CN100373581C - 静电卡盘安装拆卸工具 - Google Patents

Abstract

本发明涉及静电卡盘安装拆卸工具，包括固定支撑部件和安装在固定支撑部件上的安装运动部件，所述固定支撑部件包括支撑板和等距安装在支撑板上的四个支撑杆，所述安装运动部件包括静电卡盘安装架，在静电卡盘安装架的中心连接有具有螺杆的旋转手柄，所述螺杆穿过支撑板并与支撑板通过螺纹连接。该工具结构简单，使用安全可靠，操作人员只需经过简单培训即可进行静电卡盘的安装拆卸，静电卡盘安装拆卸过程中可有效控制颗粒污染程度，提高了静电卡盘的安装拆卸稳定性。

Description

静电卡盘安装拆卸工具

技术领域

本发明涉及微电子半导体行业中的安装拆卸工具，特别是一种刻蚀机(Etch)反应室内静电卡盘(ESC)的安装拆卸工具。

背景技术

微电子行业中设备是相当精密复杂的，尤其是静电卡盘(ESC)结构极其复杂，其制造工艺要求很高。在干法刻蚀工艺中，静电卡盘1位于刻蚀机反应室2中心，见图1，其作用为在工艺过程中通过静电作用夹持硅片(Wafer)并通过氦气背吹对硅片进行温度精确控制。静电卡盘1作为刻蚀机的核心部件，在其安装拆卸过程中，必须专人运用特定的方法进行。

随着刻蚀工艺和硅片技术的不断发展，硅片由8英寸200mm发展到12英寸300mm，相应的静电卡盘(12英寸300mm)也以投入使用。随着静电卡盘尺寸的加大，对维护人员提出了更高的技术要求。本发明就是针对这一实际需求而产生的。

刻蚀机经历了6英寸、8英寸、12英寸的发展历程，在12英寸硅片刻蚀机应用之前，8英寸刻蚀机静电卡盘的安装拆卸主要依靠专业的维护工程师。由于刻蚀机反应室2维修空间狭小；静电卡盘及其附属部件结构复杂，定位要求高；在安装拆卸过程中极易造成静电卡盘1或硅片升降针等损伤。此种方式存在以下缺点：

1.维护工程师的技术水平要求较高，必须经过严格培训；

2.安装拆卸过程中，与静电卡盘盘面接触过多，易产生颗粒污染；

3.安装拆卸过程中，静电卡盘1与静电卡盘底座定位复杂，反复安装易产生颗粒污染；

发明内容

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

本发明所述的静电卡盘安装拆卸工具，包括固定支撑部件和安装在固定支撑部件上的安装运动部件，所述固定支撑部件包括支撑板和等距安装在支撑板上的支撑杆，所述安装运动部件包括静电卡盘安装架，在安装架的中心连接有具有螺杆的旋转手柄，所述螺杆穿过支撑板并与支撑板通过螺纹连接。

所述支撑杆为3～6个，其下端为与反应室内的保护环螺纹相配合的螺纹，

所述静电卡盘安装架下设置有与ESC接触的树脂块。

本实用新型所述的静电卡盘安装拆卸工具还具有至少两套定位装置，每套定位装置包括导向杆与定位套筒，所述定位套筒通过螺钉固定在支撑板上，导向杆穿过定位套筒，导向杆与定位套筒采用紧配合。

所述定位套筒为具有自润滑的树脂材料制成。

(三)有益效果

本发明所述的静电卡盘安装拆卸工具的优点和积极效果在于：

本发明可广泛应用于半导体设备或其他设备中，有效克服了原有技术的缺陷，其主要优点为：

1.结构简单，使用安全可靠；

2.操作人员只需经过简单培训即可进行静电卡盘的安装拆卸；

3.静电卡盘安装拆卸过程中可有效控制颗粒污染程度；

4.提高了静电卡盘的安装拆卸稳定性。

附图说明

图1是静电卡盘位于刻蚀机反应室中心状态图；

图2是本发明所述的安装拆卸工具安装在刻蚀机上的状态图；

图3是本发明所述的静电卡盘安装拆卸工具的结构示意图；

图4是图3所示静电卡盘安装拆卸工具的安装运动部件结构示意图；

图5是图3所示定位装置结构示意图。

图中：1.静电卡盘；2.反应室；3.旋转手柄；4.支撑杆；5.支撑板；6.ESC安装架6；7.静电卡盘(ESC)树脂垫块；8.导向杆；9.连接螺杆9；10.定位套筒；11.静电卡盘安装拆卸工具。

下面结合附图，进一步详细说明本发明所述的静电卡盘安装拆卸工具的具体实施方式，但不用来限制本发明的保护范围。

具体实施方式

参见图2和图3，本发明所述的静电卡盘安装拆卸工具11包括固定支撑部件和安装在固定支撑部件上的安装运动部件。所述固定支撑部件包括支撑板5和等距安装在支撑板5上的多个支撑杆4。所述支撑杆4下端为与反应室2内保护环螺纹相配合的螺纹，使用时先将支撑杆4固定在反应室2内保护环上。所述支撑杆4以3～6个为优。

参见图4，所述安装运动部件包括静电卡盘(ESC)安装架6，在ESC安装架6的中心连接有具有螺杆9的旋转手柄3，所述螺杆9穿过支撑板5并与支撑板5通过螺纹连接。使用时，ESC安装架6通过ESC树脂块7固定在静电卡盘1上，当转动旋转手柄3时，连接螺杆9上下往复运动，从而带动ESC安装架6及静电卡盘1往复运动，完成静电卡盘的安装与拆卸。

为保证静电卡盘1上下往复运动的高精度定位，本发明还设置了至少两套定位装置。参见图5，每套定位装置包括导向杆8与定位套筒10。所述定位套筒10通过螺钉固定在支撑板.5上，导向杆8穿过定位套筒10；导向杆8与定位套筒10采用紧配合，定位套筒采用具有自润滑的高强度树脂材料，具有耐磨损、颗粒污染小的优点。

以上为本发明的最佳实施方式，依据本发明公开的内容，本领域的普通技术人员能够显而易见地想到的一些雷同、替代方案，均应落入本发明保护的范围。

Claims (7)

1.静电卡盘安装拆卸工具，其特征是包括固定支撑部件和安装在固定支撑部件上的安装运动部件，所述固定支撑部件包括支撑板(5)和等距安装在支撑板(5)上的支撑杆(4)，所述安装运动部件包括静电卡盘安装架(6)，在安装架(6)的中心连接有具有螺杆(9)的旋转手柄(3)，所述螺杆(9)穿过支撑板(5)并与支撑板(5)通过螺纹连接，所述支撑杆(4)的下端为与反应室(2)内的保护环螺纹相配合的螺纹。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘安装拆卸工具，其特征是所述支撑杆(4)为3～6个。

3.根据权利要求1或2所述的静电卡盘安装拆卸工具，其特征是所述静电卡盘安装架(6)下设置有与ESC接触的树脂块(7)。

4.根据权利要求1或2所述的静电卡盘安装拆卸工具，其特征是还具有至少两套定位装置，每套定位装置包括导向杆(8)与定位套筒(10)，所述定位套筒(10)通过螺钉固定在支撑板(5)上，导向杆(8)穿过定位套筒(10)，导向杆(8)与定位套筒(10)采用紧配合。

5.根据权利要求3所述的静电卡盘安装拆卸工具，其特征是还具有至少两套定位装置，每套定位装置包括导向杆(8)与定位套筒(10)，所述定位套筒(10)通过螺钉固定在支撑板(5)上，导向杆(8)穿过定位套筒(10)，导向杆(8)与定位套筒(10)采用紧配合。

6.根据权利要求4所述的静电卡盘安装拆卸工具，其特征是所述定位套筒(10)为具有自润滑的树脂材料制成。

7.根据权利要求5所述的静电卡盘安装拆卸工具，其特征是所述定位套筒(10)为具有自润滑的树脂材料制成。

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