CN100411961C - 大尺寸精密板状成品或半成品用气密容器 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种大尺寸精密板状(半)成品用气密容器。所述容器较轻并且总体上由树脂制成，它能够安全地并且以一种气密方式容纳、支承和运输一精密板状(半)成品例如一光掩膜，而不会向其施加一不适当应力，其中所述精密板状(半)成品的大平面尺寸使得用于其的容器的半部极难进行一体式树脂成型。所述容器包括基本相互对称并且分别具有要相互贴靠的密封周缘的一主体和一盖件。所述主体和所述盖件中的每一个包括设置在一平面中的多个树脂板状件，所述树脂板状件在它们之间的一中间接合边界处相互贴靠并且在所述接合边界处相互连接。一加强金属带件从外部沿所述接合边界设置且气密性地栓接在所述树脂板状件上。
Description
技术领域
本发明涉及一种适用于运输精密板状(半)成品/制品-即一精密板状成品或者该成品完成之前的一半成品，例如包括一光掩膜(具有标线)或者一作为用于所述光掩膜的保护膜的表膜在内的一(玻璃)基板、一半导体晶片相关产品、包括一液晶显示器(LCD)在内的各种显示产品等-尤其是一大尺寸精密板状(半)成品的气密容器，在此，大尺寸精密板状(半)成品是指具有其至少一边至少为750毫米的较大平面尺寸并且用于其的容器由两个半部组成的成品，其中每个部分具有一极难进行一体式树脂成型的平面尺寸。
背景技术
一如上所述的精密板状(半)成品在许多情况下通常是机械易碎的，并且形成于其上的精密部件或者元件在许多情况中更加易碎。此外，考虑到这种精密板状(半)成品的与其用途有关的性质，其非常憎恶灰尘，尤其是0.3微米或者更小的附着杂质，因此必须特别重视该精密板状(半)成品用容器的气密性。尤其是，这种板状(半)成品常常通过飞机从日本出口到海外，而由于飞机的内部空间(尤其是货舱)与大气压之间存在一压力差，所以微小杂质易于引入该容器内。此外，由于应避免微小杂质的附着，常常只对普通玻璃制品采用由一泡沫树脂形成一容器主体(例如，日本专利申请(JP-A)2001-31165)或者将一泡沫树脂减震材料布置在一容器内，因为这种泡沫树脂由于磨损易于生成微小杂质。此外，这种精密板状(半)成品尤其一显示产品或一用于该显示产品的光掩膜的尺寸(面积)不可避免地增大，以便满足一大尺寸及大面积显示的需求，和以便允许多个目标制品例如显示产品相对于光掩膜产品的同时显示(exposure)。相应地，已经出现了一些新问题。即，伴随着尺寸增大，作为内容物的精密板状(半)成品本身的重量增大到5-10kg，以及为了支承该重量同时避免由一容器的变形产生的一应力作用于该精密板状(半)成品，该容器还需要具有一相当大的强度。但是，如果该容器依照传统方式由一金属材料组成，该容器的重量会增大至40kg或更大，且其与内容物的总重量会增大至50kg或更大，同时还由于其外轮廓尺寸的增大，所以利用人力运输它们变得相当困难。此外，尽管希望生产一树脂制容器以提供一种重量较小的容器，以及希望用于大尺寸精密板状(半)成品的容器由两个半部组成——所述大尺寸精密板状(半)成品具有其至少一边大于750毫米的较大平面尺寸，但直至目前，仍旧没有研发出这样的树脂成型技术，该技术使用容许对这种大尺寸的半部进行成型的模具。此外，必须通过支承一精密板状(半)成品而将该(半)成品容纳在一容器内，以防止其至少一个表面(其上形成有精密部件)与该容器内的另一部件接触。
发明内容
因此，本发明的主要目的在于提供一种较轻并且总体上由树脂制成的容器，它能够安全地容纳和支承置于其内部的一大尺寸精密板状(半)成品例如一光掩膜，而不会向其施加一不适当应力，其中所述精密板状(半)成品的大平面尺寸使得用于其的容器的半部极难进行一体式树脂成型。
依据我们为实现该目的所进行的研究，已经发现可以通过采用将平行设置于一平面中的多个树脂板状件连接并确保适当加强的结构以及气密封结构来形成一适用于上述目的的容器。更具体地说，根据本发明，在此提供了一种大尺寸精密板状(半)成品用气密容器，它包括基本相互对称并且分别具有要相互贴靠的密封周缘的一主体和一盖件，其中所述主体和所述盖件中的每一个包括设置在一平面中的多个树脂板状件，所述树脂板状件在它们之间的一中间接合边界处相互贴靠并且在所述接合边界处相互连接，并且一加强金属带件从外部沿所述接合边界设置且气密性地栓接在所述树脂板状件上。
通过考虑下面结合附图对本发明优选实施例的说明，本发明的这些和其它目的、特征以及优点将变得更为明了。
附图说明
图1是根据本发明的大尺寸精密板状(半)成品的实施例的平面图；
图2是容器的沿图1中箭头方向II-II看时的正视图；
图3和图4分别是沿图1中的线III-III和线IV-IV剖开的局部剖视图；
图5是本发明更大尺寸精密板状(半)成品用气密容器的一实施例的主体的示意性透视图；
图6是图5中的部位VI的放大图；
图7是用于图5所示实施例的固定支架的透视图；
图8是处于其夹具被下拉状态的固定支架的侧视图；
图9是处于翻转并打开状态的固定支架的侧视图；
图10A、图10B和图10C是用于说明固定支架牢固地保持一(半)成品板状件的操作的三个侧视图；以及
图11A和图11B是用于说明另一示例的固定支架牢固地保持一(半)成品板状件的操作的两个侧视图。
具体实施方式
图1是一精密板状(半)成品(一用于形成于一基本矩形石英制基板上的液晶显示器(LCD)的光掩膜，在本实施例中，所述基板的长度L约为1200毫米，宽度T约为1200毫米且厚度约为5毫米，在下文中有时称作“(半)成品板状件”)用卧式(即一精密板状(半)成品容纳在一通常与一主体与一盖件的密封周缘之间的一贴靠面相平行的位置中的一类结构)容器A(外部尺寸为约1300毫米×约1300毫米×约100毫米)的平面图。图2是沿图1箭头方向II-II看时的正视图，而图3和图4分别是沿图1中线III-III和线IV-IV剖开的局部剖视图。容器A包括盖件11和主体12，盖件11主要由顶板1构成，顶板1包括两个在一相互贴靠线(粘结线)1c处相互连接的树脂板状件1a和1b，主体12同样主要由底板2构成，底板2包括两个在另一相互贴靠线(粘结线)(位于线1c的下方，但是在图1中未特别示出)处相互连接的树脂板状件2a和2b。盖件11和主体2借助于设置于周缘上12个位置处的棘轮扣锁(ratchet buckle lock)13相互气密地接合以形成一气密容器，该容器内部设置有一(半)成品板状件B，该(半)成品板状件B的周缘部保持在盖件11与主体12的(半)成品板状件保持件之间使得(半)成品板状件B的两个表面基本不与容器中的其它部件接触(图4)。
沿着线1c(树脂板状件1a和1b的贴靠端部在线1c处相互贴靠)，树脂板状件1a和1b在它们相互贴靠的端部处相互粘结，并且随后一宽度约为40毫米、厚度约为20毫米而长度约为1300毫米的铝制角件5被设置成一加强金属带件，并且被沿其长度方向在4个位置处以在每个位置处利用两个金属螺栓6的方式固定在树脂板状件1a和1b上。然后，一背衬树脂板状件7被粘结到其上以确保气密封。
为了沿容器A的周缘支承和固定(半)成品板状件保持件4a和4b，如图4所示，树脂件(板状件)8a-8h等被粘结在顶板1和底板2上，并且一保持件4a和一保持件4b被分别利用螺栓6a和6b分别支承地固定在树脂板状件(支承件)8b和8e上。此外，在主体12侧上，一薄夹板8h被粘结在树脂板状件8g、8e等上，以便伸向顶板1，并且然后一形成密封周缘的树脂板状件9b被粘结于其上，而在盖件11侧上，一树脂板状件9a被粘结在树脂板状件8d等上，以形成主体12和盖件11。
此外，分为两部分的加强金属带件5a和5b通过分别沿左侧和右侧以及一条垂直横跨该加强金属带件5的中心线对背衬树脂板状件(未示出)的栓接和粘结而固定，而加强板状件10a和10b分别粘结在容器A的两个侧壁上。在加强板状件10a和10b上，固定有一棘轮扣锁13的夹具(固定件)13a和13b。
在使用容器A时，一(半)成品板状件B被设置在水平放置的主体12的保持件4b上，一O形环14被设置成环绕薄夹板8h，并且然后使得盖件11沿薄夹板8h下降，以将O形环14夹持在密封周缘树脂板状件9a的下端部与密封周缘树脂板状件9b的上端部之间。在这种状态下，沿所述周缘设置的棘轮扣锁13闭合，以挤压O形环14，由此确保主体与盖件之间的气密封。顺便提一下，为了提高气密性，也可以优选地将一粘结胶带(未示出)绕树脂板状件9a与9b之间的贴靠边界贴敷在一外部区域S上。除了容许如上所述棘轮扣锁的夹具13a和13b的连接之外，树脂板状件10a和10b用来提供一用于这种增强气密封用胶带的贴敷区域。
位于主体侧上的保持件4b包括一其高度略小于(半)成品板状件B的厚度的(半)成品板状件贴靠侧壁4ba，和一具有一约为5度的向下倾斜角度的斜坡部4bb。位于盖件侧上的保持件4a与保持件4b的不同之处仅在于，其没有(半)成品板状件贴靠侧壁，而是具有一比斜坡部4bb略长的向上斜坡部4ab。由于这种斜坡部4ab和4bb的存在，当由棘轮扣锁13施加的一挤压力作用到保持件4a和4b上时，(半)成品板状件B的边缘会从其如图4所示与侧壁4ba接触的位置向右移位，以便被保持在一正常状态下与侧壁4ba隔开一间隙(游隙)的位置处。这种用于保持(半)成品板状件B的结构是非常优选的，从而可防止(半)成品板状件的两个主要表面——尤其是承载形成于其上的精密部件的一个表面——与容器中的其它部件接触以便不损伤这些表面。但是，(半)成品板状件可移动至如图4所示与侧壁4ba接触的位置，例如当容器被垂直放置时。这种轻微接触程度不会对(半)成品板状件B造成实质性损伤，可以接受。如图1所示，在容器的右边，设置有支腿件15，用于防止扣锁13在容器A被垂直放置时受到损伤。此外，在容器的4边中的每一边的中央部区域处，由与树脂件8a-8h类似的材料制成的树脂质板状件16(和17)被粘结在顶板1(和底板2)上，以便在设置有中央扣锁13的位置处对顶板和底板进行加强。为了方便起见，这种树脂质加强板状件16和17在图4中示出(尽管这种加强板状件没有出现在扣锁13上由图1中的线IV-IV指示的位置处)。
(材料)
补充说明各个部件的材料。除了(半)成品板状件保持件4a、4b和螺栓6a、6b之外，构成盖件11和主体12的部件或部位，即顶板1、底板2、背衬树脂板状件7、树脂板状件8a-8h、9a和9b，可以包括任何热塑树脂，但是优选的是包括一抗静电树脂，以避免微小杂质静电吸附到其内容纳的一(半)成品板状件上。具有永久抗静电性的这种抗静电树脂的已知示例包括一种具有以下成分且其成分适用于本发明的抗静电树脂：(a)一亲水聚合物：3-100份重量，(b)一热塑树脂，0-97份重量(与(a)一起总共提供100份重量)，以及(c)一多价金属化合物：0.001-0.5份重量(WO-A-03/033590)。但在要求一过度光学性能级别(防止混浊(haze))的情况下，无需添加(c)一多价金属化合物。尤其优选的是使用(a)一由接枝共聚物组成的亲水聚合物，它包括一具有一环氧烷集团的橡胶主链聚合物、一阴离子表面活性剂(JP-A-59-2462)以及一刚性热塑树脂例如一聚丙烯腈树脂、一聚苯乙烯树脂或一聚甲基丙烯酸甲酯树脂，以提供一刚度，从而不易于给该(半)成品板状件施加一扭曲应力。顺便提一下，在上述实施例的一特定示例中，一约5毫米厚的包括10重量％的上述亲水聚合物和90重量％的一聚丙烯腈树脂(由BP Amoco制造的“BAREX210”)且显示一2GPa的抗挠刚度的抗静电树脂板状件被用于提供上述部件。
(半)成品板状件保持件4a和4b也可以包括一如上所述的抗静电树脂。在这种情况下，螺栓6a和6b可以通过将由抗静电树脂制成的保持件4a和4b粘结到树脂板状件8b和8e上而省略。
由于如上所述在保持件4b的侧壁4ba与(半)成品板状件B的边缘之间存在一定间隙(游隙)，所以在(半)成品板状件B的边缘与保持件4a和4b的倾斜支承位置4ab和4bb之间会发生一些滑动。因此，还优选使用一具有可滑动性或者自润滑性的较软树脂，它包括一含氟树脂例如聚四氟乙烯，一烯烃树脂例如聚乙烯、或者聚缩醛树脂，而不使用构成顶板1或者底板2的那种树脂。在一特定示例中，使用由聚四氟乙烯制成的保持件4a和4b。
加强板状件10a、10b、16和17不会直接参与容器的气密封，并因此可以包括一包含金属在内的任意刚性材料。但是，优选的是这些板状件也由一种树脂制成，以提供一总体上质量较轻的容器；以及由一种与树脂板状件8d和8e等相同的材料制成，以方便粘结。
至于形成顶板1的树脂板状件1a与1b之间的粘结、形成底板2的树脂板状件2a与2b之间的粘结、这些树脂板状件与背衬树脂板状件7之间的粘结，以及树脂板状件8a-8h、密封周缘树脂板状件9a、9b以及加强树脂板状件10a、10b与顶板1和底板2之间的粘结，可以通过使用一单独粘结树脂实现，但是由于极少存在能够显现良好抗静电性的粘结树脂，所以如果使用这种额外的粘结树脂，易于发生抗静电性局部降低现象。因此，在上述树脂板状件由一抗静电树脂制成的情况下，优选的是通过利用一用于抗静电树脂的良好溶剂来局部溶解抗静电树脂板状件而采用溶解粘结(solution bonding)。顺便提一下，在上述实施例的一特定示例中，已经确认使用乙腈作为一用于聚丙烯腈制良好粘结部的良好溶剂，同时显现出高粘结强度和抗静电性。(但是，由于乙腈具有某种程度的毒性，所以溶解粘结应在通风良好的环境中通过使用一防护装置来执行。)
用于将加强金属带件5、5a和5b固定到顶板1和底板2上的螺栓6，以及用于将保持件4a和4b固定到树脂板状件8b和8e等上的螺栓6a和6b，可以由一金属或者一树脂制成。如果使用树脂制螺栓，则能够将这种树脂制螺栓熔结到对应的树脂板状件上，并且树脂制螺栓的熔结可以由此提供一气密封效果。但是，为了使得容器具有较好的气密性，优选的是使用一背衬树脂板状件7，并且将其粘结到顶板1等上，由此提高例如树脂板状件1a与1b之间的粘结强度和密封性。O形环14(图4)优选可由一弹性树脂组成，例如含氟橡胶或硅橡胶，并且尤其优选的是一具有抗静电性的弹性树脂。所述O形环并不局限于如图示出的实体O形环(例如直径为8毫米)，还优选由一空心O形环(例如外径为8毫米而内径为4-6毫米)组成以增大变形行程。
(其它改型)
上面已经说明了作为一优选实施例的一大尺寸LCD光掩膜用卧式容器。但是，可按照多种方式对上述容器实施例进行改型。以下将说明这种改型的一些示例。
例如，在上述实施例中顶板1和底板2中的每一个是通过将两个树脂板状件连接形成的，但是也可以根据需要制成一由4块树脂板状件连接而成的结构，以便获得一大容积容器。
此外，用于将盖件11和主体12相互固定地粘结的棘轮扣锁13可以根据需要更换为另外一种粘结装置，并且其数目以及成对的保持件4a和4b的数目可以根据需要增加或者减少，在上述实施例中，每边上的数目为3个，总共为12个。
在上述实施例中，加强金属带件5和5a呈铝制角件形式，但是通过优先考虑加强效果，也可以根据需要例如由钢带制成，但考虑到重量与强度之间的良好平衡，铝或者铝合金通常是优选的。
在上述实施例的一特定示例中，一容纳一本身重量约为15公斤的光掩膜并且在运输状态下重量例如为26公斤且测量出的尺寸约为1200毫米×1200毫米的容器可以由一个或者两个人送入和移出包括飞机在内的各种运输工具。
(一更大尺寸精密板状(半)成品用容器的一实施例)
上面已经说明了一种适合于容纳和运输一其至少一边至少为750毫米的精密板状(半)成品的气密容器的一实施例。但是，对于一种用于一其尺寸例如是至少一边至少为1000毫米的更大尺寸和更重的精密板状(半)成品(例如一长度约为1000毫米、宽度约为2000毫米、厚度约为15毫米并且重量约为50公斤或者更大的玻璃板状件)的容器来说，优选的是使用一种包括位于一用于在X、Y和Z方向(在此假定对应于(半)成品板状件的纵向、横向和厚度方向)上更为有力地保持一(半)成品板状件的主体底部处的固定支架的结构，而并非使用上述实施例中的利用主体和盖件的侧壁固定(半)成品板状件的结构。图5是本发明的一容器的主体AA的示意性透视图，所述容器包括设置在主体AA的底部处的所述固定支架，而图6是图5中的部位B的放大图。
参照图5和图6，主体AA包括一树脂制侧壁52，它具有一利用铝质框架51加强的下部和一设置有一用于接纳一O形环的凹槽52a的顶部。在一由侧壁52环绕并且由两个利用一沿底板53的中央部延伸的加强金属带件5连接的树脂板状件组成的底板53上，沿三个边靠近侧壁的位置处分别设置有固定支架(工作锁具(work lock))54a、54b和54c，并且在靠近剩余一个边的两个位置处并且沿侧壁中的两个侧壁设置有一对(半)成品板状件引导支承件(角部工作引导件)55a。此外，在沿靠近设置有固定支架54b的边的两个相同侧壁的两个位置处，设置有一对(半)成品板状件引导支承件(工作引导件)55b，并且在底板53上的靠近固定支架54a、54b和54c的位置处，设置有用于(半)成品板状件的下部支承件55c。支承件55a、55b和55c均由一种树脂制成，并且设置有一朝向底板53的中央部向下倾斜约5度的斜坡部。
固定支架(工作锁具)54a、54b和54c均能够沿垂直方向(和沿水平方向)向一(暂时)置于支承件55a、55b和55c上的(半)成品板状件(未示出)施加挤压力，以牢固地保持所述(半)成品板状件，使其无法在X、Y和Z方向中的任何一个方向上移动，在图7中示出一固定支架54b(处于直立固定状态)的总体透视图。此外，在图8和图9中分别示出处于直立状态和处于翻转打开状态的固定支架54b的左侧视图，其中固定支架54b的可移动部542带有一夹具546(处于下拉位置)。
参照图7至图9，固定支架(工作锁具)54b包括一对固定于底板53的固定支腿541和一由固定支腿541轴向地和枢转地支承的可移动部542。可移动部542包括一对固定于固定支腿541的可移动支腿543，一固附于成对的可移动支腿543的上部位置之间的水平主体或杆544，用于将可移动部542固定到支腿541上的肘节夹具546，水平穿过并且连接到水平主体544的水平施压部件547，以及穿过并且连接到一支承板548的垂直施压部件549，所述支承板548进而被连接到水平主体544上。
各水平施压部件547包括一用于沿水平方向进行螺旋运动的捏手547a，一用于向(半)成品板状件的水平端部施压的前端部547b以及一将它们连接的中间部547c。中间部547c包括一靠近捏手547a设置的带螺纹部(未示出)和一靠近前端部547c设置并且在其内部配备有一弹簧(未示出)的管状部。各垂直施压部件549包括一捏手549a，一用于向(半)成品板状件的一边缘处的一上表面施压的下端部549b以及一带螺纹中间部549c。
通过将肘节夹具546从图7中示出的一直立位置下拉到图9中示出的一下拉位置，固定支架54b可从其图7中示出的直立位置枢转地移动至其图9中示出的翻转和打开(或者释放)状态，以便将可移动部542从其固定状态释放。
固定支架54a类似于固定支架54b，只是由于其长度较短，所以水平施压部件547的数目从2减少至1，而垂直施压部件549的数目从4减少至2。此外，固定支架54c类似于固定支架54a，只是进一步省略了水平施压部件547。
下面说明固定支架54a、54b和54c的工作情况。参照图5，在将一(半)成品板状件固定到主体AA之前，固定支架54a-54c均处于如图9中示出的翻转和打开状态，随后一(半)成品板状件被以一水平状态或者优选一其引导支承件55a侧处于一较低位置的倾斜状态放置于引导支承件55a、55b和支承件55c上，以便有利于由一个或者少量的操作人员进行操作以及有利于减小操作空间。
在这种状态下，(半)成品板状件B和固定支架54b被放置成如图10中示出的位置关系中(与固定支架54a的位置关系与上述涉及的侧视图相同，而与固定支架54c的位置关系也相同，除了缺少水平施压部件547)。图10A示出的状态对应于图4示出的用于前一实施例的状态(图4示出一种固定状态而图10A涉及一种在固定操作之前的状态)。顺便提一下，为了便于进行图示，所述部件的横向设置与图5所示相反。
然后，如图10B所示，垂直施压部件549通过其捏手549a的螺旋运动而向下移动，以向其下端部549b施压而使其靠在(半)成品板状件B的一边缘处的一上表面上，并且如图10c所示，水平施压部件547通过其捏手547a的螺旋运动而向右移动，以向其前端部547b施压而使其靠在(半)成品板状件B的一左端部(如图所示)上。在这种状态下，(半)成品板状件B在图5中的Y和Z方向上由固定支架54b牢固地保持。此外，夹具546被翻转成如图7中示出的直立状态，以将可移动部542固定到固定支腿541上，由此固定(半)成品板状件B的上述牢固保持状态。顺便提一下，通过直立转动肘节夹具546对可移动部542进行固定还可以在图10B和图10C中示出的垂直和水平固定操作之前进行。此外，可容易理解，垂直施压部件549至水平施压部件547的上述操作顺序可以颠倒成水平施压部件547至垂直施压部件549的顺序，或者两个施压部件可以同步工作。
然后，固定支架54a和54c以类似方式进行工作，以在X和Z方向(图5中)上将(半)成品板状件B固定，由此在所有X、Y、Z方向上将(半)成品板状件B牢固地保持在主体AA上。
然后，一O形环被置于主体AA的O形环接纳凹槽52a中，并且利用一盖件将容纳有(半)成品板状件B的主体AA覆盖，其中所述盖件具有一基本类似于主体AA的结构，该结构包括一相同平面形状，只是其不包括固定支架54a-54c或者支承件55a-55c，并且略微较窄(即具有一较小的侧壁高度)。然后，例如通过利用例如如图4示出的扣锁将主体与盖件相互连接在一起，由此形成本发明的以一可运输状态牢固地容纳一(半)成品板状件的气密容器。
当然，利用参照图5至10说明的固定支架的容器的实施例还可以多种方式进行改型。例如，针对固定支架54(54a-54c)而言，垂直施压部件549的下端部549b被解释成具有一球形形状，以便在前一实施例中直接压在(半)成品板状件B的上表面上，但是所述垂直施压部件的下端部的形状还可改变成任何能与一倾斜板状件549d组合的形状，如对应于图10A和图10B的图11A和图11B中所示，以便不仅沿一向下方向向(半)成品板状件B施加一挤压力，而且沿一朝向中心的方向向(半)成品板状件B施加一挤压力。此外，水平施压部件的前端部547b和垂直施压部件的下端部549b可以呈任何形状，例如球形表面、平整表面或者倾斜表面。
此外，图5中的实施例使用了三种类型的固定支架54a、54b和54c，并且为了在X、Y、Z方向上有力地固定一(半)成品板状件，这样是优选的，以便容许所述气密容器沿任意方向发生转动，以便以一种直立状态对其进行运输。如果所述转动方向仅被固定在Y方向上，则可单独使用固定支架54b，省略固定支架54a和54c。当然，也可以根据需要增加所述固定支架的数目，以便更为有力地固定和保持所述(半)成品板状件。
(其它改型)
在上述实施例中的任何一个实施例中，均能够使得主体和盖件中的至少一个配备有至少一个优选总共两个或者更多个用于置换容器内部的气体的喷嘴。这种用于置换容器内部的气体的喷嘴例如适合用于置换一(半)成品板状件例如一应避免潮湿及杂质附着的EL(电子发光器)相关板状制品用容器的内部大气。
如上所述，根据本发明，在此提供了一种较轻并且总体上由树脂制成的容器，它能够安全地并且以一种气密方式容纳、支承和运输一大尺寸精密板状(半)成品例如一光掩膜，而不会向其施加一不适当应力，其中所述精密板状(半)成品的大平面尺寸使得用于其的容器的半部极难进行一体式树脂成型。
Claims (14)
1. 一种大尺寸精密板状成品或半成品用气密容器，它包括基本相互对称并且分别具有要相互贴靠的密封周缘的一主体和一盖件，其中所述主体和所述盖件中的每一个包括设置在一平面中的多个树脂板状件，所述树脂板状件在它们之间的一中间接合边界处相互贴靠并且在所述接合边界处相互连接，并且一加强金属带件从外部沿所述接合边界设置且气密性地栓接在所述树脂板状件上。
2 .根据权利要求1所述的容器，其特征在于，所述多个树脂板状件中的每一个包括一抗静电树脂。
3. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于，所述主体和所述盖件均设置有一对用于保持所述精密板状成品或半成品的保持件。
4. 根据权利要求3所述的容器，其特征在于，所述主体和所述盖件的每个密封周缘包括一侧壁和一支承件，所述支承件用于在其上支承所述用于保持所述精密板状成品或半成品的保持件，所述侧壁和所述支承件均由一组粘结到所述多个树脂板状件上的树脂板状件组成。
5. 根据权利要求3所述的容器，其特征在于，分别设置在所述主体和所述盖件上的所述保持件对中的一个保持件包括一斜坡部和一其高度小于所述精密板状成品或半成品的厚度的贴靠侧壁，并且所述保持件对中的另一个保持件具有一比所述一个保持件的所述斜坡部长的斜坡部。
6. 根据权利要求1所述的容器，其特征在于，所述主体在其底部处设置有一用于在相互垂直的X、Y和Z方向即所述精密板状成品或半成品的纵向、横向和厚度方向上固定和支承所述精密板状成品或半成品的固定和支承结构。
7. 根据权利要求6所述的容器，其特征在于，所述固定和支承结构包括至少一对支承件和固定支架，所述支承件用于支承置于其上的所述精密板状成品或半成品，所述固定支架用于至少在所述精密板状成品或半成品的厚度方向上向置于所述支承件上的所述精密板状成品或半成品的一边缘部施加一挤压力。
8. 根据权利要求7所述的容器，其特征在于，所述精密板状成品或半成品和所述主体均呈矩形形状，沿所述矩形的至少一边设置有所述至少一对支承件和固定支架。
9. 根据权利要求8所述的容器，其特征在于，所述至少一对支承件和固定支架包括至少一个这样的固定支架，该固定支架除了所述沿所述精密板状成品或半成品的厚度方向的挤压力之外还能够向所述精密板状成品或半成品的所述边缘部施加一作用在所述精密板状成品或半成品的侧端部上的挤压力。
10. 根据权利要求9所述的容器，其特征在于，所述至少一个固定支架沿所述矩形的一个边设置；并且所述至少一个支承件包括引导支承件，该引导支承件设置在靠近与所述一个边相对的另一边的位置处，以便以接纳施加在所述精密板状成品或半成品的所述侧端部上的挤压力的方式支承所述精密板状成品或半成品。
11. 根据权利要求7所述的容器，其特征在于，所述至少一个固定支架中的每一个固定支架包括一固定到所述主体的一底部上的支腿和一由所述支腿枢转地支承的可移动部，以便容许所述可移动部在一直立位置与一翻转和打开位置之间的枢转运动，在所述直立位置，所述可移动部通过至少沿厚度方向朝置于所述支承件上的所述精密板状成品或半成品的所述边缘部施加挤压力而牢固地保持所述精密板状成品或半成品，在所述翻转和打开位置，所述可移动部容许将所述精密板状成品或半成品置于所述支承件上。
12. 根据权利要求1或6所述的容器，其特征在于，一气密封用O形环被设置在所述主体和所述盖件的所述密封周缘之间。
13. 根据权利要求1或6所述的容器，其特征在于，在与所述加强金属带件相对的一边上，一背衬树脂板状件被沿所述多个树脂板状件之间的所述接合边界设置并且被粘结在所述多个树脂板状件上，由此形成一气密栓接连接结构。
14. 根据权利要求1或6所述的容器，其特征在于，所述树脂板状件通过溶解粘结而相互粘结，所述溶解粘结利用形成所述树脂板状件的树脂的溶剂来局部溶解所述树脂板状件，并使所述树脂板状件的局部溶解部相互贴靠。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5353934A (en) * | 1992-08-06 | 1994-10-11 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Substrate holding case |
| US5577610A (en) * | 1994-10-12 | 1996-11-26 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Casing for frame-supported pellicles |
| JPH1149267A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-23 | Tenshiyou Denki Kogyo Kk | 液晶板搬送容器 |
| JP2001092114A (ja) * | 2000-07-17 | 2001-04-06 | Yuukou Jushi Kk | フォトマスク等基板の収納ケース |
| JP2001354281A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-25 | Asahi Glass Co Ltd | 液晶表示用ガラス板梱包箱 |
| CN1392087A (zh) * | 2001-05-31 | 2003-01-22 | 积水化成品工业株式会社 | 板状体运输箱、发泡成形方法及发泡成形装置 |
Family Cites Families (4)
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|---|---|---|---|---|
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5353934A (en) * | 1992-08-06 | 1994-10-11 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Substrate holding case |
| US5577610A (en) * | 1994-10-12 | 1996-11-26 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Casing for frame-supported pellicles |
| JPH1149267A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-23 | Tenshiyou Denki Kogyo Kk | 液晶板搬送容器 |
| JP2001354281A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-25 | Asahi Glass Co Ltd | 液晶表示用ガラス板梱包箱 |
| JP2001092114A (ja) * | 2000-07-17 | 2001-04-06 | Yuukou Jushi Kk | フォトマスク等基板の収納ケース |
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