳壳体303中的粉尘达到一定的份量，则可将第一阀门关闭隔离排气风管负压状态再将第二阀门3055打开，使粉尘落入收集装置40的集尘袋401中。当集尘袋401中装满了粉尘，则可将第二阀门3055关闭，并将装满粉尘的集尘袋401自收集装置40中取出，以打包丢弃或进一步处理。

如前所述，第一开孔201以及第二开孔202的孔径是于一合理的孔径范围内，一方面使人员轻易地伸入排气风管20中清理粉尘，另一方面不至于使粉尘自开孔掉出。另外，第一开孔201与其相邻的多个第二开孔202以等距设置，使人员可徒手或以工具构及排气风管20内部的每一处或至少大部份的面积，而有更佳的清洁效果。另外，连通管301尚未连接于集尘装置30的容纳壳体303之前，缓冲装置305的第一阀门3051关闭，可防止粉尘掉落于连通管301之外；同样地，容纳壳体303尚未连接于收集装置40之前，缓冲装置305的第二阀门3055关闭，可防止粉尘掉落于容纳壳体303之外。

由上述内容可知，本发明的排气风管清洁系统10进行以上的排气风管清理程序时，并不需要将排气风管20拆卸下来，也不需中断排气风管20的运作。

本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本发明的范围。相反地，包含于权利要求书的精神及范围的修改及均等设置均包含于本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种排风管清洁系统，其特征是，该清洁系统包含：

一排气风管，该排气风管具有一第一开孔以及至少一第二开孔，该第一开孔设置在该排气风管的底部；以及

一集尘装置，包含：一容纳壳体、一连通管和一缓冲装置，该连通管设置在该排气风管与该容纳壳体之间；该缓冲装置具有一第一阀门，设置于该容纳壳体以及该连通管之间。

2.如权利要求1所述的排风管清洁系统，其特征是，该清洁系统更包含一收集装置，设置于该容纳壳体下方，其中该缓冲装置进一步具有一第二阀门，设置于该容纳壳体与该收集装置之间。

3.如权利要求2所述的排风管清洁系统，其特征是，该第一阀门与该第二阀门分别包含一闸刀开关。

4.如权利要求2所述的排风管清洁系统，其特征是，该收集装置包含一集尘袋，该集尘袋可拆卸地设置在该收集装置内部。

5.如权利要求2所述的排风管清洁系统，其特征是，该集尘装置的该连通管、该缓冲装置以及该收集装置至少其一的内部表面具有一抗腐蚀性材质。

6.如权利要求2所述的排风管清洁系统，其特征是，该集尘装置的该连通管、该缓冲装置以及该收集装置至少其一的内部表面具有一抛光材质。

7.如权利要求1所述的排风管清洁系统，其特征是，该第一开孔与该第二开孔的孔径界于10厘米与30厘米之间。

8.如权利要求1所述的排风管清洁系统，其特征是，该第一开孔以及该第二开孔设置在该排气风管的不同位置的轴向的横截面上。

9.如权利要求8所述的排风管清洁系统，其特征是，该排气风管进一步具有多个第二开孔，设置在该排气风管之两侧边，该第一开孔以及该第二开孔于该排气风管的轴向的横截面的位置为等间距，且该第一开孔于该排气风管的轴向的横截面位置位于二个该第二开孔于该排气风管的轴向的横截面位置之间。

10.如权利要求8所述的排风管清洁系统，其特征是，该第一开孔以及该第二开孔于该排气风管的轴向的横截面位置的间距界于45厘米与75厘米之间。

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