CN100429472C - 滑动装置和测量机 - Google Patents

Abstract

一种滑动装置，包括：底座部(200)；行走座(300)，该行走座(300)设置在底座部(200)上，并可沿由规定导向机构(400)导向的方向相对于底座部(200)滑动；齿条(510)，该齿条(510)沿导向机构(400)的导向方向固定于底座部(200)上；小齿轮(520)，该小齿轮(520)与齿条(510)的齿啮合，由规定驱动源(564)旋转驱动；摆臂(540)，该摆臂(540)由轴可旋转地支承小齿轮(520)，且具有与小齿轮(520)的旋转轴大致平行的摆动轴(550)，以连结摆动轴(550)与小齿轮(520)的旋转轴的线相对于齿条(510)大致平行的状态为基准状态，上述摆臂(540)通过摆动轴(550)可摆动地连接于行走座(300)上；加力机构(570)，该加力机构(570)经由摆臂(540)朝向齿条(510)对小齿轮(520)施加力。

Description

滑动装置和测量机

技术领域

本发明涉及滑动装置及测量机。

背景技术

以往，人们知道有齿条和小齿轮机构，并知道由该齿条和小齿轮驱动的滑动装置(例如，文献1：日本特许第3133005号公报、和文献2：日本特开2001-151465号公报)。

在图7中揭示了现有技术的滑动装置。

滑动装置900包括：上表面具平面的长方形的底座部910、沿底座部910的长度方向往复移动的移动座920、对移动座920的移动方向进行导向的导向机构930、驱动移动座920的驱动装置940。

导向机构930包括：在底座部910的上表面上相互平行地铺设的两根导轨931、932；分别骑在导轨931、932上、并在导轨931、932上滑动的滑动部件933、934。滑动部件933、934安装于移动座920的下表面上，通过使这些滑动部件933、934沿导轨931、932滑动，来对移动座920的移动方向进行导向。

驱动组件940包括：配设于两根导轨931、932之间、且与导轨931、932平行的齿条941；与齿条941啮合的小齿轮942、旋转驱动小齿轮942的电动机943。

电动机943安装固定于移动座920上，小齿轮942直接与电动机943的转子连结。

其中，齿条941的齿面设置于齿条941的一侧面(与任何一方的导轨相对的面)上，小齿轮942的旋转轴方向为与底座部910的上表面垂直的方向。

在该构造中，当发动机943进行旋转驱动时，小齿轮942被旋转驱动。于是，小齿轮942通过与齿条941的啮合而沿齿条941移动。而且，伴随着小齿轮942的移动，移动座920与电动机943一起移动。此时，移动座920沿导轨931、932滑动，从而，移动座920的移动方向被沿导轨931、932的方向导向。

然而，由于小齿轮942的轨道沿着齿条941的齿面，所以当齿条齿面上有高低差异等精度误差时，小齿轮942朝向与齿条941正交的方向振动，因而使小齿轮942的轨道振动。像这样，由于小齿轮942沿与齿条941正交的方向振动时，移动座920也沿同样的方向振动，所以会产生移动座920的移动精度变差的问题。

在这里，若单为了提高导向机构930的导轨931、932与滑动部件933、934的啮合精度，则理论上也可将移动座920的移动方向(强行)规定为沿导轨931、932的方向。然而，这样却会产生以下问题，即、在齿条941与小齿轮942的啮合上产生过大压力，驱动组件(齿条、小齿轮、电动机)破损，因而产生啮合不良。另外，相反地，当小齿轮942朝向与齿条941正交的方向振动、因而产生沿与齿条941正交的方向的应力时，由于该方向与导向机构930(导轨和滑动部件)所导向的方向正交，所以在导向机构930(导轨与滑动部件)上加载有大的压力，当像这样在导向机构930上加载大的压力时，会产生导向机构930(导轨和滑动部件)的耐久性及将其几何精度损坏的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于，提供一种滑动装置及测量机，其移动座的移动精度得到提高的同时耐久性也得到提高，从而精度得到维持。

本发明的滑动装置，其特征在于，包括：底座部；行走座，该行走座设置在上述底座部上，并可沿由规定导向机构导向的方向相对于上述底座部滑动；齿条，该齿条沿上述导向机构的导向方向固定于上述底座部或上述行走座上；小齿轮，该小齿轮与上述齿条的齿啮合，由规定驱动源旋转驱动；摆臂，该摆臂由轴可旋转地支承上述小齿轮，且具有与上述小齿轮的旋转轴大致平行的摆动轴，以连结上述摆动轴与上述小齿轮的旋转轴的线相对于上述齿条大致平行的状态为基准状态，上述摆臂通过上述摆动轴可摆动地连接于上述底座部或上述行走座上；加力机构，该加力机构经由上述摆臂朝向上述齿条对上述小齿轮施加力。

若采用这种构造，由于当小齿轮由驱动源旋转驱动时，通过小齿轮和齿条的啮合可得到相对移动的推进力，所以通过该推进力，行走头相对于底座部滑动。

在这里，例如，当齿条齿上有高低偏差时，应力朝向与齿条正交的方向作用于小齿轮和齿条上。

此时，由于小齿轮由摆臂摆动支承，所以小齿轮可朝向与齿条大致正交的方向摆动而进行退避。因此，在小齿轮与齿条之间不会产生过大的啮合压力，从而能够防止小齿轮和齿条的损伤、可维持几何精度。另外，由于沿与齿条正交的方向的应力被通过摆臂的摆动而产生的小齿轮的摆动吸收，所以在导向机构上不会作用有与导向方向异向的压力，从而能够防止导向机构的损伤、并维持几何精度。其结果为，移动座可以高精度移动。

当小齿轮被以可摆动的方式支承时，由于由加力机构经由摆臂朝向齿条侧施加力，所以齿条与小齿轮的啮合压力保持恒定。于是，不仅能够防止啮合脱开等，还能够防止大的齿隙游移。

以摆动轴与小齿轮的旋转轴相对于齿条大致平行的状态为基准，摆臂被摆动支承，其摆动端侧(摆动轴一侧的相反侧、小齿轮的旋转轴侧)被朝向齿条施加力，此时，小齿轮被相对于齿条的齿面大致垂直地施加力。若相对于齿条具有倾斜角地对小齿轮施加力，则会因小齿轮与齿条的相对移动方向(顺着加力方向的方向或与加力方向相反的方向)的不同而引起施加力的作用不同，由于能够相对于齿条大致垂直地对小齿轮施加力，所以不管齿条与小齿轮的相对移动方向如何，都能够获得合适的啮合压力。

在本发明中，上述加力机构包括：壁板部，该壁板部隔着上述小齿轮与上述齿条的齿面相对配置；张紧辊，该张紧辊与上述壁板部相抵接、且一边旋转一边沿上述壁板部移动；杆臂，该杆臂设置成以与上述摆臂大致平行的状态为基准状态可摆动，在该杆臂的大致中央处由轴可旋转地支承张紧辊；加力部件，该加力部件朝向使上述杆臂从上述摆臂离开的方向对上述杆臂的一端施加力；连结杆，该连结杆从上述摆臂的摆动端突出、并与该摆动端相连续，并且该连结杆以可旋转的方式与上述杆臂的另一端相连结。

若采用该构造，则由于杆臂以张紧辊的旋转轴为支点摆动，所以能够利用杠杆原理朝向齿条对摆臂的摆动端施加力。其结果为，小齿轮被朝向齿条施加力。

本发明的测量机，其特征在于，包括：上述滑动装置；测量部，该测量部具有检测部，该检测部由上述移动座带着移动，通过对被测量物表面进行扫描而对被测量物进行检测；位置检测组件，该位置检测组件用于对上述检测部的坐标位置进行检测。

采用这种构造，能够起到与上述发明同样的作用效果。而且由于滑动装置的滑动精度高，所以能够高精度地对被测量物进行测量。

附图说明

图1是本发明的测量机的一实施方式的测量机的整体图。

图2是上述实施方式的将基盖卸下后的状态下的移动部及底座部的放大图。

图3是上述实施方式中的驱动单元的局部图。

图4是在上述实施方式中从图3中的IV方向看驱动单元的局部图。

图5是在上述实施方式中从移动座的移动方向看导向机构的局部图。

图6是上述实施方式中的移动部的俯视图。

图7是表示现有技术的滑动装置的图。

具体实施方式

以下参照附图和在图中各要素上标注的附图标记对本发明的实施方式进行说明。

参照图1～图6对本发明的一实施方式进行说明。

图1为测量机的整体图。图2是处于将座盖卸下状态的移动部及底座部的放大图。图3是驱动单元的局部图，图4是从图3中的IV方向看驱动单元的局部图。图5是从移动座的移动方向看导向机构的局部图。图6是移动部的俯视图。

作为本发明的测量机的三座标测量机100包括：长方形的底座部200；移动部800，该移动部800设置成能够沿底座部200的长度方向往复移动；测量部700，该测量部700随着移动部800一起移动、用于对被测量物进行测量(参照图1、图2)。

底座部200包括：基台部210、在其与基台部210之间间隔形成收纳空间250的座罩220、封闭底座部200的两端面的端板部230、230。

基台部210是大致长方体形状，其长度较长，上表面为平面。为了不使基台部210产生热变形，例如，由低热膨胀性的材料来形成该基台部210。

在基台部210的上表面上，设置有沿基台部210的长度方向延伸、并与基台部210同长度的3根台座211、212、213，这些台座211、212、213之间间隔开规定间隔。从基台部210的一侧边缘起依次配置台座211、台座212、台座213。

座罩220包括：与基台部210的上表面大致相同形状的顶板部224、从顶板部224的两侧边缘弯曲形成的侧板部225，该座罩220设置于基台部210的上表面侧，且在其与基台部210的上表面之间间隔出预定的收纳空间250。

在顶板部224上开口形成有3条狭缝221、222、223，该3条狭缝221、222、223沿顶板部224的长度方向延伸，其长度与顶板部224的长度相同。其中，狭缝221、222、223各自的位置与台座211、212、213的位置大致对应。

移动部800包括：沿底座部200的长度方向往复移动的移动座300、对移动座300的移动方向进行导向的导向机构400、驱动移动座300的驱动单元500、将驱动单元500连结于移动座300上的连结机构600。

接下来对移动座300进行说明。

移动座300包括：移动座主体330、移动座罩321(参照图1)、高台部310。

移动座主体330整体形成为大致扁平长方体形状。移动座主体330在基盖220上移动，测定部700竖立设置于移动座主体330的上表面上。

而且，移动座主体330具有俯视呈矩形状的凹部320(参照图6)，该凹部320是从移动座主体330的一端面的大致中央以规定宽度朝向移动座主体330的中心切槽而成的，移动座盖321被设置成覆盖凹部320。

高台部310沿移动座主体330的两侧边缘立设于下表面上。在此，从移动座主体330的一侧边缘侧竖立设置高台311，从移动座的另一侧边缘侧竖立设置高台312。

在此，当移动座主体330在座罩220的上表面上移动时，高台部310(高台311、312)插入座罩220的狭缝221、223中，其下端位于底座部200内的收纳空间250中。

为了谋求轻量化，例如用铝合金等形成移动座300。

接下来对导向机构400进行说明。

导向机构400配设于底座部200内的收纳空间250内。

导向机构400包括：主导向机构410，该主导向机构410沿底座部200的长度方向(第1方向，移动座的移动方向)导向；副导向机构450，该副导向机构450沿与底座部200的长度方向正交的方向(第2方向，与主导向机构410的导向方向正交的方向)导向(参照图2、图5、图6)。

其中，严密地说，主导向机构410的导向方向与副导向机构450的导向方向并未交叉(严密地说，是位于立体交叉的位置上)，说明书中所说的主导向机构410的导向方向与副导向机构450的导向方向交叉或正交是指各方向分别在基台部210的上表面上投影的方向交叉。

主导向机构410包括：主导轨420，该主导轨420沿基台部210的长度方向配设于基台部210上表面上；主滑动部件430，该主滑动部件430在主导轨420上滑动。

主导轨420包括：第1主导轨421，该第1主导轨421配设于基台部210的一侧边缘侧；第2主导轨422，该第2主导轨422配设于基台部210另一侧边缘侧的台座213的上表面上。

主滑动部件430为截面呈コ字状的部件，其骑在主导轨420上。

主滑动部件430包括：在第1主导轨421上滑动的第1主滑动部件431和第2主滑动部件432、在第2主导轨422上滑动的第3主滑动部件433和第4主滑动部件434。

第1主滑动部件431及第2主滑动部件432通过副导向机构450与高台部310的下端连结。在这里，在移动座300的下表面侧，第1主滑动部件431配置于其一端侧，第2主滑动部件432配置于其另一端侧。

第3主滑动部件433安装固定于高台312的一端侧，第4主滑动部件434安装固定于高台312的另一端侧。

副导向机构450包括：副导轨460，该副导轨460沿与主导向机构410的导向方向大致正交的方向分别配设于第1主滑动部件431及第2主滑动部件432的上表面上；副滑动部件470，该副滑动部件470在副导轨460上滑动。

副导轨460包括：配设于第1主滑动部件431的上表面上的第1副导轨461、配设于第2主滑动部件432的上表面上的第2副导轨462。

副滑动部件470为截面呈コ字状的部件，其骑在副导轨460(第1副导轨461、第2副导轨462)上，副滑动部件470包括：在第1副导轨461上滑动的第1副滑动部件471、和在第2副导轨462上滑动的第2副滑动部件472。

在此，第1副滑动部件471安装固定于高台311的一端侧，第2副滑动部件472安装固定于高台311的另一端侧。

接下来对驱动单元500进行说明。

驱动单元500包括：沿基台部210的长度方向配设的齿条510、与齿条510啮合的小齿轮520、摆动支承小齿轮520的摆动支承组件530、旋转驱动小齿轮520的旋转驱动单元560、朝向齿条510对小齿轮520施加力的加力机构570(参照图2、图3、图4)。

齿条510固定于台座212上，该齿条510位于第1主导轨421与第2主导轨422之间，与两导轨421、422平行。

齿条510具有齿条齿，齿条齿面设于齿条510的一侧面(与第1主导轨相对一侧的面)。即、齿条齿面的法线方向为与基台部210的上表面平行的方向，另外，其相对于主导向机构410的导向方向垂直。

小齿轮520具有与齿条510的齿啮合的小齿轮齿，小齿轮520的旋转轴方向为与基台部210的上表面垂直的方向。而且，通过小齿轮520与齿条510啮合的同时进行旋转，小齿轮520沿底座部200的长度方向往复运动。

摆动支承组件530由摆臂540构成，该摆臂540由轴支承可旋转的小齿轮520，而且其一端由与小齿轮520的旋转轴平行的摆动轴550支承，另一端可朝向相对于齿条510接近或远离的方向摆动。

摆臂540包括：臂主体部541，该臂主体部541配设于移动座主体330的凹部320上；小齿轮收容部542，该小齿轮收容部542与臂主体部541的下端相连续、用于收容小齿轮520。

臂主体部541在其一端上穿入有摆动轴550，其另一端可绕该摆动轴550摆动。

小齿轮收容部542设置为框状，在臂主体部541的下端形成有相对于齿条齿面垂直的贯通孔542D，包括：与臂主体部541的一端侧相连续并从该一端侧垂下的一端侧柱部542A、与臂主体部541的另一端侧连续并从该一侧垂下的另一端侧柱部542B、连接一端侧柱部542A与另一端侧柱部542B的下端的下梁部542C。在小齿轮收容部542的贯通孔542D内收纳有小齿轮520。

在此，连结小齿轮520的旋转轴与摆臂540的摆动轴的线L(参照图4)相对于齿条510大致平行。

旋转驱动单元560包括：电动机(驱动源)564、传递电动机564的旋转动力的传递机构563、通过传递机构563由电动机564旋转驱动的驱动齿轮565、由驱动齿轮565旋转驱动的驱动轴566。

从臂主体部541的一侧边缘突出设置有支架562(参照图3)，该支架562与臂主体部541的一侧缘相连续，在该支架562上设置有壳体561。而且，将电动机564配设为从壳体561垂下的状态，并在壳体561内配设传递机构563，该传递机构563包括齿轮组、皮带及皮带轮。

驱动齿轮565设置于皮带轮主体部541的上表面上并可旋转，驱动齿轮565的旋转轴线与小齿轮520的旋转轴线一致。

驱动轴566贯通臂主体部541及小齿轮收容部542且可旋转，并连结驱动齿轮565与小齿轮520的旋转轴。而且，驱动齿轮565的旋转通过驱动轴566传递至小齿轮520，小齿轮520从动于驱动齿轮565而旋转。

另外，通过驱动轴566贯通摆臂540，使驱动轴566与摆臂540接合。

加力机构570包括：壁板部571，该壁板部571配设为与齿条510大致呈平行状，在它们之间设置有小齿轮520；张紧辊573，该张紧辊573与壁板部571相抵接，一边旋转一边沿壁板部571移动；杆臂572，该杆臂572被设置为与摆臂540大致平行，在大致中央处以轴支承张紧辊573，使其能够旋转；弹簧574，该弹簧574朝向从摆臂540离开的方向对弹杆臂572的一端作用弹力；连结杆576，该连结杆576从摆臂540的另一端突出设置并与摆臂540相连续，以可旋转的方式与杆臂572的另一端连结(参照图4、图6)。

壁板部571通过台座211配设于基台部210的上表面上，其隔着预定距离与齿条510相对、并在它们之间设置有小齿轮520。

张紧辊573具有旋转轴，该旋转轴大致垂直于基台部210的上表面。连结张紧辊573的旋转轴与小齿轮520的旋转轴的线与齿条510大致正交。

在壁板部571与小齿轮收容部542之间，杆臂572配设成分别相对于壁板部571和小齿轮收容部542大致平行且可摆动。而且，在杆臂572的大致中央设置有可旋转的张紧辊573。由此，杆臂572成为以张紧573的旋转轴为支点的“杠杆”。

另外，在杆臂572的一端与小齿轮收容部542的一端(一端侧柱部542A)之间夹装弹簧574，由该弹簧574对杆臂572的一端作用朝向使其从小齿轮收容部542的一端离开的方向(使杆臂572的一端接近壁板部571的方向)的弹性作用力。

连结杆576从小齿轮收容部542的另一端(另一端侧柱部542B)朝向壁板部571突出设置、并与该小齿轮收容部542的另一端相连续，杆臂572的另一端枢支于连结杆576上，可相对于该连结杆576自由旋转。

在此，当杆臂572的一端由弹簧574朝向使其从齿条510离开的方向施加弹力时，杆臂572的另一端被被朝向齿条510侧施加力。由此，经由连结杆576摆臂540的另一端被朝向齿条510侧施加力。

接下来对连结组件600进行说明。

连结组件600包括：摆动支承框610、连结部件620、620(参照图2、图6)。

摆动支承框610是具有贯通孔的框状部件，其套于摆臂540的一端上，使得在上述贯通孔中穿入摆臂540。而且，贯通摆动支承框610和摆臂540的一端设置有摆动轴550，以摆动轴55为中心，摆臂540可相对于摆动支承框610摆动。

连结部件620、620是截面呈L字状的部件，其用于将摆动支承框610安装于移动座主体330上。

在此，由底座部200与移动座800构成了滑动装置。

测量部700包括：Z立柱710，该Z柱710竖立设置于移动座300的上表面上；Y测杆720，该Y测杆720设置在Z柱710上，可在Z柱710上自由升降，且其长度方向与底座部200的长度方向正交。Y测杆可自由伸缩，在Y测杆前端设有测头730，该测头730与被测量物(未图示)抵接而检测被测量物的表面。

最好是在规定部位上设置用于检测测头730的坐标的位置检测机构740。这种位置检测机构740可使用以下构造。

例如，可以是检测移动座300的位置的检测机构，也可以是用于检测第2主导轨422与第3主滑动部件433(或第4主滑动部件434)的相对位移量的位移检测机构741(参照图5)。或者也可以是用于检测电动机564的旋转的旋转检测装置742(参照图3)。或者也可以是用于检测小齿轮520的转速的旋转检测机构743(参照图6)。

另外，最好是具有用于检测Y测杆720相对于Z立柱710的升降量、和Y测杆的伸缩量的位移检测机构。

接下来对具有这种构造的三座测量机的动作进行说明。

首先，对移动座300朝向底座部200的长度方向往复移动的动作进行说明。

当电动机564进行旋转驱动时，电动机564的动力经由传递机构563传递到驱动齿轮565，从而旋转驱动驱动齿轮565。

在驱动齿轮565的旋转带动下，驱动轴566旋转，通过驱动轴566的旋转，驱动齿轮565的旋转动力传递到小齿轮520，小齿轮520从动于驱动齿轮565而旋转。

当小齿轮520以与齿条510啮合的状态被旋转驱动时，小齿轮520沿齿条510移动。

当驱动轴566与小齿轮520共同沿齿条510移动时，由于驱动轴566与摆臂540接合着(驱动轴566贯通摆臂540)，所以摆臂540与驱动轴566共同沿齿条510移动。

由于摆臂540通过摆动轴550与摆动支承框610相连(摆动轴550贯通摆动支承框610和摆臂540)，所以摆动支承框610与摆臂540(驱动单元500)一起沿齿条510移动。

由于摆动支承框610通过连结部件620、620固定于移动座300上，所以移动座300与摆动支承框610共同沿齿条510移动。

此时，在主导向机构410中，由于第3主滑动部件433和第4主滑动部件434与第2主导轨422滑动配合，因此，移动座300沿着由主导向机构410导向的方向(即沿齿条510的方向)的方向移动。

接下来，对齿条510的齿条齿有高有低的情况下，通过小齿轮520的旋转使得移动座300移动的动作进行说明。

当齿条齿有高有低时，在小齿轮520旋转时，与齿条510垂直的方向(与移动方向正交的方向)的力作用于小齿轮520上。于是，小齿轮520在与移动方向正交的方向上振动。

当小齿轮520在与移动方向正交的方向上振动时，驱动轴566与小齿轮520一起振动。

在此，由于摆臂540设置成以其一端侧的摆动轴550为摆动中心可摆动，所以摆臂540的另一端与小齿轮520和驱动轴566一起振动。

于是，与移动方向正交的方向上的小齿轮520的振动被摆臂540的摆动吸收，从而不会传递到设置于摆臂540一端的摆动支承框610，从而，移动座300在不会从由主导向机构410导向的方向偏离状态下移动。

此时，由于通过加力机构570，小齿轮收容部542的另一端被朝向齿条510侧施加力，所以小齿轮520和齿条510以一定的啮合压力啮合。

接下来，对当产生温度变化时移动座300和基台部210的热膨胀量不同的情况下的动作进行说明。

当移动座300由轻质的铝合金等形成，基台部210由低热膨胀性材料形成时，当产生温度变化时，移动座300和基台部210的热膨胀量(热变形量)不同。

特别是，当在宽度方向(与移动方向正交的方向)上变形量产生差异时，移动座300的宽度变得与第1主导轨421与第2主导轨422之间的间隔不同。

此时，由于在第1主滑动部件431和第2主滑动部件432的上表面上设置副导轨460(第1副导轨461、第2副导轨462)，在该副导轨460上滑动配合有副滑动部件470(第1副滑动部件471、第2副滑动部件472)，所以对应于移动座300的变形，副滑动部件470朝向与移动方向正交的方向滑动。

于是，吸收了移动座300与基台部210的变形量的差异。

接下来，对测量被测量物的情况进行说明。

当测量被测量物时，测头730以接触被测量物的状态对被测量物表面进行扫描。即、为了保持测头730与被测量物表面接触的状态由预定的控制装置来对移动座300的移动动作、Y测杆720的升降动作、对Y测杆720的伸缩动作等进行控制。

若采用具有这种构造的本实施方式，则能够达到以下效果：

(1)当齿条510的齿条齿有高低不同等等时，由于小齿轮520由摆臂540摆动支承着，所以小齿轮520能够朝向与齿条510大致正交的方向摆动而退让。因此，小齿轮520与齿条510之间不会产生过大的啮合压力，能够防止小齿轮520和齿条510受损伤并维持其几何精度。

(2)即使齿条510的齿条齿存在高低不同等等，与齿条510正交的方向上的应力也能够通过摆臂540的摆动被吸收。因此，在主导向机构410(特别是第2主导轨422、第3主滑动部件433、第4主滑动部件434)上不会作用与导向方向异向的压力，能够防止主导向机构410的损伤、并可维持其几何精度。其结果为，移动座300可高精度滑动。

(3)由于小齿轮520是由加力机构570，经由摆臂朝向齿条510施加力的、所以齿条510与小齿轮520的啮合压力保持恒定。于是，不仅能够防止两者的啮合脱开等，还能够防止齿条510与小齿轮520间产生大齿隙。

(4)由于摆臂540以与齿条510大致平行的状态被摆动支承，所以能够朝向齿条510侧对摆臂540的另一端施加力，或与齿条510的齿面大致垂直地对小齿轮520施加力。由于能够相对于齿条510大致垂直地对小齿轮520施加力，所以无论齿条510与小齿轮520的相对移动方向(移动座的移动方向)如何，都能够获得合适的啮合压力。

(5)通过以张紧辊573的旋转轴为支点使杆臂572摆动，能够利用简单的杠杆原理朝向齿条510侧对摆臂540的另一端施加力。

(6)由于具有副导向机构450，所以即使因温度变化在移动座300和基台部210之间产生热变形量差，也能够通过副滑动部件470沿与主导向机构410的导向方向正交的方向在副导轨460上的滑动来吸收该热变形量差。其结果为，在主导向机构410上不会加载来自除导向方向以外方向的压力，从而可维持主导向机构410的几何精度。

(7)由于容许移动座300与基台部210之间产生的热变形量差，所以能够由轻质材料(例如铝合金)等形成移动座300。其结果为，能够实现移动座300的高速化。

(8)即使第1主导轨421和第2主导轨422的平行度不精密，也能够由副导向机构450(副导轨460、副滑动部件470)吸收主导轨之间的间隔差异。因此，即使第1主导轨421和第2主导轨422的平行度不精密也能够维持移动座300的移动精度，其结果为，能够降低对部件精度或安装精度的要求，所以能够降低部件成本和组装成本。

其中，本发明并不限定于上述实施方式，只要是在能够达到本发明的目的的范围内的变更、改良都包含于本发明之中。

例如，在上述实施方式中，齿条设置于基台部上、小齿轮设置于移动座上，但也可以相反地将齿条设置于移动座上、而将小齿轮设置于基台部上。

加力机构的构造并不限定于上述实施方式，只要是朝向齿条对摆臂的摆动端施加力的构造即可。

在导向机构中，以设置两根主导轨为例进行了说明，但也可以是例如3根、4根。在这种情况下，在主导轨中的一根主导轨上滑动的主滑动部件安装固定于移动座上，在其他的主导轨上滑动的主滑动部件的上表面上配设副导向机构。

Claims (3)

1.一种滑动装置，其特征在于，

包括：底座部；

行走座，该行走座设置在上述底座部上，并可沿由规定导向机构导向的方向相对于上述底座部滑动；

齿条，该齿条沿上述导向机构的导向方向固定于上述底座部和上述行走座的任意一个上；

小齿轮，该小齿轮与上述齿条的齿啮合，由规定驱动源旋转驱动；

摆臂，该摆臂具有由轴可旋转地支承上述小齿轮且与上述小齿轮的旋转轴平行的摆动轴，以连结上述摆动轴与上述小齿轮的旋转轴的线相对于上述齿条平行的状态为基准状态，上述摆臂通过上述摆动轴可摆动地连接于上述底座部和上述行走座的另一个上；

加力机构，该加力机构经由上述摆臂朝向上述齿条对上述小齿轮施加力。

2.如权利要求1所述的滑动装置，其特征在于，

上述加力机构包括：

壁板部，该壁板部隔着上述小齿轮与上述齿条的齿面相对配置；

张紧辊，该张紧辊与上述壁板部相抵接、且一边旋转一边沿上述壁板部移动；

杆臂，该杆臂设置成以与上述摆臂平行的状态为基准状态可摆动，在该杆臂的中央处由轴可旋转地支承张紧辊，

加力部件，该加力部件朝向使上述杆臂从上述摆臂离开的方向对上述杆臂的一端施加力；

连结杆，该连结杆从上述摆臂的摆动端突出、并与该摆动端相连续，并且该连结杆以可旋转的方式与上述杆臂的另一端相连结。

3.一种测量机，其特征在于，包括：

权利要求1或2所述的滑动装置；

测量部，该测量部具有检测部，该检测部由上述行走座带着移动，通过对被测量物表面进行扫描而对被测量物进行检测；

位置检测机构，该位置检测机构用于检测上述检测部的坐标位置。

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