CN100391690C - 划片机水雾清理装置 - Google Patents

Abstract

一种能够在工件加工过程中实现清除所产生的水气及雾状物的划片机水雾清理装置，它包括壳体及组装壳体的盖板、进、出气接头，其技术要点是：所述壳体的进、出气接头分别组装有前、后过滤网，前、后过滤网之间设置轴流风扇，前过滤网与轴流风扇之间设置水雾冷凝板，与壳体底部沉积室连通的冷凝水通孔上方有下过滤网。结构紧凑，体积小，使用方便，明显减少制造和维护成本，将雾状物净化处理、过滤后排到室外，有效地解决了现有技术存在的水雾危害人体健康和带来安全隐患的问题，从而减少对环境的污染，防止事故的发生，显著提高生产效率，延长设备使用寿命。

Description

划片机水雾清理装置

技术领域

本发明涉及一种保证划片机正常工作用的防护装置，特别是一种能够在工件加工过程中实现清除所产生的水气及雾状物的划片机水雾清理装置。

背景技术

砂轮划片机是半导体生产过程中的一个很重要的装备，主要用于半导体芯片、太阳能电池等产品的生产。划片机的主轴工作时刀盘高速旋转，使得喷在刀上的切削油或冷却液快速雾化，工件也会产生大量颗粒，会形成大量的含有多氯联苯成分的浮游雾状物，能引起头疼和皮肤粗糙、红肿，这些雾状物如附着在皮肤上，会使人感到粘腻不适以及腐蚀皮肤；如附着在地板上，容易使人滑倒，发生意外伤害事故，其将危害人体健康和带来安全隐患。划片机长时间处在水雾中会使机器部件上产生污垢层，将腐蚀、降低部件强度和影响使用寿命，这种污垢若覆盖在刀盘表面，会使切割的精度下降；污垢若覆盖在电子元器件上，会使元器件腐蚀，失灵。这不仅影响机器的寿命，而且使切割质量下降，降低工作效率，提高加工成本。因划片机是高精密仪器，故一般都在恒温室内工作，为避免有毒油气长时间的扩散，创造舒适工作环境，延长机床设备寿命和提升生产效率，现代大多的划片机都配备了相应的油雾吸除装置。在其他同类产品中多数是采用排风扇直接将潮湿的雾气排到空气中或室外。如排在室外，会造成环境的污染；如排在室内，雾气不但会降低室内冷气或暖气的效果，使得空调费用大幅增加，而且将失去排气的意义。

目前，国内的工业冷却油雾/废气净化装置一般采用常规的机械过滤和静电吸附等净化技术，在废气的排放路径中加入过滤装置以及吸附器，来消除部分油雾污染，成分主要以活性碳为主。主要是利用多微孔及巨大的表面张力等特性将废气中的有机溶剂吸附，使所排废气得到净化。而静电吸附装置是通过静电吸附器用静电吸尘的原理来消除气体中的杂质。但是这两种方法存在较大缺陷：如净化效率底、清洗周期短、维护成本高、易产生二次污染，更不能降解油雾中的有机物质和异味。而且机床用吸雾装置功率大、体积大、噪声大，价格也很高。因此不能用于划片机工件加工中心的水雾气吸收、排放。

发明内容

本发明的目的是提供一种划片机水雾清理装置，它结构紧凑，体积小，使用方便，明显减少制造和维护成本，将雾状物净化处理、过滤后排到室外，有效地解决了现有技术存在的水雾危害人体健康和带来安全隐患的问题，从而减少对环境的污染，防止事故的发生，显著提高生产效率，延长设备使用寿命。

本发明的目的是这样实现的：该装置包括壳体及组装壳体的盖板、进、出气接头，其技术要点是：所述壳体的进、出气接头分别组装有前、后过滤网，前、后过滤网之间设置轴流风扇，前过滤网与轴流风扇之间设置水雾冷凝板，与壳体底部沉积室连通的冷凝水通孔上方有下过滤网。

由于本发明的壳体内只设置前、后过滤网和冷凝板、轴流风扇，即可避免有毒油气扩散，改善工作环境条件，所以它结构紧凑，体积小，使用方便，明显减少制造和维护成本。该装置能将划片机工件加工中心的水雾全部都吸入壳体的气室内，并通过其冷凝板和轴流风扇的作用，将水雾经冷凝后，使含有多氯联苯成分的浮游雾状物在气室内得以沉积净化处理，使多氯联苯的浮游颗粒随着形成的冷凝水沉降，由壳体底部的沉积室排出。处理后的余气中残存的多氯联苯的浮游颗粒，再经过后过滤网进一步过滤，即可将净化余气排出。划片机工件加工中心的雾状物经净化处理、过滤后再排到下水管道中就能有效地解决现有技术存在的水雾不处理危害人体健康和带来安全隐患的问题，从而减少对环境的污染，防止意外伤害事故的发生，显著提高生产效率，延长设备使用寿命。

附图说明

以下结合附图对本发明作进一步描述。

图1是本发明的一种具体结构示意图。

图2是图1沿A-A线的剖视图。

图中各序号说明：1进气接头、2壳体、3前过滤网、4冷凝板、5轴流风扇、6盖板、7出气接头、8后过滤网、9下过滤网、10沉积室。

具体实施方式

根据图1-2详细说明本发明的具体结构。该装置包括壳体2及组装壳体2的盖板6、进气接头1、出气接头7、沉积室等件。其中壳体2的规格、大小应根据需要安装在划片机箱体内，进气接头1通过软管与工件加工中心连通，出气接头7通过排气管连接到划片机箱体外的下水管道中。进气接头1、出气接头7的通孔端组装有前过滤网3、后过滤网8。在前过滤网3、后过滤网8之间设置轴流风扇5。前过滤网3与轴流风扇5之间设置水雾冷凝板4，与壳体2底部沉积室10连通的冷凝水通孔上方有下过滤网9。沉积室10的下方设置与下水管道连通的排水管(图中未示出)。

该装置工作时，轴流风扇5将工件加工中心的水雾由进气接头1经前过滤网3吸入到壳体2的气室中。前过滤网3将比较大的粉尘颗粒挡在气室外面，以防止大的粉尘颗粒进入气室损伤轴流风扇5。因在工件加工中心形成的水雾温度比较高，当其进入到气室内遇到较低温的冷凝板4便立即形成冷凝水，使含有多氯联苯成分的浮游雾状物在气室内得以沉积净化处理，使多氯联苯的浮游颗粒随着形成的冷凝水沉降，经底部过滤网9过滤，冷凝水落入沉积室10中由排水管排出，多氯联苯颗粒留在网上待统一处理。处理后的余气中残存的多氯联苯的浮游颗粒，再经过后过滤网利用多微孔及巨大的表面张力等特性，将废气中的杂质进一步吸附过滤，由与出气接头7连接的排气管排到下水管道中，以减少对环境的污染。

Claims (1)

1.一种划片机水雾清理装置，包括壳体及组装壳体的盖板、进、出气接头，其特征在于：所述壳体的进、出气接头分别组装有前、后过滤网，前、后过滤网之间设置轴流风扇，前过滤网与轴流风扇之间设置水雾冷凝板，与壳体底部沉积室连通的冷凝水通孔上方有下过滤网。