CH694688A5 - Verfahren zum Transport von mindestens einer dampffoermigen Substanz durch die Wand einer Vakuumkammer in die Vakuumkammer sowie Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens und deren Verwendu - Google Patents

Description

  



   in die Vakuumkammer sowie auf eine Vorrichtung zur Durchführung des  Verfahrens und deren Verwendung. 



   Verfahren zum Transport von dampfförmigen Substanzen von aussen in  eine Vakuumkammer hinein sind bekannt. Bei den Verfahren, die in  der Praxis angewandt werden, ist es erforderlich, die Vorrichtungsteile  möglichst gleichmässig zu beheizen, so dass ein Kondensieren der  dampfförmigen Substanzen im Inneren des Transportsystems vermieden  wird. Um diese nachteilige Kondensation zu vermeiden ist es allgemein  üblich, Transportsysteme mit Heizbändern    oder Mantelheizleitern  zu umwickeln und so auf die gewünschte Temperatur zu bringen. Die  Anordnung dieser Heizbänder oder Mantelheizleiter in Vakuumanlagen  ist jedoch allgemein problematisch. Teile des Transportsystems müssen  durch die Wand einer Vakuumkammer geführt werden, wobei Probleme  der Abdichtung auftreten, wenn diese Teile mit Heizbändern umwickelt  sind.

   Darüber hinaus ist die gleichförmige Anordnung der Heizbänder  an den einzelnen Teilen des Transportsystems, besonders an Winkelteilen,  problematisch, so dass eine gleichförmige Beheizung aller Teile des  Transportsystems, wenn überhaupt, dann nur mit einem sehr hohen konstruktiven  Aufwand realisierbar ist. 



   Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum  Transport von mindestens einer dampfförmigen Substanz durch die Wand  einer Vakuumkammer in die Vakuumkammer hinein zu schaffen, bei dem  es nicht zu Betriebsstörungen in Folge von Undichtigkeiten kommt.  Das Verfahren soll relativ einfach durchführbar sein, wobei sicherzustellen  ist, dass es nicht zu einem Kondensieren der dampfförmigen Substanz  während des Transports kommt. Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe  zugrunde, eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie  deren Verwendung zu schaffen. 



   Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird durch ein Verfahren  zum Transport von mindestens einer dampfförmigen Substanz durch die  Wand einer Vakuumkammer in die Vakuumkammer gelöst, bei dem eine  dampfförmige Substanz von aussen durch ein In   nenrohr eines Doppelmantelrohres  in die Vakuumkammer eingebracht wird, wobei das Innenrohr und das  Aussenrohr des Doppelmantelrohres mit einem elektrischen Strom aus  einer Stromquelle beaufschlagt werden. Bei diesem Verfahren werden  maximal zwei dampfförmige Substanzen transportiert. Das Innenrohr  und das Aussenrohr des Doppelmantelrohres bestehen jeweils aus elektrisch  leitenden Materialien. Als elektrischer Strom kommt Gleich- oder  Wechselstrom zum Einsatz. Die Stromstärke liegt in der Regel zwischen  80 A und 300 A.

   Es hat sich in überraschender Weise gezeigt, dass  das nachteilige Kondensieren von dampfförmigen Substanzen während  des Transports durch die Wand einer Vakuumkammer in die Vakuumkammer  in besonders vorteilhafter Weise vermieden werden kann, wenn die  dampfförmige Substanz durch ein Doppelmantelrohr geleitet wird, wobei  in dem Innenrohr und in dem Aussenrohr ein elektrischer Strom fliesst.  Auf die nachteilige Anordnung von Heizbändern kann dabei vollständig  verzichtet werden. Das Aussenrohr kann konstruktiv auf relativ einfache  Weise durch die Wand der Vakuumkammer geführt werden, wobei Abdichtungsprobleme  vermieden werden.

   Das Innenrohr und das Aussenrohr sind elektrisch  leitend derart miteinander verbunden, so dass ein elektrischer Strom  durch die beiden Rohre fliesst, dessen Stärke auch durch die Wahl  der Abmessungen vom Innenrohr und vom Aussenrohr eingestellt werden  kann. Durch den elektrischen Widerstand vom Innenrohr und vom Aussenrohr  kommt es beim Fliessen des elektrischen Stroms zu einer Aufheizung  des Doppelmantelrohres, wobei die gewünschte Temperatur direkt über  die Stromquelle    gesteuert oder geregelt werden kann. Dabei ist  besonders vorteilhaft, dass konstante Temperaturen bei konstanten  Rohrdurchmessern eingestellt werden können.

   In besonders vorteilhafter  Weise ist es dabei möglich, Rohrverzweigungen gleichförmig aufzuheizen,  so dass auch an unzugänglichen Stellen Temperaturen eingestellt werden  können, die über dem Siedepunkt der jeweiligen dampfförmigen Substanz  liegen. 



   Eine bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, dass zwei  dampfförmige Substanzen mit verschiedenen Partialdrücken eingebracht  werden und die dampfförmige Substanz mit dem niedrigeren Partialdruck  durch das Innenrohr und die dampfförmige Substanz mit dem höheren  Partialdruck durch den ringförmigen Spalt zwischen Innenrohr und  Aussenrohr geleitet werden. Aufgrund des geringeren Durchmessers  des Innenrohres im Vergleich zum grösseren Durchmesser des Aussenrohres  kommt es bei konstant eingestellter Stromstärke zu einem stärkeren  Aufheizen des Innenrohres, als dies bei dem Aussenrohr der Fall ist,  sofern das Innenrohr und das Aussenrohr aus demselben Material gefertigt  sind.

   Da es zur Vermeidung der Kondensation bei einer dampfförmigen  Substanz, die einen niedrigeren Partialdruck hat, erforderlich ist,  ein Beheizen auf höhere Temperaturen zu realisieren, als dies für  eine dampfförmige Substanz erforderlich ist, die einen sehr hohen  Partialdruck aufweist, ist es besonders vorteilhaft, die dampfförmige  Substanz mit dem niedrigeren Partialdruck durch das Innenrohr zu  leiten. So können beispielsweise    zwei dampfförmig vorliegende  Substanzen, die einen unterschiedlichen Partialdruck aufweisen, auf  relativ einfache Weise getrennt voneinander in die Vakuumkammer eingebracht  werden. 



   Gemäss einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird  mindestens eine dampfförmige Substanz innerhalb der Vakuumkammer  mindestens einer Änderung der Strömungsrichtung unterworfen. Dies  erfolgt in vorteilhafter Weise durch die Anordnung von Rohrverzweigungen,  die teilweise Einbauten zur Änderung der Strömungsrichtung aufweisen  können. Eine Änderung der Strömungsrichtung kann mehrfach erfolgen,  da alle Rohrverzweigungen beim Fliessen des elektrischen Stromes  homogen aufgeheizt werden, so dass eine Vermeidung der Kondensation  der dampfförmigen Substanzen auch dann sichergestellt ist, wenn der  Transport über längere Strecken mit wechselnder Strömungsrichtung  zu erfolgen hat. So ist es auf einfache Weise möglich, dampfförmige  Substanzen an den gewünschten Zielort zu bringen. 



   Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung werden zwei dampfförmige  Substanzen mindestens einer Änderung der Strömungsrichtung unterworfen,  wobei deren Änderung der Strömungsrichtung jeweils gleich sind. Dies  wird in vorteilhafter Weise durch Doppelmantelrohre erzielt, deren  Innenrohre und deren Aussenrohre dieselbe Längsachse aufweisen. 



   Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, dass zwei  dampfförmige Substanzen mindestens    einer Änderung der Strömungsrichtung  unterworfen werden, wobei deren Änderungen der Strömungsrichtung  zu einer mindestens teilweise getrennt verlaufenden Parallelströmung  beider dampfförmiger Substanzen führt. Durch die Anordnung mehrerer  T-förmiger Verzweigungsstücke ist es möglich, das Innenrohr vom Aussenrohr  räumlich zu trennen, so dass die beiden dampfförmigen Substanzen  unterschiedlichen Zielorten zugeführt werden können. Die gleichförmige  Beheizung des Transportsystems durch den elektrischen Strom wird  dabei in keiner Weise nachteilig beeinflusst.

   So ist es auf relativ  einfache Weise möglich, das Verfahren zum Transport von mindestens  einer dampfförmigen Substanz durch die Wand einer Vakuumkammer in  die Vakuumkammer den Vakuumprozessen anzupassen, die in der Vakuumkammer  ablaufen sollen. 



   Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird ferner durch eine  Vorrichtung gelöst, die aus einem Doppelmantelrohr mit Innenrohr  und Aussenrohr besteht, bei der das Innenrohr und das Aussenrohr  über eine Stromquelle miteinander verbunden sind. Im Betrieb müssen  das Innenrohr und das Aussenrohr durch eine elektrisch leitende Verbindung  miteinander verbunden sein. Die Vorrichtung ist konstruktiv relativ  einfach gestaltet und kann relativ problemlos durch die Wand einer  Vakuumkammer geführt werden, wobei Abdichtungsprobleme in besonders  vorteilhafter Weise vermieden werden. 



   Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung mündet das der Stromquelle  abgewandte Ende des Au   ssenrohres in ein T-förmiges Verzweigungsstück  und das der Stromquelle abgewandte Ende des Innenrohres mündet in  ein zweites T-förmiges Verzweigungsstück, das innerhalb des T-förmigen  Verzweigungsstücks für das Aussenrohr in gleicher Weise angeordnet  ist, wobei an dem T-förmigen Verzweigungsstück beidseitig ein Rohrfortsatz  mit mindestens einem Austrag angeordnet ist, und wobei an dem zweiten  T-förmigen Verzweigungsstück für das Innenrohr beidseitig im Rohrfortsatz  ein zweiter Rohrfortsatz mit mindestens einem weiteren Austrag angeordnet  ist, wobei der Rohrfortsatz und der zweite Rohrfortsatz mindestens  über ein Verbindungsteil miteinander verbunden sind, und eine gemeinsame  Längsachse aufweisen. Das jeweilige Verbindungsteil ist elektrisch  leitend.

   Die Vorrichtung ist somit nach dem Prinzip des Doppelmantelrohres  über die ganze Transportstrecke gestaltet, wobei die Richtungsänderung  durch die Anordnung von T-förmigen Verzweigungsstücken erfolgt. Dies  erleichtert die Installation der Vorrichtung auf besonders einfache  Weise. 



   Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, dass der  mindestens eine Austrag und der mindestens eine weitere Austrag jeweils  eine Längsachse aufweisen, die senkrecht zur gemeinsamen Längsachse  vom Rohrfortsatz und dem zweiten Rohrfortsatz verläuft. Auf diese  Weise kann die erforderliche Richtungsänderung wiederum durch T-förmige  Verzweigungsstücke erfolgen, so dass die konstruktive Ausgestaltung  einfach und besonders schnell erfolgen kann. 



     Gemäss einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weisen der mindestens  eine Austrag und der mindestens eine weitere Austrag dieselbe Längsachse  auf. Auf diese Weise kann die Vorrichtung nahezu über die gesamte  Transportstrecke nach dem Prinzip des Doppelmantelrohres gestaltet  sein, wobei es durchaus möglich und vorteilhaft ist, unterschiedliche  Rohrdurchmesser zu wählen. 



   Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung mündet das der Stromquelle  abgewandte Ende des Aussenrohres in ein T-förmiges Verzweigungsstück  und das der Stromquelle abgewandte Ende des Innenrohres mündet in  ein zweites T-förmiges Verzweigungsstück, das neben dem T-förmigen  Verzweigungsstück benachbart angeordnet ist, und das einen grösseren  Abstand zur Stromquelle als das T-förmige Verzweigungsstück aufweist,  und an dem T-förmigen Verzweigungsstück ist beidseitig ein Rohrfortsatz  mit mindestens einer Öffnung angeordnet, und an dem zweiten T-förmigen  Verzweigungsstück für das Innenrohr ist beidseitig ein zweiter Rohrfortsatz  mit mindestens einer weiteren Öffnung angeordnet, wobei der Rohrfortsatz  und der zweite Rohrfortsatz mindestens über ein Verbindungsteil miteinander  verbunden sind und Längsachsen aufweisen, die parallel verlaufen.

    Auf diese Weise ist es konstruktiv besonders vorteilhaft, zwei dampfförmige  Substanzen einer Änderung der Strömungsrichtung zu unterwerfen, wobei  eine teilweise getrennt verlaufende Parallelströmung beider dampfförmiger  Substanzen eingestellt werden kann. Streckenweise    wird somit die  zunächst im Innenrohr strömende dampfförmige Substanz teilweise neben  der dampfförmigen Substanz transportiert, die zunächst zwischen dem  Innenrohr und dem Aussenrohr des Doppelmantelrohres transportiert  wurde. Auf diese Weise lassen sich unterschiedliche Zielorte problemlos  erreichen. Der Rohrfortsatz ist dabei mit dem zweiten Rohrfortsatz  mit dem Vebindungsteil verbunden, das elektrisch leitend ist, so  dass ein Fluss des elektrischen Stromes möglich ist. Die Öffnungen  in den Rohrfortsätzen können je nach dem Einsatzzweck verschiedenartig  gestaltet sein. 



   Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die mindestens  eine Öffnung oder die mindestens eine weitere Öffnung schlitzförmig  ausgebildet. Dies erleichtert die Anordnung der Öffnungen, wobei  gleichzeitig vermieden wird, dass sich die Öffnungen nach relativ  kurzen Betriebszeiten zusetzen. 



   Gemäss einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung verläuft das Innenrohr  in dessen Längsrichtung durch die der Stromquelle abgewandten Seite  des T-förmigen Verzweigungsstückes. Dies vereinfacht die konstruktive  Ausgestaltung der Vorrichtung. 



   Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist an der Aussenseite  des Aussenrohres eine umlaufende Dichtung angeordnet. Diese umlaufende  Dichtung wird in vorteilhafter Weise an der Stelle des Aussenrohres  angeordnet, die direkt an die Aussenseite der Wand der Vakuumkammer  grenzt. Dies ver   stärkt in besonders einfacher Weise die Dichtung  zwischen dem Aussenrohr und der Wand der Vakuumkammer, was besonders  dann vorteilhaft ist, wenn die Vorrichtung zum Transport im Innern  der Vakuumkammer jeweils nach Einsatzzweck an unterschiedlichen Orten  positioniert werden muss. 



   Gegenstand der Erfindung ist schliesslich die Verwendung der Vorrichtung  zum Transport von dampfförmigen Stoffen durch die Wand einer Vakuumkammer  in eine Vakuumkammer für Vakuumbeschichtungsverfahren. Bei Vakuumbeschichtungsverfahren  ist es erforderlich, eine Kondensation der dampfförmigen Substanzen  in der Vakuumkammer beim Einbringen in die Vakuumkammer vollständig  zu vermeiden. Dies erfolgt in besonders vorteilhafter Weise mit der  erfindungsgemässen Vorrichtung. 



   Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung (Fig. 1, Fig.  2) näher und beispielhaft erläutert      Fig. 1a, b zeigt die  Vorrichtung zum Transport von mindestens einer dampfförmigen Substanz  in eine Vakuumkammer im Längsschnitt sowie die Draufsicht gemäss  Schnitt A-A;     Fig. 2a, b, c zeigt eine Variante der Vorrichtung  zum Transport von mindestens einer dampfförmigen Substanz in eine  Vakuumkammer im Längsschnitt sowie die   Draufsicht und den Querschnitt  gemäss Schnitt B-B.  



   In Fig. 1a ist die Vorrichtung zum Transport von mindestens einer  dampfförmigen Substanz durch die Wand 4 einer Vakuumkammer in die  Vakuumkammer im Längsschnitt dargestellt. Sie besteht aus einem Doppelmantelrohr  mit Innenrohr 1 und Aussenrohr 2, wobei das Innenrohr 1 und das Aussenrohr  2 über eine Stromquelle 3 miteinander verbunden sind. An der Wand  4 der Vakuumkammer weist das Aussenrohr 1 eine umlaufende Dichtung  12 auf. Das der Stromquelle 3 abgewandte Ende des Aussenrohres 2  mündet in ein T-förmiges Verzweigungsstück 5. Das der Stromquelle  3 abgewandte Ende des Innenrohres 1 mündet in ein zweites T-förmiges  Verzweigungsstück, das innerhalb des T-förmigen Verzweigungsstücks  5 für das Aussenrohr 2 in gleicher Weise angeordnet ist (nicht dargestellt).

    An dem T-förmigen Verzweigungsstück 5 ist beidseitig ein Rohrfortsatz  6 mit mindestens einem Austrag 6' angeordnet. An dem zweiten T-förmigen  Verzweigungsstück für das Innenrohr 1 ist beidseitig im Rohrfortsatz  6 ein zweiter Rohrfortsatz 9 mit mindestens einem weiteren Austrag  9' angeordnet, wobei der Rohrfortsatz 6 und der zweite Rohrfortsatz  9 mindestens über ein Verbindungsteil 11 miteinander verbunden sind  und eine gemeinsame Längsachse aufweisen. Das Verbindungsteil 11  besteht aus einem elektrisch leitenden Material. Mit dieser Vorrichtung  ist es beispielsweise möglich, zwei dampfförmige Substanzen mit verschiedenen  Partialdrücken in eine Vakuumkammer einzubringen, wobei es vor    teilhaft ist, diejenige dampfförmige Substanz mit dem niedrigeren  Partialdruck durch das Innenrohr 1 zu leiten.

   Die dampfförmige Substanz  mit dem höheren Partialdruck durchströmt das Doppelmantelrohr in  vorteilhafter Weise zwischen dem Innenrohr 1 und dem Aussenrohr 2.  Am T-förmigen Verzweigungsstück erfolgt eine Aufteilung beider Gasströme,  wobei beide Gasströme eine Änderung in ihrer Strömungsrichtung um  90 DEG  erfahren. Durch die Anordnung weiterer T-Stücke 12 sind weitere  Änderungen der Strömungsrichtungen möglich. Auf diese Weise gelangen  die dampfförmigen Substanzen beispielsweise zu dem Austrag 6' und  dem weiteren Austrag 9' und verlassen die Vorrichtung an den Öffnungen  7, 10. Im Betrieb fliesst der elektrische Strom beispielsweise durch  das Innenrohr 1, über den zweiten Rohrfortsatz 9, über die Verbindungsteile  11 und über den Rohrfortsatz 6 zurück zum Aussenrohr 2.

   Bei der beschriebenen  Anordnung werden der Austrag 6' und der weitere Austrag 9' nicht  von dem elektrischen Strom durchflössen. Durch die Wärmeleitung ist  jedoch eine Aufheizung des Austrags 6' und des weiteren Austrags  9' sichergestellt. 



   In Fig. 1b ist die Draufsicht gemäss Schnitt A-A dargestellt. Der  Austrag 6' und der weitere Austrag 9' weisen dieselbe Längsachse  auf. 



   In Fig. 2 ist eine alternative Ausgestaltung der Vorrichtung zum  Transport von mindestens einer dampfförmigen Substanz durch die Wand  4 einer Vakuumkammer in die Vakuumkammer im Längsschnitt (Fig. 2a)  zusammen mit dem Querschnitt B-B (Fig.    2b) sowie der Draufsicht  (Fig. 2c) schematisch und vereinfacht dargestellt. Im Gegensatz zu  der in Fig. 1 dargestellten Ausgestaltung der Vorrichtung mündet  das der Stromquelle 3 abgewandte Ende des Innenrohres 1 in ein zweites  T-förmiges Verzweigungsstück 8, das neben dem T-förmigen Verzweigungsstück  5 benachbart angeordnet ist. Das zweite T-förmige Verzweigungsstück  8 hat einen grösseren Abstand zur Stromquelle 3 als das T-förmige  Verzweigungsstück 5. Der Rohrfortsatz 6 und der zweite Rohrfortsatz  9 sind miteinander über ein Verbindungsteil 11 verbunden und weisen  Längsachsen auf, die parallel verlaufen.

   Die Öffnungen 7 sind im  Vergleich zu den weiteren Öffnungen 10 schlitzförmig ausgebildet,  was ein rasches Zusetzen der Öffnungen 7 verhindert. Das Innenrohr  1 verläuft in dessen Längsrichtung durch die der Stromquelle 3 abgewandte  Seite des T-förmigen Verzweigungsstücks 5. Die Anordnung dieser Vorrichtung  ist besonders dann vorteilhaft, wenn es vorgesehen ist, zwei verschiedene  dampfförmige Substanzen zu unterschiedlichen Zielorten innerhalb  der Vakuumkammer zu leiten.

Claims (14)

1. Verfahren zum Transport von mindestens einer dampfförmigen Substanz durch die Wand (4) einer Vakuumkammer in die Vakuumkammer, bei dem eine dampfförmige Substanz von aussen durch ein Innenrohr (1) eines Doppelmantelrohres in die Vakuumkammer eingebracht wird, wobei das Innenrohr (1) und das Aussenrohr (2) des Doppelmantelrohres mit einem elektrischen Strom aus einer Stromquelle (3) beaufschlagt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem zwei dampfförmige Substanzen mit verschiedenen Partialdrücken eingebracht werden und die dampfförmige Substanz mit dem niedrigeren Partialdruck durch das Innenrohr (1) und die dampfförmige Substanz mit dem höheren Partialdruck durch den ringförmigen Spalt zwischen Innenrohr (1) und Aussenrohr (2) geleitet werden.

3.

Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei dem mindestens eine dampfförmige Substanz innerhalb der Vakuumkammer mindestens einer Änderung der Strömungsrichtung unterworfen wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem zwei dampfförmige Substanzen mindestens einer Än derung der Strömungsrichtung unterworfen werden, wobei deren Änderungen der Strömungsrichtung jeweils gleich sind.

5. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem zwei dampfförmige Substanzen mindestens einer Änderung der Strömungsrichtung unterworfen werden, wobei deren Änderungen der Strömungsrichtung zu einer mindestens teilweise getrennt verlaufenden Parallelströmung bei der dampfförmiger Substanzen führt.

6.

Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5, die aus einem Doppelmantelrohr mit Innenrohr (1) und Aussenrohr (2) besteht, bei der das Innenrohr (1) und das Aussenrohr (2) über eine Stromquelle (3) miteinander verbunden sind.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der das der Stromquelle abgewandte Ende des Aussenrohres (2) in ein T-förmiges Verzweigungsstück (5) mündet und das der Stromquelle (3) abgewandte Ende des Innenrohres (1) in ein zweites T-förmiges Verzweigungsstück mündet, das innerhalb des T-förmigen Verzweigungsstücks (5) für das Aussenrohr (2) in gleicher Weise angeordnet ist, und bei der an dem T-förmigen Verzweigungsstück (5) beidseitig ein Rohrfortsatz (6) mit mindestens einem Austrag (6') angeordnet ist, bei der an dem zweiten T-förmigen Verzweigungsstück für das Innenrohr (1)

beidseitig im Rohrfortsatz (6) ein zweiter Rohrfortsatz (9) mit mindestens einem weiteren Austrag (9') angeordnet ist, wobei der Rohrfortsatz (6) und der zweite Rohrfortsatz (9) mindestens über ein Verbindungsteil (11) miteinander verbunden sind und eine gemeinsame Längsachse aufweisen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der der mindestens eine Austrag (6') und der mindestens eine weitere Austrag (9') jeweils eine Längsachse aufweisen, die senkrecht zur gemeinsamen Längsachse vom Rohrfortsatz (6) und dem zweiten Rohrfortsatz (9) verläuft.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, bei der mindestens ein Austrag (6') und mindestens ein weiterer Austrag (9') dieselbe Längsachse aufweisen.

10.

Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der das der Stromquelle (3) abgewandte Ende des Aussenrohres (2) in ein T-förmiges Verzweigungsstück (5) mündet und das der Stromquelle (3) abgewandte Ende des Innenrohres (1) in ein zweites T-förmiges Verzweigungsstück (8) mündet, das neben dem T-förmigen Verzweigungsstück (5) benachbart angeordnet ist, und das einen grösseren Abstand zur Stromquelle (3) als das T-förmige Verzweigungs stück (5) aufweist, und bei der an dem T-förmigen Verzweigungsstück (5) beidseitig ein Rohrfortsatz (6) mit mindestens einer Öffnung (7) angeordnet ist, und bei der an dem zweiten T-förmigen Verzweigungsstück (8) für das Innenrohr (1) beidseitig ein zweiter Rohrfortsatz (9) mit mindestens einer weiteren Öffnung (10) angeordnet ist, wobei der Rohrfortsatz (6) und der zweite Rohrfortsatz (9) mindestens über ein Verbindungsteil (11)

miteinander verbunden sind und Längsachsen aufweisen, die parallel verlaufen.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, bei der die mindestens eine Öffnung (7) oder die mindestens eine weitere Öffnung (10) schlitzförmig ausgebildet ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder Anspruch 11, bei der das Innenrohr (1) in dessen Längsrichtung durch die der Stromquelle (3) abgewandten Seite des T-förmigen Verzweigungsstücks (5) verläuft.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12, bei der an der Aussenseite des Aussenrohres (2) eine umlaufende Dichtung (12) angeordnet Ist.

14. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 13 zum Transport von dampfförmigen Substanzen durch die Wand (4) einer Vakuumkammer in eine Vakuumkammer für Vakuumbeschichtungsverfahren.