CN100409073C - 碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种含有多环芳基的碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物。本发明的碱可溶树脂包含如下所述的重复单元：其中，R1、R2、R3各自独立地为H或CH3；R4为取代或未取代的多环芳基的衍生基团，且选择性地包含一个或多个择自氧、氮、硫的杂原子；X为烷基、苯甲基、或羟基；n1、n2各自独立地为0至8的整数；a、b、c为整数，且a、c各不为0。本发明的含多环芳基的碱可溶树脂有助于光致抗蚀剂组合物的显影性质提升、增加光致抗蚀剂组合物的安定性、减少残渣的发生。
Description
技术领域
本发明涉及一种含有多环芳基的碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物，且该感旋光性组合物特别适用于制作彩色液晶显示器的彩色滤光片。
背景技术
用于彩色滤光片的颜料型感旋光性组合物包含形成黑框防止混光的黑色感光树脂和滤光用的红、绿、蓝三色彩色光致抗蚀剂，其中彩色光致抗蚀剂必须有好的光穿透度及饱和度，过去彩色滤光片中使用染料，可达高穿透性及色饱和度的要求。但染料的耐旋光性与耐热性不良。为克服此问题，颜料分散法光致抗蚀剂材料已取代染料法成为主流。
一般适用于彩色薄膜晶体管液晶显示器的彩色滤光片制造用的黑色感光树脂需要对玻璃基板有好的接着性，高感度，好的光遮蔽性和耐化学性，为满足这些特性需求，通常使用负型光致抗蚀剂成份。
在制造彩色薄膜晶体管液晶显示器的彩色滤光片其主要步骤是以旋转或狭缝刮刀涂布方式，将黑色负型光致抗蚀剂涂布在透明基板上经预烘烤，再经以特定图案的掩膜进行曝光，曝光部份因化学交联而在后面碱液显影中保留，未曝光部份则被碱液洗去，保留的图案经水洗与吹干后再以高温硬烤即完成黑色矩阵层步骤。往后重复此步骤并依序施以红色、绿色、蓝色光致抗蚀剂及对应的掩膜图案即可完成彩色滤光片制作。
前述的感旋光性组合物一般是以颜料分散于树脂溶液而成，其通常包含：(1)碱可溶树脂，通常由(a)含羧基的单体与(b)至少另一种压克力单体共聚合而成；(2)多官能基单体，用以进行交联反应形成网状结构；(3)光起始剂；(4)溶剂。由于光起始剂是在宽带波长的UV曝光下，能释放出自由基以进行交联反应的有机物，未曝光部份则可在碱液显影中洗去，产生图案化。
由于颜料型感旋光性组合物是将颜料分散在树脂溶液中，当树脂与颜料的兼容性不佳时便会有以下问题产生：(1)在显影的过程中造成非曝光区部份无法完全去除而造成残渣(scum)；(2)涂膜烘烤时因涂膜成份不均造成干燥速度不同导致色不均(MURA)的现象；(3)严重的是储存中因颜料的再凝集(aggregate)造成光致抗蚀剂失效现象产生。
有鉴于此，本发明即是通过增加碱可溶树脂与颜料的兼容性，以期改善上述或其它问题。
发明内容
本发明的目的之一就是提供一种改良式的碱可溶树脂，其具有多环芳基，可增加与颜料的兼容性。本发明的碱可溶树脂包含下列重复单元：
其中，R1、R2、R3各自独立地为H或CH3；R4为取代或未取代的多环芳基的衍生基团，且选择性地包含一个或多个择自氧、氮、硫的杂原子；X为烷基、苯甲基、或羟基；n1、n2各自独立地为0至8的整数；a、b、c为整数，且a、c各不为0。
本发明的另一目的在于提供一种包含上述碱可溶树脂的感旋光性组合物。此组合物除了具有多环芳基的碱可溶树脂之外，更包括颜料、多官能基单体、光起始剂、以及溶剂等。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的碱可溶树脂，其中R4为萘基(naphthyl)、蒽基(anthryl)、或菲基(phenanthrenyl)的衍生基团。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的碱可溶树脂，其中R4为喹啉基(quinolinyl)、苯并呋喃(benzofuroxanyl)、或苯酚基(benzothiophenyl)的衍生基团。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的碱可溶树脂，其中c/(a+b+c)大抵为1至50％。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的碱可溶树脂，其中c/(a+b+c)大抵为5至25％。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的碱可溶树脂，其是由一具有多环芳基的乙烯化不饱和单体与一具有羧基的乙烯化不饱和单体共聚合而成。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的碱可溶树脂，其中该具有多环芳基的乙烯化不饱和单体是由一具有羟基或羧基的多环芳化合物与一具有环氧基的乙烯化不饱和单体反应而成。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的碱可溶树脂，其是由一具有羟基或羧基的多环芳化合物与一具有环氧基的碱可溶树脂反应而成。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，包括：一颜料；一种根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的碱可溶树脂；一多官能基单体；以及一溶剂。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中该颜料为有机颜料、无机颜料、或两者的混合。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中该碱可溶树脂的含量大抵为2至15重量份，以100份的该感旋光性组合物为基准。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中R4为萘基(naphthyl)、蒽基(anthryl)、或菲基(phenanthrenyl)的衍生基团。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中R4为喹啉基(quinolinyl)、苯并呋喃(benzofuroxanyl)、或苯酚基(benzothiophenyl)的衍生基团。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中c/(a+b+c)大抵为1至50％。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中c/(a+b+c)大抵为5至25％。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中该多官能基单体具有至少两个可聚合的乙烯不饱和键。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中该光起始剂是在波长400nm以下具有相对高效率的光起始剂。
根据本发明碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物所述的感旋光性组合物，其中更包括本发明所述的碱可溶树脂以外的碱可溶树脂。
本发明的含多环芳基的碱可溶树脂确实有助于光致抗蚀剂组合物的显影性质提升、增加光致抗蚀剂组合物的安定性、减少残渣的发生。
具体实施方式
本发明的感光组合物主要包括：(A)颜料；(B)具有多环芳基的碱可溶树脂；(C)多官能基单体；以及(D)溶剂。以下将针对每个成分一一作详细说明。
本发明的感光组合物包括一颜料(A)。此处所使用的颜料并不限定一特定颜色，可依实际所欲形成的彩色滤光片选择适当的种类，而且可以是有机颜料或无机颜料。
有机颜料例如是按Color Index编号如红色颜料有Pigment Red 122，Pigment Red 202，Pigment Red 206，Pigment Red 209，Pigment Red 177，Pigment Red 254；黄色颜料有Pigment Yellow 13，Pigment Yellow 55，PigmentYellow 119，Pigment Yellow 138，Pigment Yellow 139，Pigment Yellow 168；绿色颜料有Pigment Green 7，PigmentGreen 36；蓝色颜料有Pigment Blue 15:3，Pigment Blue15:4，Pigment Blue 15:6；黑色颜料有Pigment Black 1，Pigment Black 7。
无机颜料例如是氧化钛、硫酸钡、碳酸钙、氧化锌、氮化钛、硫酸铅、铅黄(yellow lead)、锌黄(zinc yellow)、氧化铁红(Red Iron Oxide III)、镉红(cadmium red)、群青(Ultramarine blue)、普蓝(Prussian Blue)、氧化铬绿(chromium oxide green)、钴绿(cobalt green)、琥珀(amber)、钛黑(titanium black)、合成铁黑(synthetic iron black)、碳黑(carbon black)等。
前述的颜料可单独或混合使用。黑色无机颜料中又以碳黑较佳，因其有优良的光遮蔽性，可用的有三菱化学生产商品名为LFF-MA7，LFF-MA100，HCF-#2650，MCF-88，德固萨生产商品名为Special 4A，FW-18，卡伯特生产商品名为S90B，Mogul L，哥伦比亚生产商品名为RAVEN1200，RAVEN2000。黑色颜料的主要功能是提供遮旋光性，从研究得知其粒径控制是非常重要的，粒径太大则稳定性不足，光学密度低下，粒径太小会造成黏度上升，也会因光穿透度增加而降低光学密度。因此，一般粒径需控制在0.050～0.5微米，较佳的是控制在0.08～0.15微米，在有效的控制粒径分布下，可以达最高的光学密度与配方储存稳定性。
颜料通常为有效的控制粒径分布控制与增加与感光树脂的兼容性，可先以分散剂进行分散，可用的分散剂可为阴离子型、阳离子型或非离子型的表面活性剂，但在本发明较佳的是使用高分子型分散剂。
本发明的碱可溶树脂(B)包含下列重复单元：
其中，R1、R2、R3各自独立地为H或CH3；R4为取代或未取代的多环芳基的衍生基团，且选择性地包含一个或多个择自氧、氮、硫的杂原子；X为烷基、苯甲基、或羟基；n1、n2各自独立地为0-8的整数；a、b、c为整数，且a、c各不为0。
较佳的多环芳衍生基团R4包括(但不限于)：萘基(naphthyl)、蒽基(anthryl)、或菲基(phenanthrenyl)的衍生基团。含杂原子的多环芳衍生基团R4包括(但不限于)：喹啉基(quinolinyl)、苯并呋喃(benzofuroxanyl)、或苯酚基(benzothiophenyl)的衍生基团。在本发明的较佳实施例中，由于树脂带有多环芳基而有高的颜料亲和性，因而可防止颜料再凝集现象产生；并且在显影过程中减少因残渣形成，导致色不均的现象。含有多环芳基的重复单元在树脂中所占的比例范围(c/a+b+c)大抵可从1％至50％，又以约5-25％较佳。在本发明中，为有效达到其成膜与显影特性，其重量平均分子量范围较佳控制在3,000-300,000，较佳控制在6,000-20,000；其平均聚合度一般约控制在1.2-4.3，较佳为1.2-3.8。
在本发明中，具多环芳基的碱可溶树脂可(1)通过一含多环芳基的单体共聚合而成，或者，亦可(2)将一已聚合的树脂导入多环芳基而得。在第一种方法中，碱可溶树脂是由(a)含羧基如甲基丙烯酸或丙烯酸的乙烯化不饱和单体；(b)具有多环芳基的乙烯化不饱和单体；以及，选择性的(optionally)(c)一或多个其它乙烯化不饱和单体共聚合而成。共聚合可在60～120℃反应4小时而成，较佳温度为65～100℃。可用的起始剂例如有：偶氮二异丁腈(AIBN)或过氧化苯甲酰(BPO)。
可用的乙烯化不饱和单体包含已知的甲基丙烯酸酯类如甲基丙烯酸甲酯(methyl(meth)acrylate)、甲基丙烯酸苯甲酯(benzyl(meth)acrylate)、甲基丙烯酸乙酯(ethyl(meth)acrylate)、甲基丙烯酸2-羟基乙酯(2-hydroxyethyl(meth)acrylate)、甲基丙烯酸羟基丙酯(hydroxylpropyl(meth)acrylate)、甲基丙烯酸异丁酯(isobutyl(meth)acrylate)等；或丙烯酸酯类如丙烯酸甲酯(methyl acrylate)、丙烯酸苯甲酯(benzyl acrylate)、丙烯酸乙酯(ethyl acrylate)、丙烯酸2-羟基乙酯(2-hydroxyethyl acrylate)、丙烯酸羟基丙酯(hydroxylpropyl acrylate)、丙烯酸异丁酯(isobutyl acrylate)等。
具有多环芳基的乙烯化不饱和单体可利用一含环氧基(epoxy)的乙烯化不饱和单体与一含羟基或羧基的多环芳化合物进行开环反应而成。例如，可先将100重量比的溶剂、10～30重量比的含环氧基不饱和单加热溶解后，加入等当量的含羟基或羧基的多环芳化合物，再加入0.5～5重量比的对甲基苯磺酸为反应触媒后，反应4小时可得反应性单体，再经纯化步骤可得白色固体产物。上述反应性单体制备的溶剂可使用甲苯、对二甲苯、甲乙酮、环己酮，较佳的是甲苯，反应温度可为70～110℃，较佳为80～100℃。
前述中，含环氧基的不饱和单体例如是：甲基丙烯酸2，3-环氧丙酯(2，3-epoxypropyl methacrylate)、环氧丙烷乙烯醚(glycidyl vinyl ether)、环氧丙烷乙烯苯甲醚(glycidyl vinylbenzyl ether)，其中又以甲基丙烯酸2，3-环氧丙酯较佳。含羟基的多环芳化合物例如是：酚、8-萘甲基醇、7-蒽甲基醇，较佳的是8-萘甲基醇与7-蒽甲基醇。含羧基的多环芳化合物例如是：1-萘甲酸(1-naphthoic acid)、2-萘甲酸(2-naphthoic acid)、2-萘氧基乙酸(2-naphthyloxyaceticacid)、1-萘氧基乙酸(1-naphthyloxyacetic acid)、1-羧酸蒽(1-anthracenecarb oxylic acid)、2-羧酸蒽(2-anthracenecarboxylic acid)、9-羧酸蒽(9-anthracenecarboxylic acid)，较佳的是2-萘甲酸、2-羧酸蒽。前述含羟基多环芳基化合物也可改为含羟基的杂环化合物，例如：2-喹啉基甲醇(2-quinolinylmethanol)、苯并呋喃-2-甲基醇(1-benzofuran-2-ylmethanol)、(苯[b]酚-3-基)甲醇((benzo[b]thiophen-3-yl)methanol)、(苯[b]酚-2-基)甲醇((benzo[b]thiophen-3-yl)methanol)。
第二种合成具有多环芳基的碱可溶树脂的方式，是将一多环芳基直接导入一既有的树脂中。在此方法中，首先由下列单体共聚合形成一具有环氧基的树脂：(a)含酸基如甲基丙烯酸或丙烯酸的乙烯化不饱和单体；(b)含环氧基的乙烯化不饱和单体；以及，选择性的(c)一或多个其它乙烯化不饱和单体。接着，将此具有环氧基的树脂与含羟基或羧基的多环芳化合物进行一开环反应，即可将多环芳衍生基团导入碱可溶树脂中。前述第一种方法所用的多环芳化合物同样可适用在此处。
本发明的感旋光性组合物更包括一多官能基单体(C)，其具有两个以上可聚合的乙烯化不饱和键以进行交联反应形成网状结构。适用于本发明的多官能基单体，包括但不限于：乙二醇二甲基丙烯酸酯(ethylene glycol dimethacrylate)、1，4-丁二醇二丙烯酸酯(1，4-butanediol diacrylate)、二乙二醇二丙烯酸酯(diethylene glycol diacrylate)、异戊四醇三甲基丙烯酸酯(pentaerythritol triacrylate)、乙氧基化三甲基丙烷三丙烯酸酯(ethoxylated trimethylpropane triacrylate)、二异戊四醇五丙烯酸酯(dipentaerythritol pentaacrylate)、乙氧基化异戊四醇四丙烯酸酯(ethoxylated pentaerythritoltetraacrylate)、异戊四醇四丙烯酸酯(Pentaerythritoltetraacrylate)、二异戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritolhexaacrylate)。上述的多官能基单体可以单独使用或者两个以上并用。
本发明的感旋光性组合物更包括一光起始剂，其在照射能量时(如可见光、紫外光、深紫外光、电子束、或X射线时)，可产生起始交联反应的活性物质(例如，自由基、阳离子或阴离子等)。较佳的光起始剂可选自在宽带波长的UV曝光下，能释放出自由基以进行交联反应的有机物，特别是在400nm以下有相对较高效率的光起始剂。
较佳的光起始剂包括：苯乙酮类(Acetophenone)、安息香类(benzoin)、二苯甲酮类(benzophenone)、噻吨酮类(Thioxanthone)、蒽醌类(anthraquinone)。苯乙酮类光起始剂例如是：2-Methyl-1-(4-(methylthio)phenyl)-2-morpholino-propane-1、1-羟基环己基苯基酮(1-Hydroxy cyclohexyl phenyl ketone)、二乙氧基苯乙酮(Diethoxy acetophenone)、2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮(2-Hydfoxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-one)、2-Benzyl-2-(dimethylamino)-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone。安息香类光起始剂例如是：安息香(Benzoin)、安息香甲基醚(Benzoin methyl ether)、苯甲基二甲基酮缩醇(Benzyl dimethyl ketal)。二苯甲酮类光起始剂例如是：二苯甲酮(Benzophenone)、4-苯基二苯甲酮(4-Phenyl benzophenone)、羟基二苯甲酮(Hydroxylbenzophenone)。噻吨酮类光起始剂例如是：异丙基噻吨酮(Isopropylthioxanthone)、2-氯噻吨酮(2-Chlorothioxanthone)。蒽醌类光起始剂例如是：2-乙基蒽醌(2-ethylanthraquinone)。
前述光起始剂除可单一使用外亦可混合使用，如异丙基噻吨酮(IsoproPylthioxanthone)混合2-Benzyl-2-(dimethylamino)-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone可得高的感光速度。
本发明的感旋光性组合物更包括一溶剂(D)。溶剂的选择并无特别限制，只要可以溶解或分散上述组合物的成分，不会与这些成分反应，而且有适当的挥发性即可。较佳的溶剂例如有环己酮、乙二醇醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、丙二醇甲醚乙酸酯、乙基-2-乙氧基乙醇乙酸酯等。这些溶剂可以单独使用或者两个以上并用。
除此之外，本发明的感旋光性组合物为增进涂料性质可视需要添加其它成份如：表面活性剂、颜料分散剂、平坦剂、消泡剂、或接着助剂等。这些添加剂的功能跟含量是此技艺人士所熟知，故在此不予赘述。
本发明的感旋光性组合物的固含量可为15％～40％，并依涂布方式与膜厚不同控制其固含量，基本上若欲以旋转涂布方式控制膜厚在1～1.5微米，固含量最好调整在18～28％。下表说明感旋光性组合物中各成份较佳比例：
配方加工方式可先将颜料以分散剂分散，再加入感光致抗蚀剂成物中混合均匀，最后将其它成份加入以高速搅拌均匀后使用。
本发明的感旋光性组合物可在应用在制造彩色滤光片，其主要步骤是以旋转涂布方式将黑色感旋光性组合物涂布在透明玻璃基板上预烘烤，再经紫外光源以特定图案的掩膜进行曝光，曝光部份因化学交联；接着以碱液显影，未曝光部份则被碱液洗去，保留的图案经水洗与吹干后再以高温硬烤，即完成黑色矩阵层步骤。往后重复此步骤并依序施以红色、绿色、蓝色其它光致抗蚀剂及对应的掩膜图案即可完成彩色滤光片的制作。
上述中，预烘烤较佳在60-110℃下进行0.5-5分钟，高温硬烤较佳在180-220℃下进行0.2-1小时。紫外光照射的能量较佳在80-300mJ/cm2。显影用的碱液较佳为碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾的水溶液。
为让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举出较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：
单体制备例一
在250三颈反应器中，配制冷凝管，搅拌器加入100g的甲乙酮溶剂，25g的8-萘甲基醇(Acros，分子量＝158.18)，加热至50℃搅拌溶解后，加入等当量的甲基丙烯酸2，3-环氧丙酯22.5g，再加入3g的对甲基苯磺酸为反应触媒后，反应4小时，加入饱和碳酸氢钠水溶液10毫升，以乙酸乙酯(30毫升x3)萃取，取有机层，并加入硫酸镁除水，过滤、抽干，得淡黄色固体，以乙醚/正己烷做重结晶，得白色固体。
单体制备例二
同单体制备一，但更换8-萘甲基醇为7-蒽甲基醇25g，反应后得黄色固体。
树脂制备例一
取1公升四颈反应瓶装置冷凝管，通氮气将287.69g丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)由入料口置入，加热至90℃恒温，搅拌速度250rpm，将预先混合的偶氮二异丁腈(AIBN)1.68g，十二烷基硫醇(dodecanethiol)1.68g，甲基丙烯酸苯甲酯(BzMA)177.62g，甲基丙烯酸(MAA)38.33g，甲基丙烯酸2-羟基乙酯(2-HEMA)29.51g，单体制备例一的单体10.5g，PGMEA 82.92g以约3cc/min入反应瓶中，2～2.5小时内加完滴完后再反应1小时，完成反应，经酸价测定为96.5，固含量为41.1％。
树脂制备例二
同树脂制备一，但将单体制备例一的单体更换为单体制备例二的单体。反应后经酸价测定为94.5，固含量为41.3％。
树脂制备例三
同树脂制备一，但不添加单体制备例一的单体。反应后得到不含多环芳基的碱可溶树脂，经酸价测定为102.1，固含量为38.8％。
实施例1
取2 50ml的PE磨罐加入1/2磨罐体积的1mm直径锆球，加入25g红色颜料(Ciba，C.I.Pigment Red 254)，85g PGMEA和10.0g分散剂BYK-2001(BYK，有效成份52％)，以红魔鬼研磨机分散4小时，过滤磨珠取出分散液并收集。再将分散液放置于500ml三颈反应器中，氮气环境下，搅拌下逐渐加入预先混合的树脂制备例一的树脂溶液20g，多官能基单体二异戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritol hexaacrylate)6g，起始剂2-Benzyl-2-(dimethylamino)-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone(I369)4.5g，起始剂异丙基噻吨酮(Isopropylthioxanthone；ITX)0.5g，溶剂PGMEA 96.7g所成的感光树脂，加完持续搅拌2小时完成红色感旋光性组合物的配制。
将配制好的感旋光性组合物以转速600rpm，15秒900rpm，20秒旋转涂布在透明玻璃基板上，经90℃预烘烤2分钟，再经能量150mJ/cm2的紫外光源配以掩膜进行曝光，接着以0.5％KOH碱液显影，未曝光部份则被碱液洗去，保留的图案经水洗与吹干后，再以230℃高温硬烤1小时，即完成图案，其显影效果可以100倍显微镜观察曝光与未曝光部份，其中未曝光部份完全洗净，显影性则评为优，有少数色块(小于1微米)未洗净则评为尚可，若有多数色块(大于于1微米)则评为不良，若未能洗开则评为劣；将此感光组合物置于-10℃，4小时后升温至20℃，4小时为一周期、重复3周期测其前后黏度变化，若黏度变化＜5％表示安定，5％＜黏度变化＜10％表示尚可，10％＜黏度变化表示不佳。结果见表一。
实施例2
同实施例一，其中颜料改为(Ciba，C.I.Pigment Green 36)，分散剂改为BYK-2150(BYK，有效成份52％)，其它使用量不变，结果见表一。
实施例3
同实施例一，其中颜料改为(Ciba，C.I.Pigment Blue 15:6)，分散剂改为(BYK，BYK-2150，有效成份52％)其用量不变；树脂部份改为树脂制备例二的树脂取代树脂制备例一的树脂，使用量都不变。结果见表一。
实施例4
同实施例一，其中颜料改为(德固萨生产的黑色颜料，FW-18)，分散剂改为12.5g BYK-163(BYK，有效成份45％)其用量不变；树脂部份改为树脂制备例二的树脂取代树脂制备例一的树脂，使用量都不变。结果见表一。
实施例5
同实施例一，其中颜料改为(Ciba，C.I.Pigment Red 122)，分散剂用BYK-2001(BYK，有效成份52％)其用量不变；树脂部份改为相同重量的树脂制备例二和树脂制备例一树脂混合使用(重量比1∶1)，其余都不变。结果见表一。
实施例6
同实施例一，其中颜料改为(Ciba，C.I.Pigment Red 122)，分散剂用BYK-2001(BYK，有效成份52％)其用量不变；树脂部份改为相同重量的树脂制备例二和树脂制备例一树脂混合使用(重量比1∶1)，其余都不变。结果见表一。
实施例7
同实施例一，其中颜料改为(Ciba，C.I.Pigment Red 122)，分散剂用BYK-2001(BYK，有效成份52％)其用量不变；树脂部份改为相同重量的树脂制备例二和树脂制备例一树脂混合使用(重量比1∶1)，其余都不变。结果见表一。
比较例1至4
同实施例1至4，只是每个实施例中所用树脂溶液均改成树脂制备例三的不含多环芳基的碱可溶树脂20g。结果见表一。
表一：
| 显影性 | 最终黏度(cp)/安定性 | |
| 实施例1 | 优 | 8.7/安定 |
| 实施例2 | 优 | 8.8/安定 |
| 实施例3 | 优 | 8.9/安定 |
| 实施例4 | 优 | 12.5/安定 |
| 实施例5 | 优 | 8.6/安定 |
| 实施例6 | 优 | 9.6/安定 |
| 实施例7 | 优 | 8.6/安定 |
| 比较例1 | 不良 | 16.5/不安定 |
| 比较例2 | 不良 | 18.8/不安定 |
| 比较例3 | 尚可 | 15.7/尚可 |
| 比较例4 | 不良 | 21.6/不安定 |
由表一可知，本发明的含多环芳基的碱可溶树脂确实有助于光致抗蚀剂组合物的显影性质提升、增加光致抗蚀剂组合物的安定性、减少残渣的发生。
虽然本发明已以数个较佳实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何熟悉此工艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作任意的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求范围为准。
Claims (16)
1. 一种碱可溶树脂，包含下列重复单元：
其中，
R1、R2、R3各自独立地为H或CH3；
R4为取代或未取代的多环芳基的衍生基团，且选择性地包含一个或多个择自氧、氮、硫的杂原子；
X为烷基、苯甲基、或羟基；
n1、n2各自独立地为0至8的整数；
a、b、c为整数，且a、c各不为0，其中c/(a+b+c)为1至50％。
2. 根据权利要求1所述的碱可溶树脂，其特征在于R4为萘基、蒽基、或菲基的衍生基团。
3. 根据权利要求1所述的碱可溶树脂，其特征在于R4为喹啉基、苯并呋喃、或苯酚基的衍生基因。
4. 根据权利要求1所述的碱可溶树脂，其特征在于c/(a+b+c)为5至25％。
5. 根据权利要求1所述的碱可溶树脂，其特征在于是由一具有多环芳基的乙烯化不饱和单体与一具有羧基的乙烯化不饱和单体共聚合而成。
6. 根据权利要求5所述的碱可溶树脂，其特征在于该具有多环芳基的乙烯化不饱和单体是由一具有羟基或羧基的多环芳化合物与一具有环氧基的乙烯化不饱和单体反应而成。
7. 根据权利要求1所述的碱可溶树脂，其特征在于是由一具有羟基或羧基的多环芳化合物与一具有环氧基的碱可溶树脂反应而成。
8. 一种感旋光性组合物，包括：
一颜料；
一种根据权利要求1所述的碱可溶树脂；
一多官能基单体；以及
一溶剂。
9. 根据权利要求8所述的感旋光性组合物，其特征在于该颜料为有机颜料、无机颜料、或两者的混合。
10. 根据权利要求8所述的感旋光性组合物，其特征在于该碱可溶树脂的含量为2至15重量份，以100份的该感旋光性组合物为基准。
11. 根据权利要求8所述的感旋光性组合物，其特征在于R4为萘基、蒽基、或菲基的衍生基团。
12. 根据权利要求8所述的感旋光性组合物，其特征在于R4为喹啉基、苯并呋喃、或苯吩基的衍生基团。
13. 根据权利要求8所述的感旋光性组合物，其特征在于c/(a+b+c)为5至25％。
14. 根据权利要求8所述的感旋光性组合物，其特征在于该多官能基单体具有至少两个可聚合的乙烯不饱和键。
15. 根据权利要求8所述的感旋光性组合物，其特征在于更包括一在波长400nm以下具有相对高效率的光起始剂，所述光起始剂为苯乙酮类、安息香类、二苯甲酮类、噻吨酮类或蒽醌类中的一种或多种。
16. 根据权利要求8所述的感旋光性组合物，其特征在于更包括权利要求1以外的碱可溶树脂。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA200710195572XA Division CN101182366A (zh) | 2004-12-30 | 2004-12-30 | 碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1797108A CN1797108A (zh) | 2006-07-05 |
| CN100409073C true CN100409073C (zh) | 2008-08-06 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CNB2004101029107A Active CN100409073C (zh) | 2004-12-30 | 2004-12-30 | 碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物 |
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN100409073C (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102898561B (zh) * | 2012-10-11 | 2015-02-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 碱可溶树脂及其制备方法、光致抗蚀剂 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5395721A (en) * | 1992-03-02 | 1995-03-07 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Electrophotographic material for color proofing |
| CN1428358A (zh) * | 2001-12-28 | 2003-07-09 | 株式会社日立制作所 | 水性碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、光掩模和电子装置的制造方法 |
| CN1529206A (zh) * | 2003-09-27 | 2004-09-15 | 奇美实业股份有限公司 | 彩色滤光片用感光性树脂组成物 |
| CN1554959A (zh) * | 2003-12-26 | 2004-12-15 | 奇美实业股份有限公司 | 彩色滤光片用感光性树脂组成物 |
-
2004
- 2004-12-30 CN CNB2004101029107A patent/CN100409073C/zh active Active
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|---|---|---|---|---|
| US5395721A (en) * | 1992-03-02 | 1995-03-07 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Electrophotographic material for color proofing |
| CN1428358A (zh) * | 2001-12-28 | 2003-07-09 | 株式会社日立制作所 | 水性碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、光掩模和电子装置的制造方法 |
| CN1529206A (zh) * | 2003-09-27 | 2004-09-15 | 奇美实业股份有限公司 | 彩色滤光片用感光性树脂组成物 |
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|---|---|
| CN1797108A (zh) | 2006-07-05 |
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