CN100339595C

CN100339595C - 泵

Info

Publication number: CN100339595C
Application number: CNB2004100901150A
Authority: CN
Inventors: 木原孝; 猿馆彰良
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 2003-11-05
Filing date: 2004-11-03
Publication date: 2007-09-26
Anticipated expiration: 2024-11-03
Also published as: KR20050043621A; JP4188207B2; CN1614235A; KR100729200B1; JP2005139956A

Abstract

本发明提供一种能够提高振动板的驱动效率的泵。其将往复驱动机构(2)构成为具有：将圆筒状的线圈(7)配置在筒状铁芯(5)的外侧而成的电磁铁(12)，可往复移动地配设在筒状铁芯(5)的内孔内的、一端连结着振动板(3)的可动轴(9)，将筒状铁芯(5)置于中间而配设在可动轴(9)的两端的一对磁铁保持架(24)，以及轴向的两端被各磁铁保持架(24)所夹持、被形成为环状、同时被沿轴向着磁、且以同极相对向的方式被配置在线圈(7)的轴向两侧的一对永久磁铁(26)；由电磁铁(12)、磁铁保持架(24)以及永久磁铁(26)形成使可动轴(9)的工作力增加的工作力增加装置(29)。

Description

泵

技术领域

本发明涉及在利用以往复驱动机构的驱动力进行工作的振动板的振动来交替地进行流体的吸入与吐出的方面比较理想的泵。

背景技术

一直以来，作为泵的一种，已知的有利用根据电磁线圈和振动器的电磁相互作用而产生振动器的电磁振动来吸引、吐出流体的种类(例如，参照日本专利特开2000-130344号公报)。

作为这样的泵的一种，本申请人曾提出了能够以较小的消耗功率使振动板振动而高效率地将流体向外部吐出、同时能够小型化的泵(例如，参照日本专利特愿2002-367621号)。

这种泵，通过电磁铁的磁极的切换而使具备永久磁铁的可动轴沿轴向往复振动自如地形成，非常适于近年来的可携带的电子设备用的小型燃料电池中的由甲醇等流体构成的燃料供给泵。

但是，近年来不断追求各种装置的高性能化，作为各种装置的高性能化的一种，对于利用借助往复驱动机构的驱动力而工作的振动板的振动，交替地进行流体的吸入与吐出的泵中提出了高性能化的要求，作为这样的泵的高性能化的一种，人们追求振动板的驱动效率、详细而言是与振动板相连结的可动轴的驱动效率的提高。

发明内容

本发明就是鉴于这一点而被提出来的，其目的在于提供一种能够提高振动板的驱动效率的泵。

为达成上述目的，本发明的泵的特征在于，它是可通过借助往复驱动机构的驱动力而工作的振动板的振动、交替地进行流体的吸入与吐出的泵，上述往复驱动机构具有：通过在筒状铁芯的外侧配置圆筒状的线圈而形成的电磁铁；在上述筒状铁芯的内孔内以从该内孔突出的方式装配的、且可沿轴向往复移动地配设的、同时在一端连结着上述振动板的可动轴；将上述筒状铁芯置于中间而配设在上述可动轴的轴向的两侧的一对磁铁保持架；以及轴向的两端被上述各磁铁保持架所夹持、且形成为环状、同时被沿轴向着磁、且被以同极相对向的方式配置在上述线圈的轴向两侧的一对永久磁铁；另外，由上述电磁铁、磁铁保持架以及永久磁铁，形成使上述可动轴的工作力增加的工作力增加装置，所述磁铁保持架由磁性体形成。

另外，在本发明的泵中，上述工作力增加装置，优选为通过在上述筒状铁芯的两端面具有以朝向径向外侧的方式形成的凸缘、将上述永久磁铁配设在该凸缘的径向外侧、同时、使上述各磁铁保持架之中的一个磁铁保持架的与永久磁铁的同线圈相对向的内端面相触接的触接面配置在比配置于一方的磁铁保持架侧的上述凸缘的内端面更靠近轴向内侧的位置上而形成。

进而，在本发明的泵中，优选设置有包围上述线圈以及永久磁铁的径向外侧的筒状外铁芯。

根据本发明的泵，能够起到可提高振动板的驱动效率等极其优异的效果。

附图说明

图1是表示本发明的泵的实施形态的流体的吸入状态的要部的剖面图。

图2是图1的流体侧的磁铁保持架附近的放大剖面图。

图3是示意性地表示流体的吐出状态下的磁路的说明图。

图中：1-泵，2-往复驱动机构，3-膜片，4-泵本体，5-筒状铁芯，6-凸缘，6a-内端面，7-线圈，8-线圈保持部件，9-可动轴，12-电磁铁，13-第一磁极，14-第二磁极，19-内壳体，20-外壳体，21-泵室，24、24D、24F-磁铁保持架，26-永久磁铁，27-减震器，28、28D、28F-触接面，29-工作力增加装置，30-吸入室，31-吐出室，36-吸入嘴，37-吐出嘴，DS-驱动侧，FS-流体侧，FR-斥力，FA-引力，FB-第二引力。

具体实施方式

以下，通过图面表示的实施形态对本发明进行说明。

图1及图2是表示本发明的泵的实施形态的图，图1是表示流体的吸入状态下的要部的剖面图，图2是图1的流体侧的磁铁保持架附近的放大剖面图。

如图1所示，本实施形态的泵1，具有往复驱动机构2、作为借助该往复驱动机构2的驱动力而工作的振动板的膜片3、可通过该膜片3的振动而交替地进行流体的吸入与吐出的泵本体4。并且，泵1，图1的右侧被设为配置往复驱动机构2的驱动侧DS，图1的左侧被设为配置进行流体的吸入与吐出的泵本体4的流体侧FS。

上述往复驱动机构2，具有被形成为圆筒状的筒状铁芯5。在该筒状铁芯5的沿图1的左右方向表示的轴向的两端，分别形成有朝向径向外侧的环状的凸缘6。并且，在筒状铁芯5的外周，固定有用于将圆筒状的线圈7配置在筒状铁芯5的外侧的线圈保持部件8，在该筒状铁芯5的内孔中，可沿轴向滑动且可往复移动地支撑着可动轴9。该可动轴9的沿图1的左右方向表示的轴方向的长度尺寸，被形成得比筒状铁芯5的长度尺寸长。

上述线圈保持部件8，由非磁性体、例如由树脂形成。该线圈保持部件8，具有被固定在筒状铁芯5的外周上的筒状的保持本体10。该保持本体10的外径尺寸，被形成得比在筒状铁芯5的两端所形成的凸缘6的外径尺寸小。

进而，在保持本体10的外周的两端附近，分别形成有朝向径向外侧的环状的连接壁11。这些连接壁11的尺寸被形成得比线圈7的外径尺寸大。

另外，各连接壁11的相互对向的内端面的间隔，被形成得比线圈7的轴向的长度尺寸略微大一点。并且，在由各连接壁11的内端面、和位于所述的内端面之间的保持本体10的外周面形成的凹部空间内，以整体基本呈圆筒状的形式缠绕着由图1的双点划线所示的线圈7。

由上述筒状铁芯5、线圈保持部件8以及线圈7，构成本实施形态的通过在筒状铁芯5的外侧配置圆筒状的线圈7而形成的电磁铁12。

上述电磁铁12，通过将由外部电源产生的规定频率的电压经由图未示的端子加载在线圈7上，能够使电磁铁12的磁极的磁性、详细而言是使形成在配置于筒状铁芯5的右端的驱动侧DS的凸缘6上的第一磁极13和形成在配置于筒状铁芯5的左端的流体侧FS的凸缘6上的第二磁极14的彼此相互不同的极性周期性地切换。

即，通过在线圈7上加载规定频率的电压，例如能够使第一磁极13的磁性以S极、N极、S极、N极…的顺序周期性地切换，并能够使第二磁极14的磁性以与第一磁极13的极性的切换相同的定时，以N极、S极、N极、S极…的顺序周期性地切换。

在上述线圈保持部件8的各连接壁11的位于轴向外侧的外端面的外周上，分别沿轴向形成有大径筒状部15。这些大径筒状部15，以与保持本体10同轴的方式向轴向外侧延伸而形成。并且，在各大径筒状部15的外周上，固定着配设在线圈7的外侧的圆筒状的筒状外铁芯16的内孔的两端部分。进而，位于驱动侧DS的大径筒状部15的前端，被固定在形成于保持壳体17的位于流体侧FS的内端面的外周附近的安装槽17a中。该保持壳体17，由树脂等非磁性体大体形成为环形，其内孔被设为外界气体可以进入的通气口17b。

在上述线圈保持部件8的位于流体侧FS的大径筒状部15的前端形成有连接筒状部18。该连接筒状部18，由内径尺寸形成为与大径筒状部15的内径尺寸大体相同尺寸的内侧筒部18a、和留有间隔地配置在该内侧筒部18a的外侧的大直径的外侧筒部18b形成为双层环状。进而，外侧筒部18b的长度尺寸被形成得比内侧筒部18a的长度尺寸长。

在上述外侧筒部18b的内周侧，固定着构成泵本体4的一部分的右侧开口的基本呈横向的杯状的内壳体19的开口端侧，在外侧筒部18b的外周，组装着可将内壳体19收容在内部空间中的右端开口的基本呈横向的杯状的外壳体20。该外壳体20是构成泵本体4的另一部分的部件。并且，由内侧筒部18a和内壳体19夹持着膜片3的外周部分，同时借助膜片13封闭由内壳体19的内部空间形成的泵室21的驱动侧DS的开口。

上述可动轴9，是作为可动件而发挥功能的部件，由树脂或奥氏体系不锈钢等非磁性体形成。该可动轴9，被配设成能够沿轴向以规定的行程、例如0.6mm左右的行程往复移动(振动)。另外，可动轴9，具有由筒状铁芯5的内孔可滑动地支撑的大体形成为棒状的轴本体22。该轴本体22的长度尺寸，被形成得比筒状铁芯5的长度尺寸长，以两端始终从筒状铁芯5的内孔中突出的方式形成。即，可动轴9，在筒状铁芯5的内孔内以两端从该内孔中突出的方式而被装配着。

在上述轴本体22的驱动侧DS上，形成有比轴本体22直径小的小径部23，在该小径部23上，固定着整体基本形成为筒状的驱动侧DS的磁铁保持架24D的内孔。另外，在轴本体22的流体侧FS上，固定着整体基本形成为筒状的流体侧FS的磁铁保持架24F的内孔，并由流体侧FS的磁铁保持架24F的流体侧FS的外端面、和比形成在可动轴9的流体侧FS的端部的轴本体22大径的头部25的被配置在驱动侧DS的内端面，夹持着膜片3的内周缘部分。由此，膜片3被连结在可动轴9的一端、在本实施形态中为可动轴9的位于流体侧FS的端部上。

上述膜片3，由非磁性体且具有弹性的材料、例如橡胶那样的弹性体、树脂、奥氏体系不锈钢等的非磁性金属等，作为整体被形成为大体环状的薄膜状。另外，作为膜片3的剖面形状，可以根据设计理念的需求，从波纹状等以往众所周知的各种形状中选择使用。

上述磁铁保持架24(标号24是对驱动侧DS的磁铁保持架24D及流体侧FS的磁铁保持架24F的总称)，由磁性体、例如与筒状铁芯5同样的强磁性体，整体大体被形成为环状。这些磁铁保持架24，被配置在线圈保持部件8的各大径筒状部15的各自的内部空间中，且以将筒状铁芯5置于中间的方式被配置在可动轴9的轴向的两侧。在所述的各磁铁保持架24的内端面的外周侧，夹持着大体被形成为环状的永久磁铁26的轴向的两端，在内周侧保持着由防振橡胶等大体形成为带有阶梯的环状的减震器27。该减震器27的前端，被配置为与筒状铁芯5的凸缘6的端面相对向。

被配设在上述各磁铁保持架24上的永久磁铁26，整体基本被形成为环状，同时被沿轴向方向着磁。所述的各永久磁铁26，分别被配置在筒状铁芯5的凸缘6的外周与线圈保持部件8的大径筒状部15的内周之间。另外，各永久磁铁26，以线圈7的两侧、即隔着线圈保持部件8的连接壁11而与线圈7的端面相向的内侧分别为同极、例如S极的方式，被固定在各磁铁保持架24上。进而，各永久磁铁26，以各自的内周与筒状铁芯5的凸缘6的外周相对向的方式配置。另外，各永久磁铁26由于分别被保持在磁铁保持架24上，因此被配设成能够与可动轴9及磁铁保持架24一起沿轴向往复移动。

上述各磁铁保持架24，各磁铁保持架24之中的在图2所示的吸入状态下的流体侧FS的磁铁保持架24F的与永久磁铁26的同线圈7相对向的内端面相触接的触接面28F，被配置在比筒状铁芯5的流体侧FS的凸缘6的内端面6a更靠近轴向内侧的位置上。

另外，在流体的吸入状态下，驱动侧DS的磁铁保持架24D的与永久磁铁26的同线圈相对向的内端面相触接的触接面28D，被配置在比筒状铁芯5的驱动侧DS的凸缘6的内端面6a更靠轴向外侧的位置上，该触接面28D，如后所详细叙述的那样，在可动轴9向流体侧FS移动而成为流体的吐出状态的情况下，如图1的虚线所示，就会变为被配置在比筒状铁芯5的驱动侧DS的凸缘6的内端面6a更靠近轴向内侧的位置上。

即，本实施形态的各磁铁保持架24，被构成为：无论可动轴9的移动位置如何，都能够使各磁铁保持架24之中的一方的磁铁保持架24的与永久磁铁26的同线圈7相对向的内端面相触接的触接面28(标号28是对流体侧FS的触接面28F及驱动侧DS的触接面28D的总称)，配置在比配置于一方的磁铁保持架24侧的筒状铁芯5的凸缘6的内端面6a更靠近轴向内侧的位置上。

在上述筒状铁芯5的两端面具有以朝向径向外侧的方式形成的凸缘6，在该凸缘6的径向外侧配设永久磁铁26，同时由磁性体形成磁铁保持架24，将这些磁铁保持架24之中的一方的磁铁保持架24的与永久磁铁26的同线圈7相对向的内端面相触接的触接面28，配置在比配置在一方的磁铁保持架24侧的筒状铁芯5的凸缘6的内端面6a更靠近轴向内侧的位置上，通过上述这样的结构，就构成了本实施形态的通过电磁铁12、磁铁保持架24以及永久磁铁26使可动轴9的工作力增加的工作力增加装置29。

另外，本实施形态的往复驱动机构2的结构被设成为具有：通过在筒状铁芯5的外侧配置圆筒状的线圈7而形成的电磁铁12；被以两端从内孔中突出的方式装配在筒状铁芯5的内孔中、且可沿轴向往复移动地被配设，同时在一端连结着膜片3的可动轴9；将筒状铁芯5置于中间而配设在可动轴9的轴向的两侧的一对磁铁保持架24；以及轴向的两端被各磁铁保持架24所夹持且被形成为环状，同时被沿轴向着磁、且以同极相对向的方式被配置在沿线圈7的轴向两侧的一对永久磁铁26。

上述泵4，具有上述内壳体19和上述外壳体20，这些壳体19、20分别被形成为右端被设为开口的大体横向的杯状。并且，在相邻地位于泵室21的左侧的内壳体19和外壳体20之间，分别独立地形成有图1下方所示的吸入室30和图1上方所示的吐出室31。并且，泵室21与吸入室30，通过在内壳体19的配置于流体侧FS的侧壁19a上沿其厚度方向贯通地形成的吸入孔32而相连接，泵室21和吐出室31，通过与吸入孔32同样地，在侧壁19a上沿其厚度方向贯通地形成的吐出孔33而相连接。

在上述内壳体19的侧壁19a的吸入孔32的附近，保持着由橡胶那样的弹性体大体形成为伞状的吸入阀34的基轴部。该吸入阀34是可起到单向阀的功能的部件，配置在吐出室21侧的伞部能够将吸入孔32封闭。

在上述内壳体19的侧壁19a的吐出孔33的附近，保持着由橡胶那样的弹性体大体形成为伞状的吐出阀35的基轴部。该吐出阀35是可起到单向阀的功能的部件，配置在吐出室31侧的伞部能够将吐出孔33封闭。

在上述外壳体20的侧壁20a的外端面上，向轴向外侧分别突出形成有与吸入室30相连通的吸入嘴36、和与吐出室31相连通的吐出嘴37。

接着，对由上述结构构成的本实施形态的作用进行说明。

图1表示本实施形态的泵1的流体的吸入状态(以下简称为吸入状态)。在该吸入状态下，可动轴9向驱动侧DS移动(振动)，通过该可动轴9的向驱动侧DS的移动，膜片3的内周被向驱动侧DS牵拉而变形。通过该膜片3的变形，泵室21的容积增大，从而泵室21的压力降低，吸入阀34的伞部外周部从位于内壳体19的侧壁19a的驱动侧DS的内端面离开。其结果是，外部的流体，被从吸入嘴36吸入到吸入室30中，并且经由吸入孔32而向泵室21流入。

另外，由于在这样的吸入动作过程中泵室21内的压力降低，吐出室31的压力比泵室21内的压力高，因此，吐出阀35的伞部外周部就触接在位于内壳体19的侧壁19a的流体侧FS的外端面上而将吐出孔33封闭，从而防止存在于吐出室31的内部的流体逆流而向泵室21流入。

另外，在吸入状态下，各磁铁保持架24也与可动轴9一起同时向驱动侧DS移动，这些磁铁保持架24的向驱动侧DS的最大移动位置，可通过使配设在流体侧FS的磁铁保持架24F上的减震器27的前端面触接在筒状铁芯5的位于流体侧FS的凸缘6的端面上而可靠且较容易地控制。另外，流体侧FS的磁铁保持架24F的触接面28F，如图2所详细表示的那样，处于比位于凸缘6的轴向内侧的内端面6a更靠近轴向内侧的位置。

并且，当经由吸入孔32而向容积增大了的泵室21中流入了规定量的流体时，根据来自图未示的控制部的控制指令切换电磁铁12的磁极极性。即，以将第一磁极13设为S极、将第二磁极14设为N极的方式向线圈7通入电流。

因此，由于筒状铁芯5、流体侧FS的磁铁保持架24F、筒状外铁芯16以及驱动侧DS的磁铁保持架24D分别都是由磁性体形成的，所以在筒状铁芯5、流体侧FS的磁铁保持架24F、筒状外铁芯16以及驱动侧DS的磁铁保持架24D上，会形成图3中所示意性地表示的理想的磁路。

通过这样的磁路，在电磁铁12的第一磁极13、和与该第一磁极13相对向的位于驱动侧DS的磁铁保持架24D之间产生图3的空心箭头所示的引力FA，在第二磁极14和与该第二磁极14相对向的位于流体侧FS的磁铁保持架24F之间产生图3的空心箭头所示的斥力FR。借助该引力FA和斥力FR，可动轴9向流体侧FS移动。

此时，在本实施形态中，因为形成有工作力增加装置29，所以会如图3所示的那样，在第二磁极(位于流体侧FS的凸缘6的外周)14、和位于流体侧FS的磁铁保持架24F的内侧支撑部(具有与永久磁铁26的与线圈7的端面相对向的端面相触接的触接面28的部件)24Fa的内周之间，产生倾斜的磁场。该磁场，会在第二磁极14与磁铁保持架24F的内侧支撑部24Fa之间产生图3的空心箭头所示的第二引力FB。这样，第二引力FB的沿轴向的水平成分，作为使可动轴9向流体侧FS移动的力而发挥作用。

即，在本实施形态的泵1中，在使可动轴9向流体侧FS移动时，除了在一对永久磁铁26与电磁铁12的相互之间作用的引力FA以及斥力FR以外，作为使可动轴9向流体侧FS移动的力还要加上在第二磁极14和流体侧FS的磁铁保持架24F的内侧支撑部24Fa之间作用的第二引力FB的水平成分，因此能够提高可动轴9的驱动力。

此外，如果是由非磁性体形成各磁铁保持架24、同时简单地在一对永久磁铁26之间配设电磁铁12的结构，则虽然在一对永久磁铁26和电磁铁12的相互之间能够形成用于驱动可动轴9的引力FA以及斥力FR，但不能形成理想的磁路以及产生第二引力FB的磁场。

然后，通过可动轴9的向流体侧FS的移动，膜片3的内周被向流体侧FS牵拉而变形，通过该膜片3的变形，泵室21的容积减少而使泵室21的压力上升，吐出阀35的伞部外周部就会从内壳体19的侧壁19a的位于流体侧FS的端面离开。其结果是，泵室21的流体受到压力，从而泵室21的流体经由吐出孔33而被吐出到吐出室31中，并且经由吐出嘴37而被吐出到外部，泵1成为吐出流体的吐出状态。

此外，在这样的吐出动作过程中泵室21的压力上升，使吸入室30的压力比泵室21内的压力高，因此，吸入阀34的伞部外周部触接在内壳体19的侧壁19a的位于驱动侧DS的端面上而封闭吸入孔32，从而防止存在于泵室21的内部的流体逆流而向吸入室30流入。

另外，在流体的吐出状态(以下简记为吐出状态)下，各磁铁保持架24也一起向流体侧FS移动，所述的各磁铁保持架24的向流体侧FS的最大移动位置，可通过使配设在驱动侧DS的磁铁保持架24D上的减震器27的前端面触接在筒状铁芯5的位于驱动侧DS的凸缘6的端面而可靠且较容易地控制。此时，驱动侧DS的磁铁保持架24D的触接面28D，位于比驱动侧DS的凸缘6的内端面更靠近轴向内侧的位置上。

然后，当容积减少了的泵室21的流体经由吐出孔33而向外部流出规定量时，根据来自图未示控制部的控制指令切换电磁铁12的磁极极性。即，以将第一磁极13设为N极、将第二磁极14设为S极的方式向线圈7通入电流。于是，各部向反方向动作而复位到图1所示的吐出状态。

即，在使可动轴9向驱动侧DS移动时，在电磁铁12的第1磁极13和与该第一磁极13相对向的位于驱动侧DS的磁铁保持架24之间产生斥力FR，在第二磁极14和与该第二磁极14相对向的位于流体侧FS的磁铁保持架24F之间产生引力FA，且在与位于驱动侧DS的磁铁保持架24D的内侧支撑部24Da产生包含使可动轴9向驱动侧DS移动的水平成分的第二引力FB。

以下，通过周期性地切换电磁铁12的磁极极性，使可动轴9沿轴向往复移动而使膜片3振动，由此能够交替地反复进行流体的吸入与吐出。

这样，根据本实施形态的泵1，因为是通过与一个电磁铁12的磁极的切换同步地，对与可动轴9连动而往复移动的一对永久磁铁26，利用在与电磁铁12之间作用的引力FA以及斥力FR来吸引一方的永久磁铁26、同时排斥另一方的永久磁铁26，从而使膜片3振动，所以，加载在线圈7上的电力，至少能够可靠且较容易地使膜片3高速振动。

进而，根据本实施形态的泵1，因为除了在一对永久磁铁26和一个电磁铁12的相互之间作用的引力FA以及斥力FR以外，还能够通过工作力增加装置29，产生水平成分在使可动轴9移动的方向上作用的第二引力FB，所以，能够提高可动轴9的驱动效率，进而提高膜片3的驱动效率。其结果是，能够确实地满足近年来的高性能化的要求。

另外，根据本实施形态的泵1，因为泵室21为一个，所以构造简单，同时易于实现小型化。

另外，根据本实施形态的泵1的工作力增加装置29，能够更容易且可靠地产生水平成分在使可动轴9移动的方向上作用的第二引力FB。

另外，根据本实施形态的泵1的筒状外铁芯16，因为能够明确地形成理想的磁路，所以能够较容易地提高可动轴9的工作效率。其结果是，消耗的电力减小。

再者，根据本实施形态的泵1，可通过配设在磁铁保持架24上的减震器27可靠且较容易地控制可动轴9的移动范围。其结果是，能够较容易且可靠地使永久磁铁26和与该永久磁铁26相对向的电磁铁12的线圈7的端面之间的间隔变得狭窄，并且使间隔的偏差达到在以往的1/10或其以下的高精度。其结果是，即使减少向电磁铁12供给的电力，也能够较容易地得到膜片3的稳定的动作。

本发明的泵1，因为消耗电力小且小型化，所以用于作为可携带的电子设备的电池而被使用的小型燃料电池的燃料供给泵1是非常合适的。即，本发明的泵1，因为消耗电力小且小型化，所以能够通过燃料电池自身的电力高效率地驱动往复驱动机构2。

另外，本发明，不限于上述的实施形态，可以根据需要进行各种变更。

Claims

1.一种泵，其可通过借助往复驱动机构的驱动力而工作的振动板的振动，交替地进行流体的吸入与吐出，其特征在于：

上述往复驱动机构具有：

通过在筒状铁芯的外侧配置圆筒状的线圈而形成的电磁铁，

在上述筒状铁芯的内孔内以从该内孔突出的方式装配两端、且可沿轴向往复移动地配设的、同时在一端连结着上述振动板的可动轴，

将上述筒状铁芯置于中间而配设在上述可动轴的轴向的两侧的一对磁铁保持架，以及

轴向的两端被上述各磁铁保持架所夹持、且形成为环状、同时被沿轴向着磁、且被以同极相对向的方式配置在上述线圈的轴向两侧的一对永久磁铁；

由上述电磁铁、磁铁保持架以及永久磁铁，形成使上述可动轴的工作力增加的工作力增加装置，

所述磁铁保持架由磁性体形成。

2.如权利要求1所述的泵，其特征在于：上述工作力增加装置，是通过如下设置而形成的，即：在上述筒状铁芯的两端面具有以朝向径向外侧的方式形成的凸缘，将上述永久磁铁配设在该凸缘的径向外侧，同时，使上述各磁铁保持架之中的一个磁铁保持架的与永久磁铁的内端面相触接的触接面配置在比上述凸缘的内端面更靠近轴向内侧的位置上，并且，该永久磁铁的内端面为其与线圈相对向的内端面，上述凸缘的内端面是配置在一个磁铁保持架侧的内端面。

3.如权利要求2所述的泵，其特征在于：设置有包围上述线圈以及永久磁铁的径向外侧的筒状外铁芯。