CN100338256C - 彩色鼓轮滤光片的镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种镀膜设备，其用以在一彩色鼓轮滤光片的基板上形成至少一镀膜层，包括一动力单元、一第一齿轮、至少一传动单元、至少一镀膜器具、以及至少一镀膜源，其中，镀膜器具能够自转、并以一第一轴心为中心轴旋转，而第一轴心以一旋转轴心为中心轴旋转。

Description

彩色鼓轮滤光片的镀膜设备

技术领域

本发明涉及一种镀膜设备，特别是一种彩色鼓轮滤光片(colordrum filter)的镀膜设备。

背景技术

镀膜制程在工业界的应用极广，一般常使用在金属加工业、半导体业以及光电产业等等。近几年来，又由于半导体业与光电产业的迅速发展，使得镀膜技术亦有重大的进展。如图1所示，现有的镀膜设备1包括一马达11、一伞具式承载座12、一遮板13以及一镀膜源14。其中，伞具式承载座12轴设于马达11的轴心，而且伞具式承载座12的形状类似伞状，其通常由四片承载座所组成，因此，此镀膜设备1又称为伞具式镀膜机台，遮板13设置于邻近伞具式承载座12的位置；而镀膜源14与伞具式承载座12相对而设。承上所述，镀膜设备1适用于在平板状的基板60上形成镀膜层，以制造平板状的彩色滤光片。

另外，平板状的彩色滤光片用以构成现有的色轮(color wheel)，其为制造DLP式投影机的重要元件之一，如图2所示，现有的色轮2主要包含一盖片21、一彩色滤光片22以及一色轮马达23；其中，盖片21与彩色滤光片22固定于色轮马达23上。然而，随着科技不断地发展演进，目前已经研究发展出一种有别于一般色轮结构的光学元件，其不采用现有的彩色滤光片、而是使用新式的彩色鼓轮滤光片(color drum filter)，如图3所示，彩色鼓轮滤光片3为一具有弧面设计的滤光片；结果发现，使用彩色鼓轮滤光片可以令DLP式投影机大幅提升其耐用度、亮度与对比，并能有效增强影像色彩的精确度与饱和度。

然而，目前尚未有针对彩色鼓轮滤光片而设计的镀膜设备；因此，如何提供一种能够有效旋转并移动彩色鼓轮滤光片的基板的镀膜设备，以增加形成于彩色鼓轮滤光片的基板上的镀膜层的均匀性，正是当前镀膜制程技术的重要课题之一。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足与缺陷，提供一种能够有效旋转并移动彩色鼓轮滤光片的基板的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备。

为达上述目的，本发明提供一种彩色鼓轮滤光片的镀膜设备，用以在一彩色鼓轮滤光片的基板上形成至少一镀膜层，包括一动力单元、一第一齿轮、至少一传动单元、至少一镀膜器具、以及至少一镀膜源。在本发明中，动力单元具有一旋转轴心及至少一悬臂，悬臂的一端固设于旋转轴心；第一齿轮以旋转轴心为中心轴，固定环设于旋转轴心的周围；传动单元包含一第二齿轮、一第一轴心、一第一轴承、一第三齿轮、一固定座、至少一第四齿轮、至少一第二轴心以及至少一第二轴承，其中第二齿轮与第一齿轮啮合，第二齿轮及固定座分别轴设于第一轴心，第一轴心穿设于第一轴承，第一轴承固设于悬臂的另一端，第三齿轮以第一轴承为中心轴、并固设于悬臂，第四齿轮与第三齿轮啮合、并轴设于第二轴心的一端，第二轴心穿设于第二轴承，第二轴承固设于固定座；镀膜器具轴设于第二轴心的另一端、并用以承载彩色鼓轮滤光片的基板；镀膜源用以形成镀膜层。

承上所述，因依本发明的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备利用第二轴心带动镀膜器具自转，而且镀膜器具以第一轴心为中心轴旋转，然后第一轴心再以旋转轴心为中心轴旋转，所以镀膜器具能够有效地旋转并移动；因此，当利用镀膜源于彩色鼓轮滤光片的基板上形成镀膜层时，能够增加所形成的镀膜层的均匀性。

附图说明

图1为一示意图，显示现有的镀膜设备；

图2为一示意图，显示现有的色轮；

图3为一示意图，显示现有的彩色鼓轮滤光片；

图4为一示意图，显示依本发明较佳实施例的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备；

图5为一示意图，显示如图4所示的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备的局部示意，包括动力单元、第一齿轮、数个传动单元及多个镀膜器具；

图6为一示意图，显示如图4所示的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备的局部分解示意，包括悬臂、传动单元及镀膜器具；

图7为一示意图，显示如图4所示的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备的另一局部分解示意，包括固定座、第四齿轮、第二轴心、第二轴承及镀膜器具。

图中符号说明

1     镀膜设备

11    马达

12    伞具式承载座

13    遮板

14    镀膜源

2     色轮

21    盖片

22    彩色滤光片

23    色轮马达

3     彩色鼓轮滤光片

4     彩色鼓轮滤光片的镀膜设备

41    动力单元

411   旋转轴心

413   悬臂

415   马达

42     第一齿轮

43     传动单元

431    第二齿轮

432    第一轴心

433    第一轴承

434    第三齿轮

435    固定座

436    第四齿轮

437    第二轴心

438    第二轴承

44     镀膜器具

45     镀膜源

46     镀膜腔体

60     平板状的基板

具体实施方式

以下将参照相关附图，说明依本发明较佳实施例的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备，其中相同的元件将以相同的参照符号加以说明。

请参照图4所示，依本发明较佳实施例的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备4包括一动力单元41、一第一齿轮42、数个传动单元43、多个镀膜器具44、以及至少一镀膜源45。在本实施例中，彩色鼓轮滤光片的镀膜设备4具有四个传动单元43，而每一传动单元43分别连接六个镀膜器具44，故彩色鼓轮滤光片的镀膜设备4中共有二十四个镀膜器具44。如图4所示，第一齿轮42、传动单元43、镀膜器具44及镀膜源45设置于一镀膜腔体46中，而动力单元41穿设于镀膜腔体46的上壁，其中第一齿轮42、传动单元43及镀膜器具44位于镀膜腔体46的上部，镀膜源45位于镀膜腔体46的下部。

接着，请参照图5至图7所示，说明动力单元41、第一齿轮42、传动单43及镀膜器具44的相对位置及连结关系。

如图5所示，动力单元41具有一旋转轴心411及四悬臂413，各悬臂413的一端固设于旋转轴心411；在本实施例中，旋转轴心411由一马达415所驱动而转动，此时各悬臂413便随着旋转轴心411的转动而旋转。

第一齿轮42以旋转轴心411为中心轴，固定环设于旋转轴心411的周围；在本实施例中，第一齿轮42位于旋转轴心411的上侧，且固定于镀膜腔体46的上壁，因此，第一齿轮42与旋转轴心411为共轴，而旋转轴心411能够转动，但第一齿轮42固定不转动。

各传动单元43分别设置于各悬臂413的另一端，而且各传动单元43分别包含一第二齿轮431、一第一轴心432、一第一轴承433、一第三齿轮434、一固定座435、六个第四齿轮436、六个第二轴心437以及六个第二轴承438；在本实施例中，如图6所示，第二齿轮431位于悬臂413的上侧、并与第一齿轮42啮合，第二齿轮431及固定座435分别轴设于第一轴心432的两端，第一轴心432穿设于第一轴承433，第一轴承433固设于悬臂413的另一端、并穿过悬臂413，第三齿轮434以第一轴承433为中心轴、并固设于悬臂413的另一端，各第四齿轮436分别与第三齿轮434啮合、并轴设于相对的第二轴心437的一端，各第二轴心437穿设于相对的第二轴承438，各第二轴承438固设于固定座435上，而各镀膜器具44分别轴设于相对应的第二轴心437的另一端(如图7所示)；如图5～7所示，各传动单元43的第三齿轮434、固定座435、第四齿轮436、第二轴心437及第二轴承438位于相对应的悬臂413的下侧。

承上所述，第二齿轮431、固定座435及第一轴心432同步转动，而且各悬臂413、各第一轴承433及各第三齿轮434以旋转轴心411为中心轴同步旋转。在本实施例中，旋转轴心411的转轴与第一轴心432的转轴平行；另外，第三齿轮434及第四齿轮436为相对应的斜齿轮(oblique tooth gear)，亦即是第三齿轮434及第四齿轮436为互相垂直，因此，第一轴心432的转轴与第二轴心437的转轴垂直。

各镀膜器具44用以承载彩色鼓轮滤光片的基板，以便在进行镀膜制程时，能够将镀膜源45的材料蒸镀或溅镀至彩色鼓轮滤光片的基板上，以形成所需的镀膜层。当然，亦可以依据实际需要，设置数个镀膜源45、并在彩色鼓轮滤光片的基板上形成数个镀膜层，以制造所需的彩色鼓轮滤光片。需注意者，镀膜器具44可以是承载彩色鼓轮滤光片的基板的凹部、并暴露出彩色鼓轮滤光片的基板的凸部，以便于彩色鼓轮滤光片的基板的凸部上形成所需的镀膜层；另外，镀膜器具44亦可以是承载彩色鼓轮滤光片的基板的凸部、并暴露出彩色鼓轮滤光片的基板的凹部，以便于彩色鼓轮滤光片的基板的凹部上形成所需的镀膜层。

除此之外，彩色鼓轮滤光片的镀膜设备4还可以更包含至少一遮板(图中未显示)，以便在进行镀膜制程时修正所形成的镀膜层的厚度。

综上所述，本发明的彩色鼓轮滤光片的镀膜设备4利用第二轴心437带动镀膜器具44沿着水平中心轴「自转」，而且镀膜器具44同时被第一轴心432带动沿着垂直中心轴旋转，被称之为「行星式旋转」，然后，由于第一轴心432会再以旋转轴心411为中心轴旋转，所以固设于同一固定座435的各组镀膜器具44会沿着垂直中心轴旋转，被称之为「大公转」。如上所述，由于承载于镀膜器具44的彩色鼓轮滤光片的基板能够随着镀膜器具44进行「自转」、「行星式旋转」及「大公转」，所以彩色鼓轮滤光片的基板能够随着镀膜器具44有效地旋转并移动，因此，当利用镀膜源45于彩色鼓轮滤光片的基板上形成镀膜层时，能够增加所形成的镀膜层的均匀性。

以上所述仅为举例性，而非为限制性。任何未脱离本发明的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于权利要求书的范围中。

Claims (8)

1、一种镀膜设备，其用以在一彩色鼓轮滤光片的基板上形成至少一镀膜层，其特征在于，包含：

一动力单元，其具有一旋转轴心及至少一悬臂，该悬臂的一端固设于该旋转轴心；

一第一齿轮，其以该旋转轴心为中心轴，固定环设于该旋转轴心的周围；

至少—传动单元，其包含一第二齿轮、一第一轴心、一第一轴承、一第三齿轮、一固定座、至少一第四齿轮、至少一第二轴心以及至少一第二轴承，其中该第二齿轮与该第一齿轮啮合，该第二齿轮及该固定座分别轴设于该第一轴心，该第一轴心穿设于该第一轴承，该第一轴承固设于该悬臂的另一端，该第三齿轮以该第一轴承为中心轴、并固设于该悬臂，该第四齿轮与该第三齿轮啮合、并轴设于该第二轴心的一端，该第二轴心穿设于该第二轴承，该第二轴承固设于该固定座；

至少一镀膜器具，其轴设于该第二轴心的另一端、并用以承载该彩色鼓轮滤光片的基板；以及

至少一镀膜源，其用以形成该镀膜层。

2、如权利要求1所述的镀膜设备，其中，该第二齿轮、该固定座及该第一轴心同步转动。

3、如权利要求1所述的镀膜设备，其中，该悬臂、该第一轴承及该第三齿轮以该旋转轴心为中心轴同步旋转。

4、如权利要求1所述的镀膜设备，其中，该第三齿轮及该第四齿轮为斜齿轮。

5、如权利要求1所述的镀膜设备，其中，该旋转轴心与该第一轴心平行，且该第一轴心与该第二轴心垂直。

6、如权利要求1所述的镀膜设备，其中，该镀膜器具承载该彩色鼓轮滤光片的基板的凹部，以便于该彩色鼓轮滤光片的基板的凸部上形成该镀膜层。

7、如权利要求1所述的镀膜设备，其中，该镀膜器具承载该彩色鼓轮滤光片的基板的凸部，以便于该彩色鼓轮滤光片的基板的凹部上形成该镀膜层。

8、如权利要求1所述的镀膜设备，其中，更包含至少一遮板，其用以修正该镀膜层的厚度。

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