CN100346459C - 具有衬垫结构的晶片 - Google Patents
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Abstract
一种具有衬垫结构的晶片,包括一基底、多列凸块、一保护层以及一衬垫构造。基底具有一线路区,多列凸块形成于基底上,并位于线路区的侧边,保护层形成于基底上,衬垫构造形成于保护层上,并位于线路区上。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶片,尤其涉及一种具有衬垫构造可以避免在工艺中损伤电路的晶片。
背景技术
一般液晶显示器驱动晶片的电性功能失效,经过详细分析之后,发现主要原因是因晶片表面的电路遭受外来因素而造成线路损坏,其可能的原因包括
1.晶片表面残留有颗粒,在进行晶片接合加工(IC bonding)时,由所施加的高压造成颗粒刺进线路区。
2.吸取晶片的吸嘴表面不平整,由于吸取晶片时,吸嘴与晶片表面直接接触,造成吸取时刺进线路区,虽然一般晶片线路区表面会形成一层保护层(passivation),但由于其厚度只有数千埃,难以抵挡前述的损坏。
图1为现有的晶片的线路区受到损伤的示意图。一晶片100包括一基底10、一线路区12以及多列的金属凸块14。基底10为晶片100的基材,线路区12形成于基底10的中央区域,并位于两列金属凸块14之间,图中所示为线路区12受到外来因素而造成一损伤区19。
图2为现有的晶片的线路区遭受异物刺穿的示意图。当晶片100进行接合加工(bonding)时,一接合工具5与基底10结合并将晶片100倒置而接合于一玻璃基板20,此时若有一异物30(如细小的金属颗粒)存在于晶片100与玻璃基板20之间时,则此异物30容易刺穿线路区12。为了保护线路区12,通常会在线路区12上形成一保护层(passivation)13,有时候在晶片凸起加工(bumping)的工艺中,还会在保护层13上形成一数毫米厚的聚酰亚胺(PI)层或苯并环丁烯(BCB)层15,但无论是保护层13或者是聚酰亚胺(PI)层或苯并环丁烯(BCB)层15都无法抵挡异物30对线路区12的刺伤。
图3为现有的晶片的线路区遭受接合工具压伤的示意图。图中所示为一真空晶片夹持器7夹持晶片100时,晶片夹持器7的毛边8刺入线路区12的情况,线路区12虽有保护层13及聚酰亚胺(PI)层或苯并环丁烯(BCB)层15保护,但仍无法抵挡毛边8的刺穿。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种具有衬垫结构的晶片,在线路区的上方设置一层衬垫,使外来的异物无法直接刺入线路区,可以达到保护线路的目的,同时,在接合加工(Bonding)的工艺中,衬垫可以导引异方性导电胶(Anisotropic Conductive Film,ACF)的流动,使异方性导电胶均匀地散布于接合面上。
本发明的具有衬垫结构的晶片的优选实施例包括一基底、多列凸块、一保护层以及一衬垫构造。基底具有一线路区,多列凸块形成于基底上,并位于线路区的侧边,保护层形成于基底上,衬垫构造形成于保护层上,并位于线路区上。藉此衬垫可以阻挡异物的穿刺,并利用下方的保护层作为缓冲,而保护晶片的线路。
在上述的优选实施例中,衬垫构造包括多个隔块,排列于保护层上,并位于线路区中。隔块是呈长条状,且隔块的长度方向与凸块的排列方向垂直。藉此在进行接合加工时,异方性导电胶可以均匀的流动,使异方性导电胶中的导电粒子得以均匀地分布于接合面上。
在上述的优选实施例中,衬垫构造包括一隔块,形成于保护层上,并覆盖线路区。如此可以达到保护线路区的效果。
上述的优选实施例还包括一介电层,设于衬垫构造与保护层之间。此介电层可为聚酰亚胺(PI)层或苯并环丁烯(BCB)层。
为了让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂,下文特举一优选实施例,并配合附图,作详细说明如下。
附图说明
图1为现有的晶片的线路区受到损伤的示意图;
图2为现有的晶片的线路区遭受异物刺穿的示意图;
图3为现有的晶片的线路区遭受接合工具压伤的示意图;
图4为本发明的晶片的一优选实施例的示意图;
图5为图4的平面图;
图6为本发明的晶片的第二实施例的示意图;
图7为图6的平面图;
图8为本发明的第三实施例的示意图;
图9为图8的平面图。
符号说明
5~接合工具;7~真空晶片夹持器;8~毛边;10~基底;12~线路区;13~保护层;14~金属凸块;15~聚酰亚胺层或苯并环丁烯层;19~损伤区;20~玻璃基板;30~异物;100~晶片;103~铝质衬垫;105~凸块底层金属层;112~线路区;113~保护层;114~凸块;115~介电层;150、170、190~隔块;200~晶片。
具体实施方式
第一实施例
图4为本发明的晶片的一优选实施例的示意图。图5为图4的平面图。晶片200包括一基底110、一线路区112、一保护层113、多列凸块114、及一介电层115以及一衬垫构造。凸块114是以金或镍制成,藉由一铝质衬垫103以及一凸块底层金属层(under bump metallurgy,UMB)105结合于基底110。线路区112设于基底110的中央区域,并位于该些多列凸块114之间。为了保护线路区112,在基底110上形成一保护层113,覆盖线路区112,另外在晶片凸起加工(bumping)的工艺中,更于保护层113的上方形成一介电层115。此介电层115可为一聚酰亚胺(PI)层或一苯并环丁烯(BCB)层。
上述的衬垫构造是形成于介电层115的上方。在本实施例中,此衬垫构造包括多个方形的隔块150,排列于线路区112上,如图5所示,当异物或工具的毛边刺入时,隔块150提供一缓冲的空间,使异物无法接触到线路区112,或异物仅能使隔块150受损,而保护位于下方的线路区112。而由于介电层115是以一较软的材质所制成,因此在异物刺入隔块150时可具有缓冲的效果。但是如果无介电层115,而直接将隔块150形成于保护层113的上方也是可行的。
隔块150可由制作凸块的金或镍等材质制成。
第二实施例
图6为本发明的晶片的第二实施例的示意图。图7为图6的平面图。本实施例的晶片构造与第一实施例的晶片构造大致相同,不同的是本实施例的衬垫结构仅具有一矩形的隔块170,此隔块170覆盖整个线路区112,如此可提供线路区112全面性的保护。与第一实施例相同,隔块170也可直接形成于保护层113上。
第三实施例
图8为本发明的第三实施例的示意图。图9为图8的平面图。本实施例的衬垫结构的隔块190是呈长方体状,隔块190的长度方向与凸块114的排列走向垂直,如图9所示,把晶片200分隔成数个区域,如此当晶片200与一玻璃基板250进行接合工艺时,长方体的隔块190可以用来引导异方性导电胶的流动,使异方性导电胶在每个区域做均匀的流动,如图9中的箭头所示,藉此可使异方性导电胶中的导电粒子在每个区域的捕捉率均匀,避免某些区域过多或不足的情形发生。
本发明在晶片上形成一衬垫构造,可以防止异物直接刺入晶片的线路区,同时在接合工艺中可以引导异方性导电胶的流动,使异方性导电胶的导电粒子得以均匀地分布。
虽然本发明已以优选实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围的前提下,可作些许的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视所附权利要求所界定者为准。
Claims (8)
1.一种具有衬垫结构的晶片,包括:
一基底,具有一线路区;
多个凸块,形成于该基底上,并位于该线路区的侧边;
一保护层,形成于该基底上;以及
一衬垫构造,形成于该保护层上,并位于该线路区上。
2.如权利要求1所述的具有衬垫结构的晶片,其中该衬垫构造包括多个隔块,排列于该保护层上,并位于该线路区中。
3.如权利要求2所述的具有衬垫结构的晶片,其中该些隔块成长条状,且该些隔块的长度方向与该些凸块的排列走向垂直。
4.如权利要求1所述的具有衬垫结构的晶片,其中该衬垫构造包括一隔块,形成于该保护层上,并覆盖该线路区。
5.如权利要求1所述的具有衬垫结构的晶片,其还包括一介电层,设于该衬垫构造与该保护层之间。
6.如权利要求5所述的具有衬垫结构的晶片,其中该衬垫构造包括多个隔块,排列于该介电层上,并位于该线路区中。
7.如权利要求6所述的具有衬垫结构的晶片,其中该些隔块成长条状,且该些隔块的长度方向与该些凸块的排列方向垂直。
8.如权利要求5所述的具有衬垫结构的晶片,其中该衬垫构造包括一隔块,形成于该保护层上,并覆盖该线路区。
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