CN100533805C - 真空设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种真空设备，包括一个第一腔体、一个第二腔体以及一个导管。该第一腔体呈真空状态并具有一个通孔，该第二腔体设于该第一腔体内，该导管的一端固接于该第二腔体，另一端穿过该通孔而延伸至该第一腔体的外部，使该第二腔体与该第一腔体的外部相通。借此，可在真空的第一腔体中创造出一个非真空的第二腔体，以便于设置观测元件。
Description
技术领域
本发明涉及一种真空设备，特别是涉及一种在真空腔体中设置另一非真空腔体供安装观测装置的真空设备。
背景技术
有机发光二极管的蒸镀必须在真空环境中进行。早期的有机发光二极管的发光单元是单色的，在蒸镀时无须进行精密对位，但是现今有机发光二极管的发光单元中包含多种颜色的材料，因此在蒸镀时，必须进行精密对位，使多种颜色的有机发光材料能分别排列在适当的位置上。
若要进行精密对位，一般使用电荷耦合装置(chargecoupled device，CCD)观测对位的进行，而电荷耦合装置必须在大气环境下才能做有效观测。但是，在申请人现有的设备中，由于并未提供适当的观测窗供电荷耦合装置从真空设备的外部进行观测，在不做设备更新的前提下，欲使旧有的真空设备也能具有精密对位的能力，需要在旧有真空设备的真空腔体中制造出一个非真空的环境，供电荷耦合装置直接设置在真空设备的内部进行对位观测。
一般的真空设备的腔体在完成之后会预留一些盲孔突缘，供日后追加其他元件。此盲孔突缘的构造如图1所示，在真空设备的真空腔体壁10上具有一个通孔20，一个环状的CF标准真空突缘(CF standard vacuum flange)30安装于真空腔体壁10上并围绕该通孔20，在CF标准真空突缘30的上方安装有一个CF盲孔突缘(CF blank flange)40，CF标准真空突缘30与CF盲孔突缘40以埋头螺栓50固定于真空腔体壁10上。为了保持真空腔体良好的气密性，在CF标准真空突缘30与CF盲孔突缘40之间设有CF衬垫60。
在此构造中，若欲追加额外的元件，必须与原来的厂商接洽，请对方设计特殊的接头，但数量太少时，厂商通常不愿意配合。如果可以直接将CF盲孔突缘40进行改造但又不会破坏真空，则可以在通孔20的下方创造出一个非真空的腔体以便设置上述电荷耦合装置。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的是在真空设备的真空腔体中，创造出一个非真空环境，以供设置观测装置。
为了实现上述目的，本发明提供一种真空设备，包括一个第一腔体、一个第二腔体、一个导管、一个观测装置以及多个支持机构。该第一腔体呈真空状态并具有一个通孔，该第二腔体设于该第一腔体内，该导管的一端固接于该第二腔体，另一端穿过该通孔而延伸至该第一腔体的外部，使该第二腔体与该第一腔体的外部相通，该观测装置设置于该第二腔体中，并具有一个导线经过该导管而延伸至该第一腔体的外部，该多个支持机构设于该第二腔体上，使该观测装置被支持于该第二腔体中，其中，该第二腔体设有多个开口对应于该支持机构，该支持机构经由该开口延伸于该第一腔体中。这样，可在真空的第一腔体中创造出一个非真空的第二腔体，以便于设置观测元件。
本发明所述的真空设备，还包括一个套筒，设于该导管与该通孔之间。
本发明所述的真空设备，还包括一个第一突缘，设于该第一腔体的外侧并围绕该导管，以及多个第一O形环，设置于该导管与该第一突缘之间。
本发明所述的真空设备，还包括一个固定用螺帽，套合于该导管位于第一腔体外部的一端的外侧，并且位于该第一突缘的上方，使该导管固定于该第一突缘上。
本发明所述的真空设备，还包括一个间隔块，设于该固定用螺帽与该第一突缘之间。
本发明所述的真空设备，该支持机构包括一个调整部位于该第一腔体中，以及一个支持部结合于该调整部并经由该开口连接于该观测装置。
本发明所述的真空设备，还包括多个第二突缘围绕该开口，同时该支持机构还包括一个基座安装于该第二突缘上，该基座具有一个安装孔，该支持部经由该安装孔连接于该观测装置。该调整部可以是一个螺栓，该支持部可以是一个圆柱形构件，一端枢接于该观测装置，另一端螺合于该螺栓，通过旋转该螺栓使该圆柱形构件上下移动而调整该观测装置的位置，在该支持部与该安装孔之间设有多个第二O形环。
本发明所述的真空设备，还包括一个观测窗，设于该第二腔体上，供该观测装置透过该观测窗量测位于该第一腔体中的对象物体。
本发明所述的真空设备，该观测装置可以是电荷耦合装置。
本发明所述的真空设备，还包括多个组装用窗口，设于该第二腔体上并分别对应于该导管以及该观测装置的位置。
本发明所述的真空设备，还包括一个接头，可结合于该导管位于第一腔体外部的一端。该接头包括：一个环形的承载座，套接并螺合于该导管位于第一腔体外部的一端；一个管状的接头本体，穿过该承载座并插入于该导管位于第一腔体外部的一端的管口；一个第三突缘从该接头本体的外侧延伸出，供嵌合于该承载座；以及一个环形的锁扣件，套接并螺合于该承载座的外围，同时使该第三突缘固定于该承载座上。在该接头本体与该导管之间设有多个第三O形环。
本发明提供的真空设备，包括一个呈真空状态并具有通孔的第一腔体、一个第二腔体和一个导管。第二腔体放置在第一腔体内，导管的一端与第二腔体连接，另一端通过通孔延伸至第一腔体的外部，从而在真空设备的腔体内创造出一个非真空环境。
附图说明
图1是现有的用于有机发光材料的真空蒸镀设备中，真空腔体壁上所预留的盲孔。
图2是本发明真空设备的剖视图。
图3是图2的部分放大图。
图4是图3中A部分的放大图。
图5是图3中B部分的放大图。
图6是本发明的测漏接头安装于第二腔体的示意图。
具体实施方式
为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举出较佳实施例，并结合附图加以详细说明。
图2是本发明一个较佳实施例的剖视图。在图2中，第一腔体100为实施有机发光材料蒸镀的真空腔体，因此在第一腔体100的内侧为真空侧，外侧为大气侧。在第一腔体100中设置一个第二腔体200，一个导管300穿过第一腔体壁110的一个通孔115，一端连接于第二腔体200，另一端则开放于大气侧(第一腔体100的外侧)，如此使大气环境可延续于第二腔体200中。在第二腔体200中安装有供观测对位的电荷耦合装置(以下称CCD装置)400，而CCD装置400的信号缆线及电源线(图未示)则经由导管300延伸至第一腔体100的外侧。
图3是图2的内部结构部分放大图。由图3可知，导管300在连接于第二腔体200的一端具有一个突缘310，以螺栓220固定在第二腔体壁210上，并借此与第二腔体200相通。导管300的详细配置可参照图4，图4是图3中A部分的放大图。在图4中，导管300穿过通孔115而延伸至第一腔体100的外侧，在通孔115的周围设有一个环状的CF标准真空突缘120，在CF标准真空突缘120上设有一个第一突缘122，CF标准真空突缘120与第一突缘122以螺栓124固定于第一腔体壁110上。此第一突缘122原为现有设备中的CF盲孔突缘，但经过加工改进可使导管300穿过。如此直接改造原来的盲孔突缘，日后不使用时可直接拆除，再购买一个相同的盲孔突缘用于封闭通孔115，无须请制造厂商重新设计，较具经济性。
为了保持第一腔体100的高度真空，防止气体自大气侧渗漏至第一腔体100中，除了原有的CF衬垫125保持a方向的气密性外，在通孔115与导管300之间设置一个套筒126，其目的在于导正300的垂直度，并在第一突缘122与导管300之间设置多个第一O形环(在本实施例中使用两个O形环，两个O型环是必要的，而且距离不能太远)320以保持b方向的气密性。导管300的突缘310与第二腔体壁210之间由于使用螺栓220固定，已经具有某种成度的气密性，再使用双O形环340防止气体自第二腔体200渗漏至第一腔体100中。
在导管300位于第一腔体100外侧的一端上形成螺纹，通过多个固定用螺帽360，可将导管300固定于第一突缘122上，同时可在固定用螺帽360与第一突缘122之间设置一个间隔块380，使固定用螺帽360不直接压在第一突缘122上，因为螺帽直接压时接触面压不够均匀。由于导管300固接于第二腔体200，通过将导管300固定于第一突缘122可使第二腔体200固定于第一腔体100上。
接着说明CCD装置400在第二腔体200中的配置。如图3所示，CCD装置400包括一个棱镜部410用来将通过设于第二腔体壁210上的观测窗290的光线L折射至CCD装置400的接收单元430。为了调整位置以便精确地接收光线，CCD装置400在第二腔体200中由多个具有微调功能的支持机构(本实施例中为两个)500所支持。在第二腔体壁210上设有多个开口240，便于设置该支持机构500。
图5是图3中B部分的放大图。在图5中，支持机构500包括一个基座510，以螺栓520固定于第二突缘260上；一个圆柱形的支持部530，其一端枢接于CCD装置400，另一端位于基座510的安装孔512中；以及一个与支持部530连接的调整部540。在本实施例中，调整部540为一个调整螺栓，螺合于支持部530的调整螺孔532中，通过旋转调整部540，可使支持部530在安装孔512中上下移动，借此调整CCD装置400的角度及高度。同时，调整部540位于第二腔体200的外侧，无须拆下组装用盖板280即可进行CCD装置400的调整。为了保持良好的气密性，在支持部530与安装孔512之间设有多个第二O形环(在本实施例中为两个)560。
又如图6所示，为了便于组装，在第二腔体200上还设有数个组装用窗口211、212、213、214。
为了测试第二腔体200是否具有良好的气密性，可将第二腔体200连同导管300置于水中，然后从导管300的管口充气以增加气压，再从水中观察有无气漏，为此设计出一个特殊的测漏接头700安装于导管300的管口。此测漏接头700主要包括一个承载座710、一个接头本体720、一个第三突缘730、一个锁扣件740以及O型环750。环形的承载座710套接并锁住导管300的管口。管状的接头本体720可穿过承载座710并插入导管300的管口。第三突缘730从接头本体720的外侧延伸出，使接头本体720嵌合于承载座710。环形的锁扣件740具有一个径向延伸的突缘741，在锁扣件740套接并螺合于该承载座710外围的同时，可使第三突缘730固定于承载座710上。充气时可经由管状的接头本体720将空气送入第二腔体200中，同时在接头本体720的外侧设有多个第三O形环750，使接头本体720与导管300结合时，可以保持良好的气密性。
通过上述构造，可在真空的第一腔体中创造出一个非真空的第二腔体，使CCD装置得以直接设置于真空的第一腔体中，进行对位观测。
虽然本发明已通过较佳实施例说明如上，但该较佳实施例并非用以限定本发明。本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，应有能力对该较佳实施例做出各种更改和补充，因此本发明的保护范围以权利要求书的范围为准。
附图中符号的简单说明如下：
10：真空腔体壁 110：第一腔体壁
20：通孔 115：通孔
30：CF标准真空突缘 120：CF标准真空突缘
40：CF盲孔突缘 122：第一突缘
50：埋头螺栓 124：螺栓
60：CF衬垫 125：CF衬垫
100：第一腔体 126：套筒
200：第二腔体 430：接收单元
211、212：组装用窗口 500：支持机构
213、214：组装用窗口 510：基座
220：螺栓 512：安装孔
240：开口 520：螺栓
260：第二突缘 530：支持部
280：盖板 532：调整螺孔
290：观测窗 540：调整部
300：导管 560：第二O形环
310：突缘 700：测漏接头
320：第一O形环 710：承载座
340：O形环 720：接头本体
360：固定用螺帽 730：第三突缘
380：间隔块 740：锁扣件
400：电荷耦合装置 741：突缘
410：棱镜部 750：第三O形环
Claims (9)
1、一种真空设备，其特征在于包括：
一个第一腔体，呈真空状态并且具有一个通孔；
一个第二腔体，设于该第一腔体内；
一个导管，一端固接于该第二腔体，另一端穿过该通孔而延伸至该第一腔体的外部，使该第二腔体与该第一腔体的外部相通；
一个观测装置，设置于所述第二腔体中，该观测装置具有一个导线经过所述导管而延伸至所述第一腔体的外部；以及
多个支持机构，设于所述第二腔体上，使所述观测装置被支持于所述第二腔体中，
其中，所述第二腔体设有多个开口对应于所述支持机构，所述支持机构经由该开口延伸于所述第一腔体中。
2、根据权利要求1项所述的真空设备，其特征在于还包括一个套筒，设于所述导管与所述通孔之间。
3、根据权利要求1项所述的真空设备，其特征在于所述支持机构包括一个位于所述第一腔体中的调整部，以及一个结合于该调整部并经由所述开口连接于所述观测装置的支持部。
4、根据权利要求3项所述的真空设备，其特征在于还包括多个第二突缘围绕所述开口，并且所述支持机构还包括一个安装于所述第二突缘上的基座，该基座具有一个安装孔，所述支持部经由该安装孔连接于所述观测装置。
5、根据权利要求4项所述的真空设备，其特征在于所述调整部为一个螺栓，所述支持部为一个圆柱形构件，一端枢接于所述观测装置，另一端与该螺栓螺合，通过旋转该螺栓使该圆柱形构件上下移动而调整所述观测装置的位置。
6、根据权利要求5项所述的真空设备，其特征在于还包括多个设于所述支持部与所述安装孔之间的第二O形环。
7、根据权利要求1项所述的真空设备，其特征在于还包括一个观测窗，设于所述第二腔体上，供所述观测装置透过该观测窗测量位于所述第一腔体中的对象物体。
8、根据权利要求1项所述的真空设备，其特征在于所述观测装置为电荷耦合装置。
9、根据权利要求1项所述的真空设备，其特征在于还包括多个组装用窗口，设于所述第二腔体上并分别对应于所述导管以及所述观测装置的位置。
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