CH704246B1 - piece micromechanical component. - Google Patents
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Abstract
L’invention se rapporte à une pièce de micromécanique (1), comprenant un balancier (3) dont le corps (2) est destiné à former un volant d’inertie. Selon l’invention, la pièce de micromécanique comporte une cheville (9) formé d’une seule pièce avec ledit corps et en saillie de ce dernier. L’invention se rapporte également à un procédé de fabrication pour une telle pièce. L’invention concerne le domaine des mouvements horlogers.The invention relates to a micromechanical part (1), comprising a rocker (3) whose body (2) is intended to form a flywheel. According to the invention, the micromechanical part comprises a peg (9) formed in one piece with said body and projecting from the latter. The invention also relates to a manufacturing method for such a part. The invention relates to the field of watch movements.
Description
Domaine de l’inventionField of the invention
[0001] L’invention se rapporte à une pièce de micromécanique pour une pièce d’horlogerie et, plus précisément, une pièce de micromécanique formant un ensemble balancier – cheville monobloc, ledit ensemble monobloc pouvant comporter également un spiral en une seule pièce. The invention relates to a micromechanical component for a timepiece and, more specifically, a micromechanical component forming a pendulum assembly - monoblock ankle, said one-piece assembly may also include a spiral in one piece.
Arrière plan de l’inventionBackground of the invention
[0002] L’horlogerie utilise des pièces de micromécanique de révolution sur plusieurs niveaux, chaque niveau étant solidaire en général d’un axe unique. Ce genre de pièce de micromécanique est difficile à fabriquer car demande une grande précision d’assemblage entre les pièces pour que leur référencement soit optimal. [0002] The watch industry uses micromechanical parts of revolution on several levels, each level being secured in general to a single axis. This kind of micromechanical part is difficult to manufacture because requires a high precision of assembly between the parts for their referencing is optimal.
Résumé de l’inventionSummary of the invention
[0003] Le but de la présente invention est de simplifier la fabrication de pièces de micromécanique en diminuant le nombre de parties et, incidemment, en améliorant la qualité de fabrication. The object of the present invention is to simplify the manufacture of micromechanical parts by reducing the number of parts and, incidentally, improving the quality of manufacture.
[0004] A cet effet, l’invention se rapporte à une pièce de micromécanique comprenant un balancier dont le corps est destiné à former un volant d’inertie caractérisée en ce qu’elle comporte une cheville, en une seule pièce et en saillie avec ledit corps. For this purpose, the invention relates to a micromechanical part comprising a rocker whose body is intended to form a flywheel characterized in that it comprises an ankle, in one piece and projecting with said body.
[0005] On comprend donc qu’un ensemble balancier – cheville est formé de manière monobloc ce qui autorise un positionnement parfait entre la cheville et les parties du balancier tout en diminuant le nombre de pièces, c’est-à-dire en simplifiant la fabrication de la pièce de micromécanique. It is therefore understood that a pendulum assembly - ankle is integrally formed which allows a perfect positioning between the ankle and parts of the pendulum while reducing the number of parts, that is to say by simplifying the manufacture of the micromechanical part.
[0006] Conformément à d’autres caractéristiques avantageuses de l’invention: la pièce de micromécanique comporte un métal ou un alliage métallique; la pièce de micromécanique comporte un matériau à base de-silicium; la pièce de micromécanique comporte un spiral formé en une seule pièce avec ledit ensemble balancier – cheville.According to other advantageous features of the invention: the micromechanical part comprises a metal or a metal alloy; the micromechanical part comprises a silicon-based material; the micromechanical part comprises a spiral formed in one piece with said pendulum - dowel assembly.
[0007] L’invention se rapporte également à une pièce d’horlogerie caractérisée en ce qu’elle comporte une pièce de micromécanique conforme à l’une des variantes précédentes. The invention also relates to a timepiece characterized in that it comprises a micromechanical part according to one of the preceding variants.
[0008] Enfin, l’invention se rapporte à un procédé de fabrication d’une pièce de micromécanique caractérisé en ce qu’il comporte les étapes suivantes: <tb>a)<SEP>former dans une première épaisseur de matière le corps d’un balancier destiné à former un volant d’inertie; <tb>b)<SEP>former dans une deuxième épaisseur de la même matière une cheville en saillie afin de former ladite pièce de manière monobloc.Finally, the invention relates to a method of manufacturing a micromechanical component characterized in that it comprises the following steps: <tb> a) <SEP> forming in a first thickness of material the body of a rocker intended to form a flywheel; <tb> b) <SEP> form in a second thickness of the same material a projecting pin to form said piece integrally.
[0009] Conformément à d’autres caractéristiques avantageuses de l’invention: le procédé comporte, après l’étape b), l’étape c): former dans une troisième épaisseur de la même matière un spiral afin de former ladite pièce de manière monobloc; le procédé comporte, entre l’étape b) et c), l’étape d): former, dans une quatrième épaisseur de la même matière, une surépaisseur afin d’espacer le spiral du balancier de manière monobloc; toutes les étapes sont réalisées en même temps par un processus mêlant des phases de photolithographie pour réaliser un moule et une phase finale de galvanoplastie pour remplir ledit moule; les étapes sont réalisées chacune par un processus mêlant une phase de photolithographie pour réaliser une épaisseur de moule et une phase de galvanoplastie pour remplir ladite épaisseur de moule; les étapes sont réalisées chacune par un processus mêlant une phase de fabrication d’un masque de protection sur une couche à base de silicium et une phase d’attaque pour graver les parties dudit substrat non protégées, et en ce qu’il comporte une phase de solidarisation desdites couches avant ladite phase de fabrication du masque de protection ou après ladite phase d’attaque.According to other advantageous features of the invention: the method comprises, after step b), step c): forming in a third thickness of the same material a spiral to form said piece integrally; the method comprises, between step b) and c), step d): forming, in a fourth thickness of the same material, an extra thickness to space the balance spring balance integrally; all the steps are carried out at the same time by a process combining photolithography phases to produce a mold and a final electroplating phase to fill said mold; the steps are each performed by a process mixing a photolithography phase to achieve a mold thickness and an electroplating phase to fill said mold thickness; the steps are each carried out by a process mixing a phase of manufacturing a protective mask on a silicon-based layer and an etching phase for etching the parts of said unprotected substrate, and in that it comprises a phase securing said layers before said phase of manufacturing the protection mask or after said etching phase.
Description sommaire des dessinsBrief description of the drawings
[0010] D’autres particularités et avantages ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins, annexés, dans lesquels: <tb>la fig. 1<SEP>est une représentation en coupe d’une pièce de micromécanique selon l’invention; <tb>la fig. 2<SEP>est une première variante de pièce de micromécanique selon l’invention; <tb>les fig. 3 et 4<SEP>sont deux modes de réalisation d’une deuxième variante de pièce de micromécanique selon l’invention.Other features and advantages will become apparent from the description which is given below, for information only and in no way limitative, with reference to the accompanying drawings, in which: <tb> fig. 1 <SEP> is a sectional representation of a micromechanical component according to the invention; <tb> fig. 2 <SEP> is a first variant of micromechanical part according to the invention; <tb> figs. 3 and 4 <SEP> are two embodiments of a second variant of micromechanical part according to the invention.
Description détaillée des modes de réalisation préférésDetailed Description of the Preferred Embodiments
[0011] Selon l’invention, la pièce de micromécanique 1 comporte un balancier 3 ajusté sur un axe 5 afin qu’il soit monté à rotation entre un pont et la platine d’un mouvement horloger. De l’autre côté de la portée 10 de l’axe 5, ou alternativement du même côté de la portée 10, est ajusté le spiral 7. Le spiral 7 comporte un ressort-spiral 12 formé en une seule pièce avec la virole 14 qui est ajustée sur l’axe 5. According to the invention, the micromechanical part 1 comprises a rocker 3 fitted on an axis 5 so that it is rotatably mounted between a bridge and the plate of a watch movement. On the other side of the span 10 of the axis 5, or alternatively on the same side of the span 10, is fitted the spiral 7. The spiral 7 comprises a spiral spring 12 formed in one piece with the ferrule 14 which is adjusted on axis 5.
[0012] Le balancier 3 est formé dans un corps 2 de matière et comporte un moyeu 4 assujetti à l’axe 5 qui est relié à la serge 6 au moyen d’au moins un bras 8. Avantageusement selon l’invention, le balancier 3 comporte également une cheville 9 formée en une seule pièce avec !e balancier 3 en saillie de ce dernier au niveau de son moyeu 4. Ainsi, le balancier 3 comporte de manière monobloc non seulement le moyeu 4, la serge 6 et ledit au moins un bras 8 mais également la cheville 9. The balance 3 is formed in a body 2 of material and comprises a hub 4 secured to the axis 5 which is connected to the serge 6 by means of at least one arm 8. Advantageously according to the invention, the balance 3 also comprises a peg 9 formed in one piece with the beam 3 projecting from the latter at its hub 4. Thus, the rocker 3 comprises integrally not only the hub 4, the serge 6 and said at least an arm 8 but also the ankle 9.
[0013] On comprend donc que le balancier 3 peut être formé de manière monobloc, par exemple, à partir d’un métal, d’un alliage métallique et/ou d’un matériau à base de silicium. Ainsi, de manière habituelle, la cheville 9 sensiblement parallèle à l’axe 5 est destinée à transmettre la fréquence d’oscillations du balancier 3, par exemple, à un système d’échappement (non représenté), c’est-à-dire, par exemple, aux cornes d’une ancre suisse. On comprend donc que la fabrication de la pièce de micromécanique 1 en est simplifiée en comportant moins de pièces et autorise également un positionnement parfait entre la cheville 9 et le balancier 3. It is therefore understood that the rocker 3 can be integrally formed, for example, from a metal, a metal alloy and / or a silicon-based material. Thus, in the usual way, the pin 9 substantially parallel to the axis 5 is intended to transmit the oscillation frequency of the balance 3, for example, to an exhaust system (not shown), that is to say for example, to the horns of a Swiss anchor. It is thus understood that the manufacture of the micromechanical part 1 is simplified by having fewer parts and also allows a perfect positioning between the pin 9 and the balance 3.
[0014] Selon une première variante de l’invention, la pièce de micromécanique, de manière avantageuse, peut également comporter le spiral en une seule pièce avec l’ensemble balancier – cheville. Ainsi, comme visible à la fig. 2 , on peut voir en perspective une pièce de micromécanique 21 comportant un balancier 23 formé dans un corps 22 de matière. Le balancier 23 comprend un moyeu 24 assujetti à un axe 25 et qui, dans l’exemple de la fig. 2 , est relié à une serge 26 au moyen de quatre bras 28. According to a first variant of the invention, the micromechanical part, advantageously, may also include the spiral in one piece with the pendulum - ankle assembly. Thus, as shown in FIG. 2, we can see in perspective a micromechanical part 21 comprising a rocker 23 formed in a body 22 of material. The rocker 23 comprises a hub 24 secured to an axis 25 and which, in the example of FIG. 2, is connected to a serge 26 by means of four arms 28.
[0015] Avantageusement selon la première variante de l’invention, le balancier 23 comporte une cheville 29 formée en une seule pièce avec le balancier 23 en saillie de ce dernier au niveau de son moyeu 24. De plus, de manière avantageuse selon la première variante de l’invention, le balancier 23 comporte un spiral 27 formé en une seule pièce avec le balancier 23 en saillie de ce dernier directement au niveau de son moyeu 24 du côté opposé à celui où est aménagé la cheville 29. Advantageously according to the first variant of the invention, the rocker 23 comprises a pin 29 formed in one piece with the rocker 23 projecting from the latter at its hub 24. In addition, advantageously according to the first variant of the invention, the balance 23 comprises a hairspring 27 formed in one piece with the rocker 23 projecting from the latter directly at its hub 24 on the opposite side to that where is fitted the pin 29.
[0016] Bien entendu, alternativement, le spiral 27 peut également être formé en une seule pièce avec le balancier 23 en saillie de ce dernier indirectement au niveau de son moyeu 24 du côté opposé à celui où est aménagé la cheville 29, c’est-à-dire à l’aide d’une surépaisseur de matière intermédiaire. Of course, alternatively, the hairspring 27 may also be formed in one piece with the rocker 23 projecting from the latter indirectly at its hub 24 on the opposite side to that where the ankle 29 is arranged, it is that is to say with the aid of an extra thickness of intermediate material.
[0017] Ainsi, le balancier 23 comporte de manière monobloc non seulement le moyeu 24, la serge 26 et les bras 28 mais également la cheville 29 et le spiral 27. Thus, the rocker 23 includes integrally not only the hub 24, the seam 26 and the arms 28 but also the pin 29 and the hairspring 27.
[0018] On comprend donc comme illustré à la fig. 2 que la cheville 29 suivant la géométrie du système de distribution, c’est-à-dire par exemple un système d’échappement à ancre suisse, n’est pas forcément montée sur le moyeu 24. A titre d’exemple non limitatif représenté en traits interrompus, une alternative pourrait prévoir le montage en saillie d’au moins une cheville 29 ́ en remplacement ou en addition de la cheville 29 sur une autre partie du balancier 23, comme, par exemple, sur un des bras 28. It is therefore understood as illustrated in FIG. 2 that the pin 29 according to the geometry of the distribution system, that is to say for example a Swiss lever escapement system, is not necessarily mounted on the hub 24. As a non-limiting example shown in dashed lines, an alternative could provide the projecting mounting of at least one peg 29 to replace or add the peg 29 to another part of the rocker 23, such as, for example, on one of the arms 28.
[0019] Comme pour le balancier 3, le balancier 23 peut être formé de manière monobloc, par exemple, à partir d’un métal, d’un alliage métallique et/ou d’un matériau à base de silicium. Dans le cas où un matériau ne possédant pas ou peu de domaine plastique, comme, par exemple, du silicium cristallin, est utilisé, le balancier 23 peut être fixé sur l’axe 25, par exemple, à l’aide de moyens élastiques 31. De tels moyens élastiques 31 peuvent, par exemple, prendre la forme de ceux divulgués dans les fig. 10A à 10E du brevet EP 1 655 642 ou ceux en combinaison avec des moyens rigides divulgués dans les fig. 2 à 5 du document WO 2007/099 068, lesquels brevets sont incorporés par référence à la présente description. As for the balance 3, the rocker 23 can be formed integrally, for example, from a metal, a metal alloy and / or a silicon-based material. In the case where a material having no or little plastic domain, such as, for example, crystalline silicon, is used, the rocker 23 can be fixed on the axis 25, for example, by means of elastic means 31 Such elastic means 31 may, for example, take the form of those disclosed in FIGS. 10A to 10E of EP 1 655 642 or those in combination with rigid means disclosed in FIGS. 2 to 5 of WO 2007/099 068, which patents are incorporated by reference in the present description.
[0020] Ainsi, de manière habituelle, la cheville 29, 29 ́ sensiblement parallèle à l’axe 25 est destinée à transmettre la fréquence d’oscillations du balancier 23, par exemple, à un système d’échappement (non représenté), c’est-à-dire, par exemple, aux cornes d’une ancre suisse. Thus, in the usual manner, the pin 29, 29 substantially parallel to the axis 25 is intended to transmit the oscillation frequency of the balance 23, for example, to an exhaust system (not shown), c for example, to the horns of a Swiss anchor.
[0021] On comprend donc que la fabrication de la pièce de micromécanique 21 en est simplifiée en comportant moins de pièces et autorise également un positionnement parfait entre la cheville 29, 29 ́, le spiral 27 et le balancier 23. It is therefore understood that the manufacture of the micromechanical part 21 is simplified by having fewer parts and also allows a perfect positioning between the ankle 29, 29, the spiral 27 and the balance 23.
[0022] Selon une deuxième variante de l’invention, la pièce de micromécanique, de manière avantageuse, peut comporter le spiral en une seule pièce avec l’ensemble balancier – cheville comme pour la première variante et être une pièce composite, c’est-à-dire comporter dans une même épaisseur plusieurs matériaux. Ainsi, comme visible aux fig. 3 et 4 , on peut voir en perspective des pièces de micromécanique 41, 61 comportant un balancier 43, 63 formé dans un corps 42, 62 de matière. Le balancier 43, 63 comprend un moyeu 44, 64 assujetti à un axe 45, 65 et qui, dans les exemples des fig. 3 et 4 , est relié à une serge 46, 66 au moyen de quatre bras 48, 68. According to a second variant of the invention, the micromechanical part, advantageously, may comprise the spiral in one piece with the pendulum-ankle assembly as for the first variant and be a composite part, it is that is to say comprise in the same thickness several materials. Thus, as visible in figs. 3 and 4, we can see in perspective micromechanical parts 41, 61 having a rocker 43, 63 formed in a body 42, 62 of material. The rocker 43, 63 comprises a hub 44, 64 secured to an axis 45, 65 and which, in the examples of FIGS. 3 and 4, is connected to a serge 46, 66 by means of four arms 48, 68.
[0023] Avantageusement selon la deuxième variante de l’invention, le balancier 43, 63 comporte une cheville 49, 69 formée en une seule pièce avec le balancier 43, 63 en saillie de ce dernier au niveau de son moyeu 44, 64. De plus, de manière avantageuse selon la deuxième variante de l’invention, le balancier 43, 63 comporte un spiral 47, 67 formé en une seule pièce avec le balancier 43, 63 en saillie de ce dernier directement au niveau de son moyeu 44, 64 du côté opposé à celui où est aménagé la cheville 49, 69. Advantageously according to the second variant of the invention, the rocker 43, 63 comprises a pin 49, 69 formed in one piece with the rocker 43, 63 projecting from the latter at its hub 44, 64. De more advantageously according to the second variant of the invention, the rocker 43, 63 comprises a spiral 47, 67 formed in one piece with the rocker 43, 63 projecting from the latter directly at its hub 44, 64 on the opposite side to that where the ankle 49, 69 is fitted.
[0024] Bien entendu, le spiral 47, 67 peut également être formé en une seule pièce avec le balancier 43, 63 en saillie de ce dernier indirectement au niveau de son moyeu 44, 64 du côté opposé à celui où est aménagé la cheville 49, 69, c’est-à-dire à l’aide d’une surépaisseur de matière intermédiaire. Of course, the spiral 47, 67 may also be formed in one piece with the rocker 43, 63 projecting from the latter indirectly at its hub 44, 64 on the opposite side to that where is fitted the pin 49 , 69, that is to say with the aid of an extra thickness of intermediate material.
[0025] Ainsi, le balancier 43, 63 comporte de manière monobloc non seulement le moyeu 44, 64, la serge 46, 66 et les bras 48, 68 mais également la cheville 49, 69 et le spiral 47, 67. Thus, the rocker 43, 63 comprises integrally not only the hub 44, 64, the serge 46, 66 and the arms 48, 68 but also the pin 49, 69 and the spiral 47, 67.
[0026] Comme pour la première variante, la cheville 49, 69 n’est pas forcément montée sur le moyeu 44, 64. A titre d’exemple non limitatif représenté en trait interrompus, une alternative pourrait prévoir le montage en saillie d’au moins une cheville 49 ́, 69 ́ en remplacement ou en addition de la cheville 49, 69 sur une autre partie du balancier 43, 63, comme, par exemple, sur un des bras 48, 68. As for the first variant, the pin 49, 69 is not necessarily mounted on the hub 44, 64. As a non-limiting example shown in broken lines, an alternative could provide the mounting projecting from the less an anchor 49, 69 in place of or in addition to the anchor 49, 69 on another part of the rocker 43, 63, such as, for example, on one of the arms 48, 68.
[0027] Ainsi, de manière habituelle, la cheville 49, 49 ́, 69, 69 ́ sensiblement parallèle à l’axe 45, 65 est destinée à transmettre la fréquence d’oscillations du balancier 43, 63, par exemple, à un système d’échappement (non représenté), c’est-à-dire, par exemple, aux cornes d’une ancre suisse. Thus, in the usual manner, the pin 49, 49, 69, 69 substantially parallel to the axis 45, 65 is intended to transmit the oscillation frequency of the balance 43, 63, for example, to a system exhaust (not shown), that is to say, for example, to the horns of a Swiss anchor.
[0028] Comme pour le balancier 3 ou 23, le balancier 43, 63 peut être formé de manière monobloc, par exemple, à partir d’un métal, d’un alliage métallique et/ou d’un matériau à base de silicium. Toutefois, préférentiellement, selon la deuxième variante, la pièce composite 41, 61 comporte dans une même épaisseur plusieurs matériaux. As for the balance 3 or 23, the balance 43, 63 may be integrally formed, for example, from a metal, a metal alloy and / or a silicon-based material. However, preferably, according to the second variant, the composite part 41, 61 comprises in the same thickness several materials.
[0029] Ainsi, dans l’alternative de la fig. 3 , le moyeu 44 du balancier 43 comporte dans son épaisseur un anneau 51 en matériau ductile destiné à monter le balancier 43 contre l’axe 45 par chassage, c’est-à-dire par déformation plastique. Thus, in the alternative of FIG. 3, the hub 44 of the balance 43 comprises in its thickness a ring 51 of ductile material for mounting the balance 43 against the axis 45 by driving, that is to say by plastic deformation.
[0030] De plus, dans l’alternative de la fig. 3 , la serge 46 du balancier 43 comporte dans son épaisseur un ensemble de plots 53 en matériau de densité différente du corps 42 destiné à optimiser l’inertie du balancier 43 en lestant ou en allégeant sa serge 46 et/ou permettant la fixation de vis réglantes. In addition, in the alternative of FIG. 3, the serge 46 of the balance 43 comprises in its thickness a set of studs 53 of different density material of the body 42 for optimizing the inertia of the balance 43 by weighing or lightening its serge 46 and / or for fixing screws manipulated.
[0031] Enfin, dans l’alternative de la fig. 4 , le moyeu 64 du balancier 63 comporte rapporté un anneau 71 en matériau ductile destiné à monter le balancier 63 contre l’axe 65 par chassage, c’est-à-dire par déformation plastique. Finally, in the alternative of FIG. 4, the hub 64 of the balance 63 comprises a ring 71 of ductile material for mounting the rocker 63 against the axis 65 by driving, that is to say by plastic deformation.
[0032] De plus, dans l’alternative de la fig. 4 , la serge 66 du balancier 63 comporte en saillie un ensemble de plots 73 en matériau de densité différente du corps 62 destiné à optimiser l’inertie du balancier 63 en lestant ou en allégeant sa serge 66 et/ou permettant la fixation de vis réglantes. In addition, in the alternative of FIG. 4, the serge 66 of the rocker 63 has a protrusion of a set of studs 73 of different density material body 62 for optimizing the inertia of the pendulum 63 by weighting or lightening his serge 66 and / or for the fixing of adjusting screws .
[0033] On comprend donc que la fabrication de la pièce de micromécanique 41, 61 en est simplifiée en comportant moins de pièces et autorise également un positionnement parfait entre la cheville 49, 49 ́, 69, 69 ́, le spiral 47, 67 et le balancier 43, 63. De plus, le balancier 43, 63 peut être chassé à l’aide de l’anneau 51, 71 même si le corps 42, 62 du balancier 43, 63 est en matériau ne comportant pas ou peu de domaine plastique comme, par exemple, du silicium cristallin. Enfin, l’inertie du balancier 43, 63 peut être modifié sans avoir à changer la géométrie du corps mais en ajoutant au moins un ensemble de plots 53, 73, par exemple au niveau de sa serge 46, 66. It is therefore understood that the manufacture of the micromechanical part 41, 61 is simplified by having fewer parts and also allows a perfect positioning between the ankle 49, 49, 69, 69, the spiral 47, 67 and the balance 43, 63. In addition, the rocker 43, 63 can be driven with the aid of the ring 51, 71 even if the body 42, 62 of the rocker 43, 63 is made of material having no or little domain plastic such as, for example, crystalline silicon. Finally, the inertia of the balance 43, 63 can be modified without having to change the geometry of the body but by adding at least one set of studs 53, 73, for example at its serge 46, 66.
[0034] Selon l’invention, le procédé de fabrication des pièces de micromécanique 1, 21, 41, 61 comporte les étapes suivantes: <tb>a)<SEP>former dans une première épaisseur de matière le corps d’un balancier destiné à former un volant d’inertie; <tb>b)<SEP>former dans une deuxième épaisseur de la même matière une cheville en saillie afin de former ladite pièce de manière monobloc. <tb>Et, éventuellement, la troisième étape: <tb>c)<SEP>former dans une troisième épaisseur de la même matière un spiral afin de former ladite pièce de manière monobloc. <tb>De plus, alternativement, il peut comporter, entre l’étape b) et c), la quatrième étape: <tb>d)<SEP>former, dans une quatrième épaisseur de la même matière, une surépaisseur afin d’espacer le spiral du balancier de manière monobloc.According to the invention, the method of manufacturing the micromechanical parts 1, 21, 41, 61 comprises the following steps: <tb> a) <SEP> forming in a first thickness of material the body of a rocker intended to form a flywheel; <tb> b) <SEP> form in a second thickness of the same material a projecting pin to form said piece integrally. <tb> And, possibly, the third step: <tb> c) <SEP> form in a third thickness of the same material a spiral to form said piece integrally. <tb> Moreover, alternatively, it may comprise, between step b) and c), the fourth step: <tb> d) <SEP> form, in a fourth thickness of the same material, an extra thickness to space the balance spring balance monoblock.
[0035] Selon l’invention, le corps 2, 22, 42, 62 peut être obtenu à partir de processus mêlant des étapes de formation de moule et de remplissage dudit moule comme, par exemple, par galvanoplastie afin de former, de manière non limitative, un processus LIGA ou des étapes de formation de masque ajouré comme, par exemple, une photolithographie et de gravage selon les ajourages, comme, de manière non exhaustive, une attaque sèche ou humide. According to the invention, the body 2, 22, 42, 62 may be obtained from a process combining steps of mold formation and filling of said mold such as, for example, by electroplating in order to form, in a non-rigid manner. limiting, a LIGA process or perforated mask forming steps such as, for example, photolithography and etching according to the perforations, such as, non-exhaustively, a dry or wet attack.
[0036] Ainsi, par exemple, toutes les étapes a), b) et, éventuellement, c), d) sont réalisées en même temps par un processus mêlant des phases de photolithographie pour réaliser un moule et une phase finale de galvanoplastie pour remplir ledit moule d’un matériau métallique ou d’un alliage métallique. Thus, for example, all the steps a), b) and, optionally, c), d) are carried out at the same time by a process mixing photolithography phases to produce a mold and a final phase of electroplating to fill said mold of a metallic material or a metal alloy.
[0037] Selon une alternative, les étapes a), b) et, éventuellement, c), d) sont réalisées chacune par un processus mêlant une phase de photolithographie pour réaliser une épaisseur de moule et une phase de galvanoplastie pour remplir ladite épaisseur de moule d’un matériau métallique ou d’un alliage métallique. According to an alternative, the steps a), b) and, optionally, c), d) are each carried out by a process mixing a photolithography phase to achieve a mold thickness and an electroplating phase to fill said thickness of mold of a metallic material or a metal alloy.
[0038] Enfin selon une variante, les étapes a), b) et, éventuellement, c), d) sont réalisées chacune par un processus mêlant une phase de fabrication d’un masque de protection sur une couche à base de silicium et une phase d’attaque pour graver les parties dudit substrat non protégées, et en ce qu’il comporte une phase de solidarisation desdites couches avant ladite phase de fabrication du masque de protection ou après ladite phase d’attaque. Finally, according to a variant, the steps a), b) and, optionally, c), d) are each carried out by a process mixing a phase of manufacturing a protective mask on a silicon-based layer and a etching phase for etching the parts of said unprotected substrate, and in that it comprises a phase of joining said layers before said phase of manufacture of the protective mask or after said etching phase.
[0039] Toutefois, au vu notamment de l’explication des fig. 3 et 4 , ces processus peuvent être mêlés pour former des pièces de micromécanique 1, 21, 41, 61 du type composite, c’est-à-dire comportant plusieurs type de matériaux. However, particularly in view of the explanation of FIGS. 3 and 4, these processes can be mixed to form micromechanical parts 1, 21, 41, 61 of the composite type, that is to say comprising several types of materials.
[0040] Bien entendu, la présente invention ne se limite pas à l’exemple illustré mais est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l’homme de l’art. En particulier, une oxydation finale peut intervenir dans le cas où le corps 2, 22, 42, 62 est formé à base de silicium afin, notamment, d’améliorer la solidité des pièces de micromécanique 1, 21, 41, 61. Of course, the present invention is not limited to the illustrated example but is subject to various variations and modifications that will occur to those skilled in the art. In particular, a final oxidation can occur in the case where the body 2, 22, 42, 62 is formed based on silicon in order, in particular, to improve the strength of the micromechanical parts 1, 21, 41, 61.
[0041] Il est également possible pour chaque pièce de micromécanique 1, 21, 41, 61 de rapporter ou substituer la cheville 9, 29, 29 ́, 49, 49 ́, 69, 69 ́ à un autre endroit sur le corps 2, 22, 42, 62. De manière incidente, les anneaux 51, 71 peuvent être de dimensions ou de forme différentes et/ou s’appliquer à toutes pièces de micromécanique 1,21,41, 61 selon l’invention. De manière similaire, les ensembles de plots 53, 73 peuvent être de dimensions ou de forme différentes et/ou s’appliquer à toutes pièces de micromécanique 1, 21, 41, 61 selon l’invention. It is also possible for each micromechanical part 1, 21, 41, 61 to report or replace the pin 9, 29, 29, 49, 49, 69, 69 at another location on the body 2, 22, 42, 62. Incidentally, the rings 51, 71 may be of different size or shape and / or apply to any micromechanical parts 1.21, 41, 61 according to the invention. Similarly, the sets of pads 53, 73 may be of different sizes or shapes and / or apply to all micromechanical parts 1, 21, 41, 61 according to the invention.
Claims (11)
Priority Applications (1)
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| CH21302010A CH704246B1 (en) | 2010-12-21 | 2010-12-21 | piece micromechanical component. |
Applications Claiming Priority (1)
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| CH21302010A CH704246B1 (en) | 2010-12-21 | 2010-12-21 | piece micromechanical component. |
Publications (2)
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| CH704246A2 CH704246A2 (en) | 2012-06-29 |
| CH704246B1 true CH704246B1 (en) | 2014-12-31 |
Family
ID=46397748
Family Applications (1)
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| CH21302010A CH704246B1 (en) | 2010-12-21 | 2010-12-21 | piece micromechanical component. |
Country Status (1)
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Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
| EP2871535B1 (en) * | 2013-11-06 | 2017-06-28 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Timepiece pallet with optimised horns |
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2010
- 2010-12-21 CH CH21302010A patent/CH704246B1/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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